中国国际金融股份有限公司
关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）2021 年
度向特定对象发行 A 股股票项目的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管
理办法》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》
《上市公司募集资金监管规则》
和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关
规定，对芯源微 2025 年度募集资金存放、管理与实际使用情况的事项进行了核
查，核查情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司
首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335 号）同意注册，公司
向社会公开发行人民币普通股（A 股）21,000,000 股，每股面值为人民币 1 元，
每股发行价为人民币 26.97 元，应募集资金总额为 566,370,000.00 元，根据有关
规定扣除发行费用 60,625,896.22 元后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元，
实际到账金额为 518,123,349.06 元。该募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，
上述募集资金到位情况经由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验
字[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
金项目投入 0.00 元。2025 年度，公司累计使用募集资金 0.00 元，支付银行手续
费（不含增值税）50.00 元，募集资金专用账户利息收入为 4,269.03 元，募集资
金专用账户 2025 年 12 月 31 日余额合计为 6,063,795.13 元。具体明细如下：
募集资金基本情况表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2019 年 12 月 10 日
本次报告期 2025 年 1 月 1 日至 2025 年 12 月 31 日
项目 金额
一、募集资金总额 566,370,000.00
其中：超募资金金额 127,954,403.78
减：直接支付发行费用 60,625,896.22
二、募集资金净额 505,744,103.78
减：
以前年度已使用金额 387,316,021.56
本年度使用金额 0.00
永久补流金额 114,900,000.00
股份回购金额 10,009,160.24
节余募集资金补流金额 9,284,650.48
银行手续费支出及汇兑损益 22,002.67
加：
募集资金利息收入 10,271,862.35
募集资金理财收益 11,579,663.95
三、报告期期末募集资金余额 6,063,795.13
根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有
限公司向特定对象发行股票注册的批复》
（证监许可[2022]498 号），公司于 2022
年 6 月向特定对象发行人民币普通股股票 8,045,699 股，每股面值 1 元，发行价
格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币 999,999,928.71 元，扣除不含
税的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资金净额为人民币 990,084,835.04
元。该募集资金已于 2022 年 6 月 8 日到位，上述募集资金到位情况已由容诚会
计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008 号《验资报告》。
公司对募集资金采取了专户存储管理。
募集资金项目投入 41,674,176.08 元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目（二
期）41,674,176.08 元。2025 年度公司累计使用募集资金 41,674,176.08 元，支付
银行手续费（不含增值税）948.93 元，募集资金专用账户利息收入为 1,134,046.12
元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益 1,636,624.68 元，募集资
金专用账户 2025 年 12 月 31 日余额合计为 202,225,439.32 元。具体明细如下：
募集资金基本情况表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2021 年度向特定对象发行 A 股股票
募集资金到账时间 2022 年 6 月 8 日
本次报告期 2025 年 1 月 1 日至 2025 年 12 月 31 日
项目 金额
一、募集资金总额 999,999,928.71
其中：超募资金金额 0.00
减：直接支付发行费用 9,915,093.67
二、募集资金净额 990,084,835.04
减：
以前年度已使用金额 768,521,303.91
本年度使用金额 41,674,176.08
节余募集资金补流金额 10,679,597.56
银行手续费支出及汇兑损益 93,848.02
加：
募集资金利息收入 7,280,533.61
募集资金理财收益 25,828,996.24
三、报告期期末募集资金余额 202,225,439.32
二、募集资金管理情况
公司根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所上市公司自律监
管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、
透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关
于制定<募集资金管理办法>的议案》，分别于2024年6月17日、2025年6月23日，
召开的2023年年度股东大会、2025年第二次临时股东大会，审议通过了《关于修
订<募集资金管理制度>的议案》。《沈阳芯源微电子设备股份有限公司募集资
金管理制度》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，
在制度上保证了募集资金的规范使用。
公 司 于 2019 年 12 月 11 日 分 别 在 中 信 银 行 沈 阳 和 平 支 行 （ 账 号
开设账户作为募集资金专项账户。2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有
限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限
公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信
证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存
储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股
份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为
进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司募
集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规
范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中
国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支
行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专
户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管
协议》的履行不存在问题。截至 2025 年 12 月 31 日，公司均严格按照该《募集
资金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。
截至 2025 年 12 月 31 日，募集资金存储情况如下：
募集资金存储情况表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2019 年 12 月 10 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
沈阳芯源微 中信银行沈阳和平支行 8112901012900643057 / 已注销
电子设备股 中国建设银行沈阳城内支行 21050139000800001255 / 已注销
份有限公司 招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110111 6,063,795.13 使用中
合计 6,063,795.13
中信银行沈阳南站支行（账号 8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路
支行（账号 124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022 年 6 月
行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资
金专户存储三方监管协议》。
董事会同意使用募集资金 25,000.00 万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限
公司进行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022 年 7
月 27 日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司
以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片
区支行）签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》
《募集资金专户存储四方监管协议》
与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存
储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至
集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。
截至 2025 年 12 月 31 日，募集资金存储情况如下：
募集资金存储情况表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2021 年度向特定对象发行 A 股股票
募集资金到账时间 2022 年 6 月 8 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
沈阳芯源微 中信银行沈阳南站支行 8112901011100849786 202,196,623.17 使用中
电子设备股 招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110858 28,816.15 使用中
份有限公司 平安银行沈阳分行 15912666666677 / 已注销
上海芯源微 121942302510107 / 已注销
招商银行上海自贸区临港
企业发展有 12194230257100017(注 1) / 已注销
新片区支行
限公司 12194230257100020(注 1) / 已注销
合计 202,225,439.32
注 1：银行账号 12194230257100017 及 12194230257100020 的账户性质为保证金账户，
保证金账户系公司为办理与募投项目相关支出的信用证而存入的信用证保证金。
三、本年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目资金使用情况
使用情况详见附表1：2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表。
元，具体使用情况详见附表2：2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用
情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
本报告期内，公司不存在募投项目先期投入及置换情况。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
本报告期内，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金情况。
（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
本报告期内，公司未使用 2019 年首次公开发行股票闲置募集资金进行现金
管理，无投资相关产品的情况。
公司于 2024 年 4 月 26 日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第
十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，
同意公司使用额度不超过 30,000.00 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，
用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审
议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公
司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
公司于 2025 年 4 月 25 日召开第二届董事会第二十九次会议及第二届监事会
第二十七次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，
同意公司使用额度不超过 25,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，
用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审
议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公
司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
管理的收益金额为 1,636,624.68 元。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司使用 2021 年度向特定对象发行股票闲置募集
资金进行现金管理的余额为 0.00 万元，无投资相关产品的情况。
募集资金现金管理审核情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2021 年度向特定对象发行 A 股股票
募集资金到账时间 2022 年 6 月 8 日
计划进行现金 计划进行现金 董事会审议通过
计划起始日期 计划截止日期
管理的金额 管理的方式 日期
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
本报告期内，公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购公司股份
并注销的情况
本报告期内，公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）
或回购公司股份并注销的情况。
（七）节余募集资金使用情况
本报告期内，公司不存在节余募集资金使用情况。
（八）募集资金使用的其他情况
本报告期，公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募投项目的资金使用情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司募集资金投资项目未发生变更情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募
集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为，公司2025年度《募集资金存放、
管理与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金
监管规则》及交易所的相关规定编制，公允反映了公司2025年度募集资金实际存
放、管理与使用情况。
七、保荐人对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的
结论性意见
经核查，保荐机构认为：公司 2025 年度募集资金存放、管理与实际使用情
况事项符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上
市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》《上海证券交易所上市公司自律监管
指引第 11 号——持续督导》《上市公司募集资金监管规则》等相关法律法规及
公司《募集资金管理制度》的有关规定。
综上，保荐机构对公司 2025 年度募集资金存放、管理与实际使用情况的事
项无异议。
八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的，应在专项报
告分别说明
公司不存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的情况。
（以下无正文）
附表 1：
募集资金使用情况对照表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账日期 2019 年 12 月 10 日
本年度投入募集资金总额 0.00
已累计投入募集资金总额 51,222.52
变更用途的募集资金总额 0.00
变更用途的募集资金总额比例 0.00
已变更项 截至期末累计投 项目达到预定 项目可行
承诺投资项目和超募 募投项目性 目，含部 募集资金承 调整后投资 截至期末承 本年度 截至期末累 入金额与承诺投 截至期末投 可使用状态日 本年度实 是否达
性是否发
诺投入金额 投入金 计投入金额 入进度（%） 到预计
资金投向 质 分变更 诺投资总额 总额 入金额的差额(3) 期（具体到月 现的效益 生重大变
(1) 额 (2) (4)＝(2)/(1) 效益
(如有) ＝(2)-(1) 份） 化
高端晶圆处理设备产 103.99 2022 年 6 月 30
生产建设 23,860.73 23,860.73 23,860.73 0.00 24,813.36 952.63 2,037.28 否 否
业化项目 (注 2) 日
高端晶圆处理设备研 2022 年 3 月
生产建设 13,918.24 13,918.24 13,918.24 0.00 13,918.24 100.00 注3 不适用 否
发中心项目 31 日
超募资金-永久补充流
补流还贷 11,490.00 11,490.00 11,490.00 0.00 11,490.00 100.00 不适用 不适用 不适用 否
动资金
超募资金-股份回购 回购公司股份 1,000.92 1,000.92 1,000.92 0.00 1,000.92 100.00 不适用 不适用 不适用 否
合计 50,269.89 50,269.89 50,269.89 0.00 51,222.52 952.63 — — 2,037.28 — —
未达到计划进度原因（分具体募投
不适用
项目）
项目可行性发生重大变化的情况说 不适用
明
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入 14,034,042.00 元，对“高端晶圆处理设备产
业化”募集资金项目累计投入 389,400.00 元，使用自筹资金支付发行费用人民币 2,597,169.81 元。
公司于 2020 年 4 月 24 日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资
募集资金投资项目先期投入及置换 金的议案》，同意公司使用募集资金 17,020,611.81 元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述
情况 事项发表了同意的核查意见。
公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳
芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至 2020 年 12 月 31 日，上述自筹资金 17,020,611.81 元已用募集资金置换完毕。
公司于 2020 年 7 月 2 日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金
的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币 8,000.00 万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司
流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至 2021 年 6 月 30 日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币 8,000.00 万元闲置
募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于 2021 年 7 月 2 日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动
资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币 15,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流
动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过 12 个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在
规定期限内实际使用了人民币 6,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至 2022 年 6 月 30 日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币
用闲置募集资金暂时补充流动资金
情况
公司于 2022 年 8 月 25 日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资
金的议案》，同意公司使用不超过人民币 5,800.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司后
续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币 5,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至 2023 年 8 月 24 日，公司已将上述暂
时补充流动资金的人民币 5,000.00 万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于 2023 年 8 月 28 日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流
动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币 5,400.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公
司后续发展的实际需求。公司在规定时限内实际使用了人民币 5,400.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至 2024 年 8 月 20 日，公司已将上
述临时补充流动资金的人民币 5,400.00 万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司使用首次公开发行 A 股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币 0.00 万元。
对闲置募集资金进行现金管理，投
截至 2025 年 12 月 31 日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为 0.00 元，无投资相关产品的情况。
资相关产品情况
公司于 2020 年 4 月 24 日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资
金的议案》，2020 年 5 月 25 日，公司召开 2019 年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集
资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股
东的利益，使用部分超募资金计人民币 3,830.00 万元用于永久补充流动资金。
公司于 2021 年 6 月 11 日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流
动资金的议案》，2021 年 6 月 28 日，公司召开 2021 年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金
用超募资金永久补充流动资金或归
需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上
还银行贷款情况
市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币 3,830.00 万元用于永久补充流动资金。
公司于 2024 年 4 月 26 日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动
资金的议案》，2024 年 6 月 17 日，公司召开 2023 年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募
集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和
股东的利益，使用部分超募资金计人民币 3,830.00 万元用于永久补充流动资金。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为 11,490.00 万元。
“高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共 928.47 万元，募集资金节余的主要原因如下：
募集资金结余的金额及形成原因
成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。
公司于 2021 年 3 月 19 日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意
公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至 2022 年 3 月 31 日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定
可使用状态时间调整至 2022 年 6 月 30 日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项
募集资金其他使用情况
目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害
股东利益的情形。
公司于 2024 年 2 月 21 日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使
用部分超募资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A 股）股份，拟用于回购的资金总额不低
于人民币 1,000 万元（含）、不超过人民币 2,000 万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审
议通过本次回购股份方案之日起 6 个月内。截至 2024 年 6 月 30 日，已回购公司股份 102,607 股，支付的资金总额为人民币 10,008,325.19 元（不含
印花税、交易佣金等交易费用）。
注 2：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。
注 3：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发
展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。
附表 2：
募集资金使用情况对照表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2021 年度向特定对象发行 A 股股票
募集资金到账日期 2022 年 6 月 8 日
本年度投入募集资金总额 4,167.42
已累计投入募集资金总额 82,011.06
变更用途的募集资金总额 0.00
变更用途的募集资金总额比例 0.00
已变更项 截至期末累计投 项目达到预定 项目可行
承诺投资项目和超募 募投项目性 目，含部 募集资金承 调整后投资 截至期末承 本年度投 截至期末累 入金额与承诺投 截至期末投 可使用状态日 本年度实 是否达
性是否发
诺投入金额 计投入金额 入进度（%） 到预计
资金投向 质 分变更(如 诺投资总额 总额 入金额 入金额的差额(3) 期（具体到月 现的效益 生重大变
(1) (2) (4)＝(2)/(1) 效益
有) ＝(2)-(1) 份） 化
上海临港研发及产业 研发及生产 100.46 2024 年 12 月 8
化项目 建设 (注 4) 日
高端晶圆处理设备产 2026 年 12 月
生产建设 23,000.00 23,000.00 23,000.00 4,167.42 4,515.17 -18,484.83 19.63 不适用 不适用 否
业化项目（二期） 8日
补充流动资金 补流还贷 29,999.99 29,999.99 29,999.99 0.00 30,281.20 281.21 100.00 不适用 不适用 不适用 否
合计 99,999.99 99,999.99 99,999.99 4,167.42 82,011.06 -17,988.93 — — 2,773.82 — —
（1）高端晶圆处理设备产业化项目（二期）
未达到计划进度原因（分具体募投 公司于 2024 年 10 月 22 日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，
项目） 综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期进行延期。
公司“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目原计划建设周期 30 个月，于 2024 年 12 月 8 日前达到预定可使用状态。根据公司整体规划
和实际经营发展需要，公司于 2023 年 4 月 17 日召开了第二届董事会第十次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，
将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”项目实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路 1 号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大
街，东至沈本一街地块”。
在募投项目实施地点变更等因素影响下，“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”的建设进度、生产设备的采购以及安装调试工作均有所延
缓。为提高募投资金使用效率，根据公司实际情况及市场需求，公司拟有计划、分步骤逐步投入该项目，故将该项目达到预定可使用状态日期调整
至 2026 年 12 月 8 日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状
态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
项目可行性发生重大变化的情况
不适用
说明
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入 31,738,839.36 元。
公司于 2022 年 8 月 25 日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自
筹资金的议案》，同意使用募集资金 31,738,839.36 元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意
募集资金投资项目先期投入及置
见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。
换情况
公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153 号《关于沈阳芯
源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至 2022 年 12 月 31 日，上述自筹资金 31,738,839.36 元已用募集资金置换完毕。
用闲置募集资金暂时补充流动资
截至 2025 年 12 月 31 日，公司暂未使用闲置募集资金暂时补充流动资金。
金情况
公司于 2022 年 6 月 16 日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的
议案》，同意公司使用额度不超过 70,000.00 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过
上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
对闲置募集资金进行现金管理，投 公司于 2023 年 6 月 9 日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理
资相关产品情况 的议案》，同意公司使用额度不超过 50,000.00 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，
使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，
公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
公司于 2024 年 4 月 26 日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管
理的议案》，同意公司使用额度不超过 30,000.00 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，
使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，
公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为 0.00 万元，无投资相关产品的情况。
用超募资金永久补充流动资金或
不适用
归还银行贷款情况
“上海临港研发及产业化项目”结项，节余的募集资金 1,067.96 万元，募集资金节余的主要原因如下：
募集资金结余的金额及形成原因
本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。
公司于 2023 年 4 月 17 日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点
的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）项目”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路 1 号”变更至“北至规划路，南至
募集资金其他使用情况
创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实
质改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。
注 4：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。
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