先锋精科拟发行可转债募资不超7.5亿元 用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建等项目

（原标题：先锋精科拟发行可转债募资不超7.5亿元 用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建等项目）

3月3日晚间，先锋精科(688605)发布公告称，公司拟向不特定对象发行可转债募资不超过7.5亿元，用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发生产新建项目、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目以及补充流动资金。

公告称，本次募投项目“半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目”是公司对现有金属加热器产品的升级迭代和扩产，旨在顺应下游产业技术升级迭代趋势，完善公司在关键功能器件领域的产品布局，更好地服务下游客户的需求，巩固和提升公司的市场地位。

募投项目“半导体先进制程非金属材料及器件研发、生产新建项目”是公司现有关键工艺部件主要产品的进一步升级和迭代，旨在向以陶瓷加热器为代表的非金属材料功能器件领域拓展，有助于提高公司在半导体关键功能器件领域的核心竞争力，推动半导体核心功能器件的国产化进程，保障我国半导体产业链安全。

募投项目“半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目”围绕静电吸盘这一高价值关键功能器件及配套组件进行针对性研发，在获取更高附加值的同时，构筑更为稳固的竞争护城河。

先锋精科表示，上述募投项目的实施，将使公司完成从单一金属零部件供应商向“金属及非金属材料+关键功能器件”一体化解决方案提供商的战略转型。这些项目将有助于公司突破产能瓶颈，满足下游客户需求，并提升公司在半导体先进制程领域的竞争力。

公开资料显示，先锋精科成立于2008年，专注于高精度精密零部件的研发、生产和销售，是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造企业，已成为中微公司、北方华创、华海清科、拓荆科技、屹唐股份等国内头部半导体设备厂商的长期战略合作伙伴。

公司近期发布的2025年业绩快报显示，公司2025年营业收入约12.38亿元，同比增加8.99%；归属于上市公司股东的净利润约1.9亿元，同比减少11.06%。公司称，报告期内，受益于半导体设备关键零部件国产化的不断推进，公司依托技术升级与产品创新，半导体领域核心产品销售持续增长。