招商证券股份有限公司
关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）
股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上
市的保荐机构，根据《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股
票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公
司规范运作》等有关规定，对矽电股份 2025 年度募集资金存放与使用情况进行
了专项核查，并出具本核查意见，具体情况如下：
一、公司募集资金的基本情况
（一）实际募集资金金额和资金到账时间
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公
司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138 号）同意注册，并经
深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票 10,431,819
股，每股面值 1.00 元，发行价格为人民币 52.28 元/股。本次募集资金总额为人
民币 54,537.55 万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币 46,352.87
万元。
上述募集资金已于 2025 年 3 月 17 日划至公司募集资金专项账户，容诚会计
师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日
出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015 号）。
（二）募集资金使用和节余情况
项目 金额（万元）
募集资金总额 54,537.55
减：发行费用 8,184.68
募集资金净额 46,352.87
加：尚未置换的发行费用 1,742.49
加：尚未支付的发行费用 2,062.19
募集资金专户初始到账金额 50,157.55
减：本期项目投入 5,780.92
减：置换预先投入募投项目的自筹资金 5,436.99
减：置换预先支付发行费用的自筹资金 1,742.49
减：支付的发行费用 2,062.19
减：现金管理余额 31,600.00
加：利息收入 322.04
截至 2025 年 12 月 31 日募集资金专户余额 3,857.00
注：以上数据如有尾差，为四舍五入所致，下同。
二、募集资金存放和管理情况
（一）募集资金管理情况
为了规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者权
益，公司根据《公司法》
《证券法》
《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券
交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作》等法律、法
规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，制定了《募集资金使用管理制度》，
对募集资金的存放和使用进行专户管理。
公司及保荐机构分别与招商银行深圳分行、浦发银行深圳分行、农业银行深
圳龙岗支行、中国民生银行深圳分行签署了《募集资金三方监管协议》（因部分
支行无签署权限，故由其上级分行或支行与公司及保荐机构签订《募集资金三方
监管协议》），明确了各方的权利和义务。
《募集资金三方监管协议》与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大
差异，三方监管协议得到了切实履行。
（二）募集资金专户存储情况
截至 2025 年 12 月 31 日，本公司有 5 个募集资金专户，募集资金存放情况
如下：
开户行名称 账户 专户余额（万元）
招商银行深圳龙岗支行 755904853510001 0.01
招商银行深圳龙岗支行 755904853510888 1,251.35
浦发银行深圳龙岗支行 79070078801900002913 1,423.42
农业银行深圳爱联支行 41024000040069173 626.96
中国民生银行深圳龙城支行 650166602 555.25
合计 3,857.00
三、2025 年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目资金使用情况
公司 2025 年年度募集资金使用情况详见附表 1《2025 年年度募集资金使用
情况对照表》。
（二）募投项目的实施地点、实施方式变更情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在募投项目实施地点、实施方式变更的
情况。
（三）募投项目先期投入及置换情况
公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第
十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发
行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已
支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币 7,179.48 万元，其中，置换以
自筹资金预先投入募投项目金额 5,436.99 万元，置换以自筹资金预先支付部分发
行费用（不含增值税）金额 1,742.49 万元。保荐机构对此出具了专项核查意见，
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于矽电半导体设备（深圳）股份
有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》
（容诚专字[2025]100Z1189 号）
。
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第
十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资
金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关
审批后，先以自有资金方式支付募投项目的相关款项，后续以募集资金等额置换，
定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金
视同募投项目使用资金。报告期内，公司以募集资金等额置换使用自有资金支付
募投项目所需资金金额合计 857.01 万元。
（四）用暂时闲置募集资金临时补充流动资金情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在使用暂时闲置募集资金临时补充流动
资金的情况。
（五）用暂时闲置募集资金进行现金管理情况
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第
十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，
同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过
人民币 3 亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议
通过之日起 12 个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。
公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第
十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额度的议案》，同意
公司在原已批准不超过人民币 3 亿元（含本数）额度的基础上增加 1 亿元（含本
数）的募集资金用于现金管理，即合计使用不超过人民币 4 亿元（含本数）的闲
置募集资金进行现金管理，使用期限自 2024 年年度股东大会审议通过之日起 12
个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司使用部分暂时闲置募集进行现金管理的情况
如下：。
产品名 购买金额 期末余额 预期年化 是否如
签约方 产品起息日 产品到期日
称 （万元） （万元） 收益率 期归还
浦发银行深圳 结构性 2025 年 6 月 2025 年 6 月
龙岗支行 存款 3日 30 日
招商银行深圳 结构化 2025 年 5 月 2025 年 8 月 0
龙岗支行 存款 8日 8日
浦发银行深圳 大额存 2025 年 5 月 2025 年 12 0
龙岗支行 单 15 日 月 23 日
中国民生银行 结构性 2025 年 5 月 2025 年 8 月 0
深圳龙城支行 存款 30 日 29 日
浦发银行深圳 结构性 2025 年 7 月 2025 年 10 0
龙岗支行 存款 7日 月9日
农业银行深圳 定期存 2025 年 6 月 2025 年 9 月 0
爱联支行 款 13 日 13 日
农业银行深圳 定期存 2025 年 6 月 2025 年 12 0
爱联支行 款 13 日 月 13 日
招商银行深圳 结构化 2025 年 8 月 2025 年 11 7,600.00 0 1.80% 是
产品名 购买金额 期末余额 预期年化 是否如
签约方 产品起息日 产品到期日
称 （万元） （万元） 收益率 期归还
龙岗支行 存款 14 日 月 14 日
招商银行深圳 结构化 2025 年 8 月 2025 年 11 0
龙岗支行 存款 21 日 月 21 日
中国民生银行 结构性 2025 年 9 月 2025 年 12 0
深圳龙城支行 存款 4日 月4日
农业银行深圳 定期存 2025 年 9 月 2026 年 3 月
爱联支行 款 18 日 18 日
浦发银行深圳 结构性 2025 年 10 2026 年 4 月
龙岗支行 存款 月 20 日 20 日
招商银行深圳 结构化 2025 年 11 2026 年 2 月
龙岗支行 存款 月 18 日 27 日
中国民生银行 结构性 2025 年 12 2026 年 3 月
深圳龙城支行 存款 月 12 日 12 日
农业银行深圳 定期存 2025 年 12 2026 年 6 月
爱联支行 款 月 16 日 16 日
合计 86,600.00 31,600.00 / /
（六）节余募集资金使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在节余募集资金。
（七）超募资金使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在超募资金。
（八）尚未使用的募集资金用途及去向
截至 2025 年 12 月 31 日，尚未使用的募集资金合计为 35,457.00 万元，其中
闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为 31,600.00 万元，存放在募集资金专
户余额为 3,857.00 万元。
（九）募集资金使用的其他情况
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第
十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集
资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科
技”）为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体。
除上述情形外，公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募投项目的资金使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在变更募投项目的情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司严格按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并
及时、准确、完整地披露了公司募集资金存放及实际使用情况，不存在募集资金
使用及管理违规的情形。
六、会计师事务所对募集资金年度存放和使用情况专项报告的鉴证意见
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司 2025 年度募集资金存放与使用
情况进行了鉴证并出具了《募集资金年度存放、管理与使用情况鉴证报告》（容
“我们认为，后附的矽电股份公司 2025
诚专字[2026]100Z1468），其鉴证结论为：
年度《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》在所有重大方面按
照上述《上市公司募集资金监管规则》及交易所的相关规定编制，公允反映了矽
电股份公司 2025 年度募集资金实际存放、管理与使用情况。”
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
公司 2025 年度已按照《上市公司募集资金监管规则》
《深圳证券交易所创业
板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上
市公司规范运作》等相关法律法规的规定要求管理和使用募集资金，公司编制的
《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 2025 年度募集资金存放与使用情况的
专项报告》中关于公司 2025 年度募集资金管理与使用情况的披露与实际情况相
符。
（本页无正文，为《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有
限公司 2025 年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签章页）
保荐代表人：
胡洋洋 包晓磊
招商证券股份有限公司
附表 1：2025 年年度募集资金使用情况对照表
单位：万元
本年度投入募集
募集资金总额 54,537.55 11,217.91
资金总额
报告期内改变用途的募集资金总额 -
已累计投入募集
累计改变用途的募集资金总额 - 11,217.91
资金总额
累计改变用途的募集资金总额比例 -
是否已改 募集资金 截至期末 截至期末投资进 项目达到预
承诺投资项目和超募 募集资金 本年度投 本年度实现的 是否达到 项目可行性是否发生
变项目（含 承诺投资 累计投入 度（%）(3)＝ 定可使用状
资金投向 净额（1） 入金额 效益 预计效益 重大变化
部分改变） 总额 金额(2) (2)/(1) 态日期
承诺投资项目
探针台研发及产业基 2028 年 03
否 26,127.08 21,700.00 5,157.45 5,157.45 23.77 不适用 不适用 否
地建设项目 月 23 日
分选机技术研发项目 否 8,005.71 6,600.00 730.71 730.71 11.07 不适用 不适用 否
月 23 日
营销服务网络升级建 2028 年 03
否 5,454.72 4,500.00 478.37 478.37 10.63 不适用 不适用 否
设项目 月 23 日
补充流动资金 否 16,000.00 13,552.87 4,851.38 4,851.38 35.80 —— —— —— ——
承诺投资项目小计 —— 55,587.51 46,352.87 11,217.91 11,217.91 24.20 —— —— —— ——
超募资金投向 不适用
超募资金投向小计 - - - - - - —— —— —— ——
合计 —— 55,587.51 46,352.87 11,217.91 11,217.91 24.20 —— —— —— ——
未达到计划进度或预
计 收 益 的 情 况 和 原 因 不适用
（分具体项目）
项目可行性发生重大
不适用
变化的情况说明
超募资金的金额、用途
不适用
及使用进展情况
募集资金投资项目实
不适用
施地点变更情况
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实
募集资金投资项目实
施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的
施方式调整情况
实施主体。
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部
分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项
目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目
募 集 资 金 投 资 项 目 先 使用资金。
期投入及置换情况 公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募
投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金
额为人民币 7,179.48 万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额 5,436.99 万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增
值税）金额 1,742.49 万元。
用闲置募集资金暂时
不适用
补充流动资金情况
用 闲 置 募 集 资 金 进 行 公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现
现金管理情况 金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币 3 亿元（含本数）的闲置募集资
金进行现金管理。
公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额
度的议案》，同意公司在原已批准不超过人民币 3 亿元（含本数）额度的基础上增加 1 亿元（含本数）的募集资金用于现金管理，即合计
使用不超过人民币 4 亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司闲置资金经批准用于现金管理的余额为 31,600.00 万元，具体参见“三、2025 年度募集资金的实际使用情
况”之“（五）用暂时闲置募集资金进行现金管理情况”
项目实施出现募集资
不适用
金节余的金额及原因
尚 未 使 用 的 募 集 资 金 截至 2025 年 12 月 31 日，尚未使用的募集资金合计为 35,457.00 万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为 31,600.00 万元，
用途及去向 存放在募集资金专户余额为 3,857.00 万元。
募集资金使用及披露
中 存 在 的 问 题 或 其 他 不适用
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