深圳中科飞测科技股份有限公司
半年度评估报告
为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基
于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，深圳中科飞测科技股份有限公司
（以下简称“公司”）于 2026 年 4 月 25 日发布了 2026 年度“提质增效重回报”
行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树
立良好的资本市场形象。
一、 聚焦主业，持续突破创新提升竞争力
营管理能力及综合实力，实现长期、稳定和可持续的发展。具体包括以下方面：
公司继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向，持续在各类型产品快速迭
代升级及新产品研发上加大研发投入规模，各系列产品产业化进程取得积极成果。
作为国内高端半导体质量控制设备行业领军企业，为加快满足下游客户对高
端半导体质量控制设备日益增长的需求，公司进一步加大新产品及现有产品向更
前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，2026 年 1-6 月公司研发投入达 38,117.78
万元，较 2025 年 1-6 月同比增长 33.55%，占营业收入的比例约 40.51%。同时，
公司注重知识产权的保护，制定了较为完善的覆盖专利研发至产业化应用的全流
程管理制度。截至 2026 年 6 月末，公司拥有知识产权 848 项（其中发明专利共
计 361 项）。
高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力，报告期内公司稳步
推进各系列设备的产业化进程。截至报告期末，公司十三大系列设备和三大系列
智能软件的产品组合构成了全方位的良率管理解决方案，覆盖光学、电子束以及
X 光三大核心技术路线超过 70%的半导体质量控制设备市场容量。其中，明场及
暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等十一大系列设备已经批量量产并在国内头部
客户产线应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市占率稳步快速增长；
晶圆平整度量测设备已出货国内头部 HBM 客户开展产线工艺验证和应用开发；
电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用
开发中。
长期以来，公司重视半导体设备零部件的国产化替代，通过构建多元化的供
应链体系，与相关领域供应商建立良好和稳定的合作关系。
应商等方式，共同推动产业链上下游的协同发展。同时，公司将继续优化采购供
应链，提升原材料采购质量，优化采购成本，对供应商实施动态管理，定期对供
应商历史采购价格、供货周期、产品质量、技术发展、合作服务等方面进行评比，
并由采购部门根据物料的采购情况、市场行情，和供应商进行商务谈判或引入新
的供应商，争取更具优势的价格及商务条款。
公司凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售后服务等积极
因素，品牌认可度不断提升，客户群体覆盖度进一步扩大，已广泛覆盖逻辑、存
储、功率半导体、MEMS 等前道制程企业，碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半
导体企业，晶圆级封装和 2.5D/3D 封装等先进封装企业，大硅片等半导体材料企
业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP 设备等各类制程设备企业，客户订单量
持续增长。公司在持续获得已有客户重复订单的同时，积极开拓了多家海内外新
客户，市场占有率进一步提升。2026 年上半年，公司实现营业收入 94,101.77 万
元，同比增长 34.01%，其中境外收入 5,493.73 万元，同比增长 528.91%。
公司自成立以来重视人才培养和储备，强化现有培训体系的建设，截至 2026
年 6 月 30 日，公司研发团队 820 人，较上年末增长 25%。其中硕士及博士研究
生占比由 56.40%进一步提升至 62.56%，涵盖光学、算法、软件、机械、电气、
自动化控制等专业方向，跨专业、多层次的人才梯队构成公司研发的中坚力量。
此外，公司持续推进限制性股票激励计划，促进公司核心人才队伍的建设和
稳定，充分调动公司员工的积极性，为公司良性发展夯实基础。2026 年 7 月 7
日，公司完成激励计划首次授予部分第二个归属期以及预留部分第一个归属期的
股份登记工作，为符合条件的 114 名激励对象完成登记 188.8434 万股。
IPO 募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”生产车间已完成竣工备案
手续并进入投产阶段，整体产能按规划稳步释放，生产交付工作有序开展，截至
把握发展机遇，2025 年 10 月，公司完成向特定对象发行 A 股股票，募集资金净
额 248,076.74 万元，重点投向上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项
目以及总部基地及研发中心升级建设项目，建设进展顺利。截至 2026 年 6 月 30
日，本次向特定对象募集资金整体投入进度已达到 43.46%。
二、优化运营管理，提高经营质量与效率
公司所处的半导体质量控制设备行业复杂度较高，必须进行长期高强度的研
发投入，同时由于设备的生产、安装调试以及回款周期较长，资金占用规模较大。
公司通过持续强化应收账款管理、存货管理、预算管理，设置更合理的信用政策
等多种方式持续强化资金使用效率管理。与此同时，公司积极拓展多元化融资渠
道，综合运用股权融资与银行借款等工具。2026 年上半年，公司进一步深化与金
融机构合作，根据经营发展需要，向相关金融机构申请不超过 60 亿元的授信融
资额度，以保障公司持续发展的资金需求。
此外，为提高募集资金的使用效率，2026 年上半年，公司在确保募投项目正
常推进及募集资金安全的前提下，合理利用部分暂时闲置募集资金，购买安全性
高、流动性好的理财产品，均获得了良好的收益，实现资金的保值增值，为公司
及股东创造了更多的投资回报。
三、重视提高股东回报，分享公司长期发展红利
公司高度重视股东回报，努力践行“长期、健康、可持续”的股东价值回报
机制，与全体股东共享公司发展红利。2024 年 12 月，公司制定并披露《未来三
年（2024 年-2026 年）股东分红回报规划》，规定在满足分红条件的情况下，每
年以现金形式分配的利润不少于当年实现的可供分配利润的 10%，进一步规范
公司利润分配政策，增加股利分配决策的透明度和可操作性，保证股东的合理投
资回报。
公司坚定创造长期价值的理念，将持续深耕主营业务，提高研发效率以及产
品核心竞争力，加强海内外市场拓展，为创造公司的长期价值夯实基础。
四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平
化企业治理机制及各业务部门运作规范，不断修订完善适合本公司的内部控制管
理体系并大力推进落实，定期开展合规自查，持续完善治理结构，提高规范运作
水平，积极贯彻独立董事制度改革精神；公司始终重视“关键少数”主体责任及
合规意识，全力支持董事、高级管理人员积极参与监管机构举办的各种线上、线
下培训，如参加上交所“上市公司财务规范运作重点关注事项专题培训”、深上
协“上市公司治理与董秘规则解读专题培训”等活动，增加合规知识储备，提升
履职能力，及时掌握监管动态。
与此同时，公司不断夯实 ESG 管理水平，将可持续发展理念深度融入公司
发展战略与日常经营运营全过程，多措并举落实环境保护举措，积极主动履行企
业社会责任，并收获积极的阶段性成果。2026 年上半年，公司披露了《2025 年
度环境、社会与公司治理（ESG）报告》，在 Wind ESG 评级中由 BB 级提升至
AA 级。
五、高质量信息披露，充分传递公司投资价值
露管理制度，认真履行信息披露义务，真实、准确、完整、及时、公平地披露公
司定期报告、临时公告等，涉及公司经营、股权激励、权益分派等各方面重要信
息，保障全体投资者知情权。
同时，公司高度重视投资者关系管理工作，通过上市公司公告、投资者交流
会、业绩说明会、接待投资者现场调研、上证 e 互动、电话、邮件等诸多渠道，
确保公司经营成果、财务状况等情况，及时、公开、透明地传达给市场参与各方。
会，并累计召开线上及线下投资者交流会超过 50 场次，与投资者就公司经营情
况、发展规划等进行沟通，及时发布投资者关系活动记录表。公司还积极参加了
上海证券交易所组织的“科创 3 分钟·与成长对话”主题活动，并在官方公众号
定期发布可视化财报，以视频和图片的形式向广大投资者尤其是中小投资者传递
公司投资价值。公司定期在上证 e 互动平台回复投资者提问，问题回复率 100%，
并安排专人负责维护投资者热线电话、公开邮箱，切实与资本市场保持良性互动，
增进投资者对公司的深入了解。
六、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象
未来，公司将持续评估并完善“提质增效重回报”行动方案的具体举措。一
方面，公司将继续强化规范运作理念和法律法规的敬畏意识，严格遵守证监会、
上海证券交易所相关法律法规的要求，做到信息披露真实、准确、完整，公平对
待所有投资者。另一方面，公司将切实履行上市公司的责任和义务，专注主业，
以助力我国集成电路产业自立自强发展为己任，稳步提升公司经营规模、盈利能
力，不断增强公司核心竞争力，以优良的业绩切实回报投资者，维护公司市场形
象。
本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成
公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。
深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
首页
微信公众号
证券之星APP
