募集资金年度存放与使用情况鉴证报告
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
容诚专字[2026]100Z1468 号
容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
中国·北京
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容诚会计师事务所（特殊普通合伙）
总所：北京市西城区阜成门外大街 22 号
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募集资金年度存放、管理与使用情况鉴证报告 https://www.rsm.global/china/
容诚专字[2026]100Z1468 号
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东：
我们审核了后附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称矽电股
份公司）董事会编制的 2025 年度《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专
项报告》。
一、 对报告使用者和使用目的的限定
本鉴证报告仅供矽电股份公司年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他
目的。我们同意将本鉴证报告作为矽电股份公司年度报告必备的文件，随其他文
件一起报送并对外披露。
二、 董事会的责任
按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交
易所《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运
作》及《深圳证券交易所创业板上市公司自律监管指南第 2 号——公告格式》的
规定编制《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》是矽电股份公
司董事会的责任,这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、
误导性陈述或重大遗漏。
三、 注册会计师的责任
我们的责任是对矽电股份公司董事会编制的上述报告独立地提出鉴证结论。
四、 工作概述
我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第 3101 号－历史财务信息审计
或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴
证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，
我们实施了包括检查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工
作为发表意见提供了合理的基础。
五、 鉴证结论
我们认为，后附的矽电股份公司 2025 年度《关于募集资金年度存放、管理与
使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金监管规则》
及交易所的相关规定编制，公允反映了矽电股份公司 2025 年度募集资金实际存放、
管理与使用情况。
（此页无正文，为矽电股份公司容诚专字[2026]100Z1468 号鉴证报告之签字
盖章页。）
容诚会计师事务所 中国注册会计师：
（特殊普通合伙） 陈谋林（项目合伙人）
中国注册会计师：
索立松
中国·北京 中国注册会计师：
王芸芸
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告
根据中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交易所《深
圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作》及《深圳证
券交易所创业板上市公司自律监管指南第 2 号——公告格式》的规定，将矽电半导体设
备（深圳）股份有限公司（以下简称公司）2025 年度募集资金存放、管理与使用情况报
告如下：
一、 募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位时间
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次
公开发行股票注册的批复》（证监许可[2025]138 号）文件批复，由主承销商招商证券
股份有限公司采用网上向持有深圳市场非限售 A 股股份和非限售存托凭证市值的社会
公众投资者定价发行的方式，公开发行人民币普通股股票 10,431,819.00 股，每股发行价
格为人民币 52.28 元。截至 2025 年 3 月 17 日止，本公司实际已向社会公众公开发行人
民币普通股股票 10,431,819.00 股，募集资金总额为人民币 545,375,497.32 元，扣除各项
发行费用合计人民币 81,846,830.67 元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币
验字[2025]100Z0015 号”《验资报告》验证。本公司对募集资金采取了专户存储制度。
（二）募集资金使用及结余情况
月 17 日止，公司利用自筹资金对募集资金项目累计已投入 5,436.99 万元，募集资金到
位后，公司以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目的自筹资金 5,436.99 万元；
（2）
直接投入募集资金项目 5,780.92 万元。2025 年度公司累计使用募集资金 11,217.91 万元，
扣除累计已使用募集资金后，募集资金余额为 35,134.96 万元，募集资金专用账户利息
收入 322.04 万元，募集资金专户 2025 年 12 月 31 日余额合计为 35,457.00 万元。
二、 募集资金存放和管理情况
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告
根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《募
集资金管理办法》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，
以在制度上保证募集资金的规范使用。
称“浦发龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资
金三方监管协议》，在浦发龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：
大差异，三方监管协议的履行不存在问题。
龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方
监管协议》，在招商龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：755904853510001）。三
方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行
不存在问题。
龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方
监管协议》，在招商龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：755904853510888）。三
方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行
不存在问题。
生龙城支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三
方监管协议》，在民生龙城支行开设募集资金专项账户（账号：650166602）。三方监
管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存
在问题。
行爱联支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三
方监管协议》，在农行爱联支行开设募集资金专项账户（账号：41024000040069173）。
三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履
行不存在问题。
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截至 2025 年 12 月 31 日止，募集资金存储情况如下：
金额单位：人民币万元
银 行 名 称 银行帐号 余额
上海浦东发展银行股份有限公司深圳龙岗支行 79070078801900002913 5,923.42
招商银行股份有限公司深圳龙岗支行 755904853510001 0.01
招商银行股份有限公司深圳龙岗支行 755904853510888 8,851.35
中国民生银行股份有限公司深圳龙城支行 650166602 4,055.25
中国农业银行股份有限公司深圳爱联支行 41024000040069173 16,626.96
合 计 35,457.00
三、 2025 年度募集资金的实际使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日止，公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币
四、 改变募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日止，公司募集资金投资项目未发生改变。
五、 募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求存放、使用及管理募集资金，
并对募集资金使用相关信息及时、真实、准确、完整地进行了披露，不存在募集资金存
放、使用、管理及披露的违规情形。
六、 保荐机构专项核查报告的结论性意见
用情况出具了《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 2025
年度募集资金存放与使用情况的核查意见》，专项核查报告认为，公司 2025 年度募集
资金存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号—
—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引
第 2 号——创业板上市公司规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对募集资金进
行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金
用途和损害股东利益的情况，募集资金不存在被控股股东和实际控制人占用的情形，不
存在未经履行审议程序擅自补充流动资金、改变实施地点等情形，不存在违规使用募集
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资金的情形。
附表1：募集资金使用情况对照表
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司董事会
附表 1：
单位：万元
本年度投入募集
募集资金总额 54,537.55 11,217.91
资金总额
报告期内改变用途的募集资金总额 -
已累计投入募集
累计改变用途的募集资金总额 - 11,217.91
资金总额
累计改变用途的募集资金总额比例 -
是否已改 募集资金 截至期末 截至期末投资进 项目达到预
承诺投资项目和超募 募集资金 本年度投 本年度实现的 是否达到 项目可行性是否发生
变项目（含 承诺投资 累计投入 度（%）(3)＝ 定可使用状
资金投向 净额（1） 入金额 效益 预计效益 重大变化
部分改变） 总额 金额(2) (2)/(1) 态日期
承诺投资项目
探针台研发及产业基 2028 年 03
否 26,127.08 21,700.00 5,157.45 5,157.45 23.77 不适用 不适用 否
地建设项目 月 23 日
分选机技术研发项目 否 8,005.71 6,600.00 730.71 730.71 11.07 不适用 不适用 否
月 23 日
营销服务网络升级建 2028 年 03
否 5,454.72 4,500.00 478.37 478.37 10.63 不适用 不适用 否
设项目 月 23 日
补充流动资金 否 16,000.00 13,552.87 4,851.38 4,851.38 35.80 —— —— —— ——
承诺投资项目小计 —— 55,587.51 46,352.87 11,217.91 11,217.91 24.20 —— —— —— ——
超募资金投向
超募资金投向小计 - - - - - - —— —— —— ——
合计 —— 55,587.51 46,352.87 11,217.91 11,217.91 24.20 —— —— —— ——
未达到计划进度或预
计 收 益 的 情 况 和 原 因 不适用
（分具体项目）
项目可行性发生重大
不适用
变化的情况说明
超募资金的金额、用途
不适用
及使用进展情况
募集资金投资项目实
不适用
施地点变更情况
公司于 2025 年 4 月 14 日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实
募 集 资 金 投 资 项 目 实 施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台
施方式调整情况 研发及产业基地建设项目”的实施主体，同时矽旺科技新增开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金的
存放、管理和使用。
公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募
募 集 资 金 投 资 项 目 先 投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金
期投入及置换情况 额为人民币 7,179.48 万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额 5,436.99 万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增
值税）金额 1,742.49 万元。
用闲置募集资金暂时
不适用
补充流动资金情况
公司于 2025 年 4 月 27 日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额
用闲置募集资金进行
度的议案》，同意公司在原已批准不超过人民币 3 亿元（含本数）额度的基础上增加 1 亿元（含本数）的募集资金用于现金管理，即合计
现金管理情况
使用不超过人民币 4 亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理。
项目实施出现募集资
不适用
金节余的金额及原因
尚 未 使 用 的 募 集 资 金 截至 2025 年 12 月 31 日，尚未使用的募集资金合计为 35,457.00 万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为 31,600.00 万元，
用途及去向 存放在募集资金专户余额为 3,857.00 万元。
募集资金使用及披露
中 存 在 的 问 题 或 其 他 不适用
情况
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