非经营性资金占用及其他关联资金
往来情况专项说明
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
容诚专字[2026]100Z1467 号
容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
中国·北京
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容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
总所：北京市西城区阜成门外大街 22 号
TEL:010-6600 1391 FAX:010-6600 1392
E-mail:bj@rsmchina.com.cn
https://www.rsm.global/china/
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
非经营性资金占用及其他关联资金往来情况专项说明
容诚专字[2026]100Z1467 号
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东：
我们接受委托，依据中国注册会计师审计准则审计了矽电半导体设备（深圳）
股份有限公司（以下简称矽电股份）2025 年 12 月 31 日的合并及母公司资产负债
表，2025 年度的合并及母公司利润表、合并及母公司现金流量表和合并及母公司
所有者权益变动表以及财务报表附注，并于 2026 年 4 月 20 日出具了容诚审字
[2026]100Z4092 号的标准无保留意见审计报告。
根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第 8 号——上市公司资金
往来、对外担保的监管要求》的要求及深圳证券交易所《深圳证券交易所创业板
上市公司自律监管指南第 1 号——业务办理》的规定，矽电股份管理层编制了后
附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 2025 年度非经营性资金占用及其他关
联资金往来情况汇总表（以下简称汇总表）。如实编制和对外披露汇总表并保证
其真实、准确、完整是矽电股份管理层的责任。
我们对汇总表所载信息与本所审计矽电股份 2025 年度财务报表时所复核的会
计资料和经审计的财务报表的相关内容进行了核对，在所有重大方面没有发现不
一致。除了对矽电股份实施 2025 年度财务报表审计中所执行的对关联方交易有关
的审计程序外，我们并未对汇总表所载资料执行额外的审计程序。为了更好地理
解矽电股份的非经营性资金占用及其他关联资金往来情况，后附汇总表应当与已
审计的财务报表一并阅读。
本专项说明仅供矽电股份年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他目的。
附件：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 2025 年度非经营性资金占用及
其他关联资金往来情况汇总表。
（此页无正文，为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司容诚专字
[2026]100Z1467 号报告之签字盖章页。）
容诚会计师事务所 中国注册会计师：
（特殊普通合伙） 陈谋林
中国注册会计师：
索立松
中国注册会计师：
王芸芸
中国·北京
附件：
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
编制单位：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 单位：元
占用方与上市公司的 上市公司核算的会 2025年初占用资金 2025年度占用资金 2025年度偿还累计 2025年末占用资金
非经营性资金占用 资金占用方名称 发生金额(不含利 占用形成原因 占用性质
关联关系 计科目 余额 的利息(如有) 发生金额 余额
息)
控股股东、实际控制人及其 -
附属企业
小计 — — — - - - - -
前控股股东、实际控制人及
其附属企业
小计 — — — - - - - -
其他关联方及其附属企业 -
小计 — — — - - - - -
总计 — — — - - - - -
往来方与上市公司的 上市公司核算的会 2025年初往来资金 2025年度往来资金 2025年度偿还累计 2025年末往来资金 往来性质(经营性往
其他关联资金往来 资金往来方名称 发生金额(不含利 往来形成原因
关联关系 计科目 余额 的利息 发生金额 余额 来、非经营性往来)
息)
控股股东、实际控制人及其 -
附属企业 -
深圳市联微半导体设备有限公司 上市公司之子公司 应收账款 1,545,371.12 918,511.28 - 2,066,316.94 397,565.46 销售商品 经营性往来
深圳市西渥智控科技有限公司 上市公司之子公司 应收账款 - 1,780,109.60 - - 1,780,109.60 销售商品 经营性往来
上市公司的子公司及其附属 扬州市矽鑫电子科技有限公司 上市公司之子公司 应收账款 - 6,919,258.50 - 6,227,332.65 691,925.85 销售商品 经营性往来
企业 深圳市希芯智能设备有限公司 上市公司之子公司 预付账款 48,000.00 -48,000.00 - - - 购买商品 经营性往来
深圳市西渥智控科技有限公司 上市公司之子公司 其他应收款 1,003,625.00 - 30,812.50 1,034,437.50 - 往来款 非经营性往来
深圳市希芯智能设备有限公司 上市公司之子公司 其他应收款 2,752,493.12 100,400.00 83,500.00 1,600.00 2,934,793.12 往来款 非经营性往来
其他关联方及其附属企业
总计 — — — 5,349,489.24 9,670,279.38 114,312.50 9,329,687.09 5,804,394.03
公司法定代表人： 主管会计工作的负责人： 会计机构负责人：
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