附件一
新增注册资本实收情况明细表
截至2026年6月17日止
中微半导体设备(上海)股份有限公司 货币单位：人民币元
本期认缴注册资本 注册资本实收情况
股东名称
占注册资本 货币 其中：股本
金额 合计
总额比例 (人民币) 金额 占注册资本总额比例
境内上市人民币普通股 A 股持有人 5,156,765.00 0.53% 5,156,765.00 5,156,765.00 5,156,765.00 0.53%
附件二
注册资本和股本变更前后对照表
截至2026年6月17日止
中微半导体设备(上海)股份有限公司 货币单位：人民币元
注册资本总额 股本
变更前 变更后 变更前 变更后
股东名称 其中：货币出资
占注册 本次增加额 占注册
占注册资
金额 出资比例 金额 出资比例 金额 资本总额 金额 资本总
金额 本总额比
比例 额比例
例
有限售条件的境内上
市人民币普通股(A 股) 10,488,545.00 1.10% 15,645,310.00 1.63% 10,488,545.00 1.10% 5,156,765.00 15,645,310.00 1.63% 15,645,310.00 1.63%
持有人
无限售条件的境内上
市人民币普通股(A 股) 942,197,038.00 98.90% 942,197,038.00 98.37% 942,197,038.00 98.90% - 942,197,038.00 98.37% 942,197,038.00 98.37%
持有人
合计 952,685,583.00 100.00% 957,842,348.00 100.00% 952,685,583.00 100.00% 5,156,765.00 957,842,348.00 100.00% 957,842,348.00 100.00%
附件三
验资事项说明
一、 基本情况
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“贵公司”)前身中微半导体设备(上海)有限公司经上海市
人民政府以商外资沪独资字[2004]1574 号文件批准设立，并于 2018 年 12 月 21 日完成由中微半导体设备
(上海)有限公司变更为中微半导体设备(上海)股份有限公司相关的变更登记手续。本次注册资本和股本变更
前，贵公司的注册资本和股本为人民币 952,685,583.00 元，代表每股人民币 1 元的股份 952,685,583 股。
贵公司的上述股本已经大华会计师事务所(特殊普通合伙)验证，并已于 2026 年 6 月 17 日出具大华验字
[2026]0011000155 号验资报告。
二、 本次变更审批情况
于 2026 年 3 月 30 日，贵公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过《关于公司发行股份及支付现
金购买资产并募集配套资金方案的议案》。于 2026 年 4 月 23 日，贵公司 2025 年年度股东大会批准了董
事会的上述提议。中国证券监督管理委员会于 2026 年 5 月 11 日出具证监许可[2026]1147 号《关于同意
中微半导体设备(上海)股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》，同意了贵公司发行
股份募集配套资金不超过 1,500,000,000.00 元。
三、 审验结果
经我们审验，截至 2026 年 6 月 17 日止，贵公司完成了人民币普通股 A 股 5,156,765 股的发行，每股
发行价格为人民币 290.88 元，股款以人民币缴足，计人民币 1,499,999,803.20 元。
根据贵公司与主承销商中信证券股份有限公司签定的承销协议，贵公司共计支付承销费用人民币费
币 1,490,459,804.45 元，该募集资金已全部存入贵公司已开立的人民币账户内，具体如下:
银行 账号 金额
国家开发银行上海分行 31000109000000100378 383,388,942.26
中国建设银行股份有限公司上海浦东分行 31050161364000011938 760,045,114.86
平安银行上海分行营业部 15001217560061 347,025,747.33
合计 1,490,459,804.45
附件三
验资事项说明(续)
三、 审验结果(续)
除上述承销费用外，贵公司发生了其他发行费用合计人民币 578,563.45 元，包括验资及咨询费计人
民币 206,000.00 元以及印花税等费用计人民币 372,563.45 元。上述募集资金总额在扣除贵公司承销费用
以及其他发行费用后，净募集资金总额人民币 1,489,881,241.00 元，其中股本人民币 5,156,765.00 元，
资本公积人民币 1,484,724,476.00 元。
截至 2026 年 6 月 17 日止，连同原经验证的股本人民币 952,685,583.00 元，贵公司增资后的股本为
人民币 957,842,348.00 元，代表每股人民币 1 元的股份 957,842,348 股。
四、 其他事项
本次发行股份尚需在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理本次交易新增股份登记手续。
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