证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-016
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
关于 2026 年度授信及担保额度预计的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
重要内容提示：
? 被担保人名称：上海至纯系统集成有限公司、珐成制药系统工程（上海）
有限公司、上海波汇信息科技有限公司、合肥至汇半导体应用技术有限公司、广
州市浩鑫洁净工程技术有限公司、上海至纯半导体设备有限公司、上海智临精密
制造有限公司、上海至嘉半导体气体有限公司、上海砺致科技有限公司、江苏至
纯系统集成有限公司、江苏启微半导体设备有限公司、合肥至微半导体有限公司、
至微半导体（上海）有限公司、上海泛楒立光电设备有限公司、浙江智临精密制
造有限公司、上海艾璞思精密设备有限公司、上海波汇科技有限公司、天津至汇
光电技术有限公司、上海至纯电子材料有限公司、珠海至微半导体科技有限公司。
? 担保额度预计及已实际为其提供的担保余额：公司2025年度为合并报表
范围内子公司向银行等机构融资提供担保额度预计为85亿元，截至公告披露日公
司对全资及控股子公司提供的实际担保余额为298,804.24万元。公司预计2026年
度为子公司担保总额度为85亿元。
? 本次担保无反担保
? 无逾期对外担保情况
? 特别风险提示：上海至纯系统集成有限公司、珐成制药系统工程（上海）
有限公司、上海波汇信息科技有限公司、合肥至汇半导体应用技术有限公司、广
州市浩鑫洁净工程技术有限公司、上海至纯半导体设备有限公司、上海智临精密
制造有限公司、上海至嘉半导体气体有限公司、上海砺致科技有限公司、江苏至
纯系统集成有限公司、江苏启微半导体设备有限公司、合肥至微半导体有限公司、
至微半导体（上海）有限公司、上海泛楒立光电设备有限公司、浙江智临精密制
造有限公司、上海艾璞思精密设备有限公司资产负债率超过 70%，敬请广大投资
者注意投资风险。
一、担保情况概述
为保证上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）发展及生
产经营需要，公司及子公司将根据实际需要向商业银行及非银行金融机构申请综
合授信，2026 年度预计综合授信总额不超过人民币 130 亿元，此金额为各商业
银行及非银行金融机构授予公司总的融资最高额度，不代表公司实际融资金额。
综合授信品种包括但不限于：贷款/抵押贷款、银行保函、备用信用证、贸易信
用证、贴现、汇票承兑、融资租赁等。授信期限内，授信额度可循环使用。
为提高子公司运作效率，公司拟为下属子公司提供担保总额不超过 85 亿元，
其中为资产负债率超过 70%的子公司担保额度预计为 79.50 亿元，为资产负债率
低于 70%的子公司担保额度预计为 5.50 亿元。同时公司及子公司拟通过自有房
产及土地等资产抵押进行融资业务。
上述担保事项是基于对目前业务情况的预计。根据可能的变化，由公司管理
层在上述预计担保额度内，根据实际情况审批并调剂具体的融资担保事宜。调剂
方式为被担保方为资产负债率低于 70%的控股子公司的担保额度可调剂给其他
资产负债率低于 70%的控股子公司使用，资产负债率高于 70%的控股子公司的
担保额度可调剂给其他资产负债率高于 70%的控股子公司使用。调剂范围为公司
所有全资及控股子公司（不限于下表中的子公司，包括期间新增子公司）。在履
行公司内部审批程序后，公司全资及控股子公司可为其下属的全资或控股公司提
供担保。
被担保公司
被担保公司名称 2026 年拟担保金额（万元）
类型
上海至纯系统集成有限公司 286,000
珐成制药系统工程（上海）有限公司 9,000
资产负债率
上海波汇信息科技有限公司 22,000
高于 70%的
合肥至汇半导体应用技术有限公司 3,000
子公司
广州市浩鑫洁净工程技术有限公司 2,000
上海至纯半导体设备有限公司 2,000
上海智临精密制造有限公司 10,000
上海至嘉半导体气体有限公司 100,000
上海砺致科技有限公司 1,000
江苏至纯系统集成有限公司 50,000
江苏启微半导体设备有限公司 50,000
合肥至微半导体有限公司 45,000
至微半导体（上海）有限公司 200,000
上海泛楒立光电设备有限公司 7,000
浙江智临精密制造有限公司 6,000
上海艾璞思精密设备有限公司 2,000
小计 795,000
上海波汇科技有限公司 25,000
资产负债率 天津至汇光电技术有限公司 10,000
低于 70%的 上海至纯电子材料有限公司 14,200
子公司 珠海至微半导体科技有限公司 5,800
小计 55,000
合计 850,000
被担保子公司预计担保额如下：
上述向银行申请综合授信及担保事项尚需提交股东会审议。担保额度及股东
会授权期限自 2025 年年度股东会审议通过之日起至下一年度股东会审议该事项
时止。
（一）内部决策程序
公司于 2026 年 4 月 28 日召开第五届董事会第十七次会议，以 5 票同意，0
票反对，0 票弃权的表决结果审议通过了《关于 2026 年度授信及担保额度预计
的议案》，该议案尚需提交公司股东会审议。
（二）担保预计基本情况（如有）
被担保方
截至目前担 担保额度占上 是否
担保方持股 最近一期 本次新增担 担保预计 是否关联
担保方 被担保方 保余额（万 市公司最近一 有反
比例 资产负债 保额度 有效期 担保
元） 期净资产比例 担保
率
被担保方资产负债率超过 70%的控股子公司
上海至纯系统集成有限公司 74.81% 68,354.83 不适用 19.54% 一年 否 否
珐成制药系统工程（上海）有限公司 86.62% 4,900.00 不适用 1.40% 一年 否 否
上海波汇信息科技有限公司 77.24% 21,000.00 不适用 6.00% 一年 否 否
合肥至汇半导体应用技术有限公司 114.38% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
广州市浩鑫洁净工程技术有限公司 95.18% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
上海至纯半导体设备有限公司 109.14% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
详见“二、被
上海智临精密制造有限公司 101.66% 2,940.00 不适用 0.84% 一年 否 否
担保人基本
上海至纯洁净系统 上海至嘉半导体气体有限公司 76.11% 72,073.43 不适用 20.61% 一年 否 否
情况”的主要
科技股份有限公司 上海砺致科技有限公司 107.44% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
股东及持股
江苏至纯系统集成有限公司 92.71% 19,447.69 不适用 5.56% 一年 否 否
比例
江苏启微半导体设备有限公司 93.88% 21,452.64 不适用 6.13% 一年 否 否
合肥至微半导体有限公司 95.48% 22,543.43 不适用 6.45% 一年 否 否
至微半导体（上海）有限公司 82.97% 50,237.00 不适用 14.36% 一年 否 否
上海泛楒立光电设备有限公司 105.68% 4,000.00 不适用 1.14% 一年 否 否
浙江智临精密制造有限公司 100.58% 1,759.86 不适用 0.50% 一年 否 否
上海艾璞思精密设备有限公司 108.36% 500.00 不适用 0.14% 一年 否 否
被担保方资产负债率未超过 70%的控股子公司
上海至纯洁净系统 上海波汇科技有限公司 详见“二、被 48.40% 6,810.00 不适用 1.95% 一年 否 否
科技股份有限公司 天津至汇光电技术有限公司 担保人基本 33.80% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
上海至纯电子材料有限公司 情况”的主要 24.02% 0 不适用 0.00% 一年 否 否
股东及持股
珠海至微半导体科技有限公司 1,485.36 不适用 0.42% 一年 否 否
比例 63.89%
二、被担保人基本情况
被担保人类型及上市公司持股
被担保人类型 被担保人名称 主要股东及持股比例 统一社会信用代码
情况
法人 上海至纯系统集成有限公司 全资子公司 公司持股 100% 913101205618856898
法人 珐成制药系统工程（上海）有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91310117754769916G
公司通过全资子公司上海紫珊光电技术有限
法人 上海波汇信息科技有限公司 全资子公司 91310117MA1J2KAL79
公司持股 100%
法人 合肥至汇半导体应用技术有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91340111MA2TEA4W8Y
公司通过全资子公司
法人 广州市浩鑫洁净工程技术有限公司 全资子公司 914401155583718392
珐成制药系统工程（上海）有限公司持股 100%
公司通过全资子公司上海至纯系统集成有限
法人 上海至纯半导体设备有限公司 控股子公司 91310112MA1GE31Q76
公司持股 85%
法人 上海智临精密制造有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91310112MA1GE31R51
公司通过控股子公司上海至纯精密气体有限
法人 上海至嘉半导体气体有限公司 控股子公司 91310114MA1GY3JWXP
公司 100%
公司通过控股子公司至微半导体（上海）有限
法人 上海砺致科技有限公司 控股子公司 91310000MA1GCWMM65
公司持股 80%
公司通过全资子公司
法人 江苏至纯系统集成有限公司 全资子公司 91320681MA1Q2M6U7B
上海至纯系统集成有限公司持股 100%
公司通过控股子公司至微半导体（上海）有限
法人 江苏启微半导体设备有限公司 控股子公司 91320681MA1NNTXM48
公司持股 100%
法人 合肥至微半导体有限公司 控股子公司 公司通过控股子公司至微半导体（上海）有限 91340100MA2T6RKB0A
公司持股 100%
公司通过全资子公司至一高纯电子材料（上
法人 上海至纯电子材料有限公司 全资子公司 91310116MACN3E5J1U
海）有限公司持股 100%
法人 至微半导体（上海）有限公司 控股子公司 公司持股 77.1067% 91310112MA1GBR541D
法人 上海泛楒立光电设备有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91310112561885785Y
公司通过全资子公司上海智临精密制造有限
法人 浙江智临精密制造有限公司 全资子公司 91330481MA7BH9JT53
公司持股 100%
公司通过全资子公司上海智临精密制造有限
法人 上海艾璞思精密设备有限公司 全资子公司 91310112MABWW0GH15
公司持股 100%
法人 上海波汇科技有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91310000740282787T
法人 天津至汇光电技术有限公司 全资子公司 公司持股 100% 91120116MA073B3412
公司通过控股子公司至微半导体（珠海横琴）
法人 珠海至微半导体科技有限公司 控股子公司 91440400MAE67YY21B
有限公司持股 100%
主要财务指标（万元）
被担保人名称 2025 年 12 月 31 日/2025 年年度（经审计）
资产总额 负债总额 资产净额 营业收入 净利润
上海至纯系统集成有限公司 380,521.85 280,064.46 100,457.39 171,704.66 12,249.43
珐成制药系统工程（上海）有限公司 38,181.16 36,596.69 1,584.48 13,369.76 -1,318.50
上海波汇信息科技有限公司 48,061.28 37,168.85 10,892.42 817.81 -1,052.15
合肥至汇半导体应用技术有限公司 15,381.10 17,592.40 -2,211.31 222.05 -1,075.03
广州市浩鑫洁净工程技术有限公司 19,715.85 19,656.70 59.15 9,160.27 -610.99
上海至纯半导体设备有限公司 19,476.42 22,128.06 -2,651.64 1,400.05 -899.99
上海智临精密制造有限公司 32,310.37 34,492.76 -2,182.39 11,394.89 -3,283.58
上海至嘉半导体气体有限公司 121,347.45 95,499.27 25,848.18 26,968.70 -96.12
上海砺致科技有限公司 11,142.76 15,784.10 -4,641.34 2,432.65 -3,727.05
江苏至纯系统集成有限公司 167,335.58 155,472.68 11,862.90 57,726.73 -142.81
江苏启微半导体设备有限公司 177,034.69 167,708.80 9,325.89 34,472.32 -16,660.65
合肥至微半导体有限公司 58,201.45 55,719.59 2,481.86 5,938.52 -4,433.69
至微半导体（上海）有限公司 3,673.91 887.93 2,785.98 - -117.30
上海泛楒立光电设备有限公司 329,007.40 279,610.38 49,397.02 38,094.26 -30,797.85
浙江智临精密制造有限公司 35,290.63 33,530.54 1,760.09 3,649.06 -2,675.78
上海艾璞思精密设备有限公司 14,291.65 14,600.23 -308.58 857.44 -1,368.99
上海波汇科技有限公司 3,146.37 3,499.36 -352.99 812.98 -696.32
天津至汇光电技术有限公司 82,569.70 41,683.47 40,886.23 30,804.06 6,377.21
上海至纯电子材料有限公司 54,716.76 18,325.87 36,390.90 9,819.10 190.99
珠海至微半导体科技有限公司 4,098.38 2,742.15 1,356.23 - -421.77
上述被担保方不存在失信被执行人的情况。
三、担保协议的主要内容
公司将在担保发生时在核定额度内签署担保协议。
四、担保的必要性和合理性
公司为控股子公司提供担保，是为了满足子公司日常生产经营需要，保证其
生产经营活动的顺利开展，符合公司实际经营情况和整体发展战略，具有必要性
和合理性。被担保对象为公司控股子公司，公司对其日常经营活动和资信状况能
够及时掌握，担保风险总体可控，不会对公司及股东特别是中小股东利益造成重
大不利影响。
五、董事会意见
第五届董事会第十七次会议审议通过《关于 2026 年度授信及担保额度预计
的议案》，该事项有利于提高公司整体融资效率，满足公司各业务板块日常经营
资金需求。公司各子公司生产经营稳定，无逾期担保事项，担保风险可控，不存
在损害公司及股东利益的情形。同时，为提高工作效率、及时办理相关业务，提
请股东会授权公司董事会在上述额度范围内授权董事长或其指定代理人代表公
司办理相关融资申请事宜，并签署相应文件。担保额度及股东会授权期限自 2025
年年度股东会审议通过之日起至下一年度股东会审议该事项时止。
六、累计对外担保数量及逾期担保的数量
截至该事项董事会决议日，公司及其控股子公司无对外担保；截至公告披露
日，公司对全资及控股子公司提供的实际担保余额为 298,804.24 万元，占公司最
近一期经审计净资产 85.43%，无逾期担保。
特此公告。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
首页
微信公众号
证券之星APP
