中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第一季度报告
证券代码：688012 证券简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示
公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误
导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息
的真实、准确、完整。
第一季度财务报表是否经审计
□是 √否
? 公司 2026 年第一季度（1-3 月）营业收入为 29.15 亿元，同比增长 34.13%。
? 2026 年第一季度（1-3 月）归属于上市公司股东的净利润为 9.30 亿元，较去年同期增长
? 2026 年第一季度公司研发支出 9.08 亿元，较去年同期增长约 32.15%，研发支出占公司营业
收入比例约为 31.14%。
一、主要财务数据
(一)主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第一季度报告
本报告期比
上年同期增
项目 本报告期 上年同期
减变动幅度
(%)
营业收入 2,914,986,518.73 2,173,278,385.62 34.13%
利润总额 976,844,420.45 294,315,412.33 231.90%
归属于上市公司股东的净利润 930,487,319.17 313,082,457.72 197.20%
归属于上市公司股东的扣除非
经常性损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额 -158,726,143.08 376,808,177.47 -142.12%
基本每股收益（元/股） 1.48 0.50 196.00%
稀释每股收益（元/股） 1.47 0.50 194.00%
增加 2.43 个
加权平均净资产收益率（%） 4.00 1.57
百分点
研发投入合计 907,604,326.73 686,819,262.82 32.15%
研发投入占营业收入的比例 减少 0.46 个
（%） 百分点
本报告期末
比上年度末
本报告期末 上年度末
增减变动幅
度(%)
总资产 31,270,377,655.77 29,846,018,981.43 4.77%
归属于上市公司股东的所有者
权益
公司累计已有超过 8300 个反应台在国内外 180 余条客户芯片及 LED 生产线全面量产。公司
在过去 14 年保持了营业收入年均增长大于 35%、在 2025 年比 2024 增长 36.62%的基础上，2026
年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长 34.13%，达到 29.15 亿元。归母净利润较去年
同期增长 197.20%，达到 9.30 亿元。2026 年第一季度公司研发支出 9.08 亿元，较去年同期增长约
平，推进六大类、超 20 款新设备的研发。
公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。在先进
存储器件制造工艺中，公司完全自主开发的针对超高深宽比刻蚀工艺的刻蚀机已有 300 多台反应
器实现了稳定可靠的大规模量产。CCP 方面，用于关键刻蚀工艺的介质刻蚀产品持续保持高速增
长，下一代 90:1 超高深宽比低温刻蚀设备已运付客户端进行验证，公司已全面覆盖存储器刻蚀应
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用中各类超高深宽比需求；ICP 方面，适用于新一代逻辑和存储芯片制造用的第二代 ICP 刻蚀设
备 Primo AngnovaTM 在 3D DRAM 的应用中，取得了 140:1 的高深宽刻蚀结果和形貌控制能力，并
付运到国内领先存储客户端认证。全新的化学气相刻蚀设备 Primo DomingoTM 实现大于 700:1 的
业界领先 SiGe/Si 的高选择比，在 GAA 和 3D DRAM 关键工艺的实验室验证中，展现优异的刻蚀
性能，全面满足客户的各项工艺指标要求。
公司以行业领先的研发速度，在短时间内成功开发出十多种薄膜设备,包括 LPCVD、ALD、
EPI、PVD CuBS 和 PECVD 等产品在先进存储和先进逻辑市场新增付运量保持快速增长，2025 年
薄膜设备营收同比大幅增长约 224.23%，成为公司业绩增长的重要新引擎。公司为先进逻辑和先
进存储器件金属栅应用开发的 ALD 系列产品，设备性能达到国际领先水平的同时，表现出更优异
的生产效率。同时，可用于先进半导体器件制造的核心金属薄膜沉积产品正在开发，项目顺利推
进中。公司所开发的多款核心介质沉积设备都在有序推进，与客户的各项验证工作也有良好的进
展。公司的减压 EPI 设备已在成熟制程客户端验证成功，也已付运先进制程客户端，部分先进工
艺已进入量产验证阶段；常压外延设备现已完成开发，进入晶圆验证阶段。
公司持续保持国际氮化镓基 MOCVD 设备市场领先地位，积极布局用于 SiC 和 GaN 基功率
器件应用的市场，并在 Micro-LED 和其他显示领域的专用 MOCVD 设备开发上取得了良好进展。
四款 MOCVD 新产品包括用于 SiC 和 GaN 功率器件的 MOCVD，用于 Micro LED 的 GaN MOCVD
和用于红黄光 LED 的 GaAs MOCVD 设备已进入客户端验证阶段，并且部分得到批量订货。
公司本期营业收入为 29.15 亿元，同比增长约 34.13%。
本期归属于上市公司股东的净利润为 9.30 亿元，较上年同期增长约 6.17 亿元，同比增长约
本期公司研发支出较上年同期增长 2.21 亿元（增长 32.15%），研发支出占公司营业收入比例约为
税后净收益约 3.97 亿元。
较上年同期增加 1.79 亿元（增长 60.09%），主要由于营业收入增长下毛利增加 2.60 亿元，销售
费用增加 0.28 亿以及研发费用较上年同期增加 0.34 亿元。
(二)非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
单位:元 币种:人民币
非经常性损益项目 本期金额 说明
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非流动性资产处置损益，包括已计提资产减 主要系公司本期出售了
值准备的冲销部分 466,622,241.93 部分持有的拓荆科技股
份有限公司股票
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经
营业务密切相关、符合国家政策规定、按照
确定的标准享有、对公司损益产生持续影响
的政府补助除外
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值
业务外，非金融企业持有金融资产和金融负
债产生的公允价值变动损益以及处置金融资
产和金融负债产生的损益
计入当期损益的对非金融企业收取的资金占
用费
委托他人投资或管理资产的损益 4,467,165.90
对外委托贷款取得的损益
因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的
各项资产损失
单独进行减值测试的应收款项减值准备转回
企业取得子公司、联营企业及合营企业的投
资成本小于取得投资时应享有被投资单位可
辨认净资产公允价值产生的收益
同一控制下企业合并产生的子公司期初至合
并日的当期净损益
非货币性资产交换损益
债务重组损益
企业因相关经营活动不再持续而发生的一次
性费用，如安置职工的支出等
因税收、会计等法律、法规的调整对当期损
益产生的一次性影响
因取消、修改股权激励计划一次性确认的股
份支付费用
对于现金结算的股份支付，在可行权日之
后，应付职工薪酬的公允价值变动产生的损
益
采用公允价值模式进行后续计量的投资性房
地产公允价值变动产生的损益
交易价格显失公允的交易产生的收益
与公司正常经营业务无关的或有事项产生的
损益
受托经营取得的托管费收入
除上述各项之外的其他营业外收入和支出 494,709.62
其他符合非经常性损益定义的损益项目
减：所得税影响额 -79,420,345.32
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少数股东权益影响额（税后） -323.01
合计 452,928,573.00
对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号——非经常性损益》未列举的项目认
定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第 1 号
——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。
□适用 √不适用
(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因
√适用 □不适用
变动比例
项目名称 主要原因
（%）
公司本期营业收入为 29.15 亿元，同比增长约 34.13%。
公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高
端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻
蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。
营业收入 34.13
公司为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD, ALD
等多款导体和介质薄膜设备已经顺利进入市场，薄膜设
备的覆盖率不断增加，新增付运量保持快速增长，并在
客户端持续应用在迭代产品上。
公司本期利润总额为 9.77 亿元，同比增长约 231.90%；
利润总额 231.90 归属于上市公司股东的净利润为 9.30 亿元，同比增长
约 197.20%。主要系：（1）营业收入在增长 34.13%的
同时，毛利较上年增长约 2.60 亿元；（2）公司本期出
归属于上市公司股东的
净利润
净收益约 3.97 亿元。
经营活动产生的现金流 公司业务持续增长下，本期购买商品、接受劳务支付的
-142.12
量净额 现金以及支付给职工以及为职工支付的现金增加。
本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润
归属于上市公司股东的 约 4.78 亿元，较上年同期增加 1.79 亿元，同比增长约
扣除非经常性损益的净 60.09 60.09%，主要由于营业收入增长下毛利增加 2.60 亿
利润 元，销售费用增加 0.28 亿以及研发费用较上年同期增
加 0.34 亿元。
基本每股收益（元/股） 196.00 主要由于本报告期归属于上市公司股东的净利润的增长
稀释每股收益（元/股） 194.00 导致基本每股收益上升。
本期公司研发投入约 9.08 亿元，较上年同期增长 2.21
研发投入合计 32.15
亿元，同比增长约 32.15%。
二、股东信息
(一) 普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表
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单位：股
报告期末表决权恢复的优先股股东
报告期末普通股股东总数 51,122 /
总数（如有）
前 10 名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）
包含转 质押、标记或冻
持有有 融通借 结情况
股东 持股比 限售条 出股份
股东名称 持股数量
性质 例(%) 件股份 的限售 股份状
数量 股份数 数量
态
量
国有
上海创业投资有限公司 87,222,080 13.93 0 0 无 0
法人
香港中央结算有限公司 其他 65,906,243 10.53 0 0 无 0
巽鑫（上海）投资有限 国有
公司 法人
华芯投资管理有限责任
公司－国家集成电路产 国有
业投资基金二期股份有 法人
限公司
招商银行股份有限公司
－华夏上证科创板 50
其他 13,563,992 2.17 0 0 无 0
成份交易型开放式指数
证券投资基金
广发证券股份有限公司
－国泰中证半导体材料
其他 9,365,114 1.5 0 0 无 0
设备主题交易型开放式
指数证券投资基金
中信证券股份有限公司
－嘉实上证科创板芯片
其他 9,194,090 1.47 0 0 无 0
交易型开放式指数证券
投资基金
中国工商银行股份有限
公司－易方达上证科创
其他 7,485,788 1.2 0 0 无 0
板 50 成份交易型开放
式指数证券投资基金
中国建设银行股份有限
公司－华夏国证半导体
其他 5,490,659 0.88 0 0 无 0
芯片交易型开放式指数
证券投资基金
招商银行股份有限公司
－银河创新成长混合型 其他 4,013,372 0.64 0 0 无 0
证券投资基金
前 10 名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）
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股份种类及数量
股东名称 持有无限售条件流通股的数量
股份种类 数量
人民币普
上海创业投资有限公司 87,222,080 87,222,080
通股
人民币普
香港中央结算有限公司 65,906,243 65,906,243
通股
人民币普
巽鑫（上海）投资有限公司 64,002,286 64,002,286
通股
华芯投资管理有限责任公司－ 人民币普
国家集成电路产业投资基金二 21,823,825 通股 21,823,825
期股份有限公司
招商银行股份有限公司－华夏 人民币普
上证科创板 50 成份交易型开放 13,563,992 通股 13,563,992
式指数证券投资基金
广发证券股份有限公司－国泰 人民币普
中证半导体材料设备主题交易 9,365,114 通股 9,365,114
型开放式指数证券投资基金
中信证券股份有限公司－嘉实 人民币普
上证科创板芯片交易型开放式 9,194,090 通股 9,194,090
指数证券投资基金
中国工商银行股份有限公司－ 人民币普
易方达上证科创板 50 成份交易 7,485,788 通股 7,485,788
型开放式指数证券投资基金
中国建设银行股份有限公司－ 人民币普
华夏国证半导体芯片交易型开 5,490,659 通股 5,490,659
放式指数证券投资基金
招商银行股份有限公司－银河 人民币普
创新成长混合型证券投资基金 通股
巽鑫（上海）投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司－
上述股东关联关系或一致行动 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关
的说明 系。除此之外，未知上述其他股东是否存在关联关系或一致
行动关系。
前 10 名股东及前 10 名无限售
股东参与融资融券及转融通业 /
务情况说明（如有）
持股 5%以上股东、前 10 名股东及前 10 名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况
□适用 √不适用
前 10 名股东及前 10 名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化
□适用 √不适用
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三、其他提醒事项
需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息
□适用 √不适用
四、季度财务报表
(一)审计意见类型
□适用 √不适用
(二)财务报表
合并资产负债表
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计
项目 2026 年 3 月 31 日 2025 年 12 月 31 日
流动资产：
货币资金 7,900,825,590.58 7,951,400,258.31
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产 630,952,397.26 791,755,164.40
衍生金融资产
应收票据 64,595,468.96 60,486,128.55
应收账款 2,565,956,704.81 1,986,842,828.78
应收款项融资
预付款项 104,728,573.50 59,653,611.83
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款 91,070,888.60 89,771,972.40
其中：应收利息
应收股利
买入返售金融资产
存货 7,258,850,178.53 7,169,972,235.39
其中：数据资源
合同资产 9,822,247.60 15,616,848.62
持有待售资产 -
一年内到期的非流动资产
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其他流动资产 874,316,433.18 808,501,134.32
流动资产合计 19,501,118,483.02 18,934,000,182.60
非流动资产：
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款 11,775,405.63 12,242,089.36
长期股权投资 1,687,100,834.34 1,444,770,418.51
其他权益工具投资
其他非流动金融资产 2,296,278,493.25 2,171,888,747.71
投资性房地产 5,276,575.15 5,379,948.51
固定资产 2,790,998,988.12 2,829,204,536.58
在建工程 1,008,196,725.07 862,874,481.39
生产性生物资产
油气资产
使用权资产 8,399,561.40 9,767,218.68
无形资产 1,226,750,901.23 1,285,841,936.37
其中：数据资源
开发支出 1,902,464,355.15 1,535,060,685.12
其中：数据资源
商誉
长期待摊费用 3,723,786.86 4,229,585.88
递延所得税资产 415,018,533.25 334,948,560.57
其他非流动资产 413,275,013.30 415,810,590.15
非流动资产合计 11,769,259,172.75 10,912,018,798.83
资产总计 31,270,377,655.77 29,846,018,981.43
流动负债：
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款 2,076,755,528.27 1,856,267,553.12
预收款项
合同负债 2,852,936,676.69 3,043,841,852.78
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放
代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬 235,765,391.00 453,359,894.63
应交税费 149,641,699.26 102,022,623.49
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其他应付款 480,579,691.81 527,155,746.28
其中：应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债 18,023,341.07 19,116,635.86
其他流动负债 221,547,992.52 200,212,588.33
流动负债合计 6,035,250,320.62 6,201,976,894.49
非流动负债：
保险合同准备金
长期借款 730,400,000.00 730,400,000.00
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债 3,829,322.99 4,868,935.49
长期应付款
长期应付职工薪酬
预计负债 8,737,158.83 8,607,982.57
递延收益 154,409,789.81 169,570,623.11
递延所得税负债 105,650.68 105,650.68
其他非流动负债 1,666,832.60 1,648,385.00
非流动负债合计 899,148,754.91 915,201,576.85
负债合计 6,934,399,075.53 7,117,178,471.34
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本） 626,917,810.00 626,145,307.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积 15,508,529,906.62 15,042,347,134.89
减：库存股 -215,940,213.47
其他综合收益 8,488,794.32 7,195,805.39
专项储备
盈余公积 313,072,653.50 313,072,653.50
一般风险准备
未分配利润 7,852,283,429.15 6,921,796,109.85
归属于母公司所有者权益（或
股东权益）合计
少数股东权益 26,685,986.65 34,223,712.93
所有者权益（或股东权益）
合计
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负债和所有者权益（或股
东权益）总计
公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文
合并利润表
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计
项目 2026 年第一季度 2025 年第一季度
一、营业总收入 2,914,986,518.73 2,173,278,385.62
其中：营业收入 2,914,986,518.73 2,173,278,385.62
利息收入
已赚保费
手续费及佣金收入
二、营业总成本 2,534,917,897.95 1,918,444,937.17
其中：营业成本 1,752,123,631.66 1,270,562,411.05
利息支出
手续费及佣金支出
退保金
赔付支出净额
提取保险责任准备金净额
保单红利支出
分保费用
税金及附加 15,441,654.94 21,335,712.58
销售费用 132,372,145.95 94,306,601.00
管理费用 100,375,675.42 88,175,591.86
研发费用 524,479,913.98 464,353,795.33
财务费用 10,124,876.00 -20,289,174.65
其中：利息费用 4,425,647.89 4,896,202.39
利息收入 21,353,877.72 31,539,023.07
加：其他收益 63,863,128.83 49,461,752.56
投资收益（损失以“-”号填列） 499,544,578.06 -12,012,219.16
其中：对联营企业和合营企业的
投资收益
以摊余成本计量的金融资产
终止确认收益
汇兑收益（损失以“-”号填列）
净敞口套期收益（损失以“-”号
填列）
公允价值变动收益（损失以“-”
号填列）
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信用减值损失（损失以“-”号填
-16,391,260.14 856,511.39
列）
资产减值损失（损失以“-”号填
-5,110,207.56 -2,188,238.32
列）
资产处置收益（损失以“-”号填
列）
三、营业利润（亏损以“-”号填列） 976,347,899.01 294,467,825.63
加：营业外收入 442,098.49 2,159,691.61
减：营业外支出 -54,422.95 2,312,104.91
四、利润总额（亏损总额以“-”号填
列）
减：所得税费用 58,404,516.33 -13,930,555.77
五、净利润（净亏损以“-”号填列） 918,439,904.12 308,245,968.10
（一）按经营持续性分类
号填列）
号填列）
（二）按所有权归属分类
亏损以“-”号填列）
-12,047,415.05 -4,836,489.62
填列）
六、其他综合收益的税后净额 5,844,702.15 10,010,526.31
（一）归属母公司所有者的其他综合
收益的税后净额
益
（1）重新计量设定受益计划变动额
（2）权益法下不能转损益的其他综合
收益
（3）其他权益工具投资公允价值变动
（4）企业自身信用风险公允价值变动
（1）权益法下可转损益的其他综合收
益
（2）其他债权投资公允价值变动
（3）金融资产重分类计入其他综合收
益的金额
（4）其他债权投资信用减值准备
（5）现金流量套期储备
（6）外币财务报表折算差额 4,684,084.35 10,010,526.31
（7）其他
中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第一季度报告
（二）归属于少数股东的其他综合收
益的税后净额
七、综合收益总额 924,284,606.27 316,757,327.16
（一）归属于母公司所有者的综合收
益总额
（二）归属于少数股东的综合收益总
-12,047,415.05 -4,836,489.62
额
八、每股收益：
（一）基本每股收益(元/股) 1.48 0.50
（二）稀释每股收益(元/股) 1.47 0.50
本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现
的净利润为：0 元。
公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文
合并现金流量表
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计
项目 2026年第一季度 2025年第一季度
一、经营活动产生的现金流量：
销售商品、提供劳务收到的现金 2,526,789,469.40 2,775,952,872.43
客户存款和同业存放款项净增加
额
向中央银行借款净增加额
向其他金融机构拆入资金净增加
额
收到原保险合同保费取得的现金
收到再保业务现金净额
保户储金及投资款净增加额
收取利息、手续费及佣金的现金
拆入资金净增加额
回购业务资金净增加额
代理买卖证券收到的现金净额
收到的税费返还
收到其他与经营活动有关的现金 178,837,401.93 149,212,656.35
经营活动现金流入小计 2,705,626,871.33 2,925,165,528.78
购买商品、接受劳务支付的现金 1,988,274,973.93 1,698,119,114.14
客户贷款及垫款净增加额
存放中央银行和同业款项净增加
额
支付原保险合同赔付款项的现金
拆出资金净增加额
中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第一季度报告
支付利息、手续费及佣金的现金
支付保单红利的现金
支付给职工及为职工支付的现金 635,811,401.34 563,717,826.76
支付的各项税费 169,087,595.74 258,714,301.73
支付其他与经营活动有关的现金 71,179,043.40 27,806,108.68
经营活动现金流出小计 2,864,353,014.41 2,548,357,351.31
经营活动产生的现金流量净
-158,726,143.08 376,808,177.47
额
二、投资活动产生的现金流量：
收回投资收到的现金 2,324,278,387.28 1,688,684,000.00
取得投资收益收到的现金 483,388,864.20 10,177,184.27
处置固定资产、无形资产和其他
长期资产收回的现金净额
处置子公司及其他营业单位收到
的现金净额
收到其他与投资活动有关的现金 14,832,000.00
投资活动现金流入小计 2,822,541,939.64 1,698,861,184.27
购建固定资产、无形资产和其他
长期资产支付的现金
投资支付的现金 2,543,468,021.35 1,325,000,000.00
与满足资本化条件开发支出直接
相关项目所支付的现金
质押贷款净增加额
取得子公司及其他营业单位支付
的现金净额
支付其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流出小计 3,076,235,443.86 1,779,693,358.10
投资活动产生的现金流量净
-253,693,504.22 -80,832,173.83
额
三、筹资活动产生的现金流量：
吸收投资收到的现金 491,219,357.25
其中：子公司吸收少数股东投资
收到的现金
取得借款收到的现金
收到其他与筹资活动有关的现金
筹资活动现金流入小计 491,219,357.25
偿还债务支付的现金
分配股利、利润或偿付利息支付
的现金
其中：子公司支付给少数股东的
股利、利润
支付其他与筹资活动有关的现金 11,322,093.62 10,534,387.90
筹资活动现金流出小计 15,762,611.03 15,304,860.12
中微半导体设备（上海）股份有限公司2026 年第一季度报告
筹资活动产生的现金流量净
额
四、汇率变动对现金及现金等价物
-24,988,026.21
的影响
五、现金及现金等价物净增加额 38,049,072.71 280,671,143.52
加：期初现金及现金等价物余额 5,996,900,464.05 5,655,372,752.40
六、期末现金及现金等价物余额 6,034,949,536.76 5,936,043,895.92
公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文
□适用 √不适用
特此公告
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
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