国泰海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中
微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）的持
续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管
规则》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》
《上海证券交易所科创板上市公司
自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定，对中微公司 2025 年度募集资
金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位时间
根据中国证券监督管理委员会于 2019 年 7 月 1 日签发的证监许可[2019]1168
号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的
批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行
人民币普通股 53,486,224 股，每股发行价格为人民币 29.01 元，股款以人民币缴
足，计人民币 155,163.54 万元，扣除承销及保荐费用共计人民币 8,782.84 万元
后，实际收到募集资金计人民币 146,380.69 万元，再扣除发行中介及其他发行费
用人民币合计 1,810.41 万元后，实际募集资金净额为人民币 144,570.28 万元（以
下简称“首发募集资金”），上述资金于 2019 年 7 月 16 日到位，业经普华永道中
天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）
第 0411 号验资报告。
中国证券监督管理委员会于 2021 年 3 月 3 日出具证监许可[2021]645 号文
《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批
复》核准了公司向特定对象发行 80,229,335 股人民币普通股 A 股股票。截至 2021
年 6 月 22 日止，公司完成了人民币普通股 A 股 80,229,335 股的发行，每股发行
价格为人民币 102.29 元，股款以人民币缴足，合计人民币 820,665.87 万元，扣
除承销及保荐费用共计人民币 8,206.66 万元（不含增值税）后，实际收到募集资
金计人民币 812,459.21 万元，再扣除其他发行费用人民币合计 642.96 万元（不
含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 811,816.24 万元（以下简称“再融资
募集资金”），上述资金于 2021 年 6 月 22 日到位，业经普华永道中天会计师事务
所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第 0638 号验
资报告。
（二）募集资金本年度使用金额及年末余额
截至 2025 年 12 月 31 日，公司募集资金专户余额为人民币 20.24 万元。具
体情况如下：
单位：万元
项目 金额
一、募集资金总额 155,163.54
其中：超募资金金额 44,570.28
减：直接支付发行费用 10,593.26
二、实际收到募集资金金额 144,570.28
减：
以前年度已使用金额 130,061.20
本年度使用金额 -
暂时补流金额 -
现金管理金额 18,827.67
银行手续费支出及汇兑损益 0.56
募投项目结项资金转出 4,425.06
增值税税金 620.00
加：
募集资金利息收入 9,384.45
三、报告期期末募集资金账户余额 20.24
截至 2025 年 12 月 31 日，公司募集资金专户余额为人民币 35,521.65 万元。
具体情况如下：
单位：万元
项目 金额
一、募集资金总额 820,665.87
其中：超募资金金额 -
减：直接支付发行费用 8,849.63
二、募集资金净额 811,816.24
减：
以前年度已使用金额 505,678.11
本年度使用金额 175,115.04
暂时补流金额 -
现金管理金额 140,787.39
银行手续费支出及汇兑损益 1.45
加：
募集资金利息收入 44,865.12
其他 422.28
三、报告期期末募集资金账户余额 35,521.65
二、募集资金管理情况
（一）募集资金的管理情况
中微公司已按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上
市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定的要求制定《中微公司：
募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、
项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。
（二）募集资金专户存储情况
截至 2025 年 12 月 31 日，募集资金具体存放情况如下：
单位：万元
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2019 年 7 月 16 日
报告期末 账户状
账户名称 开户银行 银行账号
余额 态
中微半导体设备（上 中国建设银行上海 31050161373600
海）股份有限公司 金桥支行 004844
中微半导体设备（上 招商银行上海金桥 12191089031060
- 已注销
海）股份有限公司 支行 2
中微半导体设备（上 中信银行上海浦东 81102010141010
- 已注销
海）股份有限公司 分行 24127
截至 2025 年 12 月 31 日，尚未使用的募集资金存放专项账户的余额如下：
单位：万元
发行名称 2020 年向特定对象公开发行股票
募集资金到账时间 2021 年 6 月 22 日
报告期末余
账户名称 开户银行 银行账号 账户状态
额
中微半导体设备（上 招商银行上海分 12191089031070
海）股份有限公司 行 7
中微半导体设备（上 中信银行上海浦 81102010136013
海）股份有限公司 东分行 03837
中微半导体设备（上 上海浦东发展银 97160078801900
海）股份有限公司 行张江科技支行 002862
中微半导体设备（上 中国建设银行上 31050161373600
海）股份有限公司 海金桥支行 006133
三、本年度募集资金实际使用情况
（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况
本年度公司募集资金实际使用情况详见附表 1 募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
公司于 2025 年 8 月 28 日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于
使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司
及子公司作为实施主体在募投项目实施期间，根据实际情况先行使用自有资金支
付募投项目所需资金，在履行内部相关审批程序后定期以募集资金等额置换。本
年度公司募投项目先期投入及置换情况见下表：
单位：万元
发行名称 2020 年向特定对象公开发行股票
募集资金到账时间 2021 年 6 月 22 日
募集资金投 自筹资金预 置换完成日 董事会审议
总投资额 置换金额
资项目 先投入金额 期 通过日期
中微产业化
基地建设项 317,000.00 9,707.71 9,707.71 2025 年度
目
中微临港总
部和研发中 375,000.00 40,946.95 40,946.95 2025 年度
心项目
科技储备资 2025 年 8 月
金 28 日
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
本年度公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结
构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产
品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过 12 个月。
公司于 2025 年 4 月 17 日召开第三届董事会第二次会议及第三届监事会第
二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公
司使用额度不超过 350,000 万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自前次募
集资金现金管理的授权到期之日起 12 个月内有效，在不超过上述额度及有效期
内，可循环滚动使用。
单位：万元
计划进行现金 计划进行现金 董事会审议通
计划起始日期 计划截止日期
管理的金额 管理的方式 过日期
安全性高、流 2025 年 4 月 28 2026 年 4 月 27 2025 年 4 月 17
动性好、一年 日 日 日
以内的短期保
本型理财产品
单位：万元
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账时间 2019 年 7 月 16 日
尚未归还 预计年化 利息金
委托方 受托银行 产品名称 产品类型 购买金额 起始日期 截止日期 归还日期
金额 收益率 额
中微半导体设备
上海银行股份有限
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 18,000.00 7/22/2025 10/20/2025 10/20/2025 - 1.55% 73.23
公司上海分行
公司
中微半导体设备
上海银行股份有限
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 18,000.00 11/11/2025 2/9/2026 不适用 18,000.00 1.65% 不适用
公司上海分行
公司
中微半导体设备
上海银行股份有限
（上海）股份有限 协定存款 协定存款 827.67 7/16/2025 7/15/2026 不适用 827.67 0.53% 101.50
公司上海分行
公司
单位：万元
发行名称 2020 年向特定对象公开发行股票
募集资金到账时间 2021 年 6 月 22 日
尚未归还 预计年化 利息金
委托方 受托银行 产品名称 产品类型 购买金额 起始日期 截止日期 归还日期
金额 收益率 额
国家开发银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海市分 七天通知存款 七天通知存款 34,138.93 4/15/2024 无固定期限 不适用 34,138.93 1.55% 1,231.90
海）股份有限公司
行
招商银行股份有限
中微半导体设备（上
公司上海分行营业 七天通知存款 七天通知存款 24,363.75 10/17/2022 无固定期限 不适用 24,363.75 1.95% -
海）股份有限公司
部
南昌中微半导体设 招商银行股份有限
协定存款 协定存款 70.88 7/22/2021 无固定期限 不适用 70.88 1.20% 4.61
备有限公司 公司南昌高新支行
中微半导体设备（上 中国进出口银行上
七天通知存款 七天通知存款 14,852.76 12/30/2024 5/30/2025 5/30/2025 - 0.75% 71.02
海）股份有限公司 海分行
中国光大银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海长宁 七天通知存款 七天通知存款 4,000.00 3/7/2024 无固定期限 不适用 4,000.00 1.35% -
海）股份有限公司
支行
中国农业银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海自贸 结构性存款 结构性存款 30,000.00 7/12/2024 1/13/2025 1/13/2025 - 2.10% 194.14
海）股份有限公司
试验区新片区分行
中微半导体设备（上 中国建设银行股份
结构性存款 结构性存款 10,000.00 10/9/2024 1/24/2025 1/24/2025 - 1.60% 40.17
海）股份有限公司 有限公司
中微半导体设备（上 中信银行上海浦东
结构性存款 结构性存款 14,000.00 10/25/2024 1/23/2025 1/23/2025 - 2.20% 75.95
海）股份有限公司 分行营业部
中微半导体设备（上 中信银行上海浦东
结构性存款 结构性存款 6,000.00 11/1/2024 1/24/2025 1/24/2025 - 2.10% 30.93
海）股份有限公司 分行营业部
中国工商银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海市浦 七天通知存款 七天通知存款 30,000.00 10/17/2024 5/28/2025 5/28/2025 - 1.15% 213.71
海）股份有限公司
东分行
中微半导体设备（上
光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 10,000.00 12/20/2024 3/20/2025 3/20/2025 - 2.00% 50.00
海）股份有限公司
中微半导体设备（上
光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 5,000.00 12/20/2024 3/20/2025 3/20/2025 - 2.00% 25.00
海）股份有限公司
中国工商银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海市浦 协定存款 协定存款 1,993.72 4/11/2025 无固定期限 不适用 1,993.72 0.35% 10.86
海）股份有限公司
东分行
中微半导体设备（上 中国进出口银行上
协定存款 协定存款 352.77 12/11/2025 无固定期限 不适用 352.77 0.45% 0.66
海）股份有限公司 海分行
国家开发银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海市分 协定存款 协定存款 1,267.87 12/25/2025 无固定期限 不适用 1,267.87 0.45% 0.38
海）股份有限公司
行
中国农业银行股份
中微半导体设备（上
有限公司上海自贸 协定存款 协定存款 26,341.73 12/12/2025 无固定期限 不适用 26,341.73 0.35% 166.56
海）股份有限公司
试验区新片区分行
中微半导体设备（上 中国民生银行股份
协定存款 协定存款 - 不适用 不适用 不适用 - 不适用 29.89
海）股份有限公司 有限公司上海分行
中微半导体设备 平安银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 协定存款 协定存款 17,550.92 10/12/2025 无固定期限 不适用 17,550.92 0.45% 229.76
公司 部
中微半导体设备 中国光大银行股份
（上海）股份有限 有限公司上海长宁 协定存款 协定存款 1,347.11 4/24/2024 无固定期限 不适用 1,347.11 0.45% 0.96
公司 支行
中微半导体设备 中国银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海市浦东开 协定存款 协定存款 10,401.45 10/12/2025 无固定期限 不适用 10,401.45 0.35% 86.54
公司 发区支行
中微半导体设备 中国光大银行股份
（上海）股份有限 有限公司上海隆昌 协定存款 协定存款 3,576.90 5/15/2025 无固定期限 不适用 3,576.90 0.45% 22.32
公司 支行
中微半导体设备 兴业银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海人民广场 协定存款 协定存款 143.43 10/11/2025 无固定期限 不适用 143.43 0.45% 38.10
公司 支行
中微半导体设备
上海银行股份有限
（上海）股份有限 协定存款 协定存款 237.93 7/16/2025 无固定期限 不适用 237.93 0.53% 1.28
公司张江支行
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 1/2/2025 1/24/2025 1/24/2025 - 1.50% 10.31
公司 部
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 2/1/2025 2/28/2025 2/28/2025 - 2.10% 31.66
分行营业部
公司
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 3/1/2025 3/31/2025 3/31/2025 - 2.20% 36.16
分行营业部
公司
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 4/1/2025 4/30/2025 4/30/2025 - 1.05% 16.68
分行营业部
公司
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 5/1/2025 5/30/2025 5/30/2025 - 1.50% 29.87
分行营业部
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 2/5/2025 2/26/2025 2/26/2025 - 1.50% 9.78
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 3/3/2025 3/31/2025 3/31/2025 - 1.65% 14.27
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 4/1/2025 4/29/2025 4/29/2025 - 1.77% 15.50
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 5/1/2025 5/30/2025 5/30/2025 - 1.85% 12.16
公司 部
中微半导体设备 中国农业银行股份
（上海）股份有限 有限公司上海自贸 结构性存款 结构性存款 30,000.00 2/21/2025 5/23/2025 5/23/2025 - 1.80% 21.49
公司 试验区新片区分行
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 10,000.00 3/20/2025 6/20/2025 6/20/2025 - 2.00% 50.00
公司
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 5,000.00 3/20/2025 6/20/2025 6/20/2025 - 2.00% 25.00
公司
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 6/1/2025 6/30/2025 6/30/2025 - 1.69% 26.85
分行营业部
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 6/3/2025 6/30/2025 6/30/2025 - 1.72% 12.72
公司 部
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 10,000.00 6/20/2025 9/20/2025 9/20/2025 - 1.75% 46.25
公司
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 5,000.00 6/20/2025 9/20/2025 9/20/2025 - 1.75% 23.13
公司
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 7/1/2025 9/29/2025 9/29/2025 - 1.75% 86.30
分行营业部
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 7/2/2025 7/31/2025 7/31/2025 - 1.77% 14.06
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 8/6/2025 8/29/2025 8/29/2025 - 1.58% 9.96
公司 部
中微半导体设备
中信银行上海浦东
（上海）股份有限 结构性存款 结构性存款 20,000.00 9/30/2025 12/29/2025 12/29/2025 - 1.70% 83.84
分行营业部
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 9/2/2025 9/30/2025 9/30/2025 - 1.64% 12.58
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 10/9/2025 10/31/2025 10/31/2025 - 1.50% 9.04
公司 部
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 11/3/2025 11/28/2025 11/28/2025 - 1.53% 10.48
公司 部
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 七天通知存款 七天通知存款 7,000.00 9/30/2025 无固定期限 不适用 7,000.00 0.75% -
公司
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 8,000.00 9/30/2025 12/30/2025 12/30/2025 - 1.50% 30.00
公司
中微半导体设备 招商银行股份有限
（上海）股份有限 公司上海分行营业 结构性存款 结构性存款 10,000.00 12/2/2025 12/9/2025 12/9/2025 - 1.40% 2.68
公司 部
中微半导体设备
（上海）股份有限 光大银行隆昌支行 结构性存款 结构性存款 8,000.00 12/31/2025 3/31/2026 不适用 8,000.00 1.65% -
公司
（五）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司
股份并注销的情况
本年度公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）
或回购本公司股份并注销的情况。
（六）节余募集资金使用情况
本年度，公司不存在节余募集资金使用的情况。
（七）募集资金使用的其他情况
本年度，公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
本年度，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投资项
目已对外转让或置换的情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施
公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集
资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
六、保荐人的核查意见
经核查，保荐人认为，公司 2025 年度募集资金存放和使用情况符合《证券
发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金
管理和使用的监管要求》
《上海证券交易所股票上市规则》
《上海证券交易所上市
公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规和制度文件的规定，对募集
资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相
改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公
司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
综上，保荐人对公司 2025 年度募集资金存放和使用情况无异议。
（以下无正文）
（本页无正文， 为《国泰海通证券股份有限公司关千中微半导体设备（上海）股
份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页）
保荐代表入： 歼丿
邹凯丞 庄庄
公司
如日
附表 1：
募集资金使用情况对照表
单位：万元
发行名称 2019 年首次公开发行股票
募集资金到账日期 2019 年 7 月 16 日
本年度投入募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 130,061.20
变更用途的募集资金总额 -
变更用途的募集资金总额比
例
项目
达到
已变
截至期末 预定 项目
更项
承诺投资 累计投入 截至期末 可使 可行
目， 本年 本年 是否
截至期末承 截至期末累 金额与承 投入进度 用状 性是
项目和超 募投项 含部 募集资金承 调整后投资 度投 度实 达到
诺投入金额 计投入金额 诺投入金 （%） 态日 否发
募资金投 目性质 分变 诺投资总额 总额 入金 现的 预计
(1) (2) 额的差额 (4)＝ 期 生重
向 更 额 效益 效益
(3)＝(2)- (2)/(1) （具 大变
（如
(1) 体到 化
有）
月
份）
高端半导 生产建 不适 不适 不适
无 40,000.00 40,000.00 40,000.00 - 39,991.03 -8.97 99.98% 否
体设备扩 设 用 用 用
产升级项
目
技术研发
生产建 不适 不适 不适
中心建设 无 40,000.00 40,000.00 40,000.00 - 39,992.45 -7.55 99.98% 否
设 用 用 用
升级项目
补充流动 不适 不适 不适
补流 无 20,000.00 20,000.00 20,000.00 - 20,000.00 - 100% 否
资金 用 用 用
回购公司 回购公 不适 不适 不适
无 30,077.72 30,077.72 30,077.72 - 30,077.72 - 100% 否
股份 司股份 用 用 用
合计 130,077.72 130,077.72 130,077.72 - 130,061.20 -16.52 — — — —
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（四）”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度不存在募集资金结余的情况。
易方式回购公司股份方案的议案》。审议同意公司使用公司首次公开发行人民币普通股取
得的超募资金及公司自有资金以集中竞价交易方式回购公司已发行的 A 股股份。截至 2024
募集资金其他使用情况
年 5 月 7 日，公司完成回购，已实际回购公司股份 2,096,273 股，占公司总股本的 0.34%，
回购最高价格 162.49 元/股，回购最低价格 122.08 元/股，回购均价 143.47 元/股，使用超
募资金总额 30,077.72 万元。
单位：万元
发行名称 2020 年向特定对象公开发行股票
募集资金到账日期 2021 年 6 月 22 日
本年度投入募集资金总额 175,115.04
已累计投入募集资金总额 680,793.15
变更用途的募集资金总额 -
变更用途的募集资金总额比例 -
项目
达到
已变
预定 项目
承诺投 更项 截至期
截至期末累 可使 可行
资项目 募投 目， 末投入 本年 是否
截至期末承 截至期末累 计投入金额 用状 性是
含部 募集资金承 调整后投资 本年度投入 进度 度实 达到
和超募 项目 诺投入金额 计投入金额 与承诺投入 态日 否发
分变 诺投资总额 总额 金额 （%） 现的 预计
资金投 性质 (1) (2) 金额的差额 期 生重
更 (4)＝ 效益 效益
向 (3)＝(2)-(1) （具 大变
（如 (2)/(1)
体到 化
有）
月
份）
中微产
业化基 生产 不适 不适 不适
无 317,000.00 317,000.00 317,000.00 23,031.43 273,597.27 -43,402.73 86.31% 否
地建设 建设 用 用 用
项目
中微临 生产
不适 不适 不适
港总部 建 无 375,000.00 375,000.00 375,000.00 65,600.13 287,379.63 -87,620.37 76.63% 否
用 用 用
和研发 设、
中心项 研发
目 项目
科技储 研发 不适 不适 不适
无 308,000.00 119,816.24 119,816.24 86,483.48 119,816.24 - 100% 否
备资金 项目 用 用 用
合计 1,000,000.00 811,816.24 811,816.24 175,115.04 680,793.15 -131,023.10 — — — —
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（二）”。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“三、本年度募集资金的实际使用情况（四）”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用
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