证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2026-032
深圳中科飞测科技股份有限公司
关于 2026 年半年度募集资金存放、管理与实际使用
情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或
者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、上海证券交易
所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》的规定，
现将深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称本公司或公司）2026 年半年度募集
资金存放、管理与实际使用情况报告如下：
一、募集资金基本情况
中国证券监督管理委员会于 2023 年 2 月 21 日核发《关于同意深圳中科飞测科
技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕367 号），同
意公司首次公开发行人民币普通股（A 股）股票。公司于 2023 年 5 月 19 日首次公
开发行的股份数量为 8,000.00 万股，发行价格为每股 23.60 元，募集资金总额为人
民币 188,800.00 万元，扣除发行费用人民币 18,961.34 万元后，募集资金净额为人
民币 169,838.66 万元。已于 2023 年 5 月 16 日通过国泰海通证券股份有限公司（以
下简称“国泰海通”）汇入公司银行账户。上述募集资金已经天职国际会计师事务
所（特殊普通合伙）审验并出具天职业字〔2023〕32719 号《验资报告》。
募集资金基本情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2023 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2023 年 5 月 16 日
本次报告期 2026 年 1 月 1 日至 2026 年 6 月 30 日
项目 金额
一、募集资金总额 188,800.00
其中：超募资金金额 69,838.66
减：直接支付发行费用 18,961.34
二、募集资金净额 169,838.66
减：
以前年度已使用金额 150,033.44
本年度使用金额 2,657.65
暂时补流金额 -
现金管理金额 16,800.00
银行手续费支出及汇兑损益 5.08
加：
募集资金利息收入 1,144.95
募集资金理财收益 1,929.58
三、报告期期末募集资金余额 3,417.02
中国证券监督管理委员会于 2025 年 8 月 4 日核发《关于同意深圳中科飞测科
技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640 号），
同意公司 2024 年度向特定对象发行 A 股股票 28,571,428 股，发行价格 87.50 元/股，
募集资金总额为人民币 250,000.00 万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币
情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128
号《验资报告》。
募集资金基本情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2024 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2025 年 10 月 13 日
本次报告期 2026 年 1 月 1 日至 2026 年 6 月 30 日
项目 金额
一、募集资金总额 250,000.00
其中：超募资金金额 -
减：直接支付发行费用 1,923.26
二、募集资金净额 248,076.74
减：
以前年度已使用金额 56,953.82
本年度使用金额 50,851.39
暂时补流金额 29,999.61
现金管理金额 46,000.00
银行手续费支出及汇兑损益 2.53
加：
募集资金利息收入 72.87
募集资金理财收益 970.94
三、报告期期末募集资金余额 65,313.19
二、募集资金管理情况
为了规范公司募集资金的存放、使用和管理，维护投资者的合法权益，确保公
司募投项目顺利开展，提高募集资金使用效率，本公司根据《上市公司募集资金监
管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公
司自律监管指引第 1 号——规范运作》等规定，制定了《深圳中科飞测科技股份有
限公司募集资金管理和使用办法》（以下简称“《募集资金管理办法》”）。根据
相关规定及《募集资金管理办法》，公司对募集资金实行专户存储和管理，在银行
设立募集资金专户。
限公司深圳布吉支行、平安银行股份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公
司深圳上步支行、兴业银行股份有限公司深圳分行、中信银行股份有限公司深圳分
行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行、
上海银行股份有限公司深圳分行、宁波银行股份有限公司深圳分行等签订募集资金
监管协议，对募集资金实施专户存储。
为方便公司资金账户管理，减少管理成本，公司于 2024 年 10 月 30 日召开董
事会审议并通过《关于注销部分募集资金专项账户的议案》，同意注销部分募集资
金专户。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集
资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范
本）》不存在重大差异。
募集资金存储情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2023 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2023 年 5 月 16 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
广州中科飞 中信银行股份
测科技有限 有限公司深圳 8110301012100684395 3,316.39 使用中
公司 留仙洞支行
深圳中科飞 中国银行股份
测科技股份 有限公司深圳 769277071129 97.29 使用中
有限公司 大芬支行
深圳中科飞 中信银行股份
测科技股份 有限公司深圳 8110301013000682608 2.69 使用中
有限公司 留仙洞支行
深圳中科飞 平安银行股份
测科技股份 有限公司深圳 15201412318833 0.65 使用中
有限公司 香蜜湖支行
深圳中科飞 招商银行股份
测科技股份 有限公司深圳 755942306110108 - 使用中
有限公司 红山支行
深圳中科飞 中国建设银行
测科技股份 股份有限公司 44250100000800005439 - 已注销
有限公司 深圳上步支行
深圳中科飞 兴业银行股份
测科技股份 有限公司深圳 337060100100544110 - 已注销
有限公司 宝安支行
深圳中科飞 中国工商银行
测科技股份 股份有限公司 4000103929100801232 - 已注销
有限公司 深圳大浪支行
深圳中科飞
上海银行深圳
测科技股份 03005344408 - 已注销
前海分行
有限公司
深圳中科飞 宁波银行股份
测科技股份 有限公司深圳
有限公司 龙华支行
上海中科飞 中国银行股份
测半导体科 有限公司深圳 745877261923 - 已注销
技有限公司 大芬支行
深圳中科飞 中国银行股份
测科技股份 有限公司深圳 754977254881 - 已注销
有限公司 大芬支行
合计 3,417.02 -
有限公司深圳布吉支行、中信银行股份有限公司深圳分行、中国工商银行股份有限
公司深圳龙华支行、招商银行股份有限公司上海分行、浙商银行股份有限公司深圳
分行、招商银行股份有限公司深圳分行、中国光大银行股份有限公司深圳分行、宁
波银行股份有限公司深圳龙华支行、上海银行股份有限公司深圳分行、平安银行股
份有限公司深圳分行、中国建设银行股份有限公司深圳上步支行、交通银行股份有
限公司上海浦东分行等签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。2026 年
华支行签订募集资金监管协议，对募集资金实施专户存储。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司严格按照监管协议的规定存放、使用、管理募集
资金，募集资金监管协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范
本）》不存在重大差异。
募集资金存储情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称
票
募集资金到账时间 2025 年 10 月 13 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
深圳中科飞
中信银行深圳
测科技股份 8110301012800823420 28,448.50 使用中
分行营业部
有限公司
深圳中科飞 宁波银行深圳
测科技股份 龙华支行
有限公司
飞测思凯浦
（上海）半 中国建设银行
导体科技有 深圳上步支行
限公司
飞测思凯浦
（上海）半 招商银行上海
导体科技有 分行营业部
限公司
飞测思凯浦
（上海）半 交通银行上海
导体科技有 陆家嘴支行
限公司
深圳中科飞
招商银行深圳
测科技股份 755942306110000 61.05 使用中
红山支行
有限公司
深圳中科飞
中国光大银行
测科技股份 38940188000296553 52.42 使用中
深圳宝安支行
有限公司
深圳中科飞
中国银行深圳
测科技股份 756280380785 1.98 使用中
大芬支行
有限公司
深圳中科飞
浙商银行龙华
测科技股份 5840000310120100123038 0.34 使用中
支行
有限公司
深圳中科飞
平安银行深圳
测科技股份 15001231888896 0.20 使用中
香蜜湖支行
有限公司
深圳中科飞
中国工商银行
测科技股份 4000103929101024616 0.09 使用中
深圳大浪支行
有限公司
深圳中科飞
上海银行深圳
测科技股份 03006439917 0.02 使用中
前海分行
有限公司
深圳中科飞
中国工商银行
测科技股份 4000103929101025766 0.02 使用中
深圳大浪支行
有限公司
合计 65,313.19 -
三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2026 年 6 月 30 日，公司实际投入相关项目的募集资金具体使用情况详见
“附表 1：2023 年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表”“附表 2：2024 年
度向特定对象发行股票募集资金使用情况对照表”。
（二）募投项目先期投入及置换情况
报告期内，公司不涉及募投项目先期投入及置换的情况。
公司于 2025 年 12 月 3 日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事
会第十六次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支
付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币 16,724.19 万元置
换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。上述事项符合募集资金到账后 6
个月内进行置换的规定。上述置换事项及置换金额业经容诚会计师事务所（特殊普
通合伙）审验，并出具了“容诚专字[2025]518Z1012 号”《以自筹资金预先投入募
集资金投资项目及支付发行费用鉴证报告》。具体内容详见公司于 2025 年 12 月 4
日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份
有限公司关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的
公告》（公告编号：2025-066）。公司监事会对本事项发表了意见，保荐人国泰海
通出具了核查意见。
报告期内，公司涉及募投项目先期投入及支付发行费用的自筹资金已经置换
用的自筹资金已经全部置换完成。
（三）使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等
额置换的情况
报告期内，公司不涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项
并以募集资金等额置换的情况。
公司于 2025 年 10 月 30 日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监
事会第十五次会议，审议通过了《关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投
项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，公司监事会对上述事项发表了同
意意见，国泰海通对上述事项出具了无异议的核查意见。
报告期内，公司涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并
以募集资金等额置换的金额为 11,183.21 万元。
（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
报告期内，公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
公司于 2025 年 12 月 3 日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监
事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金
的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况
下，使用额度不超过人民币 30,000 万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动
资金。使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过 12 个月。上述事项无需提交
公司股东大会审议。公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门
的相关监管要求。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通
对该事项出具了无异议的核查意见。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司涉及使用闲置募集资金暂时补充流动资金的金额
为 29,999.61 万元。
闲置募集资金临时补充流动资金明细表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2024 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2025 年 10 月 13 日
计划补充 归还募
临时补充流 临时补充流动资 归还募集
流动资金 董事会审议通过日期 集资金
动资金金额 金起始日期 资金金额
时长 日期
日
（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
会第十三次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及
自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币 30,000 万元（含本
数）的闲置募集资金（含超募资金）和不超过人民币 100,000 万元的自有资金（含
本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2025 年 6 月 4 日）后 12
个月内有效，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该事项发
表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。
于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意
公司拟使用不超过人民币 30,000 万元（含本数）的部分闲置募集资金及超募资金
（其中拟使用超募资金及其孳息不超过 2,000 万元）和不超过人民币 100,000 万元
的自有资金（含本数）进行现金管理，使用期限自上一次授权期限到期日（2026 年
国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司使用部分闲置首次公开发行股票募集资金进行现
金管理的余额为 16,800.00 万元。具体情况如下：
募集资金现金管理审核情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2023 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2023 年 5 月 16 日
计划进行
董事会审议通过
现金管理 计划进行现金管理的方式 计划起始日期 计划截止日期
日期
的金额
购买安全性高、流动性好的
投资产品
购买安全性高、满足保本要
求、流动性好、期限不超过
募集资金现金管理明细表
单位：万元 币种：人民币
金融机构 理财类型 起息日 到期日 金额 利率
中国银行股份有限公司
可转让大额存单 2023/7/14 2026/7/14 13,000.00 2.90%
深圳大芬支行
中国银行股份有限公司
结构性存款 2026/6/18 2026/7/16 3,800.00 1.08%
深圳大芬支行
合计 16,800.00 /
公司于 2025 年 10 月 30 日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监
事会第十五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理
的议案》，同意公司使用不超过人民币 200,000 万元（含本数）的 2024 年度向特
定对象发行 A 股股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通
过之日起 12 个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。公司监事会对该
事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意
见。
截至2026年6月30日，公司使用部分向特定对象发行A股股票闲置募集资金进
行现金管理的余额为46,000.00万元。具体情况如下：
募集资金现金管理审核情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2024 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2025 年 10 月 13 日
计划进行
计划进行现金管理 董事会审议通过日
现金管理 计划起始日期 计划截止日期
的方式 期
的金额
购买安全性高、满足
保本要求、流动性
好、期限不超过 12 个
月的产品
募集资金现金管理明细表
单位：万元 币种：人民币
金融机构 理财类型 起息日 到期日 金额 利率
光大银行深圳宝安支行 结构性存款 2026/4/23 2026/7/23 10,000.00 1.65%
中国银行深圳大芬支行 结构性存款 2026/5/26 2026/8/26 24,000.00 1.13%
中信证券股份有限公司 信智安盈 2180 期 2026/5/27 2026/11/26 2,000.00 1.05%
中国建设银行股份有限公
结构性存款 2026/6/8 2026/8/8 6,000.00 1.23%
司深圳上步支行
招商银行深圳红山支行 结构性存款 2026/6/26 2026/8/27 4,000.00 1.25%
合计 46,000.00 /
（六）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
报告期内，公司不涉及用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
（七）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份
并注销的情况
报告期内，公司不涉及将超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）
或回购本公司股份并注销的情况。
（八）节余募集资金使用情况
截至 2026 年 6 月 30 日，公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或
非募投项目的情况。
（九）募集资金使用的其他情况
二十次会议，审议通过了《关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以
实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金 10,600 万元向全资子公司广州中科
飞测科技有限公司（以下简称“广州中科飞测”）实缴注册资本并提供 20,200 万元
借款以实施“高端半导体质量控制设备产业化项目”。根据项目实施需要逐步拨付
（借款不计息），借款期限为实际借款之日起 3 年，借款资金可滚动使用，也可提
前偿还。到期后，如双方均无异议，该笔借款可自动续期。公司独立董事、监事会
对上述事项发表了明确的同意意见，保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的审查
意见。
会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目
的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投
项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司
拟通过提供借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金
专用账户，即公司的全资子公司广州中科飞测的募集资金专用账户，并授权公司管
理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。公司拟使用募集资金向广州中科飞测
提供借款人民币 30,877.70 万元，根据项目实施需要，逐步拨付。前述借款不计利
息，借款期限为实际借款之日起 3 年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期
后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对该事项发表了明确的同意意见，
保荐人国泰海通对该事项出具了无异议的核查意见。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款 35,034.70
万元，使用募集资金向广州中科飞测实缴注册资本为 10,600.00 万元。
于部分募集资金投资项目延期的议案》，同意将公司本次部分募集资金投资项目“高
端半导体质量控制设备产业化项目”实施期限延至 2027 年 6 月。具体内容详见公
司 2026 年 4 月 25 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于部分
募集资金投资项目延期的公告》（公告编号：2026-018）。
公司于 2025 年 10 月 30 日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监
事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以
实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，
在不超过募投项目“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目”拟投入
募集资金金额的情况下，公司拟通过提供不超过人民币 116,076.74 万元借款的方式
将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资
子公司飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司（以下简称“飞测思凯浦”）的募
集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。前述
借款不计利息，借款期限为实际借款之日起 3 年，借款资金可滚动使用，也可提前
偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。公司监事会对以上事项发表了明
确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款 44,562.00
万元。
四、变更募投项目的资金使用情况
会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目
的议案》，具体详见“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募
集资金使用的其他情况”相关内容。
截 至 2026 年 6 月 30 日 止，公司 使用募集资金 向广州中 科飞测提 供借 款
公司于 2025 年 10 月 30 日分别召开了第二届董事会第十七次会议和第二届监
事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以
实施募投项目的议案》，具体详见“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”
之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。
截至 2026 年 6 月 30 日，公司使用募集资金向飞测思凯浦提供借款 44,562.00
万元。
公司于 2025 年 12 月 3 日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事
会第十六次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金用途的议案》，为提升募集
资金使用效率，保证募集资金使用的规范性，结合公司实际情况，公司拟将原募投
项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行贷款”，其中原募投项目
“补充流动资金”部分募集资金 29,996.40 万元用于偿还银行贷款。公司监事会对以
上事项发表了明确同意的意见，保荐人国泰海通对此出具无异议的核查意见。2025
年 12 月 19 日，公司召开 2025 年第一次临时股东大会并审议通过了该项议案。
截至 2026 年 6 月 30 日止，公司“补充流动资金及偿还银行贷款”中偿还银行
贷款金额 29,996.40 万元。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、
真实、准确、完整地对募集资金存放及实际使用情况进行了披露，不存在募集资金
使用及披露的违规情形。
特此公告。
深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
附表 1
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2023 年首次公开发行股票
募集资金到账日期 2023 年 5 月 16 日
本年度投入募集资金总额 2,657.65
已累计投入募集资金总额 152,691.09
变更用途的募集资金总额 30,877.70
变更用途的募集资金总额比例（%） 18.18
项目
截至期
截至期末累 项目达到 可行
已变更项 末投入
截至期末承 本年度 截至期末 计投入金额 预定可使 本年度 是否达 性是
承诺投资项目和 募投项目 目，含部 募集资金承诺 调整后投资 进度
超募资金投向 性质 诺投入金额 投入金 累计投入 与承诺投入 用状态日 实现的 到预计 否发
分变更 投资总额 总额 （%）
(1) 额 金额(2) 金额的差额 期（具体 效益 效益 生重
（如有） (4)＝
(3)＝(2)-(1) 到月份） 大变
(2)/(1)
化
高端半导体质量
控制设备产业化 生产建设 是 30,800.00 61,677.70 61,677.70 2,657.65 42,610.91 -19,066.79 69.09 不适用 不适用 不适用 否
项目
研发中心升级建
研发 否 14,200.00 14,200.00 14,200.00 0.00 14,278.60 78.60 100.55 已完成 不适用 不适用 否
设项目
补充流动资金 补流还贷 否 55,000.00 55,000.00 55,000.00 0.00 55,596.93 596.93 101.09 不适用 不适用 不适用 否
超额募集资金净
补流还贷 是 69,838.66 38,960.96 38,960.96 0.00 40,204.65 1,243.69 103.19 不适用 不适用 不适用 否
额
合计 169,838.66 169,838.66 169,838.66 2,657.65 152,691.09 -17,147.57 89.90 — — —
未达到计划进度 2026 年 4 月 24 日，公司召开了第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目延期的议案》。结合当前募投项目实际进展情况，
原因（分具体募 公司决定将“高端半导体质量控制设备产业化项目”实施期限延至 2027 年 6 月。具体内容详见公司于 2026 年 4 月 25 日披露的《深圳中科飞测科技股份
投项目） 有限公司关于部分募集资金投资项目延期的公告》（公告编号：2026-018）。
项目可行性发生
重大变化的情况 无。
说明
募集资金投资项
目先期投入及置 无。
换情况
用闲置募集资金
暂时补充流动资 无。
金情况
对闲置募集资金
进行现金管理，
参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相关内容。
投资相关产品情
况
用超募资金永久
补充流动资金或
无。
归还银行贷款情
况
募集资金结余的
无。
金额及形成原因
募集资金其他使
参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。
用情况
附表 2
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2024 年度向特定对象发行股票
募集资金到账日期 2025 年 10 月 13 日
本年度投入募集资金总额 50,851.39
已累计投入募集资金总额 107,805.21
变更用途的募集资金总额 29,996.40
变更用途的募集资金总额比例（%） 12.09
项目达 项目
截至期
截至期末累 到预定 可行
已变更项 末投入
截至期末承 截至期末累 计投入金额 可使用 本年度 是否达 性是
募投
承诺投资项目和超募 目，含部 募集资金承 调整后投资 本年度投入 进度
项目 诺投入金额 计投入金额 与承诺投入 状态日 实现的 到预计 否发
资金投向
性质 分变更 诺投资总额 总额 金额 （%）
(1) (2) 金额的差额 期（具 效益 效益 生重
（如有） (4)＝
(3)＝(2)-(1) 体到月 大变
(2)/(1)
份） 化
上海高端半导体质量
生产
控制设备研发测试及 否 116,076.74 116,076.74 116,076.74 11,262.26 26,869.16 -89,207.58 23.15 不适用 不适用 不适用 否
建设
产业化项目
其中：上海高端半导
生产
体质量控制设备产业 否 71,476.74 71,476.74 71,476.74 7,067.47 16,773.28 -54,703.46 23.47 不适用 不适用 不适用 否
建设
化项目
上海高端半导 生产 否 44,600.00 44,600.00 44,600.00 4,194.80 10,095.88 -34,504.12 22.64 不适用 不适用 不适用 否
体质量控制设备研发 建设
测试中心项目
总部基地及研发中心 生产
否 62,000.00 62,000.00 62,000.00 4,257.24 10,854.47 -51,145.53 17.51 不适用 不适用 不适用 否
升级建设项目 建设
补流
补充流动资金 是 70,000.00 - - - - - - 不适用 不适用 不适用 否
还贷
补充流动资金及偿还 补流
是 - 70,000.00 70,000.00 35,331.89 70,081.58 81.58 100.12 不适用 不适用 不适用 否
银行贷款 还贷
合计 248,076.74 248,076.74 248,076.74 50,851.39 107,805.21 -140,271.53 43.46 — — —
未达到计划进度原因
无。
（分具体募投项目）
项目可行性发生重大
无。
变化的情况说明
募集资金投资项目先
参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（二）募投项目先期投入及置换情况”相关内容。
期投入及置换情况
用闲置募集资金暂时
参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（四）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况”相关内容。
补充流动资金情况
对闲置募集资金进行
现金管理，投资相关 参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（五）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”相关内容。
产品情况
用超募资金永久补充
流动资金或归还银行 无。
贷款情况
募集资金结余的金额
无。
及形成原因
募集资金其他使用情
参见前述专项报告“三、2026 年半年度募集资金的实际使用情况”之“（九）募集资金使用的其他情况”相关内容。
况
附表 3
变更募集资金投资项目情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2024 年向特定对象发行股票
募集资金到账日期 2025 年 10 月 13 日
变更
后的
对
项目达到 项目
应 变更后项 截至期末
变更 募投 本年度实 实际累计 投资进度 预定可使 本年度 是否达 可行 董事会 股东会
的 实施 目拟投入 计划累计
后的 项目 实施主体 际投入金 投入金额 （%） 用状态日 实现的 到预计 性是 审议通 审议通
原 地点 募集资金 投资金额
项目 性质 额 (2) (3)=(2)/(1) 期（具体 效益 效益 否发 过时间 过时间
项 总额 (1)
到年月） 生重
目
大变
化
补充
补
流动
充
资金 深圳中科飞测 2025 年 2025 年
流 补流
及偿 科技股份有限 深圳 70,000.00 70,000.00 35,331.89 70,081.58 100.12 不适用 不适用 不适用 否 12 月 3 12 月 19
动 还贷
还银 公司 日 日
资
行贷
金
款
合计 70,000.00 70,000.00 35,331.89 70,081.58 100.12 - - - - - -
变更原因：在保证募集资金正常进行的前提下，为提高募集资金的使用效率，改善公司资本结构，降低财务成本，根据《上市公司募集资金监管规则》
变更原因、决策程 《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关法律法规以及《公司章程》
序及信息披露情况 《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的有关规定，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行
说明（分具体募投 贷款”。
项目） 决策程序：本次变更募集资金用途由第二届董事会第十八次会议、第二届监事会第十六次会议和 2025 年第一次临时股东大会审议通过。
变更信息披露：公司于 2025 年 12 月 4 日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露了《深圳中科飞测科技股份有限公司关于变更部分募
集资金用途的公告》（公告编号：2025-068）
未达到计划进度的
情况和原因（分具 无。
体募投项目）
变更后的项目可行
性发生重大变化的 无。
情况说明
注：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致。
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