证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-037
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
关于公司 2026 年半年度募集资金存放、管理与
实际使用情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第
海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，合肥
芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2026
年上半年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁
微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》
（证监许可[2023]563
号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10,497,245
股人民币普通股，募集资金总额为人民币 797,685,647.55元，扣除相关发行费
用（不含税）人民币8,322,726.38元，募集资金净额为人民币789,362,921.17元。
上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户
内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥
芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字 [2023]230Z0198号）。
募集资金基本情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2022 年向特定对象公开发行股票
募集资金到账时间 2023 年 7 月 25 日
本次报告期 2026 年 1 月 1 日至 2026 年 6 月 30 日
项目 金额
一、募集资金总额 79,768.56
其中：超募资金金额 不适用
减：直接支付发行费用 832.27
二、募集资金净额 78,936.29
减：
以前年度已使用金额 53,944.48
本年度使用金额 9,714.40
暂时补流金额 0
现金管理金额 0
银行手续费支出及汇兑损益 7.15
其他-具体说明 -
加：
募集资金利息收入 3,655.42
其他-具体说明 -
三、报告期期末募集资金余额 18,925.68
注：
月 24 日经第三届董事会第七次会议审议通过将全部募投项目结项，节余募集资金人民币
产品专用结算账户；
余额为 0，节余募集资金永久补流并已转入自有账户中，募集资金专户余额为 0;
二、募集资金管理情况
（一）募集资金管理情况
为规范募集资金的管理和使用，提高募集资金使用效益，根据《上市公司监
管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易
所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，
切实保护投资者利益，公司根据实际情况，制定了《合肥芯碁微电子装备股份有
限公司募集资金管理制度》。根据该制度，公司对募集资金实行专户存储，对募
集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，保证了募集资金的
规范使用。
（二）募集资金三方监管协议情况
经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，
审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行A股股票募集资金专用账户
的议案》。为规范公司募集资金管理， 保护投资者权益，提高募集资金使用效
率，根据《上市公司监管指引 第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管
要求（2022 修订）》、 《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号—
—规范运作》 及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份
有限 公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥分行、
中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司合肥分行签署了
《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专
户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。
（三）募集资金专户存储情况
截至2026年6月30日，募集资金存放情况如下表所示：
募集资金存储情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2022 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2023 年 7 月 25 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
合肥芯碁微电子装备
招商银行合肥分行营业部 551906776410802 7,935.91 使用中
股份有限公司
合肥芯碁微电子装备 徽商银行股份有限公司安徽
股份有限公司 自贸试验区合肥片区支行
合肥芯碁微电子装备 中信银行股份有限公司合肥
股份有限公司 分行营业部
合肥芯碁微电子装备 中国光大银行合肥长江西路
股份有限公司 支行
合计 / / 18,925.68
注：公司于 2026 年 7 月 24 日召开第三届董事会第七次会议，审议通过相关募投项目
结项、结余募集资金永久补充流动资金事宜，同时同意办理对应募集资金专户、理财产品
专用结算账户的注销手续。现阶段理财产品专用结算账户已办结注销，募集资金专户注销
工作正在推进办理。
三、本年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目的资金使用情况
报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表 2026 年半年度募集资金使
用情况对照表。募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无
法单独核算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
报告期内公司不涉及对预先投入募投项目自筹资金置换的情形。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2026 年 6 月 30 日，公司不存在闲置募集资金暂时补充流动资金的情
形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影
响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，
使用不超过人民币 25,000 万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过 20,000
万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性
好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大
额存单、收益凭证等）。在上述 额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超
过股东会审议通过之日起 12 个月。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：
单位：人民币元
实际投
序号 受托方 产品类型 批准投资金额 投资期限 期末余额 利息金额
入金额
合计 770,000,000.00 770,000,000.00 0 18,556,140.81
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2026 年 6 月 30 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
截至 2026 年 6 月 30 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
截至2026年6月30日，公司募投项目尚未结项，故报告期内，公司不存在使
用节余募集资金的情形。
四、变更募投项目的资金使用情况
（一）变更募集资金投资项目情况
报告期内公司募集资金投资项目未发生变更。
（二）募集资金投资项目对外转让或置换情况
报告期内公司募集资金投资项目不存在对外转让或置换的情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已披露的相关信息不存在不及时、不真实、不准确、不完整披露的情况，
不存在违规使用募集资金的情形。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
附表 1：
募集资金使用情况对照表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2022 年度向特定对象发行股票
募集资金到账日期 2023 年 7 月 25 日
本年度投入募集资金总额 97,144,004.19
已累计投入募集资金总额 636,588,807.28
变更用途的募集资金总额 不适用
变更用途的募集资金总额比例 不适用
截至 项 项目
已变更 是
期末 目 可行
项目， 截至期末累计投 否
募集资金 截至期末 截至期末 投入 达 性是
承诺投资项 募投
含部分 调整后投 本年度投 入金额与承诺投 达
目和超募资 项目 承诺投资 承诺投入 累计投入 进度 到 本年度实现的效益 否发
金投向 性质 变更 资总额 入金额 入金额的差额(3) 到
总额 金额(1) 金额(2) （% 预 生重
（如 ＝(2)-(1) 预
） 定 大变
有） 计
(4) 可 化
＝ 使 效
(2)/ 用 益
(1) 状
态
日
期
直 写 光 刻 设 备 持 续在
新 型 显 示 、 PCB 阻 焊
层、引线框架等领域深
直写光刻设 化市场应用；NEX50、
备产业应用 研发 265,980, 257,657, 257,657, 56,485,7 191,830, 74.4 NEX60 机 型 已 实 现 稳
无 -65,826,644.65 年 适 否
拓展深化项 项目 000.00 273.62 273.62 87.69 628.97 5% 定量产，NEX30 等机型
目 处于转量产阶段；NEX
月
系 列 产 品 产 能 得 到提
升，产品品质与稳定性
得到保障。
IC 载板、类
载板直写光 生产 175,837, 175,837, 175,837, 125,773, 71.5
无 0.00 -50,064,164.17 年 研发投入，MAS 系列机 适 否
刻设备产业 建设 500.00 500.00 500.00 335.83 3%
化项目
月 m、6μm、8μm 解析，
MAS4、MAS6 已转量
产。
各子系统及核心零部
件自主研发持续迭
代。智能化直写光刻
系统持续根据客户现
场工况迭代算法模
型，系统运行稳定性
关键子系 进一步提升；超大幅
统、核心零 研发 151,720, 151,720, 151,720, 23,907,0 107,745, 71.0 面高解析度曝光引擎
无 -43,974,282.74 年 适 否
部件自主研 项目 000.00 000.00 000.00 46.42 717.26 2% 完成工艺优化；高精
发项目 度动态环控系统完成
月
多轮可靠性验证；先
进激光光源性能迭
代，国产化光源在
NEX 系列扩大应用，
激光器自主可控水平
进一步提升。
补充流动资 204,148, 204,148, 204,148, 16,751,1 211,239, 103.
补流 无 7,090,977.67 年 不适用 适 否
金项目 147.55 147.55 147.55 70.08 125.22 47%
月
合计 -152,774,113.89 — — — —
未达到计划进度原因 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 不适用
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为 0 元。具体详见本报告“三、2026 年半年度募集资
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
募集资金其他使用情况 不适用
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