拓荆科技股份有限公司
拓荆科技股份有限公司（以下简称“公司”）为践行以“投资者为本”的上市公
司发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的
认可，于 2025 年 4 月制定了《拓荆科技股份有限公司 2025 年度“提质增效重回
报”专项行动方案》。通过深入落实行动方案，公司在优化经营管理、提升投资
者回报、推动创新发展、加强投资者沟通、完善公司治理等方面取得了积极成效。
为进一步提高公司发展质量，切实关注投资者回报，公司制定了《拓荆科技股份
有限公司 2026 年度“提质增效重回报”行动方案》，在全面总结 2025 年度行动方
案成效的基础上，积极深入挖掘公司 2026 年度“提质增效”优化目标和提升举措，
助力资本市场健康、稳定发展。公司 2025 年度（以下简称“报告期”）行动方
案的执行落实情况和 2026 年度行动方案，具体内容如下：
一、聚焦主业，优化运营，创新引领公司高质量发展
报告期内，公司继续聚焦主业，做深做精主营产品，坚持自主创新，增强公
司产品的市场竞争力，并持续强化公司运营管理，促进公司高质量、稳健、快速
发展，保持公司在国内高端半导体设备行业的领先地位。具体包括以下方面：
（一）持续深耕主业，提高核心竞争力
报告期内，公司持续专注薄膜沉积设备和三维集成设备（包括先进键合设备
和配套量检测设备）的研发与产业化，不断拓展先进存储、先进逻辑等芯片制造
领域的应用覆盖面，合计超过 10 款新产品/新工艺出货或通过客户验证，快速提
升量产规模。
在薄膜沉积设备方面，公司仍持续围绕以 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD
以及 Flowable CVD 为主的薄膜沉积技术深耕拓展和迭代升级，积极覆盖先进制
程领域对先进薄膜工艺的需求，定制化开发不同类型的高产能平台和反应腔，目
前在先进存储、先进逻辑领域应用的量产规模不断扩大。在 PECVD 系列产品方
面，公司基于新型设备平台（PF-300T Plus 和 PF-300M）和新型反应腔（pX 和
-1-
Supra-D）研发的 PECVD Stack（ONO 叠层）、ACHM 以及 PECVD Bianca 等先
进工艺设备已实现产业化放量，Lok-II、OPN、SiB 等先进工艺设备已通过客户
验证，持续获得客户复购订单。在 ALD 系列产品方面，PE-ALD 多款 SiO2、SiN、
SiCO 工艺设备客户端放量，Thermal-ALD 首台 TiN 工艺产品通过客户验证。同
时，公司其他产品系列也在不断扩大量产规模。
在应用于三维集成领域的先进键合设备及配套量检测设备方面，公司致力于
为三维集成领域提供全面的技术解决方案，进一步巩固在三维集成领域的技术优
势，夯实核心竞争力。公司自主研发的晶圆对晶圆混合键合设备获得客户复购订
单并实现量产应用，同时拓展应用至不同客户并通过验证；公司研发的新一代高
速高精度晶圆对晶圆混合键合产品已发货至客户端验证，产能、键合精度等关键
指标大幅提升；首台晶圆对晶圆熔融键合设备通过客户验证。
报告期内，公司通过持续自主创新与高强度研发投入，巩固了薄膜沉积及三
维集成设备的技术领先优势，先进制程领域的核心竞争力显著提升，业务规模实
现大幅增长。公司实现营业收入 651,909.49 万元，同比增长 58.87%。截至 2025
年 12 月 31 日（以下简称“报告期末”），公司累计出货超过 3,400 个反应腔，
进入约 100 条生产线。
升级和下游晶圆厂对设备的先进需求，充分发挥技术优势，积极布局新产品/新
工艺，并开发智能化控制系统，提升设备的高效稳定性，以满足先进逻辑、先进
存储等芯片制造领域的先进技术需求，预计 2026 年将有超过 10 款新产品/新工
艺出货或通过客户验证，进一步拓展薄膜沉积设备和三维集成设备的应用覆盖面
及量产规模。
（二）深化客户合作，加强市场拓展
报告期内，公司继续聚焦中国大陆高端半导体设备市场，积极响应下游先进
存储、先进逻辑等客户对新工艺、新产品的需求，加快产品开发与导入。公司与
客户的合作模式已从单纯的设备供应升级为“协同研发+定制化适配+长期服务”
的深度绑定模式，合作关系呈现稳定性强、覆盖面广、协同深入的特点，构建了
可持续的客户生态体系。
-2-
报告期内，公司凭借优异的产品性能表现，多款核心产品持续获得客户复购
订单，不断扩大量产规模；并积极拓展新客户，已成功导入多家新客户，市场渗
透率进一步提升。公司客户满意度持续稳定在 90%以上，且多次获得了客户颁发
的最佳合作、协作奖项，彰显了公司在行业内的良好口碑与品牌影响力。
机遇，与客户继续保持深入稳定的、战略性的合作，高效提供定制化、高性能的
设备产品，并加大力度推进新产品验证，新签订单持续增长。同时，公司深入了
解行业前沿需求，积极布局三维集成领域的设备产品，致力于为三维集成领域提
供全面的技术解决方案，为公司业务的持续高速增长及进一步巩固市场地位奠定
坚实基础。
（三）推进再融资及募投项目实施，加速扩产和研发布局
公司超募资金投资项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”（以下简称
“上海二厂”）已完成基地的整体建设，并于 2025 年投入使用，大幅提升了公
司产能支撑能力。
称“再融资”），拟募集资金不超过 46 亿元用于建设“高端半导体设备产业化基
地建设项目”、“前沿技术研发中心建设项目”以及补充流动资金。其中，“高端
半导体设备产业化基地建设项目”目前已开始建设，预计于 2028 年完成建设并
投入使用，该项目的实施将大幅提升公司现有高端半导体设备产品的产能；“前
沿技术研发中心建设项目”主要围绕半导体前沿技术需求开展系列薄膜设备产品
开发，目前已经启动研发工作。
截至本报告披露日，公司已收到中国证券监督管理委员会（以下“中国证监
会”）于 2026 年 4 月 20 日批复的《关于同意拓荆科技股份有限公司向特定对象
发行股票注册的批复》（证监许可〔2026〕913 号），2026 年，公司将按计划实
施本次发行工作，并全力推进再融资募投项目的实施。
（四）优化运营管理，助力高质量发展
报告期内，公司不断提升产品生产制造水平，优化物料运营管理，搭建的智
-3-
能化 MES（生产管理系统）能够有效提升生产效率，实现生产追溯性系统管理，
报告期内，公司对 MES 系统进行升级，从机台启动生产便自动开始监控交期，
及时反馈生产进度，实现机台出货时间自动预警及全程监控。
报告期内，公司实现全面质量管理体系（TQM）全流程落地运行，覆盖研
发、供应链、制造及服务全链条，有效保障产品质量目标达成。同时，公司建立
了覆盖制度、响应、安全与满意度的全流程服务体系，以持续提升各类服务风险
的应对能力，为产品全生命周期的客户体验提供坚实保障。
越品质赢得客户信赖，同时强化风险防控，促进合规高效运营，切实履行社会责
任。
（五）强化供应链建设，保障供应链稳定安全
报告期内，公司持续加强供应链建设，持续拓宽、加深与供应商的协同合作，
同时，通过开展质量、技术等系列培训，全面提升供应商质量意识，并深入理解
公司新产品和新技术需求，促进供应商产品质量与产品性能的不断提升，确保供
应部件的交付质量。报告期内，公司开展供应商培训和现场稽核 50 余次。同时，
公司持续推进供应链管理的数字化建设，2025 年通过采用 SRM 系统（供应商关
系管理系统）实现全流程线上协同，显著提升订单响应与交付效率，增强与供应
商的业务协同能力，为构建高效、稳健的供应链体系提供了坚实支撑。
报告期内，公司持续深化与供应商的协同合作，荣获了中国集成电路创新联
盟颁发的第八届“IC 创新奖”产业链合作奖。
性，不断优化供应渠道，以确保供应链交付的高品质与可持续性。
（六）加强人才队伍建设，夯实公司高质量发展根基
报告期内，公司结合战略规划及业务发展需要，持续推进人才梯队建设，引
进行业经验丰富的管理及技术人才，并从国内高校选拔优秀的毕业生，人员规模
不断扩大。截至报告期末，公司员工总数达到 1,696 人。
-4-
报告期内，公司积极组织管理、专业技术、通用力等系列培训，不断提升中
层干部的管理能力和管理水平，强化员工的专业技能和基础能力，累计开展技术
类、管理、通用力等培训超过 310 次。此外，公司持续为员工开放继续教育学习
通道，鼓励并支持员工进行在职教育，2025 年共对 12 名员工提出的在职攻读
MBA（工商管理硕士）、在职研究生和博士研究生学位的申请予以支持。
竞争力的薪酬福利、长效的激励机制及良好的发展平台吸引人才，预计 2026 年
人员总规模将进一步扩大，公司将持续优化多层次的人才发展体系，致力于打造
一支高素质、富有创新精神和协作能力的人才队伍，夯实公司高质量发展根基。
（七）优化管理层与全员绩效考核，保障公司稳定发展
报告期内，公司管理层和全员设定了年度绩效考核指标，指标覆盖公司销售
业绩、盈利目标、新工艺和新产品开发验证、职能支持协作等指标，有效地将管
理层绩效与公司经营业绩挂钩。
此外，根据公司的长效激励机制，公司实施了 2025 年限制性股票激励计划，
向 1055 名激励对象授予公司回购的 126.7894 万股，覆盖人数约为公司 2024 年
末员工总数的 68.86%，并设定了持续增长的公司业绩考核指标及激励对象个人
绩效指标。公司严格按照业绩考核指标完成情况和个人绩效考核结果实施股权激
励计划的归属和行权。截至本报告披露日，公司完成了 2022 年限制性股票激励
计划第二个归属期、股票增值权激励计划第二个行权期、2022 年限制性股票激
励计划第三个归属期、股票增值权激励计划第三个行权期和 2023 年限制性股票
激励计划首次授予第一个归属期的股票归属登记或行权工作。
各期股权激励计划，在满足公司业绩考核指标和个人绩效指标的情况下，使员工
充分享受到与公司共同发展的成果，保障公司稳定发展。
（八）搭建产业投资平台，拓展业务布局
报告期内，公司结合发展战略规划，进一步完善业务发展布局，在新加坡成
立全资孙公司 PIOTECH GLOBAL PTE. LTD.，为公司进一步拓展海外市场奠定
-5-
基础；设立了控股子公司拓荆科技（青岛）有限公司，积极布局半导体前沿技术
领域设备产品；筹划与沈阳市人民政府国有资产监督管理委员会及其他产业合作
方共同发起设立辽宁省集成电路装备及零部件创新中心（筹），围绕半导体产业
发展趋势布局前沿技术。
此外，公司继续积极探索并投资半导体行业领域内的企业，持续拓展多元化
投资布局，一方面，重点挖掘产业链上下游具备协同潜力的优质标的，以强化供
应链；另一方面，深化与公司核心产品的战略联动，拓展产品矩阵。报告期内，
公司围绕原子层刻蚀、三维集成等领域，开展了对上海原子启智半导体设备有限
公司、宁波芯丰精密科技有限公司的股权投资，有助于公司业务的深度拓展。截
至报告期末，公司及子公司已直接/间接累计投资 19 家企业，覆盖多个半导体设
备产业链领域，强化产业链协同效应，提升整体业务竞争力。
继续探索产业链投资机会，积极助力产业链企业创新发展；同时，继续拓展产品
布局，丰富公司产品矩阵与业务边界。
（九）深化产学研融合，促进行业共同发展
报告期内，公司秉持校企协同发展理念，与清华大学、复旦大学、中国人民
大学等超 10 余所高校开展多层次合作，通过多种模式推进博士、硕士联合培养。
公司立足半导体设备制造这一国家战略新兴领域，已累计承担实施 16 项国家重
大专项/课题。同时，凭借在产教融合与技术创新方面的持续深耕，公司及相关
子公司先后入选省级产教融合型企业、辽宁省博士后创新实践基地等。
同时，公司积极提升品牌影响力，参加 SEMICON China、CSEAC（半导体
设备与核心部件及材料展）、IC WORLD 2025 及湾芯展 SEMiBAY 等行业展会
及论坛，携公司薄膜沉积设备及三维集成设备新产品亮相展会，与业内专家及合
作伙伴深度交流科研成果、分享技术经验、共探前沿课题，展现公司产品的产业
价值，获得了广泛关注与赞誉。
通过多元模式拓展合作的广度与深度，为公司高质量发展注入新动能。同时，公
-6-
司将积极参加国内外高知名度行业展会及专业论坛，与业界同仁共同探讨前沿技
术趋势，携手推动产业协同创新迈向新高度。
（十）强化财务管理能力，提高经营质量与效率
报告期内，公司继续发挥财务绩效对公司战略的支撑作用，通过全面预算管
理、成本管控与资源配置，优化资本结构与资金管理，加强应收账款管控，提升
了运营效率。
算管理的智能化，强化业绩目标与预算执行的科学匹配；深入推进成本管控，聚
焦项目全流程环节分析，提升成本动态监测与调控能力；同时，持续优化资金配
置结构，完善风险控制机制，强化战略资源的统筹协同，为公司高质量发展提供
坚实的财务支撑。
二、坚持自主创新，驱动业务发展
（一）保持高强度研发投入，持续技术创新
报告期内，公司不断丰富和完善薄膜沉积设备、三维集成设备的产品矩阵和
覆盖面。通过持续自主创新和高强度研发投入，保持薄膜沉积设备和三维集成设
备的技术领先优势，同时，在先进制程领域的核心竞争力显著提升，业务规模实
现大幅增长。公司研发投入金额达到 85,927.42 万元，同比增长 13.66%。
公司在新产品和新型平台研发、验证，及产业化应用等方面取得的成果，详
见公司 2026 年 4 月 28 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2025
年年度报告》第三节“管理层讨论与分析”之“二、经营情况讨论与分析”，主要新
产品/新工艺拓展情况如下：
产品类别 2025 年度进展
展计划
发，基于该反应腔开发的工艺 造，并进行工艺优化和多重验证；
PECVD 系
设备出货；
列产品 2. 公司基于新型反应腔（pX 和 Supra-D）
（Supra-D、pX 等）完成多款 ACHM 等先进工艺设备已实现了产业化
-7-
新工艺产品的开发/优化，并 放量，并持续获得客户复购订单。
通过客户验证。
成 本（ COO ） 的平 台 VS-300T 开 发 的
PE-ALD 设 备 持 续 获 得 客 户 订 单 ；
证，获得客户批量重复订单；
ALD 系列 PE-ALD 多款 SiO2、SiN、SiCO 工艺设备
产品 2. 持续拓展 ALD 金属及金属 在客户端实现量产。
化合物薄膜工艺开发，完成多
款先进工艺设备出货。
续获得订单、出货，TiN 工艺产品已通过
客户验证。
沟槽填充 1. 公司沟槽填充系列产品获得了客户重
HDPCVD、Flowable CVD 的
系列产品 复订单，不断扩大量产规模。
量产规模，获得重复订单。
合键合设备、晶圆对晶圆熔融
三维集成 验证，新一代高速高精度晶圆对晶圆混合
键合设备及芯片对晶圆混合
领域系列 键合设备、芯片对晶圆混合键合设备验证
键合设备的验证；
产品 进展顺利；
设备出货。
出，预计超过 10 款新产品/新工艺出货或通过客户验证，进一步拓展薄膜沉积设
备和三维集成设备的应用覆盖面及量产规模。
（二）深化知识产权管理，奠定创新基础
公司经过十余年创新发展，形成了一系列具有自主知识产权的核心技术，并
达到国际先进水平。报告期内，公司持续完善知识产权管理体系，面向公司产品
全生命周期各关键节点进行专利挖掘布局，保证技术研发和创新成果及时、高效
地获得知识产权保护。报告期内，公司新增申请专利 498 项（含 PCT）、新增获
得专利 244 项。截至报告期末，公司累计申请专利 2,140 项（含 PCT）、获得授
权专利 707 项。
预计公司 2026 年申请专利数量较 2025 年申请目标增长超 20%以上，为公司
持续自主创新奠定基础。同时，公司将不断加强知识产权制度体系建设、完善知
-8-
识产权保护机制、强化知识产权培训与管理等，不断提升全体员工的知识产权风
险防控意识。
（三）加强研发团队建设，打造核心技术优势
公司持续扩大研发人员规模，截至报告期末，公司研发人员达到 726 人，占
公司员工总数的 42.81%，其中硕士以上研发人员 490 名，占研发人员比例 67.49%，
为提高公司核心竞争力打下坚实基础。公司对获得专利、商标、软著、著作权等
的发明人及团队给予“最佳专利奖”“专利先进个人奖”等创新类激励奖项，结合重
点项目、新产品、新工艺开发的完成情况为研发人员给予多项专项业务类奖项。
此外，公司通过实施 2025 年限制性股票激励计划，继续加大力度，调动员工的
积极性与创造性，促进公司研发技术团队的稳定性，持续完善、构建多维度的激
励体系，充分激发团队活力，强化公司可持续创新能力。
励体系，充分激发团队活力，强化公司可持续创新能力。
三、重视股东回报，共享高质量发展成果
公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值，积极采
取以下措施：
（一）持续现金分红，提升投资者获得感
公司重视对投资者的合理投资回报，在《拓荆科技股份有限公司章程》（以
下简称“《公司章程》”）中规定，公司实行连续、稳定的利润分配政策，公司
的利润分配应重视对投资者的合理投资回报并兼顾公司的可持续发展，公司优先
采取现金分红的利润分配形式。公司已于 2025 年 6 月实施完成 2024 年度现金分
红，合计派发现金红利 7,518.4530 万元（含税）。
施 2025 年度利润分配方案，努力实现公司价值和股东利益最大化。
（二）积极稳定股价，保障股东权益
报告期内，公司基于已建立的稳定股价措施的方案积极维护公司市值，同时，
-9-
公司密切关注媒体报道、资本市场的动态讯息，监测日常舆情情况，未发生重大
舆情及股价异动。公司已制定《拓荆科技股份有限公司市值管理制度》《拓荆科
技股份有限公司舆情管理制度》，及时、妥善处理各类舆情的影响，切实保护投
资者和公司的合法权益。
增强投资者信心，维护市值稳定。公司将积极引入长期耐心资本，优化股本结构。
同时，健全舆情监测与应对机制，如有发生，及时妥善处理各类舆情，切实保障
投资者权益。若股价出现大幅偏离内在价值的异常波动，公司将在严格履行决策
程序、审慎评估财务状况及长远发展需求的前提下，主动采取股份回购等措施，
防止股价长期、显著低估损害投资者利益，切实履行保护投资者权益的责任，努
力为投资者创造可持续的长期回报。
四、提升信息披露质量，加强投资者沟通
报告期内，公司高度重视信息披露及投资者交流工作。信息披露方面，公司
严格按照相关法律法规及监管要求，认真履行公司信息披露义务，强化公司信息
披露的质量和透明度，公司在上海证券交易所 2024-2025 年度信息披露工作评价
中获得“A”级。在投资者关系方面，公司通过“上证路演中心”、“进门财经”平台
举办了 6 次业绩说明会/投资者交流会；公司通过接待投资者现场调研、参加券
商策略会、反路演等多种形式，与投资者交流次数超过 200 次，增进投资者对公
司的了解与信任，树立良好的资本市场形象；公司同步在企业微信公众号上发布
可视化的图表、动态效果的一图读懂年度报告和季度报告，使投资者能清晰、及
时、充分、公平地了解公司重大成果和进展；公司举行“拓启芯程、荆届启航”
原子级制造与三维集成前沿技术交流会暨拓荆科技上海厂区启用庆典，邀请行业
内专家针对三维集成技术、原子层刻蚀等前沿主题展开分享，并邀请投资人进行
实地参观，有效增进了投资者对公司和行业的了解。
部制度的要求，真实、准确、及时和完整的披露公司的定期报告、临时公告，保
证投资者及时获取公司经营等方面的重要信息，并积极主动探索新媒体等多种形
式向投资者展现公司的经营业绩、研发成果等重大信息；在投资者关系管理方面，
- 10 -
公司将继续加强投资者关系管理工作，拟组织不少于 6 次业绩说明会/投资者交
流会，邀请投资者走进上市公司，到公司实地参观和考察，帮助投资者了解公司
的战略发展规划和生产经营情况，倾听投资者的意见和建议。
五、坚持规范运作，强化公司治理
公司不断健全优化治理结构和内部控制体系，提高公司运营的规范性和决策
的科学性，全面保障股东权益。
（一）完善治理制度，加强风险防范
报告期内，为贯彻落地新《中华人民共和国公司法》等法律法规及相关规则，
公司持续优化公司治理结构，取消监事会，原监事会部分职责由董事会审计委员
会行使。公司结合最新规定和自身实际情况，对《公司章程》《拓荆科技股份有
限公司独立董事制度》等 26 项治理制度进行了修订，并制定了《拓荆科技股份
有限公司董事离职管理制度》《拓荆科技股份有限公司市值管理制度》，进一步
完善了法人治理和内部控制体系。
公司内部治理制度，确保公司治理制度能够及时适应新形势下的监管要求，促进
公司治理更加规范、严谨、有效，确保公司在合法合规的前提下稳健运营。公司
切实落实《上市公司治理准则》对董事和高级管理人员的激励约束机制，公司修
订了《拓荆科技股份有限公司薪酬管理制度》（尚需股东会审议通过）。
（二）强化“关键少数”责任，提升履职能力
报告期内，公司董事、高级管理人员勤勉尽责，均亲自出席公司股东会、董
事会及专门委员会，并深入学习最新法律法规及政策精神，积极参加了由监管机
构组织的“2025 年董监高合规履职培训”“董事会秘书后续培训”“ESG 与价值创
造资本市场专题培训”“上市公司网络舆情和履职风险管理”等专项培训，增强
了合规意识和履职能力。同时，公司持续强化信息披露、合规交易及内幕信息管
理等方面的传导与宣贯，不断提升相关人员的责任意识与自律意识。
进一步提升其履职能力与合规意识。此外，公司还将加强与董事及高级管理人员
- 11 -
的互动沟通，及时收集、分析并传递监管法规、典型案例及行业动态等重要资讯，
持续深化治理意识和责任意识，激发公司提质增效的内生动力。
（三）构建 ESG 体系，促进可持续发展
报告期内，公司在 ESG（环境、社会及公司治理）领域持续深耕，凭借在
可持续发展方面的优异表现，被多项重要主题指数纳入覆盖范围。评级方面，截
至 本 报 告 披 露 日 ， MSCI （ 摩 根 士 丹 利 资 本 国 际 ， Morgan Stanley Capital
International） ESG 评级达到“A”级，Wind ESG 评级达到“AA”级，充分体现了
公司在可持续发展领域的投资价值和市场关注度。公司已披露的第四份 ESG 报
告（《2025 年度环境、社会和公司治理（ESG）报告》，详见上海证券交易所
网站（www.sse.com.cn），该报告遵循相关监管要求及国际披露标准，构建了基
于“实质性”与“利益相关方”双重视角的评估体系，通过问卷调研、访谈及专家评
估相结合的方式，广泛征询利益相关方意见，确保了报告的专业性与公信力。
运营与决策流程，紧密对标监管指引要求及优秀实践案例，从“决策层、执行层、
支持层”共同发力，驱动公司实现可持续发展。同时，公司将适时发布《2025 年
度环境、社会和公司治理（ESG）报告》英文版，以更高的透明度和国际化水平
回应国内外投资者对 ESG 管理与实践的关注，进一步增强市场信心。
六、持续评估完善行动方案，助力公司提质增效
公司将定期评估、实施“提质增效重回报”的具体举措，努力通过深耕主业、
高效运营、自主创新、规范治理等有效途径提高公司发展质量，积极回报投资者，
切实履行上市公司的责任和义务，维护公司的良好市场形象，助力公司在资本市
场实现可持续发展。
拓荆科技股份有限公司董事会
- 12 -
首页
微信公众号
证券之星APP
