前 言 CONTENTS
报告编制说明 01 关于我们 05 ESG管理 11
公司简介 05
董事会声明 02 议题重要性分析 20
中微“五个十大” 06
董事长致辞 03
主要产品介绍 24 强化绿色发展能力 48 供应链治理体系 93 完善员工治理机制 104
产品创新突破 33 落实气候治理行动 63 供应链发展战略 94 明确员工发展战略 105
优化客户服务 42 推进能源高效利用 72 供应链风险和机遇管理 99 员工风险机遇管理 132
保障产品安全 44 守护自然生态环境 82 供应链发展指标和目标 102 员工相关指标目标 135
附录
附录一 责任绩效 184
推动产业发展 137 强化质量管控 146 强化公司治理 173 附录二 上交所《上市公司自律监管 192
凝聚责任担当 141 支持创新驱动 154 坚守商业道德 177 指引第14号——可持续发展报告
保护知识产权 162 完善内控合规 181 （试行）》索引
保护信息安全 167 夯实风险管控 183 附录三 全球报告倡议组织 GRI 索引 193
附录四 读者反馈表 199
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
报告编制说明
本报告是中微半导体设备（上海）股份有限公司发布的 编制原则 报告语言
第五份环境、社会及公司治理（ESG）报告。报告面向
本报告参考中国证券监督管理委员会《上市公司治理准 本报告以简体中文编写，附英文文本。若有差异，请以
所有利益相关方，披露公司在 ESG 和可持续发展方面
则》（2025）、财政部《企业可持续披露准则——基本 简体中文版本为准。
的理念、行动和成效。期待利益相关方通过本报告更多
准则（试行）》（2024）、财政部《企业可持续披露
地了解我们，并提出宝贵意见。
准则第 1 号——气候（试行）》（2025）、上海证券交
易所《科创板上市公司自律监管指南第 13 号——可持续
获取方式
发展报告编制》（2025）、上海证券交易所《上市公
报告范围
司自律监管指引第 14 号——可持续发展报告（试行）》 本报告以纸质版和电子版两种方式提供。本报告电子版
本报告涵盖中微半导体设备（上海）股份有限公司及所 （2024）、中国电子工业标准化技术协会 SJ/T 16000- 可在本公司网站中微官网 (amec-inc.com) 查阅、下载，
属公司（简称“中微公司”“中微”“集团”“公司”或“我 2016《电子信息行业社会责任指南》、全球报告倡议 同时刊载于上海证券交易所网站 www.sse.com.cn。
们”）在报告期内的企业 ESG 和可持续发展情况及企业 组织（GRI）可持续发展报告标准（2021）和中国企业
运营状况。 可持续发展报告指南（CASS-ESG 6.0) 等标准编写。
联系方式
时间范围 数据说明 中微半导体设备（上海）股份有限公司
地址：上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路
本报告为年度报告，时间范围为 2025 年 1 月 1 日至 本报告中的财务数据来自经审计的中微公司 2025 年年
邮编：201201
据来自中微公司内部管理系统及各所属公司统计数据。
本报告中所涉及货币金额以人民币作为计量币种，特别 电话：+ 86-21-6100 1199
说明的除外。 传真：+ 86-21-6100 2205
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
董事会声明
中微公司已经建立了涵盖“决策层 - 管理层 - 执行层”三个层级的 ESG 管理架构，公司董事会为 ESG 工作决策层，是公司 ESG 工作的最高决策机构。董事会 ESG 委员会负责制定
公司 ESG 战略方针，对公司 ESG 重大事项进行审议与决策，并定期监督检查 ESG 相关事宜进度，履行上市监管部门对董事会提出的 ESG 工作要求，为董事会 ESG 决策提供支持。
公司董事长担任 ESG 委员会主任委员（即召集人），负责主持委员会工作。ESG 领导小组由主要职能部门负责人组成，为公司 ESG 工作管理层，负责制定 ESG 管理制度，监督
ESG 工作执行情况，推进 ESG 工作顺利开展，并定期向 ESG 委员会汇报 ESG 工作进度。公司各部门和单位指派专职人员组成 ESG 工作小组，为公司 ESG 工作执行层，负责 ESG
日常管理工作的具体落实，确保 ESG 工作目标达成。
强化 ESG 明确 ESG 落实 ESG
事宜监督 战略方针 目标进展
董事会负责监督全公司 ESG 事宜的进展情况， 董事会明确了公司 ESG 战略，并高度关注产 董事会围绕公司 ESG 使命明确了七大管理目
ESG 委 员 会 及 ESG 领 导 小 组 定 期 跟 踪 各 项 业协同发展、产品技术创新、保护知识产权、 标，对公司在产品技术创新、绿色生产运营、
ESG 相关议案的落实情况，及时了解落实进度， 优化客户服务等重大议题，通过定期开展利 培养和推动供应链发展、员工权益保障、促进
并及时向董事会进行汇报。其它各层级各司其 益相关方沟通，明确年度 ESG 工作重点，不 社会发展、遵守商业规范等方面采取的措施提
职、高效运作，确保中微公司在 ESG 发展领 断充实和完善公司的 ESG 发展策略及发展计 出了具体要求，明确了公司未来 ESG 发展方向。
域一系列计划的有效落实。 划，并持续跟进利益相关方重视的 ESG 相关 董事会及其专门委员每年定期审议《中微公
事项落实情况。 司环境、社会及公司治理报告》，定期对公司
ESG 战略目标的确定、实施进展、报告内容等
进行讨论、监督及审阅。
本报告详尽披露中微公司在上述工作及其他 ESG 议题上的管理与实践进展，相关工作均由董事会 2026 年 3 月审议通过。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
董事长致辞
当今时代，数码产业与传统工业已然成为 面对行业发展的新机遇与外部环境的新挑 2024 年同比又增长约 36.62%，2025 年公
国民经济的两大支柱，人工智能、云计算、 战，中微公司始终站在先进制程工艺发展的 司人均年销售已达到 450 万元，远高于国
自动驾驶、大数据等产业的加速发展，让 最前沿，我们绝不抄袭和复制国外的标配设 内半导体设备公司平均水平，年销售与劳动
半导体微观加工设备作为数码产业基石的 备，一直坚持三项基本原则：即技术创新性， 力成本的比值更是超过国际领先设备公司。
战略价值愈发凸显。“工欲善其事，必先 产品差异化和知识产权保护。作为行业领先 在 2025 年全球半导体设备厂商的评比中，
利其器”，“数码强，则国强；设备强， 的半导体设备企业，中微公司近年来持续推 中微是唯一家获得了六个奖项。包括全球基
则数码强”的道理，在复杂的国际局势下 动技术突破与产品创新，平台化战略全面落 础芯片制造设备厂商第一名，薄膜设备第一
愈发深入人心。半导体设备的自主可控， 地，产品覆盖度持续提升，正稳步迈入规模 名和客户满意度第三名。行业影响力与品牌
已然成为保障产业发展、筑牢科技根基的 化发展新阶段。近年来，我们不断提高开发 美誉度持续提升。
核心要义。中微公司自 2004 年成立以来， 新的设备产品的质量和效率，将产品的开发
公司高度重视在环境保护、社会责任和公司
始终坚守开发高端半导体微观加工设备的 从传统的 3 到 5 年周期大幅缩短至 2 年以
治理等领域的建设。我们坚持将节能减排与
初心，2025 年更是我们在有机生长上实 内，更好的做到了“第一次设计就正确”的
高效理念融入产品设计。刻蚀设备通过优化
现重大突破、在横向拓展上向技术领先的 水平，2025 年公司一年内开发的项目涵盖
供电单元架构，在增强部署灵活性的同时，
高端设备平台化集团公司大步迈进的关键 六大类，超过二十款新设备。通过“有机生
实现了占地面积减少 33%；通过优化腔体
一年。在追求技术卓越的同时，我们更将 长和外延扩展”，公司在五年内将覆盖 60%
清洁工艺，腔体维护周期延长 30%；薄膜
环境保护、社会责任和公司治理理念深度 以上的高端关键设备。持续且高强度的研发
沉积设备通过优化产品结构设计，减少了设
融入企业发展战略，以实际行动践行可持 投入，为公司的技术突破与产品创新，以及
备占地面积超 20%；双反应台设计，降低
续发展承诺。 未来持续高速发展奠定了坚实基础。
物料成本约 25% 以上。AI 技术深度赋能产
经营业绩再创历史新高。在过去十四年公司 设备利用率和产线吞吐量。这些技术进步在
营业收入年均增长保持高于 35% 的基础上， 为客户创造价值的同时，也促进了全产业链
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
我们始终坚持绿色发展理念，积极应对气候变化挑战， 我们视创新为发展的根本动力，将卓越质量与规范经营 2026 年，中微公司将坚持“三维立体生长“ 和 ”有机生
持续推进绿色低碳运营。2025 年，公司整体电力消耗 贯穿于创新的全过程。截至报告期末，公司共申请专 长和外延扩展”相结合的战略，将“让人们的生活因我
中可再生电力占比提升至 42.32%，工业废水回用率达 利 3,324 项；全年研发投入约 37.44 亿元，同比增长约 们的努力奉献而更美好”的 ESG 愿景融入到日常的生产
能工厂”称号，公司首次通过 ISO 50001 能源管理体系 人员占比高达 52.24%。我们筑牢信息安全防线，构建 竞争力和优势，不断拓展泛半导体关键设备应用，并通
认证。我们通过举办丰富多彩的 QEHS 文化月活动，培 完善的知识产权保护体系，为持续创新保驾护航。2025 过持续的技术升级和深度的产业链合作进行新兴领域探
育全员可持续文化，携手各方共建共享绿色未来。 年，公司再次斩获全国专利银奖，知识产权保护体系持 索，通过“科创企业五个十大”的学习和传承，使企业
续完善。 总能量、对外竞争的净能量最大化，实现高速、稳定、
我们将可持续发展要求深度融入供应链管理全流程。本
健康、安全的高质量发展，为 2035 年在规模、产品竞
年度对 70 余家关键供应商开展了 ESG 线上问卷调查， 我们积极开展产业合作，促进产学研融合，支持教育发
争力和客户满意度上成为全球第一梯队的半导体设备公
开展供应商社会责任培训共计 114 次，并与供应商就技 展，持续关注特困老人和儿童成长，以实际行动回馈社
司打下坚实的基础！
术、质量、环保安全等议题召开会议超 2,000 次。通过 会。2025 年，公司持续投入公益事业，关爱特困老人
建立健全风险评估及应对机制，我们不断提升供应链的 公益项目累计投入达 743.16 万元，累计帮扶上海市特
中微公司董事长兼总经理
韧性与响应能力，致力于与合作伙伴共同成长，打造高 困老人家庭 650 户；关注儿童健康公益项目累计投入超
尹志尧
效、透明、负责任的供应链生态体系。 290 万元，累计救助儿童患者 23 名。我们以实际行动
传递温暖，支持社区发展。
我们高度重视人才的吸引、发展与激励。 2025 年，公
司累计录用新员工 641 名，其中校招应届生 167 名， 我们始终将完善公司治理作为可持续发展的基石，持续
应届生中博士及硕士研究生 156 名，超过 5 万人来应征。 强化内控合规建设，严格执行反商业贿赂、反不正当竞
加入中微的热情远超预期。我们通过系统化的人才发展 争等合规要求，并通过多样化的利益相关方沟通渠道，
体系激发组织活力，并通过股权激励计划（本年度授予 实现更开放、更高效的治理模式，切实保护中小股东权
员工 1,000 万股限制性股票）实现员工与公司的长远利 益。通过构建全面有效的风险管理体系，我们积极应对
益绑定。我们致力于构建尊重、包容的工作环境，让每 外部风险挑战，为公司稳健运营与高质量发展提供坚实
位员工都能共享发展成果，实现个人价值。 保障。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
关于我们
公司简介
中微公司致力于为全球集成电路和 LED 芯片制造商提 中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄 此外，中微公司也在布局光学和电子束量检测设备，
供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发 膜 设 备， 如 MOCVD，LPCVD，ALD 和 EPI 设 备， 并 并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制
的 CCP 高能等离子体和 ICP 低能等离子体刻蚀两大类， 取得了可喜的进步。中微公司开发的用于 LED 和功率 造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和
包括十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应 器件外延片生产的 MOCVD 设备早已在客户生产线上 纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的
用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内 投入量产，并在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场 基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。
和国际一线客户，从 65 纳米到 3 纳米及更先进工艺的 占据领先地位。
众多刻蚀应用。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
中微“五个十大”
叶果： 06 新产品导入策略
战略销售 08 谈判技巧和策略
主干： 枝干： 03 民主集中的决策机制
产品开发 营运管理 05 跨部门合作的矩阵管理
十大原则 十大章法 07 系统的 “三全” 质量管理制度
根基： 土壤： 01 自立自强 主动积极
领导能力 精神文化 03 诚信务实 说到做到
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
喜迎 Primo Menova12 寸金属刻蚀
发布 2024 年年度报告，营业收入约
设备全球首台机顺利付运
尹志尧博士荣膺 2024 年度中国经济 出席科技金融与产业创新大会
发布《2024 年度中微公司环境、社
新闻人物 会及公司治理报告》 携手仁济医院启动“扶老携幼基金 --
发明专利荣获中国专利奖银奖 儿童肝移植关爱专项”
成功举办 2025 新春“家”年华
关爱特困老人活动温暖百家
中微公司在等离子体刻蚀技术领域再次实现重 成功举办 2024 年度暨
大突破 2025 年第一季度业绩
发布首款晶圆边缘刻蚀设备 Primo Halona 说明会
刻蚀设备反应台全球出货超 5,000 台 成功举办“创‘芯 ' 赋能，
知产护航”知识产权周
精彩亮相 SEMICON China 2025
启动
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
成都研发及生产基地暨西南总部项目
首届中微“攀峰杯”创新大
正式开工
赛盛大开启
重阳佳节关爱特困老人活动温暖百家
QEHS 文化月活动圆满落幕
中微公司 21 周年庆典暨 2025 员工
家庭日
重磅发布六大半导体设备新产品
参展 CSEAC 先进技术与产品备受
中微公司董事长尹志尧博
瞩目
士再次荣登福布斯中国最
佳 CEO 榜单 精彩亮相 SEMI-e 2025
精彩亮相第二十五届中国国际工
业博览会
华南总部研发及生产基地项目盛
大开工 成功参加 IFWS
& SSLCHINA
智微资本首期基金隆重启航
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
SCC 碳中和与可持续发展 2025 杰出雇主 & 人力 最受机构青睐（科创版）上市
领军企业奖 资源管理杰出奖 公司 TOP5 榜单
SEMI 前程无忧 证券时报
中国专利奖银奖 SEMI 可持续发展卓越贡献奖 2025 幸福职场大奖
国家知识产权局和 SEMI 雇主品牌研究所（EBI）
世界知识产权组织
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
上市公司 & 人才招聘卓越奖 员工体验创新奖 ESG 先锋企业
科创板日报 SHL 雇主品牌研究所（EBI） 财联社
Wind 中国上市公司 2025 年国新杯·ESG
雇主品牌研究所（EBI） Wind 中国证券报 猎聘
ESG 新标杆企业奖 中国 ESG 上市公司 2025 年财联社致远奖 临港产业化基地
证券之星 长三角先锋 100（2025） ESG 先锋企业
中央广播电视总台 财联社
上海市经信委
福布斯中国 2025 中国 中国上市公司价值评选 2025 雇主品牌创意节 -
ESG 50 榜单 ESG 百强奖 最佳短视频奖
福布斯中国 证券时报 雇主品牌研究所（EBI）
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
ESG 管理
ESG 愿景 ESG 发展规划
中微公司秉持“让人们的生活因我们的努力奉献而更美好”的 ESG 愿景，在为客户和市场提供高科技 中微公司基于 ESG 愿景，围绕产品、环境、社会和公司治理四个维度，
产品和服务的同时，追求在环境保护、社会责任和公司治理等领域成为国际领先企业，立足中微七个 专注于七个实质性重要领域，系统推进可持续发展战略。
ESG 要素的管理，推动经济和社会可持续发展。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
绿色产品 持续开发高科技产品，改善人类生产和生活方式、提供环保节能的产品和服务。
产品层面
低碳发展 积极应对气候变化，通过持续技术创新和优化运营管理，实现公司运营的节能减排。
环境层面 责任采购 培养和推动供应链发展，在环境保护和社会责任方面持续做出贡献。
人才兴业 坚持以人为本，完善公平、公正的体系，营造积极向上、健康安全的工作环境。
社会层面
产业协作 支持社区、地区、城市、国家和全球的发展，实现共同富裕，合作共赢。
合规经营 遵守国内和国际商业规范，强化知识产权和质量管理，促进高科技产业健康有序发展
公司治理层面 全面治理 完善上市公司治理机制，强化风险管理体系，保障合规守法经营。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
ESG 管理架构
中微公司董事会高度重视 ESG 管理工作，在董事会层面专门设立了“ESG 委员会”，并建立了覆盖“决策层 - 管理层 - 执行层”的三级 ESG 管理架构，有效推进公司 ESG 工作，提
高公司 ESG 管理效率，打造中微 ESG 品牌形象。
中微半导体设备（上海）股份有限公司
审计委员会 提名委员会
战略委员会 董事会 薪酬与考核委员会
决策层
ESG 委员会
ESG 领导小组
质量环境安全部
全球物料运营部
董事会办公室
法务与合规部
人力资源部
全球业务部
产品部
制造部
财务部
厂务部
管理层
ESG 工作小组
执行层
产品专项组 环境专项组 社会专项组 治理专项组 法务与合规专项组 报告与品牌建设专项组
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
层级 人员 职责 汇报频次 2025 年会议次数
制定公司 ESG 战略方针
公司董事长担任 ESG 委员会主任委员 对公司 ESG 重大事项进行审议与决策 年度会议
（即召集人），负责主持委员会工作 定期监督检查 ESG 目标进展 必要时可临时召开
决策层
为董事会 ESG 决策提供支持
制定 ESG 管理体系与制度
由董事长委任高级管理人员担任 监督 ESG 工作执行情况 季度会议 4次
管理层 定期向 ESG 委员会汇报 ESG 工作进度
产品、环境、社会、公司治理、法务与合规专项小组
确保 ESG 工作融入到各工作组中
识别内部优先行动项 月度会议 12 次
设立六个专项小组，由相关职能部门
拆解总体目标，形成行动路线图及阶段性目标
领导担任负责人，并提名相应的执行
执行层 组长
报告与品牌建设专项小组
组织开展年度 ESG 报告的编制与发布 必要时召开 必要时召开
ESG 文化与品牌建设
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
ESG 绩效目标管理
为保障 ESG 规划落地，公司构建了从风险识别到目标跟踪的管理闭环，系统识别产品、环境、社会及公司治理等维度的 ESG 风险，并据此制定应对规划。基于规划，公司每年设
定集团层面的 ESG 考核目标，即 MBO（Management by Objectives，MBO）。根据公司 ESG 发展规划，ESG 领导小组制定了公司不同维度的 ESG 指导性目标矩阵，各业务部
门及分子公司根据集团目标设定其自身的年度 ESG 工作目标，自上而下，依次将目标分解至员工个人，最终形成了自集团管理层至普通员工均有相应的年度 ESG 考核目标。相关
考核目标的完成度与组织、个人的年终绩效奖金直接挂钩，充分调动公司上下各个组织单元，有效开展 ESG 专项工作，确保 ESG 政策方针的落实。
维度 集团 ESG 指导性目标 类别 进展 对应联合国可持续发展目标
重磅发布六大半导体
开发造福环境、社会和人类健康的高科技产品 长期目标
设备新产品
在等离子体刻蚀技术领域
开发高性能、环境友好且高能效的产品与服务 长期目标
再次实现重大突破
产品 提升绿色低碳技术的研发与应用，持续提升产品的可持 AI 赋能产品研发创新，
长期目标
续竞争力 提升工艺水平及运维效能
建立产品能耗监测与对标体系，系统识别能效提升机会，
长期目标 持续推进低碳产品研发创新
并将优化方案融入产品设计，持续降低产品碳足迹
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
维度 集团 ESG 指导性目标 类别 进展 对应联合国可持续发展目标
碳排放强度较 2024 年已下降
到 2035 年实现自身范围一和范围二的碳中和 长期目标
到 2030 年，实现集团层面 80% 的电力消耗来源于可 可再生电力使用占比
长期目标
再生电力 42.32%
协同供应商推进产品可持续设计；开展供
与供应链合作伙伴协同合作，共同减少环境足迹 长期目标 应商包材回收利用；带动供应商本地建厂，
减少物流等环节碳排放
通过评估、培训和能力建设，与供应商就 ESG 议题开 开展首次供应商 ESG 评估，持续推进
长期目标
展合作 ESG 议题专项审核等
环境
工业废水回用率达
水资源利用效率及循环利用率达到同行业领先水平 长期目标
临港产业化基地获得上海市及临港新片区
持续采用最佳可行技术，成为低碳制造领域的行业领
长期目标 “智能工厂”称号，不断深化数字化卓越
导者
工厂建设，有效提升了产品生产效率
与供应商及客户合作，对运营过程中产生的废物流实 推进供应商包材标准化，实施并推广包材
长期目标
施循环经济策略 等物料循环使用
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
维度 集团 ESG 指导性目标 类别 进展 对应联合国可持续发展目标
报告期内，发生 1 起轻微可记录伤害事件，
已妥善处置。公司已完成事故复盘，将持续
可记录伤害事件为零 长期目标
完善操作流程，强化现场管控，提升职业健
康安全管理水平。
报告期内，公司严格恪守对劳工及人权伤害
对劳工及人权伤害零容忍 长期目标
零容忍原则，未发生劳工及人权伤害事件
社会
培育多元、平等和包容的文化，激发每个员工的创新 打造多元、平等和包容的环境，为员工提供
长期目标
潜能和归属感 多项支持
深化外部合作，赋能产业，服务社会，共建更美好的 搭建多层次行业交流平台，深度参与产业生
长期目标
世界 态建设
已连续披露第 5 份年度 ESG 报告，报告遵循
构建符合国际标准、数据准确可靠、透明度持续增强 上交所最新指引要求，并参考财政部等国内
长期目标
的 ESG 信息披露体系 外权威机构发布的披露准则，确保信息披露
的有效性，系统性，规范性和透明性
公司治理
将 ESG 指标纳入绩效管理中，推动 ESG 工
将 ESG 融入业务运营，以推动可持续发展 长期目标
作有效落实
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
ESG 能力建设
围绕 ESG 核心要素，公司已逐步搭建起覆盖关键议题的系统化 ESG 培训体系，确保 ESG 管理架构中相关人员具备专业技能与能力。
ESG 培训
产品 治理
环境 社会
产品可持续设计培训 反腐败与商业贿赂、
中微论坛专家讲堂 反不正当竞争与反垄断培训
环保培训 员工发展培训
现场服务岗位技能提升培训 知识产权保护培训
节能培训 供应商能力培训
产品安全设计培训 ESG 战略管理与实践专题培训
CBAM（Carbon Border 职业健康与安全生产培训
... 董监高 ESG 培训
Adjustment Mechanism）培训 质量管理工具培训
节水培训 ...
碳排放及应对气候变化培训
...
全体 供应链
决策层 管理层 业务线
员工 合作伙伴
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
案例 2025 年 ESG 战略管理与实践专题培训
制定培训计划
结合年度 ESG 实质性议题、最新合规法规及岗
专题培训，覆盖所有 ESG 领导小组及各专项小组核心成员。培训旨在系统提升团队对 ESG 核心理念的认
位能力差距，制定年度培训计划
知，掌握将 ESG 融入战略规划与业务运营的有效路径，从而全面提升 ESG 信息披露质量，着力塑造具有
中微特色的 ESG 品牌优势。
分层级定向培训
聚焦产品、环境、社会、公司治理四大维度，
面向决策层、管理层及业务线、全体员工、供
应商合作伙伴等关键群体，开展分层分级定向
培训
评估培训效果
以全员培训覆盖率、员工培训满意度、人均培 “ESG 战略管理与实践”专题培训
训时长及投入为衡量指标，开展培训效果评估
优化培训体系
结合年度审计结果迭代更新培训体系，并动态
调整下一年度培训重点，实现体系的持续完善
与迭代升级
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
议题重要性分析
为全面把握可持续发展议题对业务的重要性，满足监管披露要求，中微公司 2025 年可持续发展报告持续深化双重重要性概念的应用，从财务重要性和影响重要性两个维度判断可
持续发展议题的重要程度。我们通过在线问卷、管理层研讨、专家评估会等方式，调研各利益相关方关注点，以此综合评估各可持续发展议题的财务重要性与影响重要性。
步骤一：了解公司活动和业务关系背景
中微公司通过研究相关法律和监管政策，全面剖析公司的商业计划、发展战略、财务表现、产品和服务等信息，并参考媒体报道，开展同业对标分析，识别出公司的利益相关方。
这些利益相关方覆盖公司内外部群体，主要包括政府及监管机构、股东、客户、供应商、员工、社区等。
利益相关方
政府及监管机构 股东 客户 供应商及合作伙伴 员工 社区
• 带动共同富裕 • 持续得到投资回报 • 提升产品质量 • 拓宽合作渠道 • 保障员工权益 • 热衷教育支持
期望与诉求
• 合规合法经营 • 提升公司治理水平 • 科技技术创新 • 公平公正采购 • 畅通职业发展 • 构建社区和谐
• 创造就业机会 • 加强信息透明度 • 安全合规生产 • 诚实守信履约 • 员工暖心关怀 • 积极参与公益
• 产业协同发展 • 守法合规经营 • 保护消费者权益 • 商业道德与反腐败 • 关爱员工健康 • 绿色低碳环保
• 助力“双碳”目标 • 创造盈利价值 • 提高产品性价比 • 互利合作共赢 • 提高薪酬福利
• 生产绿色产品
• 支持行业政策制定 • 持续提升经营水平 • 客户现场服务 • 供应商培训 • 职工代表大会 • 开展公益活动
• 参与调研走访与会议 • 定期报告 • 工作人员沟通 • 供应商大会 • 员工满意度调查 • 关怀弱势群体
沟通渠道
• 日常审批与监管 • 信息公告 • 产品质量控制 • 供应商合作交流 • 员工文体健康活动 • 员工志愿服务
• 参与政府活动 • 路演 • 客户满意度调查 • 供应商问卷调查 • 申诉与举报机制 • 绿色生产运营
• 绿色制造生产 • 业绩说明会 • 客户投诉处理 • 供应商走访稽核
• 股东会
• 投资者服务电话、邮箱
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步骤二：建立议题清单 步骤三：议题重要性的评估与确认
中微公司依照《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 14 号——可持续发展报告（试行）》初
影响重要性评估
步拟定可持续发展议题，通过监管政策分析、行业规则与标准对标、同业分析以及问卷调研等方式，
结合半导体行业特点、行业发展阶段、自身商业模式以及价值链等情况，同时参考 ESG 评级标准， 影响重要性信息旨在提供有助于利益相关方评估公司经营外部性的可持续
经审慎评估，最终确定了应对气候变化、供应链安全、员工等可持续发展议题，并将各议题相关 发展相关信息。评估主要流程包括确定影响重要性评估因素、利益相关方
信息在 ESG 报告中进行披露。 调研、设置判定影响重要性的阈值、形成评估结论等。调研对象包括政府
及监管机构、股东、客户、供应商、员工、社区等利益相关方。
影响重要性的程度以 0-5 分为判断区间，其中 0 分为无影响，1 分为极小
影响，2 分为较小影响，3 分为中等影响，4 分为较大影响，5 分为极大影响。
设定 4 分为阈值，大于 4 分的议题被视为影响重要性议题。
财务重要性评估
财务重要性评估需要在识别影响或可能影响本行业务运营、财务状况、经
营成果、现金流等的风险和机遇后，评估是否产生重大财务影响。评估主
要流程包括确定财务重要性评估因素、设置判定财务重要性的阈值、利益
相关方与专家参与、形成财务重要性评估结论等。调研对象包括公司内部
部门、股东和投资者等利益相关方。
财务影响的程度以 0-5 分为判断区间，其中 0 分为无影响，1 分为极小影响，
定 4 分为阈值，大于 4 分的议题被视为财务重要性议题。
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步骤四：议题报告
中微股东、领导小组、决策咨询委员会、政府相关部门、
客户、供应商、员工、社会及学生共七类利益相关方。
反不正当竞争 应对气候变化
在完成上述重要性评估流程后，我们汇总了议题的影响 商业贿赂及反贪污 员工 能源利用
利益相关方沟通
重要性和财务重要性评估结果，共识别出 20 个具有影
环境合规管理 供应链安全 创新驱动
响重要性的议题，其中应对气候变化、能源利用、供应 废弃物管理 数据安全与隐私保护
水资源利用 污染物排放
链安全、员工、产品和服务安全与质量、创新驱动、数
产品和服务安全与质量
据安全与隐私保护 7 个议题为既具有财务重要性也具有 循环经济
影响重要性的双重重要性议题。2025 年度中微公司可
影响重要性
社会贡献
持续发展议题分析结果如下：
尽职调查 生态系统和生物多样性保护
平等对待中小企业
科技伦理
财务重要性
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
刻蚀设备通过优化供电单元架构，增强部署灵活性， 双反应台设计， 薄膜沉积设备通过优化产品结构设计， AI技术深度赋能产品研发，
实现占地面积减少33% 、 减少物料使用约 25% 减少设备占地面积超 20% 提升了维修效能、
设备利用率和产线吞吐量
功率密度提升约43%
中微公司瞄准世界科技前沿，坚定践行三维发展战略。
坚持以市场与客户需求为导向，积极应对复杂形势，
持续加大研发与业务开拓投入，推行创新驱动的高质量增长策略，建专业服务团队，提供产品全生命周期
服务，及时响应客户需求。
在刻蚀设备、薄膜设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局及新业务拓展上
成果突出，产品获海内外客户认可。同时，公司兼顾外延性发展，积极探索布局其他新业绩增长点，子公司
中微惠创、中微汇链、芯汇康及公司参与投资的诸多公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展。
今后，中
微公司将继续深耕集成电路关键设备领域，积极拓展泛半导体应用，探寻新兴领域机遇，全力推动自身高
速、稳定、健康、安全发展。 23
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
主要产品介绍
CCP 设备
为 65 到 16 纳米芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 为芯片刻蚀和光刻胶移除提供创新的整合解决方案 为 40 到 5 纳米芯片制造提供创新的刻蚀解决方案
产品特点 产品特点 产品特点
· 双反应台腔体设计具有更高的产出效率 · 远程等离子体源 · 双反应台腔体设计具有更高的产出效率
· 双反应台独立射频系统和刻蚀终端控制系统 · 高效率除胶 · 双低频功率切换系统 , 用于制程分步骤优化
· 拥有自主知识产权的射频匹配系统 · 高效离子隔滤，以避免对器件造成等离子体诱发损伤 · 脉冲射频系统选项
· 拥有自主知识产权的等离子体隔离技术 · 多区气体分配调节系统
· 静电吸盘双区冷却装置
· 低金属污染工艺组件选项
· 每一步骤可独立进行控温的四区动态静电吸盘 (Primo AD-RIE-e)
· 拥有自主知识产权涂层技术的抗腐蚀反应腔 (Primo AD-RIE-cr)
· 一体整合的除胶能力及表面电荷减除能力 (Primo iDEA 系统 )
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 高生产效率 , 低生产成本 (CoO) · 双反应台刻蚀与除胶整合一体机，显著减小占地面积使用 · 双低频功率分步骤切换系统，以适用于更广的制程范围 ( 特别是
· 设备占地面积小 · Primo iDEA 系统设计以代替单独的刻蚀和除胶系统 , 节 Trench/Via All-in-one 制程 )
· 一体整合的除胶能力及表面电荷减除能力 (Primo iDEA 省成本 20% 以上 · 卓越的工艺可调性和稳定性，以满足先进工艺标准
系统 ) · 高生产效率 , 低生产成本 (CoO)
· 扩展机型 Primo AD-RIE-e，Primo AD-RIE-cr 和 Primo iDEA，
可应用于不同特殊制程
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CCP 设备
低成本高产出的 12 英寸晶圆边缘干法刻蚀解决方案 为 NAND 和 DRAM 芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 用于存储器件高深宽比刻蚀工艺的电容耦合等离子体刻蚀机
产品特点 产品特点 产品特点
· 双反应台腔体设计，搭配 Quadra-arm 机械臂 · 具有独立气体输运系统的单反应台腔体设计 · 具备多级脉冲功能的超低频大功率射频系统
· 抗腐蚀腔体材料，满足后段工艺需求 · 多区气体调节以及双区 ESC 温度控制 · 强化设计的上电极加热和冷却
· 自对准上腔体设计，提升对中精度与平行度 · 高功率以及高温静电吸盘 · 耐高击穿电压的静电吸盘。
· 可选集成量测模块，实现在线检测 · 气体脉冲 · 可实时温度切换和带分区冷却功能的下电极
· 双级同步脉冲射频系统 , 甚高功率的低频射频脉冲以提供高 · 业内首创的主动边缘阻抗调节系统
离子轰击能量 · 可选的集成去胶反应腔
· 稳定的上电极温度控制系统
· 可冷却聚焦环以防止硅片边缘刻蚀停止
· 高上下电极面积比 , 以应用于中高深宽比刻蚀
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 更低的机台成本 (CoO) · 高电介质材料刻蚀速率 , 多手段刻蚀均匀度调节 · 高离子能量及准直性，提高孔内刻蚀速率及刻蚀形貌控制
· 更高的产出密度与生产效率 · 高粒子轰击能量，以扩大高深宽比刻蚀工艺窗口 · 工艺调节手段多样，扩大高深宽比刻蚀工艺窗口
· 易维护设计 · 气体脉冲系统 , 提供更灵活的工艺控制方案 · 优异的高深宽比刻蚀重复性和稳定性
· 应对特殊工艺的高温高功率静电吸盘选项 · 应对特殊工艺气体的防腐蚀工艺组件
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CCP 设备 ICP 设备
为功率器件、逻辑芯片和存储芯片等应用提供高性价比的刻蚀解决方案 为功率器件、逻辑芯片和存储芯片等应用提供高性价比的刻蚀解决方案
产品特点 产品特点
· 双反应台腔体设计具有更高的产出效率 · 双反应台腔体设计
· 三频射频馈入 · 低电容耦合 3D 线圈设计
· 气体分配调节系统 · 高抽速大容量涡轮泵
· 静电吸盘双区冷却装置 · 双通道进气
· 低金属污染工艺组件选项 · 精密的腔体温控和 RF 窗口温控系统
· 2 管调节气体 · 先进的高致密性、耐等离子体侵蚀涂层工艺
· 多区动态温控静电吸盘
· 13 兆赫或 400 千赫脉冲偏压系统
· 可选的集成除胶反应腔
竞争优势 竞争优势
· 离子浓度和离子能量独立可控 · 离子浓度和离子能量独立可控
· 卓越的工艺可调性和稳定性，以满足先进工艺标准 · 高排气量和更宽的工艺窗口
· 优良的刻蚀均匀性 · 超凡的刻蚀均匀性
· 高生产效率 , 低生产成本 (CoO) · 优异的高深宽比刻蚀性能
· 高生产效率 , 低生产成本 (CoO)
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
ICP 设备
为功率器件、逻辑芯片、储存芯片和新型光学元件等应用 为 1X 纳米及以下逻辑和存储器件刻蚀应用提供创新的
为芯片提供高效稳定的金属刻蚀解决方案
提供高性价比的刻蚀解决方案 解决方案
产品特点 产品特点 产品特点
· 双反应台腔体设计 · 灵活的金属刻蚀腔和去胶腔的数量配置 · 轴对称腔体设计
· 低电容耦合 3D 线圈设计 · 低电容耦合 3D 线圈设计 · 低电容耦合 3D 线圈设计
· 高抽速大容量涡轮泵 · 高抽速大容量涡轮泵 · 高抽速大容量涡轮泵
· 可配置 12 路工艺气体 · 先进的高致密性、耐等离子体侵蚀涂层工艺 · 精密的腔体温控系统
· 精密的腔体及抽气路径温控 · 双区温控静电吸盘 · 先进的高致密性、耐等离子体侵蚀涂层工艺
· 先进的高致密性、耐等离子体侵蚀涂层工艺 · 射频脉冲系统 · 多区细分的高动态范围温控静电吸盘
· 双区冷却 9000V 高压静电吸盘：可同时支持硅晶圆和玻璃晶 · 精密的腔体温控和 RF 窗口温控系统 · 阻抗可调聚焦环设计 AEIT
圆加工 · 优异的可维护性和高生产率 · 切换式双频偏压系统
· 13 兆赫或 400 千赫脉冲偏压系统 · 可选的集成除胶反应腔
· 可选的集成除胶反应腔 · 可选的 Durga ESC
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 离子浓度和离子能量独立可控 · 等离子浓度和离子能量独立可控 · 离子浓度和离子能量独立可控
· 高排气量和更宽的工艺窗口 · 高排气量和更宽的工艺窗口 · 高排气量和更宽的工艺窗口
· 超凡的刻蚀均匀性 · 良好的腔体温度控制 · 超凡的刻蚀均匀性
· 优异的高深宽比刻蚀性能 · 良好的工艺一致性和重复性 · 优异的高深宽比刻蚀性能
· 高生产效率 , 低生产成本 · 高生产效率 , 低生产成本 · 高生产效率 , 低生产成本 (CoO)
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TSV 设备 EPI 设备
为深硅刻蚀提供高性能、高产能的解决方案 为逻辑，存储及功率等器件产品量产提供高性价比的外延解决方案
产品特点 产品特点
· 电感式耦合高密度等离子体源的双反应台刻蚀腔 · 模块化设计的具有灵活配置的平台
· 高功率射频等离子体源 , 并具有连续或脉冲的射频偏压 · 具有可调节性腔体形状的反应腔
· 具有快速气体转换的内置气箱 · 多层独立气体分区控制
· 晶圆边缘保护环 · 具备多个径向调节能力的温场和温控设计
· 制程终端光学控制系统 · 可选的集成的处理氧化硅表面预处理腔
· 可调节的双发射天线 · 可选的集成更高选择性处理氧化硅表面预处理腔
竞争优势 竞争优势
· 具有适合不同应用的工艺调整性 · 高生产率，低生产成本，低化学品消耗
· 高生产力的主机使每台系统的产能最大化 · 优异的流场与热场的均匀性和可调性
· 同一反应腔内融合了 Bosch 以及恒稳态制程的工艺性能 · 卓越的工艺适应性和兼容性，可以满足从成熟到先进节点的逻辑，存储和
· 可从 200mm 升级到 300mm 功率器件等的外延工艺需求
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
CDP 设备
双反应台及多达五个反应腔的系统具备高输出效率 双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计 双反应台及多达五个反应腔的高真空系统设计
产品特点 产品特点 产品特点
· 双反应台反应腔及多达五个反应腔的系统 · 双反应台反应腔及多达五个反应腔的系统 · 双反应台及多达五个反应腔的系统
· 独立紧凑的反应空间 · 独立紧凑的反应空间 · 独立紧凑的反应空间
· 高效灵活的工艺调节窗口 · 高效灵活的工艺调节窗口 · 中微专利的气体切换系统
· 自主知识产权的优化混气方案 · 自主知识产权精准抑制工艺设计 · 高效灵活的工艺调节窗口
· 自主设计的真空卡盘加热台 · 自主设计的真空卡盘加热台 · 自主设计的真空卡盘加热台
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 高生产效率，低生产成本，低化学品消耗 · 高生产效率，低生产成本，低化学品消耗 · 高生产效率，低生产成本，低化学品消耗
· 优秀的薄膜均一性和填充能力 · 优秀的薄膜均一性和工艺稳定性 · 优秀的薄膜均一性和工艺稳定性
· 优秀的工艺适应性和兼容性 · 优秀的高深孔填充能力和较强的不同复杂结构兼容适配性 · 优秀的三维结构及复杂结构填充性能
· 对弯曲度较大的晶圆也具有良好的工艺处理能力 · 对弯曲度较大的晶圆也具有良好的工艺处理能力 · 对弯曲度较大的晶圆也具有良好的工艺处理能力
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
CDP 设备
为逻辑芯片、储存芯片和其他特殊器件提供的 为逻辑和储存芯片提供的高性能、高输出效率的 为先进逻辑芯片提供的高性能、高输出效率的
高性能、高输出效率的原子层沉积氮化钛薄膜设备 原子层沉积氧化钽薄膜设备 原子层沉积钛铝薄膜设备
产品特点 产品特点 产品特点
· 可配置多达五个双反应台反应腔的系统设计，具备高输出效率 · 可配置多达五个双反应台反应腔的系统设计，具备高输出效率 · 可配置多达五个双反应台反应腔的高真空系统设计，有利于
· 中微专利的多级匀气混气设计和反应腔流导设计 · 独特的温度控制系统设计 系统整合设计
· 基于模型算法的加热系统设计 · 多区流道设计 · 独特的温度控制系统设计
· 中微自主开发的可实现高效气体输送效率和吹扫效率整体设计 · 多源供应系统设计 · 多区气体分布系统设计
· 基于模型控制的加热系统设计
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 高生产效率，低生产成本 (CoO) · 高生产效率，低生产成本 (CoO) · 高生产效率，低生产成本 (CoO)
· 优异的污染物控制 · 优异的污染物控制 · 优异的污染物控制
· 更好的薄膜均一性和薄膜间均一性 · 更好的薄膜均一性和薄膜间均一性 · 更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
· 对于多种复杂结构实现优秀的台阶覆盖率 · 每个维护周期的晶圆数目大大增加 · 每个维护周期的晶圆数目大大增加
· 每个维护周期的晶圆数目大大增加
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
MOCVD 设备
用于 LED 外延片大规模量产的 MOCVD 设备 用于深紫外 LED 外延片量产的 MOCVD 设备 用于高性能 Mini LED 外延片量产的 MOCVD 设备
产品特点 产品特点 产品特点
· 可独立控制的反应腔运行模式 · 适用于高温氮化铝材料和深紫外 LED 生长的关键设备 · 自主的实时监控系统
· 自主的实时监控系统 · 优异均匀性和高效能相结合 · 精准的参数控制
· 精准的参数控制 · 适合高晶体质量和高 AIN 生长速率的新颖腔体设计 · 自动化的控制与维护功能
· 全自动化处理 · 创新的实时监控系统 · 符合半导体标准的软件控制系统
· 符合半导体标准的软件控制系统 · 工艺温度最高可达 1,400 度 , 具有优异的温场均匀性和控制稳
定性
· 具有高稳定性、自动化的真空传送系统 , 抑制颗粒的产生
· 界面友好、全自动化的操作系统
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 优异的工艺重复性 , 简化工艺调整需求 , 提高产品良率 · 优异的工艺重复性 , 简化工艺调整需求 , 提高产品良率 · 可独立控制的反应腔运行模式
· 28 英寸超大尺寸托盘 , 产量是前一代 MOCVD 设备 · 单炉可生长 18 片 2 英寸外延晶片，具有较低的生产成本 · 新颖的局部温度调控加热系统
Prismo D-BLUE 的 2 倍多 , 极大地降低了生产成本 · 集成顶盖升降机构 , 简化设备维护 , 提高设备利用率 · 优异的 LED 波长均匀性
· 集成顶盖升降机构 , 简化设备维护 , 提高设备利用率 · 业界领先的 UVC LED 产能及维护周期
· 符合 SEMI S2 安全标准 , 提升设备的安全性能
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MOCVD 设备 VOC 净化设备
用于氮化镓功率器件量产的 MOCVD 设备 用于碳化硅功率器件量产的 HTCVD 设备 工业用大型 VOC 净化设备
产品特点 产品特点 产品特点
· 可独立控制的反应腔运行模式 · 簇式系统布局，至多可配备四个反应腔 · 与其他同类产品相比，占地面积小、功耗低
· 自主的实时监控系统 · 每个反应器支持单片 6 英寸或单片 8 英寸 · 整合式电气控制柜设计 , 简化配线和设备布局
· 双区喷淋头设计 · 垂直式反应腔技术，长维护周期 · 复合式处理风机设计，保证设备持续高效运行
· 6"/8" 生产灵活切换 · 片盒到片盒的衬底传送系统 · 安全设计符合 IEC 及相关的标准
· 基于模型的控温系统 · 配备带 SMIF 的 EFEM 系统，兼容 6 英寸 /8 英寸
· 先进的生长监测系统
· 配备晶片预热模块
· 基于模型的温度控制系统
竞争优势 竞争优势 竞争优势
· 创新的实时监控系统，精确测量托盘温度 · 垂直式反应器，免维护周期长 · 拥有多项专利的 VOC 浓度在线监测系统
· 具有良好的设备扩展性，可便捷切换 6"/8" 工艺菜单 · Semi 标准片盒到片盒传送系统，有效降低颗粒度 · 多种针对不同 VOC 环境下的经济运行模式，实现高效运营
· 集成顶盖升降机构，设备维护简易，利用率高 · 集成预加热腔，降低衬底残留水汽与热形变 目的
· 界面友好、全自动化的操作系统 · 基于模型的温度控制，提供高精确、高响应、高稳定性的 · 高效的处理能力和低成本的维护投入
· 符合 SEMI S2 安全标准，设备安全性高 温控 · 可根据客户需求 , 提供定制化的产品
· 专业的信息化模拟团队 , 为客户提供多种参数模型设计
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产品创新突破 产品特点 代表性典型设备 应用领域
基于在半导体设备制造产业多年积累的专业技术，中微
公司坚持技术突破与产品创新，现有产品体系涉足半导
电容性等离子 主要应用于集成电路制造中氧化
体集成电路制造、先进封装、LED 外延片生产、功率器
体刻蚀设备 硅、氮化硅及低介电系数膜层等
件、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域，以 （CCP） 电介质材料的刻蚀
全面、丰富、专业的产品技术体系，助力半导体行业的
健康、快速发展。 Primo AD-RIE-e
主要应用于在逻辑芯片、存储器
刻蚀设备 件、功率器件、微型发光二极管
中微公司生产的等离子体刻蚀设备是制造各种微观器件 Micro-LED、AR 和 VR 智 能 眼 镜
的关键设备，是数码时代最关键的基础产业。公司自成 用的超透镜（Metalens）等特色
立以来，不断开拓创新，在业内首创双反应台刻蚀腔体 器件中单晶硅、多晶硅以及多种
结构，系统最多可配置三个双反应台的反应腔（六个反 薄介质等材料的刻蚀
电感性等离子 Primo Twin-Star
应台），先后推出双反应台反应器的 CCP、ICP 刻蚀设备， 体刻蚀设备
通过两个反应台共用气柜、压力计、和分子泵等部件， （ICP）
可节省约 30% 制造成本，降低半导体行业的生产能耗，
引领行业绿色发展。 主要应用于 CMOS 图像传感器、
MEMS 芯 片、2.5D 芯 片、3D 芯
片等通孔及沟槽的刻蚀
Primo TSV
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
刻蚀设备的先进技术能力 刻蚀设备的绿色创新
极高深宽比刻蚀能力 优化供电单元架构，增强部署灵活性 优化腔体清洁工艺，资源节约降低消耗
在先进的存储芯片上，需要在氧化硅和氮化硅的叠层 通过优化空间结构、优化紧凑型组件与功能兼容性设 优化腔体清洁工艺，实现节能、节材与能效提升：
结构上，刻蚀 40:1 到 60:1 甚至更高的深孔或沟槽。 计，在确保散热与安全的前提下，实现占地面积减少 优化晶圆之间的腔体清洁工艺，部分腔体维护
中微的高端刻蚀机能满足该工艺严苛的刻蚀要求，提 33%、功率密度提升约 43%，并大幅增强了设备安 周期从 500 小时延长至 1,000 小时，较同类产
高刻蚀速率和生产能力，实现高稳定性大批量生产， 装的通用性与部署效率。 品提升 30%，显著降低耗材使用与环境污染；
降低单片晶圆的制造成本，帮助客户实现高密度存储 优化无晶圆清洁工艺，缩短腔体清洁时间，随
芯片的制造需求，有效减少芯片使用过程中的能耗。 优化零部件制造工艺，降低部件生产能耗
着客户产能的提升，特种气体的节约量累计成
提高机台关键部件的良率和产能，从而降低机台零部
倍增加；
件单件生产的能耗，有效提升机台的可持续竞争力。
双台机刻蚀性能的持续提升 通过数据和模型智能化触发腔体清洁过程，采
在多款 CCP 和 ICP 的双反应台刻蚀设备基础上，公司 优化产品组件设计，减少原材料消耗 用智能化调度算法，减少腔体空闲时间等。
持续技术创新，进一步提升单片晶圆的片内刻蚀性能， 例 如 通 过 优 化 气 柜 设 计， 把 反 应 腔 体 的 气 柜 模 组 优化晶圆传输，提高生产效率
并减小两个反应台间的刻蚀差异到亚埃级，从而进一 （Gasbox） 中 通 用 的 手 阀、 过 滤 器、 调 压 阀、 压 通过优化传输系统与控制算法，在混合短制程加
步延伸双台机的可适用工艺种类，降低该工艺的制造 力 表 等 元 器 件 集 中 放 置 于 手 阀 箱（Manual Valve 工模式下生产效率提升约 35%，助力客户实现绿
成本。 Box，MVB），有效减少了共用部件的原材料使用。 色高效运营。
AI 赋能刻蚀设备创新
设备 面对量产设备数据解析效率低的挑战，公司应用中微自研 AI 系统进 工艺 为应对先进工艺快速迭代的需求，公司通过 AI 辅助图像识别等技术，对历史工
故障 行大数据智能分析，在某设备故障诊断中，系统自动识别数据差异与 开发 艺数据实施智能归档与管理，并建立了可智能检索与生成报告的工艺数据库。在
智能 关联，将原本数小时的分析工作缩短至几分钟，效率提升超 80%， 与优 某工艺开发中，有效利用该数据库，可节省约 6 个月的开发工时，减少约 30%
诊断 显著提高了故障定位准确性，有效降低了运维成本。 化 的晶圆使用量，开发效率提升 80%，大幅加快了工艺迭代速度，降低了开发成本。
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MOCVD 设备
LED 是高效的人造光源，通过替代白炽灯等传统灯具，实现全社会的节能降碳。中微公司生产的 MOCVD 设备是用于制备化合物半导体外延片的关键设备，这些设备被广泛应用于
制造通用照明和背光显示的蓝光 LED、高端显示的 Mini LED 和 Micro LED、杀菌消毒和空气净化的紫外 LED、电力电子的功率器件等高效节能的终端设备，通过这些产品的广泛
使用为全社会节能降耗贡献中微力量。
中微公司生产的用于蓝光
照 明 的 PRISMO A7、 用
于深紫外 LED 的 PRISMO
HiT3、用于 Mini-LED 显 PRISMO UniMax MOCVD 设备
示的 PRISMO UniMax 等
自 2021 年 6 月正式发
产品持续服务客户。截至
布 以 来， 凭 借 其 高 产
报告期末，公司持续保持
量、 高 波 长 均 匀 性、
国际氮化镓基 MOCVD 设
高 良 率 等 优 点， 受 到
备市场领先地位。
下游客户的广泛认可，
在 Mini-LED 显示外延
片生产设备领域处于
国际领先。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
MOCVD 设备的“扩大效应”助力全社会节能减碳
MOCVD 是 LED 照明、显示与氮化镓功率器件等节能器件制造的关键设备，中微公司自 2017 年起已经成为氮化镓
基 LED 市场份额最大的 MOCVD 设备供应商，凭借卓越的设备性能，带动产业链从上游到下游的整体设备制造及设
备使用，为全社会节能降耗提供了强大助力，诠释着公司矢志不渝的绿色发展理念。
造福社会
服务产业
生产经营
通过支持 LED 照明产业发展降低社会能耗 通过支持氮化镓功率器件产业发展降低社会能耗
LED 照明灯节能优势显著，比荧光灯节能约 50%，比白炽灯节能约 90%。随着 LED 照 在能源效率备受关注的当下，与传统硅基器件相比，氮化镓功率器件
明渗透率不断提升，2025 年全球预计因此节约用电超 3 万亿 kWh。中微公司作为氮化 优势尽显，最高可节约 10% 的电能消耗，目前已广泛应用于手机、
镓基 LED 用 MOCVD 设备领域的佼佼者，凭借先进设备有力推动了 LED 照明的规模化 笔记本电脑充电器等消费电子领域。中微公司生产的氮化镓功率器件
生产。此外，中微公司积极开拓创新，开发 Micro LED 显示用 MOCVD，该技术在细分 MOCVD 设备，有力推动了氮化镓功率器件从研发走向规模化生产应
显示领域功耗更低，在户外和大屏幕会议显示场景中，将进一步助力减少碳排放。 用，为全社会节能减排贡献关键力量 。
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MOCVD 设备的绿色技术创新
稀有金属回收 生产工艺优化 MOCVD 加热效率革新
与供应商合作，将研发过程中产生的稀有金属废 通过提升传片效率和腔体原位清洁效率，实现 新开发的 MOCVD 产品采用感应加热系统，通过
弃物进行回收再利用。报告期内，累计回收钨 蓝 绿 光 Micro-LED MOCVD 单 位 时 间 晶 圆 产 出 持续迭代优化，加热效率提升超 5%，在加热效率、
Micro-LED 设备性能升级 碳化硅外延技术突破
持续推进面向 Micro-LED 应用的 MOCVD 设备开发，通过数值模拟仿真，优化 针对碳化硅晶圆生产工艺复杂、良品率低这一棘手难题，通过开展仿真研究、
设备进气系统与外延生长工艺，大幅减少 III 族氮化物外延预反应，金属有机源 精准把控热场参数以及对石墨加热材料进行反复测试等一系列举措，实现了优
使用效率提升超 10%，显著降低原材料浪费与副产物排放。 良的工艺结果，助力新能源汽车、风能光伏储能、轨道交通等绿色产业发展。
Micro-LED 应用 MOCVD 新产品
获 2025 年中国第三代半导体技术
十大进展
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薄膜沉积设备
中微公司致力于半导体行业薄膜沉积产品的开发，可应用于多类型半导体器件，如逻辑器件、存储器件及其他特殊半导体器件类型。公司已开发出六款薄膜沉积产品快速推向市场，
其中钨系列薄膜沉积产品，均采用双反应台反应腔的系统设计，拥有完全自主知识产权的优化混气方案，高效均匀的抽气系统，具有优秀的薄膜均一性，优异的阶梯覆盖率和填充能力，
以及弯曲度较大晶圆的工艺处理能力。公司新推出自主开发的金属栅系列产品，继承中微独特的双反应台设计，通过中微专利的多级匀气混气设计，基于模型算法的加热系统设计
和可实现高效原子层沉积反应的反应腔流导设计等，可满足先进逻辑客户性能需求的同时，设备的薄膜均一性，污染物控制和生产效率均达到世界先进水平。
中微公司钨系列薄膜沉积产品
中微公司金属栅系列薄膜沉积产品
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薄膜沉积设备的绿色创新
AI 赋能产品创新，提升设计和测试效率 AI 赋能设备数据管理，提升设备数据管理 优化产品结构设计，减少设备占地面积
能力与利用率
针对 ALD/CVD W 配置开发了智能晶圆调度系统， Preforma Uniflash 系列原子层沉积薄膜产品通
运用 AI 构建设备数据管理平台，实现对部分研
有效应对串行工艺调度与复杂应用场景的挑战，显 过系统整体设计优化，在保持同等工艺性能与输
发数据的快速有效处理，大幅提升数据处理效率。
著提升设计和测试效率： 出效率的前提下，成功将设备占地面积减少 20%
通过对设备运行状态、维护记录与持续改进过程
调度设计人力投入减少超 50%，单个场景测试时 以上，为客户节省了洁净室空间。
的实时监控，有效协助产品开发提高研发设备利
间从 5–10 小时大幅缩短至 5–10 分钟。
用效率。
以 ALD W 设备为例，该系统帮助客户将设备机械
运行效率（Mechanical Efficiency, ME）从 70%
提升至 90% 以上，相当于产能提升超过 20%。
双反应台设计，提升系统产出 优化反应腔设计，降低气体排放 独特反应腔设计，降低消耗品使用
薄膜沉积设备（CDP）现有产品均采用双反应台反 独有的小型反应腔体设计，搭配系统定制化的混 通过双反应台腔室设计、独特的气体输送系统、
应腔的系统设计，每个腔体均采用双反应台设计， 气装置和高效的抽气系统，充分考虑了晶圆在腔 优化的流导设计、多点温度精准控制系统等一系
且每个反应台可独立控制，满足客户需求的同时， 体实际反应空间的气体分布，利用最少量的工艺 列自主专利设计，可满足客户关键工艺需求的同
可降低物料成本约 25%，并有效提升输出效率。 气体达到薄膜质量最优，在满足高产出比的同时 时，使原子层沉积金属栅系列产品维护周期大大
提升了工艺气体的使用效率 , 最大程度降低了气 延长，从而有效减少每片晶圆消耗品用量，助力
体的排放。 客户降低生产费用和减少物料消耗。
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环保设备
子公司中微惠创一直专注于环保和新能源产业的发展，近年来，立足于行业发展需求，开发了工业用大型 VOC 净化设备、本地尾气处理设备（Local Scrubber）等环保设备，被
广泛应用于国内半导体和集成电路、泛半导体、面板显示等行业生产制造过程中产生的废气处理，以改善洁净室的工作环境，助力行业健康高质量发展。
产品 应用 绿色创新
针对半导体、集成电路行业、 1 采用双反应器设计，可以同时运行两个洗涤系统，优化后的
面板显示行业、LED、太阳 设备拥有最多六个独立入口，确保设备达到 100％的正常运
能等行业产生的有毒有害气 行时间
Local Scrubber
体进行处理，研发和生产具 等离子反应器设备
尾气处理 2 系统凭借闭环设计降低耗水量，运行时可采用不同的燃料气
有个性化适应性的环境技术
环保设备 体与洗涤液，技术成熟，安全稳定，可充分满足用户需求
解决方案（包括洗涤系统和
废水处理系统及等离子消减
技术）。 4 单台处理量约 300 slm
单腔反应器设备 双腔反应器设备
程管理以及智能控制
国 内 首 创 工 业 用 大 型 VOC
VOC 净化设备，有效解决有机化
的功能，最高可节约电能 50%
环保设备 合物挥发的危害，改善洁净
室工作环境。
能源再生的功效
VOC 环保设备
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AI 赋能生态工业互联网平台
子公司中微汇链基于多年来在中微公司沉淀的业务管理经验以及在高科技制造领域多家企业的数字化服务实践经验，研发和推广数字化运营体系及产品，专注服务以集成电路为代
表的高科技制造行业与行业内企业。基于半导体产业数字化领域的战略布局，专注为中国半导体设备、核心零部件及特种材料领域的科创型、高成长性企业，提供端到端的数字化
运营整体解决方案。以“研发运营一体化、运营管理指标化”为核心理念的产业数字合伙人，致力于帮助客户将技术创新高效、可靠地转化为市场成功与可持续增长。正从“解决方
案提供商”向“产业效率平台”演进，通过积累的行业经验与知识模型，未来为企业提供更智能的管理范式、供应链协同网络及产业资源对接服务，成为推动中国半导体产业自主化
与高质量发展的重要数字基座。
在半导体行业企业管理与研发领域推进 AI 应用。在企业管理方面，借助 We-OTD 与 AI 融合，提升企业运营效率；在研发领域，运用 AI 突破技术瓶颈、降低成本。在此过程中，
公司高度关注科技伦理，确保 AI 技术合法合规、安全可靠地使用，平衡技术创新与风险，为企业和行业的可持续发展筑牢根基。
AI 助力企业增效 AI 赋能研发应用
中微汇链持续创新，将自主研发的企业数据与业务流程管理系统 We-OTD 与 AI 进行 半导体设备研发面临技术难度大、成本高昂的挑战。在这样的背景下，中微汇链尝试
深度融合，打通 AI 在企业应用的“最后一公里”。We-OTD 构建行业版 AI Agent（智 与研发团队联合探索，将 AI 技术融入半导体设备研发中。借助 AI 优化仿真模型，模
能体），通过采购助手、 研发助手等各业务模块 AI 助手，实现 AI 在企业实际业务 拟各类实验条件，旨在达到大幅加快研发进度，有效降低研发成本的目的。
管理与运营场景中的深度应用。 技术融合创新
结合 AI 与 BI 技术，即时高效地根据用户需求整合、分析业务数据，并 尝试融合人工智能与数字孪生技术，借助神经网络和 PINN 大模型，结合海量
数据智能
支持 text-to-code、text-to-API、text-to-SQL 等多种模式，使数据 相关数据，构建出一套用于半导体设备研发的虚拟仿真工具。
分析展示
以简洁、清晰的形式向企业管理者展现，最大化输出数据价值。
特殊模型搭建
助力订单 通过 AI 格式多样的订单（如 XML、PDF 等格式）快速、精准地转换为 尝试搭建独特的 3D 模型，实现在微观层面模拟刻蚀过程，同时运用循环神网
智能处理 统一格式录入，还能进行订单智能校验，提高订单处理效率和准确性。 络加速模拟，简化模型，分析不确定因素。
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优化客户服务
中微自成立以来始终秉持“相互信任，紧密合作，共同发展”的客户服务原则，以“战略销售的十大准则”为依据，以客户和市场为导向，深化合作领域，拓展服务广度，持续提升
服务水平和客户满意度，坚持以专业的服务为客户创造长期价值。
客户服务机制 服务机制 管理制度 主要措施
公司注重与客户进行多种渠道的沟通，确保
针对每个客户就近设立专门服务小组，以确保
沟通与反馈的有效性和时效性，并从客户沟
客户需求能得到及时有效解决
通机制、客户服务提供等方面建立健全公司
《客户反馈流程》
客户服务机制，并制定了相应管理制度及对 客户 业务承接商务沟通
应实施措施，以规范客户服务管理，为及时
沟通机制
对成本预算与控制进行细致入微地分析和控
解决客户反馈问题提供保障，巩固客户服务 制，量身为客户提供极具性价比的产品与服务
能力。
客户服务提供
《技术服务提供程序》 包括系统安装和客户培训两大内容，通过系统
《客户现场服务程序》 的方法来规范和控制销售前后的服务提供
客户 《客户端问题及需求响应流程》 客户现场服务
服务提供
规范主要现场工作流程，同时处理好现场工作
可能出现的异常情况，做好客户现场服务工作
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客户投诉响应
在产品交付过程中如发生客户投诉，公司根据投诉问题的严重程度和问题的解决时间，制定了响应升级机制，从客户工程师至产品总经理及区域经理，共划分为三级，层层响应，
以便及时、有效处理客户投诉，满足客户服务需求。同时，我们十分关注客户对公司服务的满意程度，每年会邀请专业的第三方机构或自主开展客户满意度调查，并针对在满意度
调查过程中发现的问题，及时进行整改、调整，保证客户产品高质量交付，提升客户服务满意度。
投诉响应机制 提升客户满意度
在产品交付过程中如发生客户投诉，公司根据投诉问 中微公司以客户需求为导向，致力于提供优质的产品、卓越的服务和完善的解决方案，并持续提升客户满意度。2025 年，
题的严重程度和问题的解决时间，制定了响应升级机 公司参与了行业权威机构举办的半导体设备行业客户满意度调查并荣获六大奖项。中微公司第四次荣获“三冠王”1，
制。在客户端遇到的问题，通过自主开发的在线 CCAR 其中在 WFE（Wafer Fab Equipment） 基础芯片制造商、薄膜沉积设备两个榜单中位列第一。
（Customer Corrective Action Request 客户纠正措
客户满意度调研累计发放百余份调查问卷，并对收集的客户反馈意见进行回访、总结和系统分析，针对需要改进的方
施需求）进行记录、追踪和处理，持续改进，提高客户
面制定相关措施并跟进实施，持续改进，不断提升客户满意度水平。
满意度。
客户端问题升级流程
调查内容 调查对象 调查结果
升级 第一级 第二级 第三级
设备表现 客户服务 供应商表现 客户设备负责人员 综合客户满意度持续提升
发生后 24 小时 48 小时 72 小时
产品表现 合作 推荐意愿 客户工艺负责人员 在行业权威机构举办的半导体设备行
产品质量 应用支持 技术领先性 客户采购负责人员 业客户满意度调查中荣获六大奖项
责任人 在地服务团队 业务负责人 区域负责人 总体价值 现场支持 投入 / 承诺 第四次荣获“三冠王”
运行时间 备件支持 信任供应商 基础芯片制造商位列第一
总部支持 产品支持经理 产品支持总监 产品副总裁 软件系统 售后支持 薄膜沉积设备制造商位列第一
升级领导 业务负责人 区域负责人 区域副总裁 1
“ 三 冠 王” 指 中 微 公 司 在 “ 客 户 服 务 领 域 十 大 杰 出 企 业” (Top 10 Customer Service)、“ 全 球 半 导 体 供 应 商 大 奖”(Global
Semiconductor Supplier Awards)、“全球第一” (Global #1) 三项调查类别中均获得了相关荣誉。
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保障产品安全
中微公司高度重视产品安全，设立产品安全部门（Product Safety Department），对半导体设备从设计方案、验证与测试、制造与出货的全生命周期进行严格把控，确保产品安全。
产品安全合规性
产品重要阶段安全管控
设计方案阶段 制造与出货阶段
验证与测试阶段
参与设计方案评审，评估设计 确保关键零部件的质量符合安
是否满足安全性要求，包括机 在 Alpha 阶段设计验证中收集 全标准
械结构、电气系统、材料选用 产品安全相关的特殊特性数据，
为 SEMI S2 认证提供依据 产品安全事件调查、分析及处
等潜在风险
置，推动预防措施落地
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
在日常管理工作中，持续从安全认证、文档管理、风险管理、平台建设及标准体系建设等方面，不断强化产品安全管控，切实保障产品安全合规落地。
完成30余项产品的多项国际安全认证，完成“保质保量、如期交付”的目标。
实现SEMI S2和S8认证覆盖率达100%。
安全认证
安全标准合规 针对关键产品进一步开展SEMI S23、SEMI F47、欧盟CE等多项认证，并开展危险与可操作性分析（Hazard
and Operability Study, HAZOP）。
文档管理 维护设计文件和评审结果，编写安全手册，维护安全关键部件清单等。
开展安全风险评估，全面识别设备在电气、机械、化学等多方面的危险源。采用定量分析、半定量分析等方法
安全评估
计算危险事件发生概率，通过定性方法评估伤害严重度。
安全风险管理
采取本质安全设计、增设防护、规范警示标识、开展管理培训等举措，将风险等级降至可接受水平。报告期
安全培训 内，累计开展22场内部培训、10场客户培训、4场供应商专项审核与赋能，推动安全意识从被动合规向主动预
防转变。
建立在线产品安全管理系统，集成安全审核流程、安全基线、产品安全文档、知识问答、化学品信息库等模
数字化管理平台
块，实现安全管理功能的全面数字化。
安全体系建设
建立可复用的安全设计基准与检查表，形成标准化、可传承的知识资产；完成气路原理图标准化工作并持续推
标准化体系建设
广应用。
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供应链产品安全
审核关键安全部件供应商，确保供应商产品符合安
上游 全要求。
供应商管理
检查装配线安全，评估新工艺组装中的风险。
解答客户安全疑虑，参与设备安全验收测试。
针对设备操作人员开展安全培训，制作多语言培训
视频。
下游
客户服务
使用 5Why 或鱼骨图对安全事件根本原因进行分析。
发布安全通报（Safety Alert）并反馈至研发部门，
形成闭环改进。
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电力消耗中 工业废水回用率达 首次通过 临港产业化基地荣获 临港产业化基地荣获 QEHS文化月期间共举办
可再生电力占比达
ISO 50001 上海市2025年度 上海市 称号
“智能工厂”
类活动
能源管理体系认证 称号 2025年再获
“绿色工厂”
临港新片区 称号
“智能工厂” 超 人次参与
中微公司秉持绿色发展理念，关注气候变化等环境议题带来的风险与机遇，并积极采取行动，持续完善相
关管理体系与能力建设。
公司致力于推动绿色低碳运营，提高能源使用效率，减少温室气体排放，提升水资
源利用率，不断深化绿色工厂、智能工厂建设，并携手供应链合作伙伴共同深化可持续实践。
公司大力培育
可持续文化，并积极参加行业分享交流，倡导共建共享的可持续发展观，致力于打造低碳、可持续的未来。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
强化绿色发展能力
公司建设并完善集团化 ISO 管理体系，系统识别各类 EHS 风险， 中微集团化管理体系
并强化 EHS 变更管理，健全 EHS 风险的评估与应对机制，制
定系统的应急响应程序，培育全员 EHS 文化，并开展系统化
能力建设。公司在确保自身运营合规的同时，协同合作伙伴共 质量管理体系 保障性管理体系
同推进供应链的可持续发展，同时积极参与行业分享交流活动，
促进产业链的协同绿色发展。
ISO 管理体系 体系 质量管理体系 职业健康安全体系 环境管理体系 信息安全管理体系 能源管理体系
标准 ISO 9001 ISO 45001 ISO 14001 ISO 27001 ISO 50001
中微公司建立了全面系统的 EHS 和能源管理体系，将环境、
职业健康、安全及绿色经营理念融入业务，并确保其政策覆盖
产品卓越 危险源 环境因素 信息资产 能源
全体员工及第三方合作伙伴，同时在集团范围内统一执行，保
障各方权益，推动可持续发展。 客户满意 保护员工 相关方 业务连续性 绿色发展
公司开展 ISO 体系内外审共 问题关闭率
过程
订单评审 设计开发 采购计划 生产制造 产品交付 客户服务
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中微公司自 2007 年建立并获得 ISO 9001 2022 年 2023 年 5 月
质量管理体系认证以来，已系统性地将管 ISO 体系集团化
启动集团化 ISO 认证管理， 通过集团化三体系认证，ISO 9001
认证历程
理体系覆盖范围扩展至环境、职业健康安 并首次导入 ISO 27001 质量管理体系认证、ISO 45001
全、信息安全及能源管理等核心领域， 信息安全管理体系建设 职业健康安全管理体系认证、
全 面 通 过 ISO 9001、ISO 45001、ISO ISO 14001 环境管理体系认证
标准认证，形成覆盖“研发—供应链 - 制造—
客户服务”全流程的集团化管理架构，认 首次通过 ISO 9001 质量管理 OHSAS 18001 顺利升级为 通过集团化 ISO 27001
证范围覆盖上海金桥、临港产业化基地和 体系认证 ISO 45001 职业健康安全 信息安全管理体系认证
南昌中微子公司等全部研发和生产基地。 管理体系认证
通过标准化 PDCA2 循环机制，将体系要
求嵌入业务流程，通过年度审核与管理评
审持续优化，将合规性要求转化为价值链 首次通过 ISO 14001 环境管理体系认 ISO 9001 质量管理体系认证、 通过集团化 ISO 50001
合作伙伴的协同行动，显著提升公司管理 证及 OHSAS 18001 职业健康安全管 ISO 14001 环境管理体系认证 能源管理体系认证
效率与可持续发展韧性。 理体系认证 及 OHSAS 18001 职业健康安全管理
首次合并通过认证
为确保 EHS 相关风险在生产运营各环节过程中得到有效 EHS
管控，中微公司创新性采用安全业务伙伴制度（safety
BP）。为各个产品部门配备专门的对口安全工程师，深度
Safety BP Safety BP Safety BP Safety BP Safety BP Safety BP
参与到产品开发、装机测试、日常作业过程中，通过风险
识别与评估、EHS 变更管理、EHS 培训与信息沟通、隐患
排查等举措，确保企业运营的合规性和风险可控性。
临港产业化基地 Safety BP 组织示意图
PDCA：Plan 运行策划、Do 支持运行、Check 绩效评价、Action 持续改进 49
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EHS 风险管控
中微公司基于 ISO 相关管理体系，对日常研发生产活动和运营过程中的危险源、环境因素和能源风险进行识别、评估和分级管控，编制各个部门的《EHS 危险源识别与风险评价表》
《EHS 环境因素识别与风险评价表》《重点用能设备关键变量表》等。秉持 PDCA 和持续改进的宗旨，不断改进和优化作业流程、防护措施，持续开展隐患排查，以确保 EHS 风
险始终处于动态的低风险水平，从而为公司的研发生产和运营活动提供坚实保障。
风险类别 评估方法 评估内容 跟进措施
综合事故或危害事件发生的可能性（Likelihood）、 充分识别各区域各岗位危险源，重点关注高风险
LEC 评估法 暴露于危害事件环境的频率（Exposure）、发生事 岗位的管控，策划必要的安全管理措施，编制应
危险源 故或危害事件可能造成的后果（Consequence）。 急预案，并将这些措施集成到公司的业务流程中。
综合环境因素发生频率（Frequency）、可发现性 厘清环境风险点，建立重要环境因素清单，编制
四因子评估法 （Detection）、影响严重性（Severity）和管控的 应急预案，建立并完善管理制度和作业流程，定
环境因素 状态（Suitability）四个方面开展评估。 期回顾并更新风险管控措施成果。
综合内外部因素，从能源供应、市场波动、管理机制、
识别能源相关风险，制定应急预案，实施节能技
综合评估法 计量监测，节能技术、法律法规以及碳排放管理等
改，保障企业稳定、高效、低碳运行。
能源风险 方面开展评估。
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研发安全风险识别清单（部分）
公司坚持风险前置、源头管控的安全管理理念，以“人人管安全、个个会应急”为导向，持续
场景 危险有害因素 可能导致的事故
强化应急体系建设与安全保障投入。公司每栋厂房均就近配置自动体外除颤器（Automated
External Defibrillator, AED）和急救箱等设施，各厂区均设置火灾报警、自动灭火、气体管
• 火灾 理系统（Gas Management System, GMS）、漏液侦测、应急排风等各类生命安全系统，同
• 易燃气体
• 爆炸 时搭配闭路电视监控系统 （Closed-Circuit Television, CCTV），形成全方位、立体化、快速
• 易燃液体
• 灼烫 响应的安全应急保障体系，有效提升风险预警与应急处置能力，切实保障员工生命安全与厂区
• 非电离辐射
运营稳定。
• 机械伤害
• 防护缺陷
研发区 - • 触电
物的因素 • 电危害 案例 临港产业化基地 AED 分布图
• 中毒
• 健康危险
• 其他伤害 厂区共设置 7 处 AED，位置选取
在公司员工熟悉且醒目的地点，
确保员工在出现紧急情况时，能
AED
够在第一时间获取急救设备。
• 作业场所杂乱
• 火灾
• 安全通道 / 出口缺陷
• 物体打击
• 作业场所空气不良
• 机械伤害
研发区 - • 地面开口缺陷
• 其他伤害
环境因素 • 强迫体位
AED 整体分布总览 AED 实景图
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案例 举办《风险识别与隐患排查》高级研修班，筑牢安全防线
本次研修班系统讲解了风险管控的逻辑、危险源辨识与管控措施制定、风险评估方法、安全操作规程编制及隐患排查与可视化等核心内容。通过理论结合实操的培训，帮
助员工有效掌握从源头风险识别、科学评估到有效管控的全流程方法，提升安全管理的专业能力，为将所学转化为实际工作行动、保障企业安全生产奠定了基础。
当事故 / 事件发生时，中微公司按照《事故 / 事件调查程序》开 报告期内，中微公司
展人员访谈、现场勘察、情景复现、根因分析等行动，最终确定
推动多渠道、各层级的安全检查，提出 按时整改
事故根因，并拟定纠正措施和预防措施，通过以上举措，避免类
似事件重复发生。
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变更管理程序
报告期内，面临原有产品升级和新产品研发活动不断增加，公司通过实施变更管理程序（Management of
公司开展了变更管理评审
Change, MOC），对新增或变更的作业内容开展系统的 EHS 风险评估，提前识别并排除各类 EHS 风险及隐患，
制定全面且可执行的管控措施，并持续跟踪落实，确保各项风险得到有效控制，直至实现闭环管理，保障各生
产研发项目顺利实施。
实现产品开发和变更管理
术突破奠定坚实基础。 事故
变更管理流程
承包商管理
提出变更需求 现场踏勘
及作业管控
变更前评审 实施变更 现场验收
是
EHS 措施
启动前评审 变更完成
是否落实
完成变更 输出 EHS
前查核表 措施清单
完成变更 核验 EHS 措施
否
前查核表 完成情况
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EHS 应急机制 制定应急预案
中微公司积极推进 EHS 应急响应体系建设，建立健全应急组织架构，制定并完善应急 公司建立了完善的 EHS 应急管理体系，各生产基地均制定并定期回顾更新《突发环境
预案，定期组织开展应急演练。各项举措协同联动、闭环落地，全面提升突发 EHS 事 事件应急预案》《突发安全事件应急预案》，确保在发生突发事件时能够快速响应、
件处置能力，确保应急响应快速、有序、高效，切实保障公司研发与生产运营平稳有序。 有效处置，最大限度降低事件的影响。
根据应对突发事件的实际需要，公司在开展环境风险评估、安全风险评估和应急资源
建立应急组织架构 调查的基础上，定期开展预案的回顾性评估与重新备案，确保预案的时效性与合规性。
中微公司在所有生产研发基地均建立了覆盖全生产场景的突发事件应急预案，确保各
公司在各生产研发基地建立了应急响应队伍（Emergency Response Team, ERT），
环节的 EHS 风险得到有效管控。
常态化开展 ERT 上岗培训、日常装备训练和各种应急演练，持续夯实应急处置实战能力，
为高效、规范开展应急响应工作提供坚实保障。
中微公司 EHS 事件应急救援组织体系 案例 临港产业化基地企业突发环境事件应急预案体系
《浦东新区突发环境事件专项应急预案》(2024 版 )
应急指挥官
临港新城重装备 中微半导体 ( 上海 ) 中微半导体 ( 上海 )
EHS 技术官
产业区突发环境 有限公司突发环境 有限公司安全生产
事件应急预案 事件应急预案 事故应急预案
医疗组 厂务组 救灾组 疏散组 管制组
现场应急处置预案
生产车间 甲类仓库 危废仓库 废气处理 废水处理
现场处置 现场处置 现场处置 设施现场 设施现场
进入小组 后备小组 支持小组
预案 预案 预案 处置预案 处置预案
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
应急培训与演练
公司依据 EHS 风险评估结果，制定年度 EHS 事件应急演练计划，并 2025 年度
组织相关演练，以检验应急预案的可行性与有效性，持续提升应急响
公司共组织开展了应急事件演练 累计训练
应能力。
超 30 次 超 2,700 余人次
ERT 培训 日常训练 专项训练 实战
应急理论培训
消防服穿戴训练
对讲机携带点名抽查
消防服穿戴
理论考核
灭火器实操训练
消火栓出水训练
日常应急处置
应急演练
C A C A E
级防护穿戴
级防护穿戴
级防穿戴训练
级防穿戴训练
R
T
竞赛
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相关方 EHS 管理 EHS 文化建设
中微公司在建立完善 EHS 管理体系，确保自身运营 EHS 风险可控的同时，积极推动产业链 EHS 管理提升。 EHS 文化是企业安全生产与可持续发展的重要基
石，更是全员共同践行安全环保理念的精神内核。
在供应商管理方面，QEHS 部门与供应链管理部门携手，每年开展多种形式的供应商审核，包括调查问卷、线上审核、
中微公司秉持共建共享的理念，围绕 EHS 意识培
现场审核等，将风险控制和 EHS 理念融入供应商管理过程中，降低产业链风险，提升供应链 ESG 绩效。具体可参阅
养、宣传引导、技能培训及对外交流分享等关键
“打造可持续供应链”章节。
环节，积极培育企业绿色发展文化，倡导员工树
立可持续发展意识，同时积极参加对外分享交流
在与客户协同发展方面，中微公司积极回应客户发起的各项 ESG 主题调研问卷与审核，并将客户关切的议题纳入内
活动，与业界同仁共享绿色发展的经验和成果，
部实质性议题识别与管理流程，持续推动供应链的透明与责任建设。
共同推动行业的可持续发展。
在承包商安全管理方面，中微公司制定了《承包商安全守则》，该守则作为承包商准入的基本安全要求，被纳入前
期招标遴选环节，并在签约后组织专项解读与培训，确保安全要求传达至每一名作业人员。在合同执行期间，公司
意识培养
与承包商协同落实守则内容，并通过建立相应的监督考核与奖惩机制，持续推动承包商现场作业的安全规范化管理。
公司围绕运营安全、节水、节能等核心主题，制
作并推送系列科普小视频，结合线下海报、公告
栏等多元传播形式，构建线上线下融合的 EHS 常
态化宣传体系，持续开展 EHS 主题宣传，着力提
升全体员工的 EHS 意识，将节能、环保、安全
等 EHS 理念贯穿日常运营全过程。此外，报告期
内，公司有针对性的发布了 10 个 EHS 主题宣传
视频，覆盖安全、节水及节能主题。
对厂内承包商进行环保安全现场培训
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技能培训
报告期内，公司 EHS 培训
中微公司建立了系统化的 EHS 培训体系，覆盖从新员工至在岗员工的全职业周期，针对全员、新员工、关键岗位、
研发人员等不同群体开发 EHS 定制化培训课程，全面提升员工的 EHS 素养与合规操作能力。中微公司在线上学习平
台（My learning）设置各类 EHS 主题必修课供全员学习，并结合具体案例在 EHS 月会上和各部门进行分享和培训，
持续强化全员风险意识与责任能力。 参与人数 总课时
同时，公司针对客户现场服务人员定期开展上岗安全教育、专项安全技能培训与实际操作训练，持续增强现场人员的 44,095 人次 37,926 小时
安全防护能力，致力于为客户提供更可靠、更专业的服务。
价值链范围 培训类别 主要内容
安全培训
新员工入职 EHS 培训 针对所有新入职员工开展专项 EHS 培训
· 三级安全培训完成率 100%
涉及 13 项 EHS 课程，包括：
· 特殊工种持证上岗率 100%
• 设备、零部件去污培训 • 手动吊车安全培训等
• 化学品安全培训 • 上锁挂牌授权培训 · 特殊岗位安全培训完成率 100%
员工年度必修培训
自身运营 • 个人防护用品及呼吸安全 • 电气安全培训
• 叉车安全 • 气体系统安全培训 · 外部专业机构专项安全培训 10 余次
• 施工许可证以及变更管理
承包商培训 • 承包商安全培训
上游供应商
• 上岗培训
客户现场培训 • 专项安全技能培训
下游客户 • 实际操作训练
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案例 安全主题系列活动
公司持续深化 ESG 管理理念，在员工健康与安全领域开展系列专项活动，通过健康促进、安全文化培育、知识普及与技能提升等多维度举措，切实保障员工身心健康权益，
营造安全、健康、和谐的工作环境。报告期内，公司开展电工培训、行车操作培训、风险识别与隐患排查培训、急救培训等职业健康安全相关培训，共计 10 余次。
活动一 安全主题打卡拍照活动 活动二 安全上报系统推广 活动三 安全生产宣传教育警示基地学习
通过安全互动拍照打卡方式，鼓励员工主动查找并报 中微公司在金桥与临港基地同步开展安全主题模拟隐 中微南昌走进南昌市安全生产宣传教育警示基地，学
告身边的安全隐患，助力营造 " 人人讲安全 " 的文化 患提报活动，并通过积分奖励机制激励员工通过安全 习家居安全、地震逃生、机械安全、急救救护等知识。
氛围，该活动累积 120 人参与。 上报系统主动发现并报告工作现场安全隐患，活动累 活动中，员工们通过情景模拟与专业讲解，系统学习
计参与人数达 236 人次。 了家居安全隐患排查、地震应急避险、机械设备规范
操作及现场急救技能等关键安全知识，有效提升了全
员的安全防范意识与应急自救能力，进一步强化了企
业安全生产文化基础。
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案例 “节能增效，绿动未来”节能活动周
来“为主题的节能周活动，通过多元化的节能宣传
活动，为公司绿色低碳发展注入持续动能。 中微公司发布了《中微公司应对气候变化行动手册（2025 年
版）》，员工通过扫码阅读手册、互动打卡计数墙等形式，积
节能周累计参与 极响应成为“中微公司可持续共创者”的号召。公司“拍拍计数
墙手册发布”活动，累计参与员工 426 人；食堂桌面立牌宣传，
累计布置 345 套宣传页；电子版气候手册制作和多渠道宣传，
累计阅读量突破 1,000 人次。
活动二：绿色低碳主题参观学习活动 活动三：节能主题打卡拍照活动 活动四：外出学习参观活动
围绕节能低碳主题，公司在上海、南昌组织了三场 公司举办节能主题打卡与 QEHS 线下知识问答活动，吸 中微南昌组织员工走进洪城环境了解垃圾发电再利
实地参观学习活动，近距离学习领先企业绿色运营 引员工踊跃参与，有效传递节能低碳与可持续发展理念， 用项目，走进江西省消防博物馆学习消防器材演变
成效与实践，了解垃圾处理全流程及焚烧发电技术， 活动累计参与人数达 318 人次。 与革新历史。通过实地参观学习，让员工直观了解
深化员工绿色可持续发展理念。 环保技术应用、消防安全发展历程及安全生产重要
性，增强环保意识、消防意识和安全技能，是理论
与实践相结合的安全教育创新实践。
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案例 推行绿色办公
中微公司将绿色发展理念融入日常运营之中，从办公用品的低碳采购、
垃圾桶的精简优化，到无纸化办公与物料循环利用，系统性推动绿色办 临港与金桥办公区共撤减垃圾桶 500 余个，减少垃圾桶
公实践。 塑料袋使用量 82%。推行未受污染垃圾袋的循环使用，
并鼓励员工重复利用快递包装，减少资源浪费。
推广使用减碳剪刀、减碳记号笔等低碳文具，减少办公 办公用品及保洁物料全面实行电子化申领，实现行政用
文具产品全生命周期碳排放量近 1.4 吨二氧化碳当量。 品管理的精细化和无纸化。
洁净室使用的无尘布及料箱经保洁处理后，二次用于地 健身房及泳池区域倡导员工自备水杯，减少一次性纸质
面清洁，提升资源利用率。 水杯的消耗。
宿舍及差旅房间配备可重复使用的差旅用品，减少一次 公司倡导员工低碳通勤，完善绿色出行配套，公司车位
性用品使用。 充电桩配备率超 16%。
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交流分享
中微公司不仅在自身发展过程中持续推进技术创新与能效提升，更积极携手行业伙伴，共建绿色、透明、可持续的产业生态。公司积极传递行业可持续发展理念，分享 ESG 管理与
实践经验，在推动行业绿色高质量发展的道路上，持续发挥示范引领与带头作用。
案例 荣获 SEMI“可持续发展卓越贡献奖” 案例 亮相第二十五届工博会，分享 ESG 领域创新实践
业协会 SEMI 颁发的“可持续发展卓越贡献奖”，中微公司创始人、董事长兼总 的半导体设备制造商，集中展示了其在集成电路装备领域的最新技术与创新成
经理尹志尧博士受邀上台领奖。作为行业领军企业，中微公司在为客户和市场 果。公司副总裁、QEHS 负责人沈晓敏先生于同期举办的“2025 上海集成电
提供高科技产品和服务的同时，积极拥抱 ESG 理念，深化 ESG 实践，推动企 路 ESG 发展论坛”发表了题为《从披露到赋能：ESG 助力企业可持续发展》
业可持续发展。 的主旨演讲。他指出，中微将 ESG 理念从合规披露提升至战略赋能高度，通
过推动产业链协同与技术创新，持续赋能企业可持续发展，引领行业绿色转型。
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案例 参与“SEMI 国际论坛”，推动产业链可持续发展 案例 半导体绿色厂务论坛
供应链发展论坛 2025”，并就 “半导体产业的 ESG 挑战与协同发展” 主题展 亚洲绿色工厂设计、建设及厂务大会暨展览会。公司建设与厂务副总裁，周
开交流，共同探讨了半导体产业在绿色制造、节能减排与供应链合规等方面面 品良先生以“半导体洁净室节能经验分享”为主题，从绿色建筑、节能措施、
临的共同挑战，及其在产业链上下游的具体体现。公司呼吁产业链伙伴加强协 环保设施、可再生能源、智慧运营、人性化工厂六大角度，分享了中微在高
作，强化产品绿色设计，推进行业标准及指南建设，实现 ESG 与业务战略的 效低碳运营领域的创新成果与实践经验，与来自全球的行业专家、学者及企
深度融合，携手迈向低碳未来。 业代表进行了深入的技术交流与案例探讨。
中微公司参与的绿色相关行业协会
责任商业联盟 半导体气候联合会 中国半导体行业协会 EHS 委员会
（Responsible Business Alliance） （Semiconductor Climate Consortium） （China Semiconductor Industry Association）
RBA SCC CSIA
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落实气候治理行动 董事会 ESG 委员会
（战略决策层）
• 负责制定公司 ESG 整体战略方针，将应对气候变化融入公司发展战略，审议并决策包括应对
气候变化在内的 ESG 领域重大事项，监督并评估公司碳中和目标及路线图的落地执行情况。
中微公司积极响应国家“双碳”战略，始终秉持 ESG 领导小组 • 负责制定应对气候变化专项策略，统筹协调内外部资源，推进碳减排措施落地实施，并开展
管理架构
（统筹推进层） 工作进度跟踪与实施效果评估。
生态优先、绿色引领的发展理念，将应对气候变
化融入公司发展战略，并制定集团层面碳减排行 环境工作组 • 负责开展气候变化风险与机遇的识别、评估与分析，牵头制定公司应对气候变化路线图，统
动方案，不断提升可再生能源使用比例，积极稳 （落地执行层） 筹推进各业务领域减碳行动落地，并定期向 ESG 领导小组汇报工作进展及实施成效。
妥推进运营碳中和，同时有计划地开展范围三碳
排放核算，并协同合作伙伴共同推进供应链减碳 • 内部培训：针对管理层、新员工、关键岗位员工（设备管理、研发人员等）等不同职能人员开展能源与低碳相关培训，
行动。 能力建设 并组织气候变化相关的讲座和研讨会。
• 外部交流：与高校、行业协会合作，共同开展气候变化相关交流研讨。
应对气候变化治理 • 定期对能源消耗及碳排放进行统计并报告，识别、分析气候相关影响、风险和机遇等相关信息。
• 搭建公司 ESG 网页，定期更新气候变化相关信息，方便投资者和公众直观了解公司应对气候变化行动。
中微公司结合自身业务发展的实际情况，在集团
信息披露 • 连续 2 年编制中微公司《应对气候变化行动手册》，阐述公司在应对气候变化方面的策略、目标、措施和成效，
ESG 治理机制的框架下，构建了具有中微特色
对内为员工提供日常减碳指引，对外向供应链合作伙伴提出管理要求。
的自上而下的应对气候变化管理架构，并明确了
• 积极参与 CDP （Carbon Disclosure Project）等国际权威机构的气候信息披露。
各职能部门的管理职责。同时围绕能力建设、信
息披露、监督考核、决策支持等不同维度，持续
深化应对气候变化管理实践，以确保公司在可持 • 将应对气候变化议题相关指标纳入公司绩效考核体系（MBO），与管理层及相关岗位员工的薪酬挂钩。
监督考核
• 通过 ESG 领导小组会议定期审议气候相关目标指标达成情况。
续发展道路上稳步前行。中微公司应对气候变化
治理的汇报机制与监督情况可参阅“ESG 管理”
小节。
• 在制定战略规划、开展新项目评估等决策过程中，将气候因素纳入综合评价指标体系，确保决策的科学性和可持
决策支持
续性。
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应对气候变化战略
中微公司遵循《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 14 号——可持续发展报告（试行）》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指南第 13 号——可持续发展报告编制
（2026 年 1 月修订）》，系统开展气候相关风险和机遇识别工作，定期评估公司的战略等对气候变化的适应性。结合公司实际情况，将风险发生的时间范围分为短期（0-3 年）、
中期（3-5 年）和长期（5 年以上），通过系统性识别、重要性分析和财务影响评估，识别出以下重要气候风险和机遇，并制定关键气候风险应对措施。
类别 描述 对价值链的影响 价值链影响环节 潜在财务影响 3 关键应对措施 影响时间范围
台风、洪水、极端降水等极端气候发生的 上游 在涉及物理风险的厂区制定应急响
产能下降 运营成本增加
频率增加，导致产能下降 运营 应机制和并配备应急物资储备，并 长期
供应链中断 收入降低
提升应对极端气候事件的能力 下游 将相关要求传递至供应商
急性
物理 海平面上升，沿海地区的公司设施受损
上游
平均气温升高，加剧极端天气事件的频率 产能下降 固定资产减值 制定碳中和路线图，明确 2035 年实
运营 长期
和强度 供应链中断 运营成本增加 现自身范围一、范围二碳中和
下游
慢性 推动低碳绿色生产
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
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类别 描述 对价值链的影响 价值链影响环节 潜在财务影响 3 关键应对措施 影响时间范围
未能及时跟进国家和行业低碳政策
高排放产品 运营 持续追踪国内外绿色、低碳相关的最
开展低碳发展政策研究 运营成本增加 长期
需求降低 下游 新政策法规
取得政府低碳发展奖励
政策及法规
在产品设计开发中融入可持续要求
新节能减碳技术发展的不确定性 高排放产品
运营 研发成本增加 开展节能技术改造，增加可再生能源 短中期
推动节能技改项目 需求降低
使用比例
技术
消费者偏好
转型 客户消费偏好转变 加强市场监测和客户反馈收集，保持
转变 运营 运营成本增加
原材料成本上升 良好的客户关系和畅通沟通渠道 短中期
收入组合来 下游 收入降低
低碳产品打入新市场 持续低碳创新和研发
市场 源变化
高排放产品
需求降低
发生环境和气候风险事件，冲击企业声誉 上游 提升信息披露透明度，打造企业绿色
供应商因声 收入降低 短期
倡导低碳发展，提升企业声誉 运营 发展形象
誉较差而
声誉
影响产能
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
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全流程碳排放管理
公司将绿色低碳发展深度融入公司运营，遵循“识别 - 推进运营低碳转型（范围一） 赋能价值链绿色发展（范围三）
核算 - 分析 - 降碳”的闭环管理逻辑，系统性地推进全
• 采用全球变暖潜能值（GWP）更低的环保 • 优化物流运输网络
价值链温室气体减排，致力于以可持续的方式为利益相
优化上下游
关方创造长期价值。 制冷剂与灭火介质 • 提升车辆运输装载率
运输
• 探索更低碳的运输方式等
识别 核算 • 优化产品设计以减少生产过程中的含氟化
公司自身运营与价 开展范围一、范围
学品使用量与逸散
值链层面的温室气 二和范围三的温室 • 鼓励员工乘坐公共交通工具通勤
鼓励低碳
体排放源 气体排放核算 • 提供班车服务
通勤
• 推广新能源班车
实施能源结构优化（范围二）
• 开展供应商 ESG 问卷调查
• 部署屋顶分布式光伏项目
降碳 分析 • 与供应商共同开展包材回收利用
• 采购绿色电力 打造可持续
制定与实施降碳 基 于 核 算 结 果， • 与供应商协同开展可持续设计
• 推进照明系统节能改造 供应链
举措 有效 识 别 关 键 排 • 与客户共同推进机台治具的循环
• 优化暖通空调运行等节能技改项目
放环节与减排潜
利用试点等
力点
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
中微公司在不断提高能源使用效率的同时，致力于推进能源低
碳化、清洁化，不断提升可再生能源使用比例。
报告期内
外购可再生电力 光伏自发自用
可再生电力消耗占电能消耗比例
近三年电力使用情况（单位： 兆瓦时） 2025 年度可再生电力使用情况 ( 单位：兆瓦时 )
不可再生电力 光伏自发自用
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气候相关风险与机遇
为了更科学地识别气候相关风险和机遇，中微公司采用风险矩阵与情景分析相结合的方法，评估气候相关风险和机遇，为气候管理决策提供支持。同时，将气候管理举措融入内部
管理流程，持续推进应对气候变化与可持续发展战略的落地实施。
风险和机遇识别
中微公司不断完善气候风险与机遇的识别、评估与管理流程，有效筑牢了业务发展的气候韧性，从而化挑战为机遇，助力公司实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展。
步骤一 步骤二 步骤三 步骤四 步骤五
背景调研 气候相关影响的识别 气候相关影响的评估与确认 气候相关影响的应对 气候相关影响的监测披露
识别与气候与能源相关的内部 基于背景调研分析结果，从 对已识别的风险与机遇进行重 依据评估结果，将气候与能 建立常态化的指标跟踪体系，
活动（如减排规划、研发投资 业务活动出发，系统性识别 要性评估，结合风险矩阵和情 源因素作为战略决策的考量 定期审查关键目标与行动方
等）和外部环境（如政策法规、 气候与能源表现对经济、环 景分析研判其发生的可能性与 因素之一，制定并实施具体 案的进展，并通过年度 ESG
行业标准、客户期望等），并 境及社会产生的正面或负面 财务影响程度，并由 ESG 领导 行动举措。 报告等渠道向利益相关方公
明确受影响的利益相关方。 影响。 小组审议确认。 开披露结果。
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风险和机遇分析 融入内部管理流程
中微公司融合风险矩阵与情景分析等方法，高效开展气候相关影响、风险与机遇评
估工作，通过模拟不同情景的潜在影响，直观呈现气候风险与机遇的影响程度、发 责任承诺
生概率，清晰展现各类气候风险与机遇的分布特征，为相关决策制定提供科学且有 明确到 2035 年实现自身范围一和范围二碳中和
力的支撑。
风险管理
开展系统性的风险管理以识别和缓解与气候变化相关的风险
急性风险 低碳绿色生产
声誉风险 推动节能技改项目
市场风险 低碳产品与服务 产品开发
影响程度
推动产品可持续设计，为客户提供绿色低碳的设备及技术解决方案
政策及法规风险 极端气候事件应对能力
供应链合作
慢性风险 政府低碳发展奖励
与相关方紧密合作以提升供应链韧性及可持续性
技术风险 低碳发展提升企业声誉
信息披露
发生概率
强化气候相关信息披露透明度，增强投资者和公众的信任
转型风险 物理风险 机遇
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
气候相关指标与目标
中微公司深入分析公司整体能源消耗情况，规划了碳中和总体技术路线，并制定分阶段行动方案，积极稳妥推
中 微 公 司 聘 请 第 三 方 专 业 机 构 依 据 ISO
进碳中和进程。2025 年，公司继续推行节能降碳举措，不断提升可再生能源占比，在业务高速增长的同时保持
百万营收温室气体排放强度持续下降。
面范围一和范围二温室气体排放量核查，并
近年温室气体排放总量及强度（范围一和范围二） 取得 ISO 14064 认证，有效提升了碳排放
数据的科学性和准确性。
单
单
(位
(位
下降
： 35,000 ：
吨二氧化碳当量
吨二氧化碳当量
百
/ 万营收
)
)
范围二排放 范围一排放 碳排放强度
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
维度 2025 进展及结果 2026 目标
中微公司碳中和目标及实现路径
编制并发布 2026 年版《应对气候变
编制并发布 2025 年版《应对气候变化行动手
化行动手册》，深化披露公司应对气
册》，为员工提供了一份全面的节能低碳行
总体目标 动指南
二温室气体的碳中和。 进一步增强全员应对气候变化知识并
提升员工意识 开展能碳通识培训，覆盖所有新员工
积极采取行动
将努力降低能源消耗，降低含氟等化
已完成范围三中 4 个类别的排放量核算
学品使用，不断提升能源使用效率，
— 类别 3 燃料与能源活动
技术路线 提升可再生能源使用比例，对于不可
— 类别 5 运营中产生的废弃物 扩大范围三的核算类别
避免的碳排放采用碳抵消形式，最终
— 类别 7 雇员通勤
实现自身范围一和范围二的碳中和。 完善温室气体排放核算
— 类别 9 下游运输和配送
报告期内
在主要生产研发基地均通过签署可再生电力
公司设定了碳排放强度较
采购协议实现了绿电供应 可再生电力使用比例达到 45%
推进屋顶光伏项目并网发电
扩大可再生能源使用
的目标
实际下降
完成对重点供应商的 EHS 审核，评估其 EHS 推进供应商 ESG 问卷调研，摸底供应
表现 商的能碳管理水平
协同供应商开展碳排放核算及节能减碳机会 基于调研基础，选择重点供应商开展
已超额完成目标
供应商协同减排 挖掘等工作 供应链降碳
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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推进能源高效利用
能源利用效率的持续提升是中微公司实现 2035 年碳中和目标的优先举措和重要路径。公司不断完善能源相关治理架构，识别能源相关风险与机遇，积极开展各项节能举措，设置
节能降耗目标并持续推进落实，助力 2035 年碳中和目标的实现。
能源管理架构
中微公司打造“治理层、管理层、执行层”三级能源管理治理架构，致力于提升能源利用效率、提高可再生能源使用比例，稳步推进公司绿色低碳与可持续发展。通过三级能源管理架构，
能源管理有效覆盖公司所有用能单元，实现能源管理的体系化、流程化、精细化，为公司能源利用效率的提升与绿色低碳发展奠定组织保障。
管理层级 人员组成 工作职责
治理层 ESG 领导小组 能源目标审批 能源绩效审议 相关资源支持 重大事项决策
能源目标分解
管理层 主要用能单元负责人 节能措施推进 能源绩效监控 制度与流程完善
和落地
能源浪费排查
执行层 主要用能单元协调员 日常节能管控 能源数据管理 节能措施落地
与提报
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
中微公司秉持“节能增效，精细管理，全员参与，绿色发展”的能源管理方针，持续践行绿色低碳运营理念，并形成
了多级能源管理制度文件，系统化地开展日常能源管理，持续提升能源使用效率。
公司推进集团化能源管理体系贯标建设，金桥、临港、南昌等所有生产研发基地均获得了
ISO 50001 能源管理体系认证
能源管理体系文件制度
层级 维度 文件名称
《ISO 管理手册》
一级 管理手册
（涵盖能源管理体系手册）
《能源管理程序》
《能源计量管理规定》
二级 程序文件
《能源评审控制程序》
《采购控制程序》等
三级 作业指导书 各类重点用能设备作业指导书
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
能源管理战略
中微公司将提升能源使用效率视为实现碳中和的核心路径，主动识别能源领域的风险与机遇，制定并实施针对性策略，通过构建系统性节能管理机制，将绿色工厂、智能工厂的实
践深度融合于运营中，全面推动绿色低碳运营。
风险与机遇识别
类别 描述 影响时间范围 潜在财务影响 4 应对举措 5
极端天气可能导致能源供应的异常或中断，影响生产 固定资产减值 完善管理体系
急性 长期
提升应对极端天气事件的能力 收入降低 优化管理机制
完善管理体系
物理 分布式光伏受光照条件等不确定性影响其发电效率
慢性 长期 运营成本增加 推进节能技改
推动节能低碳绿色运营
优化管理机制
国家“双碳”政策趋严，部分客户将会选择碳足迹更低的产品设备 运营成本增加
政策 短中期 重点环节管控
绿色低碳相关的扶持政策与补贴红利 收入降低
下游芯片制造商供应链降碳压力可能会向上传导至设备制造商 完善管理体系
市场 积极践行绿色制造、披露碳足迹信息，有利于树立良好形象，赢得客户信任， 短中期 研发成本增加 鼓励全员参与
提升行业影响力和品牌价值 重点环节管控
转型
为降低设备自身能耗或帮助客户实现节能生产，公司需持续投入研发高能效、 推进节能技改
低排放产品 运营成本增加 鼓励全员参与
技术 短期
公司通过升级高效厂务系统、在基地铺设光伏直接降低运营成本 收入降低 优化管理机制
加强产品绿色低碳技术研发，提升产品能效水平 重点环节管控
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
具体措施与成效详见下页表格。 74
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
为有效应对上述风险，积极把握能源相关机遇，中微公司系统性开展能源管理工作，从五大维度不断优化能源管理工作，
降低能源管理相关风险。
能源管理维度 具体措施 预期效果
• 按照 ISO 50001 标准建立系统化的能源管理体系 • 实现能源管理的规范化和系统化
• 完善能源管理制度和流程 • 提升能源管理的透明度和可追溯性
完善管理体系
• 识别节能潜力，实施节能技术改造 • 降低能源消耗，提升能源利用效率
• 使用高效设备和能源管理系统 • 减少碳排放，推动绿色发展
推进节能技改
• 开展能源管理培训宣传，提升全员节能意识 • 形成全员参与的节能文化
• 建立能源管理工作网络 • 通过员工行为改变，实现日常节能
鼓励全员参与
• 定期开展能源评审 • 实现能源绩效的持续提升
• 设立能源绩效目标，持续优化管理措施 • 确保能源管理体系符合公司发展需求
优化管理机制
• 定期识别和评估能源相关政策法规的更新 • 确保能源管理的合规性
• 完善能源计量体系，保障数据准确可追溯 • 实现用能数据的准确采集与持续监控
• 对重点用能设备制定经济运行准则，推动设备节能技改 • 提升设备能效水平，降低能源能耗
重点环节管控
• 在采购环节嵌入能效标准与绿色要求，强化源头管控 • 促进绿色供应链建设
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
节能管理机制 节能措施推进长效机制
中微公司构建了一套以“节能诊断、机会识别、方案评估、实施落地、效果验证、措
措施推广 节能诊断
施推广”为六大核心环节的节能措施推进机制，通过系统化、常态化的管理机制，持
续推动“节能减碳、降本增效”工作的有效落地和长效运行。
该机制以政府考核要求、公司碳中和目标及年度节能目标为导向，通过系统复盘与总 效果验证 机会识别
结，对年度完成情况开展评估，并持续跟踪措施实施效果。同时，编制集团节能设计
指南，在项目设计阶段即融入节能要求，实现节能“三同时”。节能优秀案例在集团
实施落地 方案评估
各基地范围内推广应用，实现能效的进一步优化，不断提升集团化能源管理水平。
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绿色工厂
案例 绿色工厂
中微公司在工厂建设与运营全流程中，秉持可持续发展理念，将绿色、智能、协同的管理方针融入生产运营各环节，
通过智能化升级、能效优化提升、供应链协同减碳等多重举措，推动资源高效循环利用与企业低碳发展，持续提升能
上海市 2025 年度 “绿色工厂”称号。
源利用效率与环境管理绩效，打造半导体设备领域可持续发展的绿色制造标杆。
中微公司创建绿色工厂亮点
推动集团“绿色工厂”
标准化建设
绿色产品 供应链责任
设计 管控
绿色管理 数字化绿色
体系 平台
绿色工厂五化
能源低碳化、资源高效化、生产洁净化、
产品绿色化、用地集约化
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案例 各基地节能低碳实践
推进节能规划 开展节能技改 强化日常管理
将节能设计理念融入广州、成都等在建新项目建 MOCVD 设备优化大盘烘烤模式 照明和空调节能运行
设，通过技术选型与系统设计实现高效用能：
通过调配临港机台冗余大盘，缓解南昌实验室大 针对仓库、洁净室、办公区、食堂、展厅等区域，
• 采用水蓄冷技术，利用夜间谷电蓄冷并在日间 盘供应压力，将原有“随换随烤”的分散式烘烤 建立分区域照明与空调节能运行机制，明确各区
峰时释放，实现削峰填谷，降低能源成本； 调整为“定量积攒、集中烘烤”模式，有效减少 域管理职责，优化现场用能管理，每年可节省用
• 规划高效机房建设，确保能源供应的节能高效； 烤盘炉启停频次，年均节约用电约 9.8 万 kWh。 电约 52.4 万 kWh。
• 配套中水及雨水回用系统，减少新鲜水消耗；
老旧冷却塔更新技改 照明光源升级为 LED
• 接入园区集中供应的蒸汽热源替代传统锅炉，
对金桥基地三台老旧冷却塔进行了更新升级，新 金桥基地逐步淘汰普通荧光灯管，替换为更节能
显著提升热效率。
冷却塔具有更高效的换热性能，并实现风机变频 的 LED 灯管。截至报告期末，已完成约 400 盏
运行，每年冷却塔可节省用电约 12.2 万 kWh。 灯管更换，每年可节省用电约 4.8 万 kWh。
采用冷却水高标准水处理系统 办公区照明智能化改造
临港基地冷却水处理系统通过电化学装置将循环 在临港基地办公区照明系统加装定时控制模块，
水中的钙镁等成垢离子从水中析出，从而达到净 实现灯光自动定时开关，年均节约用电约 4.1 万
化水质和防止结垢目的，减少了循环水排污量和 kWh。
水处理药剂投加量。良好的冷却水水质对制冷机
组运行效率的提升也有显著作用。
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智能工厂
中微公司致力于以信息集成平台为基础，不断推进智能化工厂建设。遵循“统一规划、分步实施、因地制宜”的原则，构建信息化管理系统， 临港产业化基地
推动数字化智能工厂建设。为打造行业卓越工厂，中微公司制造部在 2025 年举办以“制造破壁，芯生未来”为主题的智能制造研讨会，为
荣获上海市“智能工厂”称号
中微的智能化之路注入新动能。公司持续深化智能工厂与可再生能源、循环经济的融合创新，助力中微实现稳定、高效、健康、安全发展。
数字化体系覆盖生产制造各层面
中微智能工厂
数宇化作战室 BI 商用智能平台 AI 模型及应用 战
决策层 略
关键价值链实时监控 业务驾驶舱 视觉检测 管
智能监控
跨部门协同 核心指标高度可视化 生产调度预测
控
CRM 客户关系管理 PLM 产品生命 生产工艺管理 供应链数宇化管理 WMS 智慧物流 eMS 设备管理系统
周期管理 出入库 库存管理 设备管理 维修管理
销售管理 客户管理 策划准备 风险分析 销售协同 伙伴协同
AGV 调度 / 立库集成 维保计划 点检巡检
合同管理 产品协同 质量管理 控制计划 采购协同 发运协同
质量管理 现场配置管理 EMS 能源管理系统 流
运营层 APS 高级计划排程 组合管理 ERP 企业资源管理 客户 CIP 管理 能源监测 能效分析 程
产品配置标准化 智能控制 告警管理 控
精细化管理 计划排产 资源可视 订单管理 采购管理 MRP 管理 库存管理 工单管理
产品全生命
制
排程策略管理 周期管理 E-Document 文档管理 无纸化作业
MES 制造执行系统
QMS 质量管理系统
HRM 服务资源管理 工单接收 生产管理 项目管理 叫料平台
ANDON 过程控制 记录管理
服务管理 费用结算 资质认证 领料管理 主数据管理 追溯性管理 问题管理 一次通过率监控 问题追溯 纠正预防
智能设备 流程规范
生
执行层 AGV 机器人 手持终端 生产设备 立体货柜 移动设备 标准操作 流程精益 产
运行控制 运
行
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案例 绿色建筑
中微公司临港产业化基地持续推进绿色建
筑实践，其主楼、员工餐厅及宿舍三大建
筑均获得 LEED 绿色建筑的金级认证，标
志着项目在可持续设计、能源效率及环境
友好性等方面达到国际先进水平。
临港产业化基地绿色建筑认证
中微公司建成数字化作战室，通过 BI 商业智能平台对多系统数据进行整合、分析与可
能源风险与机遇
视化，将整个工厂运营情况集中呈现于数字化大屏，实现生产全要素的透明化、实时化、
协同化管理。 能源管理作为应对气候变化的关键行动，公司将能源管理的风险与机遇识别纳入到气
候变化相关风险与机遇识别流程当中，具体可参阅“落实气候治理行动”小节。
生产数字化作战室
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能源指标与目标
中微公司科学制定短期与中长期能源管理目标，实施可 2025 年度新增节能措施合计年度措施节能量为 90.5 万 kWh，达成年度目标。在 2025 年度达成目标的基础上，中微
再生能源使用、节能技改与精细化管理等多维度举措， 公司制定了 2030 年的中长期节能目标。
持续提升能源利用效率，有效降低碳排放强度。
中微公司能源管理目标
依托能源管理体系，中微公司设定了不同层级、不同维
指标 单位 基准年 2030 年目标
度的能源管理指标目标，并进行持续地监测和跟踪。
累计措施节能量 万 kWh 2025 年 1,000
• 总体能耗强度
公司
• 总体节能量
基地 • 基地绿电消纳
制造 • 制造能耗强度
研发 • 研发能耗强度
设备 • 系统运行能效
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守护自然生态环境 环境管理举措
中微公司将环境保护深度融入企业运营全流程，通过制度化建设与数字化手段相结合，持续提升环境绩效，推动绿色
中微公司坚持“源头防控、过程管控、末端治理、循环
低碳转型。
利用”一体化管理理念，依托 ISO 14001 环境管理体系，
构建覆盖全链条、全区域的环境管理机制，推动水资源
水资源管理
高效利用、污染物稳定达标排放、废弃物合规处置、资
中微公司秉持“节水优先，系统治理”的水资源节约理念，将水资源管理深度融入 ESG 战略体系，有效识别可能发生
源循环使用及生物多样性保护协同并进，持续提升环境
的与水资源相关的风险，制定《水污染防治管理程序》及其配套的管理举措，实现生产运营与水资源保护的协同发展。
绩效，致力于打造人与自然和谐共生的可持续运营典范。
案例 雨水回收
环境管理体系 中微公司积极响应国家海绵城市建设号召，在临港、南昌等产业化基地内，系统性地布局了雨水回收利用设施。
该设施通过收集厂房屋面和道路雨水，经收集井、提升装置输送至蓄水池，再通过加压过滤等工艺进行处理。
中微公司秉持全生命周期管理理念，系统构建并持续优
回收水主要用于室外绿化灌溉、场地冲洗等环节，部分雨水经中水系统深度处理后还可回用于生产环节，如
化 ISO 14001 环境管理体系，实现环境管理的制度化、
作为尾气处理设备的喷淋水源。
规范化与持续改进，全面支撑绿色制造与生态环境保护。
临港产业化基地 2025 年实现了雨水回用约 1.18 万吨，在有效支持厂区运营节水的同时，为城市水资源可持
中微公司严格遵循《中华人民共和国环境影响评价法》
续管理作出实际贡献。
等环保法律法规，在新厂区规划前期，全面落实环保“三
绿化灌溉
同时”管理制度，确保项目全生命周期的环境保护合规
管理。公司持续优化环保管理流程，在制度建设、风险 道路 / 屋面雨水 雨水调蓄池 过滤系统 雨水清水池 道路冲洗
识别、合规审查、应急处置、责任追究、考核评价及能 中水回用系统
力培训等方面实施系统化、规范化管理。 雨水收集井 排放口 阀门井 市政雨水管网
剩余雨水
临港产业化基地雨水回用路线图
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
中微公司已建立系统的水资源风险识别机制，依据世
界资源研究所（World Resources Institute, WRI） 案例 全面水资源管理
Aqueduct 4.0 水风险工具，对公司全球运营点及供 中微公司临港产业化基地基于现有水耗流向及相关数据，开展数据分析，并绘制临港水耗桑基图，充分挖掘
应商所在地进行了水资源风险评估，总结了水资源 节水潜力，并针对相关设备或系统管理进行优化。
优先区域清单，推进自身运营层面与供应链层面的
节水实践，全面降低水资源风险。 临港产业化基地针对生产用水与工业废水特点，聚焦过程循环与末端回用，全面推进废水循环利用，通过技
术改造，实现清污分流、分质处理与分级回用，显著提升水资源利用效率，降低新鲜水取用量和废水排放量。
水资源风险识别流程 临港产业化基地水耗网络
数据收集 水源 厂区水网络 排水
收集全球运营点及供应商所在地的基础 研发生产用水
数据，为后续风险评估建立基础数据库。
纯水系统
尾气处理系统 工业废水处理系统
风险评估
冷却塔补水
采用 WRI Aqueduct 4.0工具进行分析，
评估各运营点或供应商所在地水资源压 自来水
MAU 系统补水 冷凝水 中水回用系统
力，量化潜在风险等级。
市政
污水官网
定位分级 泳池补水
根据水资源风险等级对运营点和供应商
生活用水 生活污水处理系统
进行风险评分与优先级划分。
厂房冲厕用水
应对与监测
雨水
定期监测各区域水资源状况，根据变化动 雨水回收利用系统 绿化浇灌
态调整优先级；与供应商合作推进节水、
提升用水效率等改进工作。
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案例 中水回用
中微公司秉持“源头分流——分质处理——统一回用”的水资源综合治理理念，持续优 中水回用系统流程图
化工艺，致力于提升水资源循环利用效率。在临港产业化基地，公司建设中水回用系统，
对处理达标的工业废水进行深度净化，并将其作为尾气处理设备喷淋洗涤用水及卫生间
高氟浓度工业废水 低氟浓度工业废水
冲厕补充水源，2025 年节约了 5.88 万吨的自来水，显著降低了新鲜水取用量，推动
反洗废水
运营向更可持续的方向发展。 工业废水处理系统
UF/RO 系统
中水清水池
生活杂用水 尾气处理设备
工业废水达标排放 生活污水处理系统
中水回用系统 市政管网
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污染物排放 废水管理
中微公司严格遵守《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》 中微公司通过优化节水工艺与装配、加强水资源 报告期内
《中华人民共和国水污染防治法》等法律法规要求和污染防治主体责任，建立健全内 循环利用、减少化学品用量、控制污染物排放等
部《水污染防治管理程序》《大气污染防治管理程序》《噪声污染防治管理程序》《土 多重举措，持续完善废水排放管理制度与运维标 确保生活污水与工业废水实现
壤及地下水防治管理程序》等环境管理制度，在确保废水、废气、固体废物合规排放 准。同时，公司依托 ISO 14001 环境管理体系不 规范处理及
处置的同时，不断引进先进污染防治技术和环保设备，以实现能源资源消耗最低化和
生态环境影响最小化。
断推进体系优化与落实，确保生活污水与工业废
水实现规范处理及 100% 达标排放。
水管理流程概念图
污染物合规排放 源头削减
中微公司每年制定并及时更新环境监测方案，并委 报告期内 优化研发生产工艺，优先选用低水耗生产工艺和设备，提高工艺用水
托有资质第三方监测单位对各工厂产生的废气、废 利用率等手段，严格把控生产用水量和废水产生量。
水和噪声进行例行监测，出具监测报告，并及时将 公司各环保设施稳定正
监测报告披露到相关政府平台接受监督。在日常管 常运行，各类污染物 过程控制
理中，中微公司主动定期监测各废气排口主要污染 通过过程管理，减少化学品用量和水消耗量，从源头控制和降低废水
达标排放 产生量和水污染物排放浓度。
物指标，并进行监督性巡检；定期对生产废水和废
水站排水进行取样检测，保证各污染物都达标、稳
末端处理
定排放。
废水分类收集，分质处理，选用先进的水处理设备和在线监测和全自
动控制系统，实现污染物的精准高效削减，同时减少水处理药剂和能
源使用量，协同减污降碳。
循环回用
“2024 年度排污单位生态环境信用评价 A 级企业”
通过建设中水回用系统，实现废水的循环利用，实现节水和减少排污
的目的。
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废气管理
针对不同废气源，中微公司精准识别特征污染物，选择具有更高处理效率的废气处理设施，减少污染物质的排放。同时，
公司借助定期监测、效果分析及应急处置等手段，全面管控末端废气排放，实现 100% 达标排放。
废气处理流程
废气来源 一级处理 二级处理 环境排放
电加热 + 水洗
酸性废气
标准化排口
燃烧 + 水洗
碱洗塔
有害废气 吸附 + 过滤
烟囱高空排放
自行监测
催化燃烧
碱性废气 酸洗塔
等离子 + 水洗
效率分析
有机废气 活性炭吸附
含尘废气 除尘装置 吸附塔
应急准备
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废弃物处理
中微公司注重固体废弃物处理的全流程合规管控。通过精细化分类收集、建立规范化管理台账，并委托有资质的处置单位进行最终处置，实现了从产生、暂存到外运处置的闭环合
规管理，确保所有废弃物得到合法、合规处理。
一般固体废弃物处理 危险废弃物处理
报告期内
中微公司严格遵循《中华人民共和国固体废物污染环境 中微公司制定了严格的危险废物处理管控流程，在全面落实国家法律法 中微公司共产生危险废弃物
防治法》，秉持“宜用则用、全程管控”原则，制定《固 规及相关标准规范的基础上，持续提升危险废物管理的规范化、信息化
体废物管理程序》《一般工业固体废物管理制度》《化 水平。通过配备电子磅秤、二维码标签扫描等物联网终端设备，实现“一 吨
学品管理程序》《危险废物管理指导书》等规范化管理 码贯通”全流程作业，推动危险废物从产生、收集、贮存到转移处置的
文件，建立健全覆盖废物产生、收集、贮存、运输、利 全环节可追溯管理，并与政府危险废物管理系统实现实时数据互联互通，
用、处置全过程的污染环境防治责任体系，全面推进一 有效保障危险废物管理的合规性与透明度。 合规处置
般固体废弃物的综合利用与合规处置。
危险废弃物处置“一码贯通”作业流程
在生产运营过程中，中微公司对研发、生产及生活区域
政务外网 上海市危险废物管理信息系统
产生的固体废弃物实行分类收集，并依据材质特性开展
精细化拆解与分类贮存。同时，公司对第三方处置合作
企业流程
单位实施严格的准入筛选与动态管理机制，确保处置过
程合法合规、可追溯。
产废车间定点 称重接收 联单打印
入库贮存 扫码出库
分类收集 标签打印 危废出厂
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循环经济
中微公司始终秉持“减量化、资源化、无害化”的固废
处理原则，积极构建废弃物循环利用体系。公司持续推 案例 包装材料回收利用
进木箱、泡沫颗粒、珍珠棉、纸箱、木托盘等包装材料
中微公司积极构建以循环为导向的包装管理体系，在仓库端推行现场包材分类回收机制，对泡沫颗粒、珍珠
的重复使用与回收再利用，并不断探索废弃物资源化利
棉、木箱、纸箱及木托盘等包装材料进行系统回收与二次利用。同时，与供应商协同开展包材循环项目，推
用的新路径。报告期内，中微公司累计回收利用各类包
动周转箱、航空箱、木箱及大型塑料箱等标准化包装的回收与循环使用。
装材料 129.73 吨、废木板 245.76 吨。
在显著降低包装采购成本的同时，实现了环境效益与经济效益的协同提升。
案例 废旧木制包材回收利用
推动废旧木制包材的回收再利用，将其重新加
工用于公司产品包装。报告期内，公司累计回
收利用废木板 245.76 吨，占废旧木制包材总
量的 20.13%，有效促进了资源循环利用。
木箱 纸箱 泡沫颗粒
产品、物料
木质包装
木板循环
筛选可用废 利用
重新加工制
木板，供应
作成木箱 周转箱 航空箱 大塑料箱
商回收
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生物多样性保护
中微公司高度重视生物多样性保护，积极支持生物
多样性保护全球公约及相关政策框架，包括联合国 生物多样性风险识别流程
《生物多样性公约》（Convention on Biological
Diversity, CBD）、《昆明 - 蒙特利尔全球生物多 数据收集
样性框架》、生态环境部《关于进一步加强生物多
收集全球运营点及供应商所在地的基本信息。
样性保护的意见》等。公司确保生产运营活动不破
坏生态红线或自然栖息地，项目建设运营地均不涉
风险评估
及生物重要性保护重要或敏感区域，并公开承诺重
视生物多样性保护，践行环境责任，推动生态可持 评估全球运营点及供应商所在地内是否存在 IUCN 红色名录中的“极
续发展。报告期内，中微公司未发生破坏生态系统 危”（Critically Endangered）物种或关键生态系统。
和生物多样性的负面事件。
定位分级
生物多样性风险识别 根据生物多样性风险等级，对运营点及供应商所在地进行风险评分与
优先级划分。
中微公司逐步建立生物多样性风险识别机制，基
于 国 际 自 然 保 护 联 盟（International Union for
Conservation of Nature，IUCN）濒危物种红色 应对与监测
名录，对公司全球运营点及供应商所在地进行了生 定期监测各区域生物多样性状况，根据变化动态调整优先级；与供应商合作推进生
物多样性影响评估，明确了中微公司生物多样性优 态修复、保护关键物种栖息地等改进工作。
先区域清单。
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开展生物多样性保护
中微公司在规划建设初期，便将生物多样性保护纳入建筑规划设计，以生态优先为导向，致力于打造绿色可持续的工作环境，推动工作空间与生物多样性的有机融合，实现人、空
间与自然的和谐共生。
案例 临港产业化基地生物多样性保护措施
打造“集羽阁”鸟类栖息地 开展植物自然科普 打造屋顶花园
采用生态材料建设“集羽阁”，为园区鸟类营造安全、 基地内的植物悬挂科普铭牌，清晰标注物种名称、 在总部大楼打造屋顶花园，既有效缓解城市热岛效
适宜的栖息环境。 科属及生长特性，提升员工与访客对园区植物的认 应、改善微气候，也为员工提供了亲近自然的休憩
知与保护意识。 环境。
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环境管理指标目标
中微公司在水资源管理、污染物排放控制及废弃物资源化利用等关键领域制定了系统化的量化绩效目标，持续推动环境管理体系
迭代深化。2025 年，公司已全面达成各项目标，同时制定了 2026 年度环境管理目标，稳步推动生产运营环境影响持续降低，切
实履行生态环境保护责任，守护自然生态环境。
维度 指标 2025 年度目标 2025 年度目标达成情况 2026 年度目标
水资源管理 工业废水回用率 10% 已达成，16.05% 20%
污染物排放 废气、废水排放 100% 合规排放 已达成 100% 合规排放
循环利用的废弃物占比 90% 已达成，93% 不低于 95%
废弃物处理
危废合规处置 100% 合规处置 已达成 100% 合规处置
环境管理其他各项数据指标情况请参阅“附录一 责任绩效”。报告期内，中微公司未发生突发环境事件，未因环境事件受到生态环
境等有关部门处罚或被追究刑事责任。
报告期内
无突发环境事件 未因环境事件受到生态环境等有关
部门处罚或被追究刑事责任
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
供应链治理体系
中微公司全力构建科学高效的供应链治理体系，明确各层级职责分工，不断完善
供应商管理制度，全方位提升供应链管理效能。中微公司的全球物料运营部门
（GMO）作为供应商管理的牵头部门，负责供应链开发、品质、订单和物流在
内的四大功能管理，在供应商管理的各环节中嵌入对供应商环境、安全及社会责 全球物料运营部 (GMO)
任等方面的要求，通过有效的可持续供应链管理，保障生产运营的稳健发展。
现更高效的协同配合，避免职责交叉或管理盲区，同时针对不同类型商品的特性
和管理需求制定针对性策略，提升整体供应链的稳定性和产品质量水平。
供应链 供应链
中微公司持续完善内部供应链管理体系，制定了《采购控制程序》《供应商管理 供应链 供应链
开发管理 物流管理
程序》《供应商质量管理程序》《供应商批准管理规定》《供应商行为准则评估 品质管理 订单管理
作业指导书》《供应商 EHS 评估作业指导书》等一系列管理制度，对供应商实
施分类管理，涵盖从准入、评估、检测、审核、认证及终止合作的全流程。
明确、统一的标准与指引，通过手册明确要求供应链合作伙伴在产品质量、生 涉及供应商选择和 涉及物料的仓储、
产流程、合规管理、ESG 等方面的责任，规范供应链合作伙伴的质量行为，确 开发、报价、新产 涉及供应商提供的 涉及公司采购计划 进出口、报关和
保其提供的原材料、零部件等符合公司生产及最终产品的质量标准，进一步提 品开发、产能以及 各种零部件的品质 的编制和执行、订 运输
升供应商可持续发展管理能力，降低供应链环境及社会风险，保障生产运营与 系统信息维护 管理和供应商质量 单的发放、物料的
服务品质。 管理能力的提升 交付跟踪以及备品
备件管理
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
供应链发展战略 类别 描述
极端天气（台风、洪水）、地震、火灾等自然
影响时间范围 潜在财务影响 6 应对举措
灾害，或供应商工厂安全事故、关键原材料供
收入降低 建立供应商多元化策略
中微公司注重与供应商的长期稳定合作关 急性 应中断，导致上游供应商断供、物流受阻，影 长期
运营成本增加 制定供应链中断应急预案
系，积极推动供应商管理能力提升，通过 响生产交付周期
提升供应链应对极端气候的韧性
明确供应商行为准则，加强供应商 ESG 管
物理
理，助力供应商提高其生产供应保障能力 将 ESG 要求纳入供应商准入
供应商长期存在环境污染、资源消耗超标问题，
与评估体系
和社会责任意识，以满足各利益相关方的 面临环保处罚或限产风险，间接影响供应稳定
慢性 长期 运营成本增加 开展供应商 ESG 评估
诉求。 性
推动供应商改善计划落实
推动供应商实施清洁生产、节能减排
建立供应商退出机制
全球碳关税、ESG 信息披露要求、供应链尽职
供应链风险与机遇识别 调查法规趋严，若供应商无法满足合规要求，
制定并签署供应商 ESG 行为
准则
可能被排除出供应链，或增加公司合规成本 合规成本增加
政策 短中期 完善供应商管理体系制度
中微公司将 ESG 理念深度融入供应链管理 推动供应商节能减排、改善劳工条件，可降低 采购成本上升
开展供应链碳排放核算，推动
合规风险，同时提升品牌形象，获得绿色金融
的各个环节，构建了系统化的供应链风险 供应链协同减碳
支持
识别与管理体系，积极管控供应链环境、
客户要求设备供应商的 ESG 表现提升，若公
人权及商业道德等 ESG 相关风险，致力于
司供应链 ESG 问题被曝光，可能失去订单或
打造一条兼具韧性、安全与绿色责任的供 制定并签署供应商 ESG 行为
面临客户审核压力
转型 市场 短中期 收入降低 准则
应链。 通过透明、负责任的供应链管理，向客户展示
开展供应商 EHS 审核
全链条 ESG 合规性，可作为差异化竞争优势，
获取 ESG 敏感型客户订单
半导体设备对关键原材料技术要求高，若供应
建立《供应链合作伙伴质量
商技术迭代滞后或质量控制不稳定，可能导致
手册》
设备性能不达标、良率下降
技术 短期 研发成本增加 优化供应商能力评估体系
与核心供应商建立技术协同机制，共同研发新
与战略供应商开展联合研发
材料、新工艺，可提升供应链技术竞争力，降
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务 优化供应商质量管理系统
低对单一供应商的依赖
影响。
风险 机遇 94
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
供应商准入、评估及退出机制
中微公司建立了完善的供应商准入、评估及退出机制，并将 ESG 理念融入供应商管理过程中，确保供应商在质量、交付、成本及合规性等方面持续达标的同时，提升其 ESG 表现，
优化供应链可持续发展管理。
供应商准入
供应商准入审核 供应商行为准则 绿色供应链管理
针对供应商的类型、重要性和业务性质，开展准入审 要求所有供应商签署《供应商行为准则》（COC）， 践行绿色采购导向，助力公司节能降碳。在空压
核工作。审核围绕战略契合、管理体系闭环、执行落 承诺遵守商业道德、劳工权益及环境健康安全等基 机组、制冷机组、空调机组、电机等关键用能设
实能力以及可持续发展四个核心策略，系统评估供应 本标准： 备及相关服务的采购过程中，围绕能效等级、能
商在战略规划、日常运营和长期发展等全维度的管理 劳工：关注供应商是否遵照国家法律、合理用工、 源计量、含氟气体管理及能效跟踪四大核心管控
水平，确保供应商与中微公司的合作能够协调一致、 反歧视、结社自由等方面也作了相应的规定 内容，覆盖选型、安装、运行和维保四个关键阶
稳步推进。审核维度包括八大方向： 健康及安全：供应商需营造安全健康的工作和 段，明确在能源管理方面的采购准入标准与过程
住房环境，制定计划降低员工安全风险，预防 控制要求，建立绿色采购管理规范。
业务战略一致性 产品实现 安全事故
质量管理体系 测量、分析和改进 环境：供应商应注意其对环境（包括但不限于
管理责任 长期生存战略和社会责任 废气排放、废水排放、有毒物质和危险废物处理）
资源管理 环境、社会和公司治理 和对当地社区的影响
商业道德：要求供应商应对贿赂、腐败等零容忍，
报告期内
并在知识产权、反不正当竞争、避免使用冲突
中微公司供应商 ISO 9001 质量管理体系认证通过率达 矿产、隐私保护方面制定相应的政策
管理体系：鼓励供应商建立相应的管理体系，
中微公司审核并保障其合规性
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供应商评估 退出机制
问卷调查 当供应商出现违反中微公司所在国家 / 地区法律法规、
侵犯相关方知识产权、产品质量或可靠性方面表现持续
开展供应商 ESG 问卷调查，问卷内容涵盖劳动保障、健康安全、商业道德、知识产权、
不佳等行为时会触发内部评审机制
信息安全、供应链管理、环境保护与节约资源、能源与碳排放、业务持续性等 9 大模
块共计 82 项问题 内部评审机制触发后，中微公司将进行评估并将处理结
果通知供应商
专项审核
供应商 ESG 审核：针对供应商的 ESG 表现开展线上或现场专项审核，重点关注供应商
在企业管理、人文关注、环境安全等方面的表现
供应商 EHS 审核：确保 EHS 合规
供应商过程审核：确保其过程能力和质量的稳定性
季度考核
关注模块：商务、质量、响应速度和能力
深入关注供应商内部管理结果及客户投诉处理情况
对于绩效表现优异的供应商，在订单分配等方面给予一定的激励
对于绩效表现不佳的供应商，公司将视情况组织现场走访，或邀请供应商前来就近期
存在的质量问题进行专项沟通，协助其制定专项改进计划，并跟踪、督促整改措施按
计划落实
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供应链管理能力提升 内部培训
供应商行为准则培训
为全面提升供应链整体合规水平与质量安全管
由供应商行为准则协调员就供应商行为准则相关管理制度实施细则，对全体 GMO 人员进行培训
理能力，中微公司围绕行为准则、质量管理、
EHS 管理及 ISO 体系统筹推进等核心领域，分 供应商 EHS 管理培训
别设立专职协调员，负责各模块的培训组织与 由供应商 EHS 协调员每月将 EHS 部门分享的内外部安全事故在 GMO 部门内部进行宣贯，并就供应商
宣贯推进，确保相关要求精准落地、执行到位。 EHS 评估工作相关操作方法进行培训
通过分层分类、责任到人的机制，有效提升了
ISO 体系培训
内部供应商管理团队以及供应商自身的合规意 由 GMO 部门体系协调员对整个 GMO 部门人员进行 ISO9001、ISO14001、ISO27001、ISO45001、
识与专业能力。 ISO50001 体系培训
中微卓越问题解决培训
由 GMO 部门中微卓越问题解决（AMEC Problem Solving Excellence, APEX）协调员每周定期组织
APEX 培训，培训内容包括但不限于：各种零部件失效的 8D 案例分享、零部件的特殊特性分享等
供应商技术向培训
由 GMO 部门不定期邀请供应商至中微公司，围绕零部件的材料特性、工艺特性、应用场景等话题对中
微相关工程师开展培训
供应商赋能
供应商质量管理培训
由供应商质量管理人员对供应商开展 3Q 培训，培训内容涵盖供应商质量表现跟踪与管理流程、中微标
准与规范、中微内部作业流程及线上系统操作，全面助力赋能供应商质量管理能力提升。
供应商交付能力提升
由精益专家和 GMO，对重要机加工零部件供应商进行交付能力分析，深入供应商生产现场，梳理交付周
期、生产能力瓶颈和计划排产方式，提出针对性建议和解决方案，极大促进了供应商交付能力提升。
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案例 供应商 3Q 培训
焦质量管理标准与规范的落地执行，全面提升供应商体系化能力。
培训覆盖质量意识、过程控制、问题响应与持续改进等核心模块，
确保供应商全面理解并满足中微内部质量管理要求。全年累计对
品交付的稳定性与可靠性奠定了坚实基础。
全年累计对
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供应链风险和机遇管理
供应链风险识别流程
中微公司通过构建涵盖风险识别、评估、监控与应对的
系统化管理体系，致力于提升供应链的韧性与透明度，
以应对日益复杂的全球运营环境。 背景调研与政策风险评估 准入风险识别与供应商筛选 动态风险识别与持续监控
通过内部采购数据分析（如供应商 基于供应商准入评估体系，从质 通过供应商定期审核、绩效评估、
供应链风险与机遇识别流程 绩效表现）与外部环境影响评估（如 量、 技 术、 财 务、ESG 表 现（ 环 现场稽核、信息共享平台等多渠
行业政策法规更新、ESG 监管要求 境合规、劳工权益、商业道德等） 道机制，系统性识别已合作供应
中微公司秉持全流程风险防控理念，将供应链风险识别 趋严），明确供应链管理的内部现 多维度开展评估，识别潜在供应 商在交付及时性、质量稳定性、
与机遇把握作为 ESG 管理的核心环节，致力于提升供 状与外部合规环境，识别关键利益 商在产能保障、技术能力、合规 成本控制、ESG 合规等方面的动
应链的透明度、响应速度与可持续竞争力。为系统化增 相关方（如核心供应商、客户、监 水平等方面的风险点，确保新引 态风险变化，并建立风险预警和
强供应链的抗风险能力与运营效率，公司构建了涵盖 管机构等），并系统评估政策法规 入的供应商符合公司战略要求。 常态化监督机制。
背景调研、准入评估、动态监控、风险优先级确认、韧 变化对供应链准入、运营及合规成
性提升与持续披露六大环节的供应链风险和机遇识别流 本的影响程度。
程，实现风险早识别、快应对、可追溯，全面推动供应 06 05 04
链向韧性化、智能化与可持续方向升级。
持续监测与信息披露 供应链韧性提升与应对措施 风险评估与优先级确认
通过建立供应商绩效仪表盘、定 针对已确认的关键风险，制定并 对识别出的供应链风险议题进行
期开展供应链风险评估、设定关 实施专项应对计划，包括供应商 评估，结合公司战略目标与利益
键绩效指标，动态评估管理成效， 多元化策略、供应商能力提升计 相关方关切度，确认需优先应对
并在 ESG 报告、年报和内部沟通 划、应急响应预案等，持续提升 的关键风险。
中披露供应链风险管理进展与绩 供应链韧性。
效表现，回应利益相关方关切。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
提升供应链韧性
中微公司以增强供应链韧性为核心，通过风险评估、本地化采购、VMI (Vendor Managed Inventory) /JIT（Just In Time）协同及数字化管理，提升供应稳定性与响应效率，同时
严控冲突矿产，落实 ESG 责任。通过多维度举措协同发力，中微公司全面增强供应链抗风险能力与可持续竞争力。
风险评估及应对 推行本地化采购 确保及时交货
完成关键零部件的风险评估及应对方案， 积极推动本地化采购，2025 年本地供应商比例达 87%，加速推动 对供应商推行 VMI（新增 66 家）与 JIT（新
从供应商产能、供应集中度（单一供应）、 国内半导体产业上游零部件的国产化进展。 增 3 家）策略，有效地保证了物料供应的
物流链路、供应商质量表现、交付能力、 在中微公司的带动与引领下，众多供应商纷纷在公司所在地及周边 及时性，降低了供应的风险，并且有效地
政策法规等多维度对供应链风险进行评 建厂布局，降低物流成本，缩短供应链距离，极大提高了供应链的 优化了中微公司的库存水平，提高了管理
估，通过持续优化库存管理策略、扩大 交付以及响应效率，同时有效降低了物流环节的碳排放。 的效率，降低了管理成本。
本地化采购比例等措施持续提升供应链 逐步推动海外采购的关键零部件在本地进行修复的采购策略，进一 每月向供应商提供滚动的物料计划预测，
的抗风险能力。 步降低资源消耗，缩短交付周期，提升了供应链整体运营效率及客 要求供应商提前备货。
户满意度。
强化数字化管理 严禁冲突矿产 开展绿色专项项目
在原有管理系统的基础上，新增供应商 公开承诺坚持负责任的矿产资源采购，确保供应链的可持续性和合 来料循环使用包装占比 7 约 17%。
管理系统、物料品类管理系统、供应商 规性。 在 7 家供应商推行中微标准周转箱。
评分评估系统等数字化系统的上线与优 要求供应商制定冲突矿产尽责管理相关政策或程序，确保其制造产 共同开展包材回收项目。
化，实现了审批效率提升、管理直观可视、 品中的钽、锡、钨、金不会以直接或间接的方式为严重侵犯人权的 详细循环回收情况，请参阅“守护自然生
信息共享加强、流程流转加速等多重成 武装集团提供资金或利益协助。 态环境”小节。
果，显著提高了供应链整体管理效能。
来料包装在自身营运范围内实际总的循环使用数占全部来料包装数的比例
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中微公司供应商数字化管理体系
管理模块 2025 年上线系统 优化成果
供应商的审批流程更加高效与统一，对不同
供应商准入 SA (Supplier
品类的供应商在数量、采购额占比的实际情
开发 Approval) 认证供应商管理系统
况展示上更加简洁、直观，提高了供应商管
物料品类管理系统
理时的工作效率
供应商纠正措施系统 供应商的审核、整改情况及绩效表现均在系
品质 供应商过程审核管理系统 统中清晰可查，对供应商的监督与管理更加
供应商评分评估系统 精准有效、直观
外协发料系统 全面线上电子化升级流程，增加了信息共享
订单
供应商开票系统 程度，提高供应链管理效率
避免重复审批，提高流程流转的效率，物料
新版退料审查 RMA (Return
物流 运输管理更加规范，使得信息与实物流达到
Material Authorization) 系统
精准匹配
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供应链发展指标和目标
中微公司致力于打造一个韧性、可持续且协同高效的供应体系，通过强化供应商的产品质量、社会责任与绿色生产， 截至报告期末
提升整体管理能力与信息协同，以不断增强供应链抗风险能力，为公司的持续创新与业务拓展提供坚实支撑。
中微公司合作供应商达
报告期内，中微公司持续深化供应链管理，在供应商审核、能力建设及提升链韧性方面取得显著成效。
家
供应商 供应商 供应链 其中供应商来自中国大陆
审核 能力建设 韧性
对 70 余 家 关 键 供 应 商 开 展 了 组织内外部培训总计 200 余
供应商准时交货率达 99.48%，
ESG 线上问卷调查 次，涉及社会责任、零部件技 已达成年初目标 99%
对 17 家重点供应商开展了 EHS 术特性、工艺特性、质量工具 10%
线上专项审核，并对 1 家重点供 的运用、3Q Training 等多维度
应商开展了现场专项审核；共发 话题，其中供应商社会责任专
现问题 50 余项，均已在报告期 项培训共计 114 次 中微公司供应商
内完成改善闭环
全球分布概况
全年共计完成对 88 家制造型供
应商进行了 130 余次审核，包
括但不限于准入审核、过程审核、
EHS 审核、产品过程及特性审核
等 , 并对不符合项的改善措施进
中国大陆地区 亚太地区 ( 除中国大陆 ) 欧美地区
行跟踪复查与确认，同时开展了
供应商生产流程优化等相关工作
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所有员工均有资格参与股权激励计划 累计录用新员工 人均创收达到
万股限制性股票 641 名 450 万元
中微公司坚守
围。
“以人为本”
通过系统化的人才战略、
以人为本共创未来
的理念，致力于构建一个尊重员工价值、激发创新潜能、共享发展成果的组织氛
完善的治理体系与前瞻性的发展机制，不仅保障员工基本权益与福祉，更注重
其长期成长与价值实现，推动个人与组织在应对行业挑战中共同发展，最终实现企业价值、员工发展与社
会进步的多维共赢。
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完善员工治理机制
中微公司秉承民主集中管理原则，构建了特色化民主集中型决策管理机制，董事会、管理层“领导小组”、中高领导层团队与基层员工协同参与，确保决策科学性与执行效能。
公司董事会 考虑各利益相关方意见，通过各董事讨论协商进行
决策机制 决策。
公司领导 建立管理层“领导小组”, 通过召开定期会议或临时
小组决策机制 会议进行决策。
公司中高层 组建“决策咨询委员会”，为公司的管理和发展建
参与决策机制 言献策。
对于参加领导小组、决策咨询委员会的成员设立谏
员工谏言机制
言指标，鼓励各级员工递交谏言书。
建立工会管理机制，保障员工依法自由参加工会组
工会管理机制 织的权利，并通过民主选举产生工会代表，切实维
护员工合法权益。
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明确员工发展战略
中微公司明确员工发展战略，以保障员工基本权益为核心，完善薪酬福利激励机制，激发员工积极性与创造力。公司倡导多元、平等与包容，营造公平公正的工作环境，重视员工
培养与发展，提供多样化培训与职业成长机会。同时，注重员工关怀，打造温暖人心的企业文化，增强员工归属感与凝聚力，推动个人与公司共同成长。
员工相关风险与机遇识别
员工是中微公司价值创造的主体与稳健运营的基石，员工的安全、健康、发展与韧性关乎企业的运营效率和创新活力，也是企业长期价值的关键支柱。中微公司主动识别并管理员
工相关风险与机遇，持续提升组织韧性，夯实可持续竞争力，推动高质量发展。
类别 描述 影响时间范围 潜在财务影响 8 应对举措
突发公共卫生事件、极端天气灾害或重大安全事故，可能导致研发生产基地的运营临 收入降低 参阅“员工职业健康”
急性 长期
时中断，同时直接威胁员工健康与安全，并可能引发关键项目延期 医疗成本增加 小节
工作场所的职业健康安全风险若未能得到有效控制，将成为诱发员工职业病的重要潜
物理
在因素
收入降低 参阅“员工职业健康”
慢性 通过优化工作流程、提供灵活工作安排，可直接提升员工效率与满意度。健全的健康 长期
培训成本增加 小节
管理、心理支持与福利体系能降低病假率、提升员工敬业度，从而降低运营成本、提
高生产效能
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
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类别 描述 影响时间范围 潜在财务影响 8 应对举措
劳动法规、安全生产标准、个人信息保护法等合规政策要求日趋严格，若公司响应不足或
执行不到位，可能面临法律处罚、诉讼风险及声誉损害 参阅“员工基本权益”
政策 短中期 合规成本增加
将外部合规压力转化为内部管理升级的动力，通过系统化、标准化的员工政策体系建设， 小节
实现“合规成本”向“竞争优势”的转化，最终提升企业可持续发展能力
全球人才竞争激烈，尤其是顶尖研发与工程技术人才。若公司在薪酬福利、职业发展或工
转型 作环境上缺乏竞争力，将难以吸引和留住核心人才，进而削弱技术创新与市场响应速度 参阅“员工激励机制”
市场 短中期 收入降低 “员工培养发展”小
在人才市场中树立“最佳雇主”与“负责任企业” 的品牌形象，不仅能持续吸引顶尖人才， 节
也能向客户与合作伙伴展示公司的稳健治理与长期价值理念，增强商业信任与品牌溢价
半导体技术快速迭代，对员工的技能更新速度提出了极高要求。若公司的培训体系、知识
参阅“员工培养发展”
技术 管理或技能重塑机制未能跟上技术变革步伐，将导致人才技能老化，难以支撑前沿技术的 短期 培训成本增加
小节
研发与客户需求
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
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员工基本权益
中微公司坚信尊重并保障每一位员工的基本权益，是建立稳定、和谐雇佣关系的前提，更是激发创新活力的根本。公 截至 2025 年末 9
司在招聘录用、薪酬福利、职业发展、反歧视与反骚扰等关键环节，持续健全公平、透明的制度体系，并持续倾听与
公司员工总数
响应员工诉求，致力于打造一个包容、信任、可持续发展的成长平台。
中微公司严格遵守法律法规，遵循《世界人权宣言》及国际劳工组织（International Labour Organization，ILO） 2,963 人
核心公约的相关要求，制定了《员工手册》《MBO 目标管理制度》等劳工政策和行为准则，规范用工行为，保障员
劳动合同签订率为
工人权，杜绝强迫劳动、使用童工等违法行为，致力在业务运营的每个阶段消除一切形式的强迫劳动，包括奴役及人
口贩卖，坚持对使用童工采取零容忍态度，并会立即采取行动解决任何已报告的情况，包括终止与任何不遵守此规定
的供应商的业务关系。2025 年，公司未发生强迫劳动、使用童工相关事件。
报告期内
中微公司践行多元化、公平性与包容性（Diversity, Equity and Inclusion, DEI）的理念，反对任何形式的劳工歧视，
建立覆盖全员的用工管理制度，开展员工基本权益培训，不断完善劳动关系管理。
公司严格遵守法律法规，及时、
足额支付员工工资，依法缴纳
《中微公司员工 提供面向全体新 制 定《 中 微 公 司 根据《中微公司供
手 册》 明 确 规 定 员工的“职场行为 多 元、 平 等 和 包 应商行为和道德 中微公司过去三年未发生大规模裁员或并购
事件。
杜绝强迫劳动和 准则”培训 容 政 策》， 打 造 准则》，对整个供
使用童工 幸福职场 应链各方进行调
查及审核，以识别
违规风险
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
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员工激励机制
中微公司建立了定期的绩效评估与双向反馈机制，推行科学、公正、高效的人才激励体系，充分激发员工的活力与创新潜能。通过将个人成长目标与公司战略方向深度对齐，实现
组织发展与人才发展的同频共振，持续打造公平、透明、可持续的组织生态。
目标管理体系（MBO）和员工激励 多样化人才激励措施
通过目标管理（MBO）制定公司发展目标，系统性地将
公司层面的年度目标分解到各个部门和个人 , 并定期追
奖项激励 薪酬激励
踪反馈。年终评估运用采取一级主管、二级主管和工作
设立 R&R 奖励制度，季度、年度评选优秀 提供具有市场竞争力的薪酬，包含绩效奖金、
相关人员的三方评估并加权汇总的方式，多角度，多元
员工与团队；颁发“珠峰奖”表彰杰出高管 留任奖等，激励及保留高绩效与人才保留。
化的进行绩效考核 , 体现了公平公正的精神。在管理和
及技术专家；长期服务奖鼓励员工忠诚；三
评估过程中，如果员工有异议，可以通过向主管经理或
维战略贡献奖奖励战略发展团队。
人力资源部门提出反馈和建议。
目标管理（MBO）体系和员工激励的结合是中微绩效管
理的核心策略之一。该体系不但能激发员工个体内在的
专利评比 员工股权激励计划
能量，也能有效协同个体的能量以达成企业的目标。评
对申请及授权专利的发明人给予奖金；推荐 自 2004 年起实施特色股权激励计划，按绩
估结果将直接运用于薪酬激励（目标管理奖金的分配、
优秀专利参与政府评选，获奖者获配套奖励； 效考核增发股权。股权激励计划覆盖 100%
调薪）以及人才管理。
内部评选优秀专利奖，颁发奖金与奖牌，并 员工。2025 年向员工授予 1,000 万股限制
作为绩效考评重要依据。 性股票，共享发展成果。
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多元平等包容
中微公司作为高端半导体设备公司，深知多元化、公平性与包容性（DEI）对公司发展和社会责任的重大意义，始终秉持尊重包容的态度对待各方。公司发布《多元化、公平性与
包容性宣言》，明确、坚定地表明了在职场文化和日常运营中贯彻 DEI 理念的决心。公司将 DEI 融入文化建设，成立了 DEI 专项委员会，成员涵盖了公司各部门的资深管理人员，
他们不仅拥有不同的专业背景，还注重在性别、民族、籍贯等多个维度上实现多元化，以确保委员会的决策能够全方位反映公司的多元化特色。
中微公司 DEI 委员会
奖项荣誉
报告期内，中微公司
已连续第二年获得雇主品牌研究所颁发的
“2025 多元公平包容大奖”
董事会办公室
人力资源部
法务与合规部
产品部
全球物料运营部
制造部
全球业务部
财务部
厂务部
质量环境安全部
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多元招聘方式
中微公司始终坚持平等、非歧视的用工原则，致力于在招聘全过程中实现公平与公正。通过引入标准化人才测
评工具（如 SHL Verify、OPQ、TTI、牛客测试等），结合科学的评估模型，全面、客观地识别候选人的能力
特质与岗位匹配度，有效降低主观判断带来的偏见。2025 年，公司通过多渠道开展招聘工作，累计录用新员
工 641 名，其中校招应届生 167 名，博士占比 38.92%，硕士占比 54.49 %。
公司持续完善内部人才流动与发展机制，搭建“公开、公平、公正”的晋升与转岗通道，
内部晋升
持续强化内部人才优先培养与使用导向，鼓励员工通过内部成长实现职业发展。
举办各类内部推荐活动，2025 年内部推荐招聘占比达 29%；推出“中微全民伯乐”
社会招聘
人才外部举荐微信小程序，广泛吸引各界人才。
深化与国内重点高校合作，举办 20 余场校园招聘宣讲会、技术交流会、2 场校园
校园招聘
招聘开放日等各类校招活动，覆盖全国 12 座城市，吸引超 3,000 多名学生参与。
实习生招聘 启动“微光计划”实习生项目，聚焦实习生成长发展，完善转正流程，提升透明度。
职业院校
深化校企合作，开设“订单班”，参与课程开发，建立企业导师制度，提供实习岗位。
定向招聘
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支持女性员工 女性职业生涯分享
中微公司高度重视新时代女性的成长潜力，
致力于积极拓宽女性员工的发展路径与晋升 Eileen Mia
刻蚀产品部 中微公司法务与合规部
通道。2025 年，女性员工在晋升人数中所
产品管理执行总监 法律顾问
占比例达到了 18%，同比增长 8%。同时，
公司在研发等关键岗位注重女性员工的培
公司一直秉持平等、包容、尊重的理念，为 中微公司秉持平等尊重、鼓励包容、持续创新的文
养，2025 年，女性技术人员占总员工人数
女性员工提供贴心关怀和完善福利，营造温 化理念，让我得以在实践中磨砺专业能力，在求索
比例达 10.39%，充分展现了公司对女性员
暖踏实的工作氛围，让大家在这里安心工作、 中开拓成长空间。
工发展的坚定支持。
踏实成长。
女性技术人员占总员工人数比例
Mia 于 2024 年加入中微公司，深度参与投资并购、研发合
现获得晋升。 份坚持。她愿以此共勉，共同成长。
Jiawei 在 2014 年 加
在中微的技术部门，包容的文化和贴心的支 入中微公司，作为研
发团队的一员，多年
持，让女性员工得以兼顾家庭和事业，凭借
Jiawei 来在刻蚀部门与团队
自身优势在技术领域持续成长。 并肩参与多个项目，
刻蚀产品部
在协作中积累成长。
资深设计经理
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女性员工专属福利
案例 “女神节”健康关爱主题活动
每年“三八妇女节”为女性员
生活理念。
节日
工提供半天休假，并准备惊
祝贺
喜礼物。 为期一周的“健康快步走”
美学活动
（涵盖乳腺和 HPV 主题、妇科保健） 及“觉醒式亲子养育”工作）
除了提供法定产假、哺乳假、
产检假和生育津贴外，专门
专设
设立母婴室，配备冰箱、消
母婴室
毒器等设施，为女性员工提
供贴心服务。
为所女性员工安排了全面妇
女性
科检查，有近 180 位女员工
健康体检
参与此项体检。
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员工培养发展
中微公司秉承“以人为本”的人才发展理念，建立健全人才发展体系，为员工提供广阔的职业发展空间。中微公司成立学习与发展部门（Learning and Development）负责员工
培训管理。制定培训发展政策《中微公司学习与发展政策》，通过建立结构化的培训体系，全面提升员工的专业能力与组织竞争力。围绕员工从入职、成长到成熟的全生命周期，
中微公司搭建了专业线与管理线并行的双通道发展路径，涵盖专业技能提升、管理能力培养和多维度职业发展支持，全面拓宽人才晋升渠道，充分满足不同岗位和角色的多样化成
长需求。
案例 中微职业发展成长案例
在中微公司，人才的持续成长与组织的 2005 年自上海交通大学硕士毕业后以机械工程师身份加入中微公司。
发展深度融合。以下两位资深专家的发 历经资深工程师、主任工程师、首席主任工程师等关键技术岗位的扎实历练，于 2017 年进
展历程，诠释了公司系统化、分层级的 入管理序列，担任设计机械资深总监。
人才培育体系如何支撑员工从应届生逐 此后，其职责范围持续扩大，至 2021 年担任机械设计执行总监兼 MOCVD 副总经理，并于
姜 勇
步成长为业务核心骨干，并持续为业务 2023 年晋升为公司副总裁、MOCVD 产品部副总经理，全面负责相关业务板块的战略与运营。
发展注入动力。
两位专家的成长，均受益于中微公司构
经过资深工程师、主管工程师、主任工程师等岗位的持续深耕与技术积累，于 2019 年进入
建的覆盖员工全职业周期的培养体系。
管理岗位，担任机械设计副总监。
该体系不仅通过标准化上岗培训、专业
技术课程和实操演练夯实员工基础，更 随后历经资深经理、总监等职位的锤炼，于 2022 年晋升为机械设计总监，2025 年晋升为
通过针对中基层及技术骨干的专项提升 左涛涛 机械设计资深总监。
项目，以及创新校企合作模式，为员工 2025 年 6 月，凭借出色的引领力、实践力、创新力、攻关力、传承力等“工匠五力”荣获“上
提供了持续学习、实践锻炼与职责拓展 海质量工匠”荣誉称号。
的平台。 2025 年 12 月，经层层选拔、审核评审、社会公示，荣获 2025 年“上海工匠”荣誉称号。
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人才发展体系建设
我们构建了以业务战略为引领、覆盖员工全职业周期的学习发展生态系统。该体系根植于公司的文化底蕴，旨在系统性加速关键人才培养，通过 “首峰计划”、新经理成长营、在
岗学习地图及部门定制化培训等多元形式，全面赋能员工能力提升。该体系依托闭环管理流程与数字化学习平台，为人才梯队建设与员工的可持续发展提供强劲引擎。
目标
加速培养支持公司发展战略的关键 发展行业一流水平的技术创新型人 打造学习型组织和员工可持续发展
岗位人才。 才梯队和管理团队。 环境，提升员工敬业度及雇主品牌。
职业发展通道 专业通道 管理通道
应届毕业生成长营 职场 新经理 岗前技术
发展体系 新员工工作坊 中微论坛 部门培训 在岗学习
“首峰计划” 加速器 成长营 培训
课程体系 企业文化 制度流程 通用素质 领导力 产品与技术 销售与市场 生产与运营 内训师能力
培训实施流程 需求分析 计划 实施 评估 应用
学习与培训
资源建设 内外部师资 实训基地 课程库 试题库 测评工具
管理系统
根基 中微“五个十大” 学习型组织
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人才培训体系建设
中微公司构建了全面的人才培训体系，该体系覆盖了新员工入职培训、管理人员能力提升以及专项技能强化等多个层面，旨在通过系统化、针对性的培训活动，全面提升员工的专
业素养与综合能力，为企业的持续发展与竞争力提升奠定坚实的人才基础。2025 年，公司为 2,963 位全体员工提供培训，其中，专业类培训占 65%，通用类培训占 23%，管理类
培训占 12%，实现员工培训覆盖率 100%。年度员工培训支出共计 315.41 万元，充分满足员工的学习需求。
专业类 通用类 管理类
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培训资源建设
中微公司通过打造扎实的师资队伍、实训基地及能力模型，构筑立体化、系统化的人才培养体系，助力员工实现职业生涯的可持续发展。
师资队伍 实训基地 能力模型
中微内训师进一步壮大，形成一支由传道讲 安全、产品和操作规范等方面的基本知识与 的搭建所有产品研发部设计岗位及刻蚀 TPS
师、授业师傅、解惑导师、校企合作导师组 基础技能，中微公司在已有制造部赋能中心、 岗位的能力要求和学习地图，提升产品研发
成的近 500 人的内训师队伍。 安全道场的基础上，新进建成 300 平技术实 的组织能力，系统的搭建岗位职能的培养体
训道场，覆盖三大课程模块，可实施共计 45 系。帮助员工明确职业发展所需具备的能力
微师者”和“2025 师者庆典”等系列专题活动，
向全体内训师表达感谢，并集中表彰了他们 实训道场通过标准化、实景化、重实操、强 在搭建岗位培养体系的过程中，基于产品开
在组织学习与知识传承中作出的重要贡献。 考核的教学方式，让员工能够在实践中学习 发的十大原则，在本岗位能力提升课程的基
和提升技术水平，并通过一对一的考核方式 础上，融入了更多跨职能的知识和技能培训，
确保员工掌握岗位的基础技能。 帮助产品设计和刻蚀 TPS 岗位的员工提升跨
职能的知识储备和技能，更加全面的去思考
产品设计和技术支持。
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帮助新员工成长
零距离对话 CEO 新员工融入工作坊
连续第七年举办了 CEO 演讲大会，与 CEO 为了帮助新员工更好地融入公司文化并快速适应新岗位与新环境，共举办了 11 次新员工工作坊，覆盖近
零距离沟通，追溯文化根源，理解战略目标， 730 人次。工作坊采用先完成线上学习，再进行线下翻转工作坊的形式，帮助新员工熟悉公司的文化，产品，
展望未来愿景，共同描绘中微梦的美好蓝图。 经营理念，规章制度，工作流程等，加速融入。
“首峰计划”应届毕业生成长训练营
参与人数超过
针对新加入公司的应届毕业生，制定了混合数字化项目，通过“线上 + 线下” “理论 + 实操培训”“集训
+OJT”的学习模式，由公司高管亲自担任学员导师，对学员的职业发展提出建议；由学员的直线主管指定
带教师傅，1 对 1 进行技术指导，帮助学员有效提升专业能力，快速融入公司环境。2021 年至 2025 年，
共组织 5 期训练营，毕业学员约 450 人。
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通用素质培训
逻辑工作汇报工作坊 招聘特训工作坊 非财务人员的财务培训
问授课，分别组织了 2 次“逻辑工作汇报” 试官进行了面试技巧的培训，通过理论工具 务知识的培训，如三张报表等，帮助业务了
全天培训，课程针对工作汇报场景，进行思 的介绍，以及实操演练，积极讨论，以期提 解财务知识，提升财务意识。
路分解，强化以听众为首要考虑的意识，讲 升面试效率，为引进更多适合的人才打基础。
解常用逻辑框架，以及清晰呈现的注意事项。
期间以小组讨论和演练的方式加强理解。
“职场加速器”系列主题培训
为系统化赋能组织人才发展，助力员工构建职业竞争力，2025 年推出“职场加速器”系列主题培训，涵盖四大核
心板块：思维模式、自我管理、沟通协作、效率提升。每个月组织培训，全员报名，2025 年共组织培训 10 场，
培训人数约 650 人。
同时，公司在线上引入素质发展类课程，如 PPT、Excel、商务演讲、项目管理等，约 500 多人参加了学习。
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专业能力建设
中微论坛
为了让员工掌握行业发展的最新动态，为员工提供一个跨产品、跨部门的技术交流平台，
座活动，内容涵盖了知识产权保护、大平板设备与工艺、三维发展战略，吸引了超过 600 人次
参与，进一步促进了员工的知识积累与技术交流，为企业发展提供源源不断的动力。
岗前技术培训 董事长亲授 DOE 正交试验设计
为满足业务快速发展需求，提升现场服务团 为提升员工对 DOE 正交试验设
队技术能力，并满足客户服务要求，2025 年， 计的理解， 加强团队在正交试
中微公司重点开展现场服务岗位岗前技术认 验设计方面的专业和应用能力，
证培训。该项目基于设备现场服务和设备操 邀请中微公司董事长尹志尧亲授
作规范及要求，系统性地设置培训内容，涵 DOE 正 交 试 验 设 计， 共 计 2 场
盖集成电路行业基础、EHS 安全规范、设备 讲 座， 参 会 人 数 超 540 人 次。
操作核心技能及生产制造流程等关键模块。 尹总系统性阐述了正交试验设计
的基本原理、应用场景和操作步
骤，并分享了成功案例，帮助团
队掌握正交试验的基本原理和实
践技巧，提高实验效率、优化资
源配置，推动创新发展。
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真空技术培训 技术课程开发与优化项目
为提升设计工程师在设备开发过程中的专业技能，特邀东北大学真空与过 中微公司联动多个部门开展岗位技术专业课程开发与优化项目，邀请公司
程装备系主任担任主讲嘉宾，开展真空技术专题培训，共计邀请 168 名来 50 多位不同领域的技术专家开发新课程或优化现有课程并授课，帮助在岗
自各产品部的设计工程师参加。培训围绕真空技术概论、真空获得设备、 员工保持知识更新和提升，并沉淀出一批精品在线课程。自项目启动以来，
真空测量与检漏及真空系统设计展开，员工通过分组讨论和展示，对所学 已成功开展培训 50 期，累计参与人数超过 4,500 人次。
知识进行深入交流与探讨，为产品研发与创新提供支持与助力。
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领导力培训
领导能力十大要点培训
新经理成长训练营
大的“五个十大”》修订版， “领导能力十
针对新晋升的团队管理者，和外部机构合作，
大要点”正式融入中微之书，针对公司副总
设置了“自我驱动 - 团队领导 - 高效执行”
监及以上的管理团队，公司董事长亲自担
的学习发展阶段，在 6 个月的学习周期中制
当讲师，解析中微领导能力的要求，并提
定了“24 节线上课程 +3 次线下工作坊 + 微 “情境高尔夫”工作坊
出对中微高管层的管理期望。该培训在线
信主题活动”组成的混合数字化项目学习模
下进行，后续已制作为线上视频课程并在
式，帮助学员快速掌握人才管理的方法论和 针对已经具备一定管理实践经验的员工，模
学习平台发布。
工具。自 2019 年起，共组织新经理成长营 拟管理者遇到的团队管理场景，帮助学员将
强有力的管理中坚力量。 综合领导能力。
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案例 制造赋能中心打造生产人才培育体系 案例 刻蚀产品组 TPS 岗位学习与发展项目
全面赋能员工成长与组织效能提升，为业务稳健运营与持续改进提供坚实的人才支撑。 针对业务快速发展中技术传承与人才培养的痛点，
制造赋能中心已建立面向一线员工的标准化上岗培
正式启动刻蚀产品组 TPS 岗位学习与发展项目，系
训体系，通过优化培训流程、完善课程体系、强化
统性地规划课程框架，推动核心技术知识的沉淀与
实操演练，有效提升了岗前培训效率与岗位操作水
传承，有效支撑刻蚀 TPS 团队的人才快速成长与业
平。累计开发课程 70 余门，为一线技能人才培养
务发展。
提供了系统化、专业化的内容支持。
项目围绕能力模型，全面匹配现有课程与新课程开
针对中基层管理人员及专业技术骨干，公司持续推
发需求，累计规划课程共 138 门（分三个级别，
进专项能力提升项目，内容涵盖： 制造赋能中心实训场地
其中新开发课程数量超 50%），由超过 60 位内部
专家担任讲师，确保专家知识经验有效转化为标准
化学习资源。
精益生产系列工作坊 管理与专业核心课程
通过“需求收集 - 开发 - 审核—授课—反馈—优化 -
转化沉淀 - 持续应用”的循环过程，逐步形成岗位
包括 A3 问题解决方法、七大浪费 引 入《POKA?YOKE 防 错 技 术 》
分级学习地图，持续用于目标岗位能力提升。
识别、分层审核、螺栓拧紧工艺、 《PFMEA 过程失效模式与影响分析》
Match AI 视觉检测技术等关键课题 《一线管理技能与执行力提升》《跨
部门沟通与协作》等系列课程，系
统提升一线班组及中高级管理人员
的综合管理能力与协同效能
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员工职业健康
中微公司将保障每一位员工与合作伙伴的健康与安全置于公司发展的战略高度，通过建立并持续完善职
业健康安全管理体系、开展系统性培训与风险防控举措，致力于实现“零伤害、零事故”目标。
报告期内，中微公司在职业健康监护方面
职业病体检完成率达 岗前、岗中、离岗职业病体检累计
在主要生产研发基地设立健康中心，为员工提供健康咨询与问诊服务，报告期内服务情况如下
健康咨询与问诊 健康检测
中微公司健康中心
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健康安全管理体系
为保障作业人员的健康与安全，中微公司全面
推进落实全员安全生产责任制，通过各项举措
与活动，持续优化企业安全文化和氛围。中微
公司推行集团化体系管理，制定《职业健康与
安全管理程序》制度，各生产 / 研发工厂取得
ISO 45001 职业健康安全管理体系认证，不断
提高健康与安全管理水平与绩效。中微公司全
面完善职业健康安全管理架构，将其融入在集
团化 EHS 管理架构中，形成总部统一领导、部
门协同对接、属地具体执行的三级管理体系，
实现管理制度与现场实践的垂直贯通与闭环落
地，具体可参阅 “强化绿色发展能力”小节。
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关注身心健康
为保障员工身心健康，中微公司持续向员工提供健康咨询服务，每月发布健康宣教材料，助力健康意识的提升。
案例 健康讲座活动 案例 压力管理与调节主题的讲座
针对职场人群伏案工作导致的骨关节劳损问题，中微公司分别在临港和金桥厂区组织专题讲座，特邀康复科 2025 年 5 月，武汉分公司举行了 2 场压力管
专家现场讲解颈椎、腰椎养护知识，演示放松操动作要领，并针对员工个性化健康问题进行一对一解答。活 理与调节主题的讲座，共有 138 位员工参加，
动同步联合芯汇康部门推出 " 暖心宝声子理疗仪 " 体验环节，提升员工健康防护意识。 87% 的学员表示对其工作和生活很有帮助。
金桥线下健康讲座活动
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员工关怀福利
中微公司严格遵守国家法律法规，为全体员工足额缴纳“五险一金”，切实保障员工核心权益。在此基础上，公司持续构建覆盖“基础保障—生活关怀—长期激励”全链条的多层次、
有温度的员工福利体系，全面涵盖薪酬保障、健康管理、生活支持与人文关怀等多个维度。通过每年动态优化与持续升级，不断丰富福利内涵，致力于为员工打造一个有归属感、
有幸福感、有成长空间的温暖家园。
完善福利体系
工作福利 健康福利 新增福利
餐饮福利 补充商业保险 提高公积金缴存比例
公司食堂，按餐贴标准享用早餐 / 午餐 / 员工及子女补充医疗险 差旅险 增强员工购房、租房等生活支出的财务支撑
下午茶 / 晚餐 寿险及重疾险
新增配偶医疗保障
通勤福利 年度体检
涵盖门诊、住院等核心医疗场景，进一步延伸
提供免费班车，并根据不同的通勤方式 职业病体检 年度体检
福利保障边界，减轻员工家庭医疗负担
享受津贴
健康中心 健身房 宿舍
通讯福利
提供手机话费津贴
关怀福利
生日、节日 特殊时刻 子女竞赛 医疗慰问 女职工特别福利 活动即时
生日、节日可 员工新婚福利 员工子女获得一定级别奖项的， 员工手术或住院治疗，除保险保障之 公司提供母婴室，内配冰箱、消毒设备； 激励
获福利积分 员工新生儿福利 公司给予员工相应奖励 外，公司给予额外医疗慰问营养补贴 妇女节当天下午带薪休假半天
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员工健身房和宿舍
中微公司为员工提供健身房和宿舍等福利设施，帮助员工保持健康体魄，为其营造舒适的生活环境，让员工能够安心工作、快乐生活。
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丰富员工生活
为满足员工日益增强的文化需求，中微公司积极践
行打造员工健康福祉，鼓励员工在工作之余参与体
育锻炼和社交活动，提升中微专属职场幸福感。
截至报告期末
上海总部和南昌子公司共开设
员工俱乐部，涵盖球类、生活、
文娱、艺术等多个领域
公司各类俱乐部开展活动超
累计参与员工超
人次 8
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案例 中微公司 2025 新春“家”年华 案例 中微公司 2025 员工家庭日
新春“家”年华，活动包含全员大会、新春市集及产品家族打卡等活动，让 属热情参与。本次活动带领员工子女走进父母奋斗的科技前沿，亲身探索半
员工真切感受到中微温暖和员工关怀。 导体微观世界的奥秘。活动现场，科技之光与艺术灵感交相辉映，传递了公
司与员工家庭共同创造美好体验、携手“创见未来”的愿景。
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困难员工帮扶 截至报告期末
公司始终将员工关怀放在首位，重视对困难员工群体的精准帮扶，建立了长效的员工互助体系，并通过物资支持、岗位适配 中微公司共雇佣残障员工
和职业发展支持等多种形式，切实帮助员工解决工作与生活中遇到的挑战。2025 年，公司制定残障人士专项招聘计划，面
向技术类、职能类等各类岗位开展残障人士招聘，给予其与正式员工完全一致的薪资福利待遇，并建设多项无障碍设施，提
供适宜的工作环境。
残障应届生专项招聘 常态化沟通
在招聘环节，公司主动面向残障应届生开展招聘，并在入职环节， 公司建立了通畅的常态化沟通机制。人力资源部门与直属经理会定
了解残障员工的个性化需求，并提供针对性协助。 期与残障员工进行一对一交流，主动关心其工作适应情况、了解潜
在困难，并及时协调资源予以解决，确保支持措施持续有效。
无障碍环境 团队融入机制
公司持续完善办公、餐饮及公共区域的无障碍设施，并 用人部门及团队通过多样化沟通方式，确保信息对残障
对相关服务人员进行培训，确保残障员工在工作与生活 员工的无障碍传递。直属经理与同事会给予持续的工作
中享有便利。 指导与关心，帮助其快速适应岗位，建立工作信心。
平等发展平台 全面关怀
公司坚持以能力为导向，为残障员工安排具有成长性的核心工作， 公司通过具有竞争力的福利体系，关注员工身心健康，营造尊重、
让他们在专业实践中持续成长，其工作价值得到团队的充分认可。 平等的工作氛围，帮助残障员工建立职场信心与生活秩序。
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案例 残障应届生心声分享
作为一级肢体残疾应届生，入职前有着无数 由于身体特殊情况，我曾以为工作
焦虑，但加入中微大家庭后这些都烟消云散。 对我而言会充满困难，但公司便利
小宇（化名） 我清晰记得同事加班帮我入住宿舍，食堂阿 的设施为我提供了保障，同事们的
姨耐心地为我打饭，大家的关心与认可更是 小西（化名）
南京邮电大学 尊重与善意则令我感到温暖。我不
应届毕业生 上海交通大学
让我无比温暖与感激。 应届毕业生 仅体会到了舒适的职场环境，也在
工作中重新建立起生活秩序与信
心。因此，我相信加入中微是一个
正确的决定。
我是一名先天性听障残疾人，入职以来，
我在新产品项目与工艺管理岗位上不断学
习，团队伙伴总是热心回应我的每一次提
问。这里的氛围轻松愉快，而诱人的工
小马（化名）
作餐补让我悄悄“幸福增重”了 15 斤。
同济大学
应届毕业生 现在我正计划多去公司健身房和泳池动起
来，和这些“甜蜜脂肪”说再见。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
员工风险机遇管理
中微公司积极应对员工管理过程中的风险和机遇，通过实施满意度调查了解员工需求，优化工作环境，提供职业发展机会和公平待遇，增强员工归属感，降低人才流失风险。同时，
构建开放透明沟通平台，鼓励员工建言献策，及时发现并处理潜在问题，将挑战转化为组织发展机遇。
员工风险与机遇识别流程
中微公司建立了以常态化员工满意度调查和多元化 01 背景调研 02 员工相关影响的识别 03 员工相关影响的评估与确认
沟通渠道为核心的员工风险与机遇识别与管理流
通过内部数据分析（如离职率、绩 基于员工满意度调查、管理层交流、 对识别出的议题进行定性（如影响
程，通过系统性的信息收集、分析与响应机制，及
效考核分布）与外部环境扫描（如 内部匿名反馈平台等多渠道信息， 范围、员工关切度）评估，确认需
时发现并应对与员工相关的关键议题。
人才市场趋势、政策法规变化）， 系统性识别公司在薪酬福利、职业 优先应对的关键议题。
明确员工管理的内部现状与外部环 发展、工作负荷、组织氛围、创新
境，识别核心利益相关方。 激励等方面已显现或潜在的风险与
机遇。
通过定期开展满意度跟踪调查、持续开放双向沟 针对已确认的关键议题，制定并实施专项改进
通渠道、设定并监测关键人力指标，动态评估改 计划，例如优化薪酬结构、完善晋升通道、开
进成效，并在 ESG 报告或内部沟通中披露相关 展针对性培训、设立创新激励项目等，并将员
进展与管理成效。 工发展要素纳入公司人才战略与年度经营规划。
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开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
提升员工满意度
员工心声调研反馈落实
在追求卓越发展与人文关怀的道路上，中微公司高度重
视员工的体验与诉求，建立了定期开展员工满意度调查 员工薪酬福利
的长效工作机制，即每 18 个月为一个周期，开展一次
修订《中微全面薪酬福利指南》（C&B Guidebook），加强员工沟通，增强员工对全面薪酬的认知和了解；
全面深入的员工满意度调查，目的在于预留充足时间，
优化公司薪酬级别和体系，使其更具有外部竞争力和内部公平性；
全面了解员工需求，制定出切实可行的行动计划，在员
跟进长期服务奖励的机制更新，颁发各类员工长期服务奖；
工发展、激励和服务等关键领域实现实质改善。
优化公司季度和年度表彰流程，加强公平公正透明机制，认可优秀员工和团队。
体满意度得分 93%，较上一年度提升 6%。本次调研覆
盖全球所有员工，共收集员工建议 1,555 条，同比增长
员工培训发展
计划，推动持续改进与员工共创。
试点技术能力模型，启动实训基地，推进新员工学习地图和应届毕业生（NCG）发展体系化；
通过中微论坛、线下技术讲座、线上课程开发等方式，丰富员工学习场景；
员工覆盖率
兼顾技术和领导力培训，迭代中微新经理成长营项目，宣导中微“领导力十大要点”。
员工满意度 员工生活服务
调研新员工入职体验，改善入职流程，提供迎新礼包，2026 年即将启动线上入职系统规划；
员工建言数 试点“幸福力”工作坊，关怀员工身心平衡管理，2026 年将进一步扩大该项目覆盖面和内容；
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开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
畅通员工沟通渠道
中微公司高度重视员工的声音与权
益，全力搭建畅通高效的沟通机制，
鼓励员工就公司制度、环境、流程等
建言献策。公司设计覆盖所有员工的
正式申诉报告和升级程序，员工可以
通过业务直线经理和 HR 部门反馈诉
求，确保沟通保密，营造安全开放的
表达氛围。同时，公司还特别制定了
“开门政策”（Open Door），员工
可通过 HR 向 CEO 反馈个人诉求，
全方位保障员工知情权、参与权、表
达权与监督权，推动全员共治共享。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
员工相关指标目标
维度 2025 年度目标 2025 年度目标达成情况 2026 年度目标
获得“2025 多元公平包容大奖” 持续完善 DEI 制度、深化实践
持续完善 DEI 制度、深化实践
多元平等包容 举办“女神节”等多元活动 扩大残障人士应届生招聘规模
启动残障人士应届生招聘
新入职 3 位残障人士应届生 举办更多多元化活动
在确保人均培训时长不低于 40 在确保人均培训时长不低于 40 小
小时的基础上，通过推进各部门 时的基础上，通过推进各部门定期
人均培训时长 48.6 小时，同比增长 16.5%
员工培训发展 定期组织学习，数字化系统赋能 组织学习，数字化系统赋能岗位带
内训师队伍人数 453 人
岗位带教，在岗学习地图等多种 教，在岗学习地图等多种手段，多
手段，多层次建设学习型组织 层次建设学习型组织
重大事故 0 起 达成 0 重大事故目标 重大事故 0 起
职业健康安全
可记录伤害事故率 0 可记录伤害事故率：0.03 可记录伤害事故率 0
提高公积金缴存比例 持续优化员工福利关怀体系
员工关怀福利 持续优化员工福利关怀体系
新增配偶医疗保障 建立健全“员工帮助计划（EAP）”
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
关爱特困老人公益项目累计投入 累计帮扶上海市特困老人家庭 关注儿童健康公益项目累计投入 累计救助儿童患者
人民币达 万元 650 户 290
人民币超 万元 23 名
生态，并拓展公益事业的广度与深度。通过深化与上下游企业及利益相关方的协作，推动产业链资源整合
与价值共创，探索产业升级与高质量发展的新路径，助力中国在全球半导体产业格局中实现跃升。
同时，公
司在教育支持、关爱老年群体、救助儿童患者等领域进一步加大投入力度，精准开展助学帮扶、为老公益及
儿童疾病救助项目，通过扶老携幼传递社会温暖，以实际行动推动企业发展与社会进步的深度融合，为建
设更具韧性与温度的可持续社会贡献坚实力量。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
推动产业发展 案例 胸怀大局践行创业初心，自强不息推动外延发展
作为半导体设备领域的领军企业，中微公司始终 2025 年 2 月，四川省委常委、成都市委书记曹立
以推动产业高质量发展为使命。公司以“三维发 军到访中微成都基地，实地参观考察并出席《中微
展战略”为指引，通过搭建多层次行业交流平台， 半导体设备成都研发及生产基地暨西南总部项目投
深度参与产业生态建设，同时创新性地整合产学 资合作协议》签署仪式。中微公司将积极布局，计
研资源，与行业伙伴建立战略协同机制。通过促 划总投资约 30.5 亿元，在成都建设半导体设备研
进产业链上下游的高效联动，构建开放共赢的产 发与生产基地，旨在为成都集成电路产业高质量发
业生态圈，持续推动半导体产业集群的高阶跃升 展注入新动能，助力区域产业能级提升，推动构建
与生态共赢。 协同联动的集成电路产业发展格局。
政企协力促发展
案例 聚焦核心装备拓展，全面助力临港产业集聚
中微公司在政府机构的支持下，以创新为驱动，
持续突破半导体核心技术，助力产业集聚与高质
备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）签
量发展，为打造国际领先的集成电路产业集群贡
署战略合作落地协议，上海市委常委、临港新片区
献力量。
党工委书记、管委会主任陈金山出席仪式并见证签
约。超微公司注册资本 5,000 万元，由中微公司创
始人、董事长兼总经理尹志尧博士携手靳巨博士联
合创立，主要致力于国际先进的电子束及光学量检
测设备的研发与产业化。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
案例 浦东科技双周讲座——揭秘中微“五个十大”，助力科创企业高速发展
办公中心成功举办。中微公司创始人、董事长兼总
经理尹志尧博士以“微观制造产业演进、中微高速
发展路径及科创企业‘五个十大’核心实践”为主题
作专题分享。尹志尧董事长结合企业自主创新与全
球化发展的实战经验，深入剖析科创企业在技术突
破、管理创新与市场拓展中的关键策略，为浦东先
导产业高质量发展提供可复制、可借鉴的实践范本。
讲座旨在提升政府工作人员与科学家、企业家、创
业者之间的跨领域对话能力，助力打造具有影响力
的科技创新高地。活动采用线上线下联动形式，吸
引超 800 人参与，彰显了中微公司在高端制造与科
创生态建设中的引领价值。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
产学研融合分享
中微公司积极响应政府在科技创新和人才培养领域的政策导向，通过一系列产学研合作举措，为自身发展储备优质人才，为推动半导体产业的人才队伍建设作出积极贡献。公司致
力于构建以制度建设为基础、以人才培养为核心、以课程共建为支撑、以科研合作为动力的可持续校企合作生态。
展系统性专题授课，有效促进产学研深度融合，提升研发团队的专业素养与创新能力。
案例 携手上海交大，开展双向赋能，助力半导体产业优秀人才培养 案例 “住企培养”模式助力技术人才培养
方完成了双一流校企合作课程《集成电路制造工艺与装备》的内容迭代升级、 产业高技能人才缺口，创新实施“住企培养”模式。基于国家产教融合及企业
二轮校内授课以及学生入企工艺实践活动。同时，上海交大老师走进中微， 新型学徒制政策，构建空间、时间、价值“三维立体”协同体系，采用“1.5+1.5”
面向研发人员开设了 4 期“集成电路制造基础”系列讲座，讲座内容覆盖半导 分段培养机制——“1.5 年校内基础学习 +1.5 年企业驻场实训”，学生入住企
体物理、CMOS 工艺等核心主题，累计听众超 1,380 人次，帮助公司研发人 业宿舍与企业导师“同吃同住同研究”，深度融合真实生产环境。2025 年首
员其实现从“知其然”到“知其所以然”的跨越。系列双向赋能活动为半导体 批 32 名学生参与，学生实践能力、企业人才适配率显著提升，为战略性新兴
产业优秀人才培养提供助力。 产业产教融合提供可复制新范式。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
行业创新引领
中微公司深度参与半导体行业标准制定与关键技术攻关，以创新实践推动产业链协同
与行业可持续发展。报告期内，中微公司参与多项国家、行业、团体等标准与指南的 案例 分享中微“五个十大”，与行业共探“变局与破局”
制定。
研究集成电路产业领袖峰会”在上海浦东张江圆满举行。来自国内外的 360
中微公司参与各项标准制定（部分） 余位集成电路领域知名专家、企业家及行业领袖齐聚一堂，深入探讨新形势
下半导体产业的技术演进、生态重构与战略机遇。会上，中微公司创始人、
国家标准
董事长兼总经理尹志尧博士应邀发表主旨演讲，系统分享了中微公司 20 余年
《机械电气安全 电敏保护设备 第 1 部分：一般要求和试验》
发展实践总结提炼的“科创企业发展的五个十大”核心理念，深入剖析了中微
在关键核心技术突破与可持续发展中的实践路径，引起与会嘉宾的广泛共鸣。
行业标准
《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》
团体标准
《绿色智能工厂评价指南》
行业指南
《中国企业可持续发展报告指南 CASS-ESG6.0 之半导体行业指南》
书籍
《可持续发展基础教材》
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凝聚责任担当
中微公司始终将社会责任视为核心使命，凭借在人才储备与科研创新领域的突出优势，积极开展教育帮扶、公益慈善等多维度活动，助力民生福祉提升。
支持教育发展
中微公司作为半导体微观加工设备领域的领军企业，积极践行产教融合，与多所知名院校紧密合作，构建从高中到博士的联合人才培养模式。通过接待学校参访、技术骨干担任企
业导师授课等形式，实现校企优势互补，助力芯片人才培养。
全学段联合培养
硕博
本科
职校
与上海交通大学、中国科学技
中学
组织开展“中科大中微英才班 术大学、复旦大学等知名高校
持续招收职校生顶岗实习并择 暑期夏令营”、南昌大学认识 合作，通过专项计划招收硕博
走进上海实验学校、上海中学
优留用。 实习和专业实习等项目。 联培生，接收联培生入企实践。
东校等中学开展科普教学。
在人才培养之外，公司投入数百万元与多所高校开展横向课题合作，校企双方发挥各自优势，开展技术难题攻关，推动产业创新与学科发展深度融合。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
上海交通大学
溥渊大讲坛
北京大学集成电路学院 上海交通大学
师生来访 教授入企讲座
上海交通大学集成电路 “万名学子进南昌”
专项班工艺实践 活动
上海中学东校初中部
讲座
上海实验学校中微班 中科大中微英才班
开班仪式 暑期夏令营
北京四中 南昌大学中微班
研学来访 实习
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社会责任与公益 关爱特困老人
中微公司积极践行企业社会责任，持续推动员工参与公 中微公司坚守公益敬老初心，自 2020 年起，长期保持与上海市老年基金会建立合作，专项设立“关爱特困老人公益”
益实践。 项目，助力上海老龄事业的健康发展。
截至报告期末 2025 年，中微公司 中微公司关爱特困老人公益项目
户数（户） 资助金额（万元）
员工志愿服务时长达 定向帮扶特困老人家庭 提供现金及慰问品共计人民币
小时 户 万元
项目设立至今，公司 185.90
累计投入达 累计帮扶特困老人家庭
万元 户
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
关注儿童成长
中微公司始终将关注儿童成长、支持儿科医学发展作为企业社会责任的坚定承诺，以实际行动为患病儿童点亮希望之光。
中微公司参与上海儿童医学中心儿童 中微公司参与仁济医院儿童肝移植中 中微公司开展“员工家庭日”公益捐
重大疾病助医项目，捐赠 90 万人民 心捐赠项目，捐赠 200 万人民币， 赠活动，全体员工积极参与，共募集
币， 共救助 8 名患有重大血液疾病 共救助 15 名患儿，目前手术均成功。 善款 24 万元人民币，专项用于支持
的患儿。 贫困儿童医疗项目。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
截至报告期末，共申请专利 报告期内，研发投入约 37.44 亿元， 截至报告期末，全球员工中研发人员
研发投入占公司营业收入比例约为 30.23%
规范的经营管理和卓越的产品质量是企业生存与发展的根本。
中微公司始终秉持规范经营理念，全面夯实
管理基础，构建完善的质量管理体系，将质量管理贯穿于研发设计、生产、销售等全流程。作为一家科技创
新型企业，公司高度重视知识产权保护，筑牢信息安全防线，并能够及时、科学、灵活地应对外部环境变化，
确保业务持续稳健发展。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
强化质量管控
中微公司持续完善集团化质量管理体系，在推动创新发展的同时，着力优化产品全生命周期质量管理流程，加强供应链与制造环节的协同开发，全面提升产品质量管理水平。
质量管理治理
中微公司秉持“质量和持续改进根植于中微公司的每一个方面，及每个人每分钟的工作中”的质量方针，致力建设“零缺陷”质量文化，通过构建 PDCA 预防性质量链，实现质量目
标的持续提升与动态改进。
质量卓越
质量目标及文化
零缺陷质量文化
预防性质量链 研发质量策划 供应商质量控制 制造质量控制 客户质量保证 质量体系优化
• 产品开发管理程序 PDP • 零部件开发质量认证 • 新产品导入认证 • 快速故障响应 • 体系合规管理
管理策略 • 设计评审风险控制 • 原材料来料控制 • 制造过程异常控制 • 客户投诉处理 • 审核及流程优化
• 供应链及制造可行性评审 • 供应商绩效管理 • 交付质量保证 • 客户满意度管理 • 质量赋能及文化建设
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质量管理体系
中微公司致力于构建集团化、多基地统
一协同的国际化管理体系，以“产品”
为核心、以“客户”为中心，推动研发、
中微集团化 ISO 管理体系
供应链、制造及客户服务的高效协同，
打造流程高效、组织扁平的运营模式。
质量管理体系 保障性管理体系
体系标准
公司将 ISO 9001 等多个管理体系要求
系统融入全链条业务流程，强化风险与
质量管理体系 职业健康安全管理体系 环境管理体系 信息安全管理体系 能源管理体系
机遇识别、体系执行监控及内审、过程 ISO 9001:2015 ISO 45001:2018 ISO 14001:2015 ISO 27001:2022 ISO 50001:2018
（产品卓越，客户满意） （危险源，保护员工） （环境因素，相关方） （信息资产，业务连续性） （能源，绿色发展）
审核与专项审核机制，持续推动体系优
化与改进。通过持续优化，公司实现产
品协同、基地协同与资源高效配置，构
体系证书
建了标准化、精细化、可持续的系统化
管理体系，全面支撑公司管理效率提升
与综合绩效增长。
认证
中微金桥 中微临港 中微南昌 中微惠创 中微成都 中微广州 ······
场所
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质量管理文化
案例 “质量活动周”专项活动
中微公司以质量方针为纲领，系统推进全员质量意识提升与工具方法落地，在取得 ISO 9001 集 2025 年，中微公司在 QEHS 文化月期间组织开展了“质量活动周”
团认证的基础上，持续推动产品开发管理程序（Product Development Procedure, PDP）等 专项活动，聚焦“全员质量意识强化、质量工具实操应用、产品开发
核心流程的优化以助力管理体系升级；通过 DFMEA（设计潜在失效模式和后果分析）、APEX（中 管理程序（PDP）精讲”三大核心主题，累计覆盖超 600 人次，系统
微卓越问题解决）等工具方法的赋能推广与知识库积累，实现质量管理方法的标准化与最佳实 性地传递了质量管理知识与实践方法。活动有效提升了员工对质量工
践的有效沉淀；持续开展客户满意度调查以驱动体验改进，并推行环境 6S 管理以夯实现场基础 具的应用熟练度，深化了开发团队对优化后 PDP 流程的理解，进一
并保障产品质量。公司致力于全面构建覆盖文化理念、制度规范、员工行为与作业环境的高质 步强化了“全员参与、第一次就把事情做对”的质量理念，为产品质
量生态体系。 量持续提升与高效创新奠定了坚实基础。
质量方针及零缺陷
质量讲堂系列活动 : 质量意识强化、质量工具实操、产品开发管理
理念 程序精讲等主题
ISO9001 集团化认证
制度 核心流程专项优化 : 产品开发管理程序（PDP）、变更管理流程等
质量工具推广：DFMEA、APEX 实战辅导、统计过程控制
行为 （Statistical Process Control，SPC）专题研究等
知识库积累：已知最佳方法 (Best Known Method,BKM）管理
CCAR/NCR 系统管理
物质
环境 6S 管理
人参与
系统化、多层次的质量文化体系
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中微公司质量管理系统和推广工具介绍
借助制造过程 NCR (Non-Conformance Report，不符合报告 ) 系统和外部异常 CCAR
CCAR/NCR （Customer Corrective Action Request，客户纠正措施报告）系统，收集内外部异常
质量异常 与不良反馈，通过周会、月会评审跟进，推进异常闭环管理。
管理系统
理机制、将备件质量问题纳入 CCAR 系统线上管理等，以全面提升质量管理效率。
公司内部组建了 BKM (Best Known Method，已知最佳方法 ) 系统，包含产品开发、
BKM 生产制造、供应商管理、售后服务过程中的成功经验和失败的改进成果，为内部技术讨
总结最佳 论提供专项平台。
实践
公司整体的知识管理意识和水平。
APEX 在过往推行有效问题解决的工具基础上，创新总结出了中微卓越问题解决（AMEC
中微卓越问题 Problem Solving Excellence, APEX）方法论，指导内部问题解决，并在全公司进行推
解决 广和应用。
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质量管理战略
中微公司将质量战略视为实现可持续卓越发展的核心支柱，将风险管理系统化贯穿于研发、供应链、制造及客户服务等产品全流程中，通过构建覆盖全生命周期的质量风险识别、
评估与管控机制，致力于预防潜在问题，积极把握质量提升机遇，以此驱动产品与服务的持续改进和创新，提升市场竞争力。
产品全生命周期质量管理风险与机遇识别
中微公司针对半导体设备研发和生产过程中“零部件多、专业性强、精密度高、定制化高”的特点，将“基于风险的思维”应用于产品实现的全流程管理过程，建立质量风险识别、
评估与管控方法，提前预防改进，提升质量管控能力。
主要管理过程 质量风险和机遇 影响时间范围 潜在财务影响 10 关键举措
开发风险评估不充分，验证不完善，产品可靠性差，批量交 基于产品开发管理程序（PDP），设置六大类质
付后客户投诉多 研发成本增加 量门评审机制，充分识别开发风险，多轮产品验
中长期
开发风险控制有效，验证完善，产品可靠性好，交付后机台 收入降低 证提升产品可靠性，并持续跟踪研发设计问题改
研发过程 善。
质量稳定，客户满意
供应商零部件质量认证不充分，后期质量表现较差，客户投 供应链在研发阶段参与评估供应链可行性与零
诉多 运营成本增加 部件风险，通过供应商全方位的管理与数字化
中长期
选择质量稳定，成本有竞争力的优秀供应商，共同突破技术 收入降低 技术，把控供应商零部件全生命周期质量管理，
供应链过程 做到及时响应并持续改进零部件质量。
瓶颈
制程开发风险评估不足，制程异常较多及检验拦截能力不足，
制造在研发阶段即参与评估制造可行性与制造
客户投诉多 运营成本增加
短中期 工艺风险，充分识别制程风险点，输出制程质量
制程开发风险评估充分，制程质量控制能力强，制造效率提升， 收入降低
制造过程 控制计划，搭建数字化质量管控平台持续改进。
实现持续稳定的交付
依据现场反馈持续优化研发设计、供应链和生产
客户现场装机质量较差，客户投诉响应不及时，客户投诉多 运营成本增加
短期 制造。开展客户满意度调查，全方位保障产品和
客户服务 客户现场装机质量表现好，客户需求及时响应，客户满意 收入降低
服务质量契合客户需求。
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
产品全生命周期质量管理具体举措
中微公司系统构建研发、供应链、制造与客户服务质量管理体系，全流程严控质量风险，打造覆盖全链条的质量控制程序，显著提升产品可靠性与一致性，全面保障高端设备的卓
越品质与客户信赖。
研发质量管理
中微公司严格遵循半导体设备行业标准与技术规
范，从可靠性、适用性、可制造性、功能性、适配性、
关键里程碑
安全性、外观及成本等多个维度系统优化产品开 （六大类质量门）
发管理程序（PDP），实现对设计与开发全过程
立项进阶评审
进阶评审
进阶评审
进阶评审
及成果的严格质量管控。
供应链 可
出货可行性评审
公司设立了六大类质量门，包括立项进阶评审、
设计方案评审
/ 制造性评审
阶段性评审
设计方案评审、供应链 / 可制造性评审、阶段性
评审、出货可行性评审与进阶评审节点，作为强
制性评审节点，并对评审结果进行持续跟踪与闭
环改进，以确保产品最终符合客户要求。
C&F Alpha Beta Gamma Phase out
为提升产品的可制造性与一致性，中微公司在研
发早期便加强与制造部门的协同互动，通过实施
早期供应商介入（Early Supplier Involvement, 可行性 产品开发 小规模 大规模 退出
研究 验证 量产 量产 市场
ESI）和制造可行性评审，强化对研发工程物料的
质量控制，并对新产品导入过程进行系统性风险
评估，从而保障设计图纸能够高效、高质量地转
化为实际产品。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
供应链质量管理
中微公司在零部件前期开发和风险评估过程中提出供应链层面的要求，发布了《最关键零部件认证 ( 供应商相关 ) 指
导书》，规范关键零部件的认证流程，确保供应商生产及检验过程受控，从而保障半导体设备的整体性能与可靠性。
公司在批量交付阶段，借鉴 VDA6.7 过程审核方法全面评估供应商生产与服务过程，系统地理解、评估并帮助改进供
应商的内部运作机制，确保其过程能力持续稳定；借助穿透式管理与区块链技术，把控产品全生命周期检验，实时监
控质量指标，实现跨企业协同，做到及时响应并持续改进产品质量。
同时，公司开展供应商 3Q 培训，确保供应商充分理解中微的管理要求，最终保障所获产品或服务的高质量与可靠性，
从而构建一个更可靠、高效、有竞争力的供应链生态系统。
制造过程质量管理
在制造过程质量管理方面，中微公司在产品研发阶段即引入制造部门，提前介入可行性评估与工艺风险识别，并制定
相应的质量控制计划。在此基础上，公司系统导入 APEX、A3 等结构化问题解决方法，并建立了覆盖过程失效模式与
影响分析（Process Failure Mode and Effects Analysis，PFMEA）、安灯（ANDON）、E-Check 及 AI 视觉识别
等功能的数字化质量管控平台，实现制造过程的可视化、实时化与智能化管理。
客户服务质量管理
中微公司在设备交付给客户前，严格执行“先验证、后投产”的现场质量管理流程。设备在客户现场完成厂务端连接后，
需依次通过功能测试、工艺测试与验收测试，确保全部达标后方可投入客户实际生产。
此外，公司建立了现场反馈驱动的闭环改进机制，将客户端运行数据与问题反馈实时接入内部质量管理系统，开展根
因分析，制定并落实预防措施，通过持续优化实现产品与服务质量的全方位保障，确保始终契合客户需求。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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质量管理系统风险管理 质量管理指标和目标
为有效应对产品质量风险，中微公司制定了《组织风险和机遇控制程序》，关注内外 2025 年公司继续保持“产品 100% 按时交付，顾客满意度 85% 以上”等外部质量
部环境，对产品质量可能产生的风险和机遇进行识别、评级、控制和预防，并借助质 管理目标的达成，持续推动交付产品质量异常的及时有效关闭，目前主要交付产品
量体系内外审活动进行持续改进。 质量缺陷远低于行业交付缺陷率，内部制造过程产品缺陷率也维持在目标值内并做
持续改进。
质量管理系统风险识别流程 为持续提升质量水平，中微公司高度重视人才培养，开展多样化的质量相关培训，
并支持人才长期可持续发展。报告期内，公司多位人才获得质量“工匠”等质量相关
荣誉奖项称号，具体可参阅 “员工培养发展”小节。
风险识别和分类
对公司运营涉及的风险进行识别，其中外部风险主要包含宏观
经济、社会因素、技术因素、市场因素、合规因素等，内部风
险包含人力因素、资源因素、运营因素等；
顾客满意度
风险分析评估
以上
从业务活动发生频率、业务风险概率及对运营风险影响
产品按时交付
程度三个因素进行综合评价，并将评估结果划分为低、
中、高三个等级管控；
风险控制和改进
针对中高风险等级项目需对输出作业流程进行管控，高风险项
目则需设置质量体系监控目标，以确保该风险或机遇得到有效
控制，最终结果也会在高层管理评审会议上进行评审。
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支持创新驱动
在中微，我们每天都在迎接世界级的挑战。唯有创新，
持续不断的研发创新是中微公司实现跨越式发展的核心动力。公司着力构建规范化 才能引领我们不断突破、持续前行。
的创新驱动管理体系，明确研发创新管理架构、管理流程，系统融合目标管理、矩 一个灵感、一次尝试，可能就是改变未来的起点。在中微，
每一个创新的想法，都值得珍视和推进。
阵式协同研发等机制，全面激发人才创新活力，积极建设学习型、创新型组织生态。
同时积极主导及参与关键技术标准制定，携手行业伙伴共同推动技术进步与产业升 ——尹志尧
中微公司董事长、总经理
级。2025 年，中微公司在关键技术领域实现了多项突破，取得了令人瞩目的创新成果。
奖项荣誉
发明专利 “MOCVD 设备用气体喷淋头
发明专利“一种化学气相沉积装置 发明专利 “化学气相沉积反应器或外延层
关键技术及产业化”
及其清洁方法” 生长反应器及其支撑装置”
第二届长江经济带高价值专利转化运用
中国专利银奖 江西省专利奖
大赛金奖
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研发创新治理架构
中微公司构建了由董事会引领方向、领导小组统筹决策、矩阵式产品事业部高效执行的三级创新研发治理架构。
作为最高决策机构，负责审定公司长期技术战略与重大研发投入，为创新方向提供顶层指导与资
源保障。
董事会
承接董事会战略，负责研发规划的整体统筹、跨部门资源协调及关键项目的立项评审与优先级决策，
确保研发聚焦于最具价值与市场潜力的领域。
领导小组
（公司管理决策层）
围绕刻蚀设备、MOCVD 设备和薄膜沉积设备等不同产品线，组建了专业聚焦的独立产品研发事
业部。
每个独立产品研发事业部均配备专属的机械设计、工艺开发、产品管理与技术支持等团队，确保
产品研发的深度整合和一体化高效推进。
在电气工程、平台工程、软件工程等共性技术领域采用共享支持模式，实现技术资源的集约利用
矩阵式产品事业部 与跨团队协同，在保障专业深度的同时提升整体研发效率与一致性。
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研发创新战略
中微公司系统识别并积极应对研发创新过程中面临的技术、市场、人才、供应链及合规等多维度风险与机遇，通过优化研发流程、强化资源投入、完善激励机制和构建开放生态，
持续提升自主创新能力与体系化竞争力，为长期可持续发展奠定坚实基础。
研发创新风险和机遇识别
类别 描述 影响时间范围 潜在财务影响 11 关键应对措施
先进制程技术研发迭代加速，研发投入高、不确定性大
研发费用高企 通过优化产品开发管理程序（PDP），
技术 通过自主核心技术攻关，率先实现关键设备国产化突破，抢占高 长期
营收增长受限 建立研发风险管控机制
端市场份额
行业周期性波动导致资本开支放缓，设备需求下降 收入不稳定 以市场和客户需求为导向，持续迭代产
市场 中短期
新兴应用领域带来新增市场需求 产能利用率下滑 品开发
持续壮大研发队伍，并构建覆盖项目组
高端半导体研发人才竞争激烈，人才流失风险上升 织、经费管理与人才激励的全方位创新
人才 中长期 人力成本上升
构建一流研发团队，形成持续创新能力与知识沉淀体系 保障体系
加强产学研合作，强化人才储备
关键零部件、原材料供应受地缘政治、贸易政策影响，存在供应 在产品开发早期即推动设计与制造协同
采购成本增加
供应链 链稳定性波动的潜在风险 中长期 供应商制程能力管控
交付延迟
推动供应链本土化、多元化，提升供应链韧性与协同研发能力 深化产业链上下游协同合作
国内外技术出口管制、产业政策变动影响研发方向与市场拓展
合规 长期 合规成本提升 持续跟踪国内外行业监管动态
顺应国家半导体产业扶持政策，获得资金、项目与市场支持
风险 机遇
此处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
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研发创新管理流程 产品开发全生命周期的五个阶段
中微公司根据半导体设备行业相关标准和技术的
C&F Alpha Beta Gamma Phase out
要求，策划发布了中微特有的内部管理制度《产
品开发管理程序（PDP）》，以满足市场和客户需
求为导向，分阶段、分步骤地进行产品的开发、
可行性 产品开发 小规模 大规模 退出
完善、迭代的过程，并依据市场外部环境的变化 研究 验证 量产 量产 市场
和业务发展需求及时迭代升级。
求，对产品开发管理程序进行全面优化，重点对 工作
预研数据收集 设计迭代 拓展客户 稳定制造
Alpha 研发阶段实施更精细化的规范。公司在贯
技术路线确定 客户端验证 优质售后服务
彻“产品开发十大原则”的基础上，围绕设计迭代、
设计与制造衔接、研发风险管控等环节建立了更
具可操作性的指导框架，进一步提升研发过程的
系统性与应变能力。
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资源基础保障 绿色研发创新
为支撑长期技术领先与产品突破，公司持续加大研发投 中微公司制定绿色研发创新专利标准，聚焦与生产经营紧密关联的核心技术领域，明确围绕绿色低碳导向展开专利布
入规模，同时系统化壮大高水平研发队伍，通过优化资 局，主要涵盖工艺气体节约类技术、能源消耗优化类技术、污染防治与尾气处理类技术等。
源结构与人才布局，为创新活动提供可持续的资源保障。
为界定专利技术价值与环保属性，践行绿色、环保、低碳的发展理念，中微公司在研发创新过程中，重点阐述技术方
案在资源节约、减排降污、成本优化等方面的环境效益与经济价值，充分体现绿色创新的综合贡献，推动研发活动持
续向低碳化、可持续方向演进。
加大研发投入
报告期内
案例 低碳专利推进资源节约
研发投入约 同比增长约
以申请号为 202512025001.2 的“一种化学气相沉积设备”专利为例，该专利通过改进腔室结构，将工艺气体
研发投入占公司营业收入比例约为
壮大研发队伍
截至报告期末
全球员工中研发人员占比高达
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创新激励
案例 举办创新大赛，激发创新潜能
中微公司构建了一套全方位、综合化的创新保障体系，
中微公司于 2025 年成功举办首届“攀峰杯”创新 本次创新大赛聚焦核心技术与运营痛点、难点，参
覆盖产品开发管理程序、项目组织管理、经费管理以
大赛，大赛以“聚智攻坚·创领未来”为宗旨，充分 赛团队或个人提出了一系列兼具前瞻性、创新性与
及人才激励等环节，持续激发员工的创新活力。对在
激发全员创新活力，累计征集创新提案 400 余项， 实践性的优质方案，为公司突破行业技术壁垒、提
技术研发、产品创新、专利保护等方面做出突出贡献
其中 100 项因具备显著的技术创新性、实施可行性 升核心竞争力提供了丰富的思路与坚实的支撑，充
的技术研发人员给予奖励，定期开展内部优秀专利奖
及商业价值斩获大赛各类荣誉奖项，体现了公司在 分彰显了中微人敢闯敢试、攻坚突破的创新精神。
评选，挑选高价值授权专利参加政府奖项评选；自
创新文化建设和员工潜能激发方面的持续投入。
新实践与成果转化平台，进一步激活全流程创新活力， 创新大赛提案数量（单位：项）
并将持续通过“揭榜挂帅”、专题研讨、工作坊等
夯实创新发展根基。 多种形式，降低参与门槛，推动全员创新，营造开
放协作的文化氛围。同时，公司将进一步完善从创
赛道一：技术研发 意孵化到试点、推广的全流程支持机制，推动创新
行业携手共进 赛道二：管理运营 成果转化为可衡量的环境、社会与治理效益，助力
赛道二：三维发展 提升公司可持续竞争力。
中微公司始终将协同创新作为发展引擎，通过积
极参加行业高峰论坛、主导及参与关键技术标准
制定，并与顶尖高校及研究机构开展深度产学研
合作，构建开放协同的创新生态，携手行业伙伴
共同推动技术进步与产业升级。具体可参阅 “推
动产业发展”小节。
中微公司“攀峰杯”创新大赛
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创新驱动风险与机遇管理
为系统化地管理研发过程中的不确定性并捕捉发展契机，中微公司建立了覆盖风险与机遇全生命周期的识别与应对流程，旨在推动创新活动的可持续性与价值最大化。
步骤一 背景调研 步骤三 风险与机遇评估 步骤五 持续监测与价值披露
系统盘点内部研发资源与核心技术能 从影响程度和发生概率两个维度进行 定期在公司官微、网站、ESG 报告、
力，同步监测外部政策、技术及市场 评估，分析确定风险与机遇的优先级， 年报中披露中微创新进展，展示企业
趋势，为识别工作奠定基础。 聚焦关键项目。 在推动可持续、负责任创新方面的努
力与成果，回应投资者、监管机构与
公众关切。
步骤二 风险与机遇识别 步骤四 应对策略制定
从技术、市场、合规等多维度，系统 系统盘点内部研发资源与核心技术能
识别可能阻碍或推动创新的内外部风 力，同步监测外部政策、技术及市场
险与机遇因素。 趋势，为识别工作奠定基础。
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创新驱动指标与目标 专利
报告期内 截至报告期末
中微公司各产品部门围绕公司整体战略开展新项
目研发创新，在每年年初将新研发项目细化为
共申请 其中：发明专利 低碳专利 共申请 其中：发明专利
MBO 目标进行管理，具体指标包含产品研发、专
利数量等，由各产品事业部和法务与合规部等部 件 件 件 件 件
门密切配合进行管理。
新授权 其中：发明专利 有效专利 其中：发明专利
件 件
不断推进新产品研发与现有产品的升
级研发，完成当年各类 Alpha、Beta
设 备 及 持 续 改 进 CIP（Continuous 低碳专利
Improvement Project）
已 报告期内，中微公司申请了 33 件低碳专利，主要涵盖以下范围：
项目的交付任务 达
成
提高工艺气体的利用率，降低尾气污染和对有 通过减少腔室内的污染物或优化工艺条件，
全球专利申请数达到
限自然资源的消耗： 12 件 提高产品良率： 11 件
已
达
成
延长零部件寿命或维护周期，降低新部件生产 优化加热制冷效率或抽气效率，提升能源
项
的资源消耗与废旧部件处置污染： 7 件 利用率： 3 件
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保护知识产权 知识产权管理体系
中微公司严格遵循《中华人民共和国民法典》 战略目标层面 管理原则层面
《中华人民共和国反不正当竞争法》《中华人
保障商业自由与市场地位 遵循国际规则处理知识产权事务
民共和国专利法》等法律法规，充分尊重竞争
恪守尊重与保护原则 全链条风险防控体系
对手、供应商及其他所有第三方的知识产权，
构建关键领域的专利制高点 攻防结合的专利布局策略
同时要求所有员工入职时必须签署严格的《保
支撑全球化运营与供应链安全 主动的诉讼应对与维权机制
密协议》，承诺不泄露公司自身商业秘密，且
不侵犯他人知识产权。公司以明晰战略目标、
多维度布局、全球视野与严苛管理，搭建起涵 组织架构层面 管理制度层面
盖专利、商标、著作权及商业秘密的知识产权
保护体系。通过系统化的知识产权布局，捍卫 公司采取高层直接负责与专业部门深度协同的管理模式 制定《专利管理办法》《中微优秀专利奖评奖办
自身核心技术，更助力中微在全球市场竞争中 集团副总裁、总法律顾问负责统筹领导 法》《商业秘密管理程序》《知识产权奖励办法》
脱颖而出。 法务与合规部下设知识产权团队，由经验丰富的专利管 等专项制度
理人员专职承担专利布局与风险管控、商业秘密体系维
护及商标管理等核心职责，全面筑牢知识产权保护屏障
强化知识产权管理
高价值专利培育全流程
强化知识产权管理是企业创新发展的关键。中
微公司通过搭建完善知识产权管理体系，依托
高效管理系统，精准把控专利申请、维护等流
程，全面规避专利风险，为企业技术创新筑牢
坚实保障。 激发创新 识别 / 挖掘 布局 撰写 答复 遴选 / 评奖 运营
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专利管理系统
自 2023 年上线以来，中微公司的专利管理系统持续迭代完善。该系统有效桥接了研
系统共收集提案 数量同比提升
发与知识产权团队，实现了专利提案的系统化、全流程管理，不仅能实时追踪状态、
防止遗漏，也极大便利了专利申请的查询与管理工作。2025 年，系统共收集提案 603
件，数量同比提升 40%，管理提效成果显著。
专利系统节点
发明人状态查看功能
发明人可实时查询本人提交专利的审核进度、受理状态等信息，实 专利系统成效
现专利申请过程的透明化追踪
流程效率大幅提升 管理精准度显著增强 管理规范性全面提升
管理层进度管控功能
系统实现了专利申请从 管理层通过系统可实时 专利交底全流程留痕机
部门负责人及公司管理层可全面掌握所属部门及公司整体的专利提
交底、审核到提交的线 掌握专利工作全局情 制，明确了各环节责任，
交数量、审核情况、进展分布等核心数据，便于精准把控专利工作
上化流转，减少了线下 况，为专利布局决策提 有效规避了流程遗漏、
推进节奏，及时协调解决推进过程中的问题
沟通成本与纸质材料传 供数据支持，同时发明 材料丢失等问题，保障
递耗时，有效缩短了专 人可自主追踪进度，降 了专利申请过程的合规
专利交底留痕功能
利申请的前期准备周期 低了沟通成本 性与严谨性，为公司知
对专利交底书的提交、修改、审核等全流程操作进行电子化留痕， 识产权保护工作的有序
确保交底过程可追溯、责任可明确，为专利申请的规范化推进提供 推进奠定了坚实基础
数据支撑
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规避专利风险
公司积极利用专利情报赋能研发，以规避专利风险，通常在产
品立项前即开展知识产权相关背景调研；研发过程中会持续根
据研发团队的研发进展进行特定主题的专利自由实施分析；新
公司积极利用专利信息赋能研发，同时规避专利风险。在 2025 年开展包括特定主题的自由实
产品上市前，针对最终的新产品进行技术拆解，系统排查专利
施分析（FTO）和背景调查中内的专利分析项目共 191 项，其中 FTO 分析 70 项。通过上述
风险。
背景调查和 FTO 分析，知识产权团队在公司产品开发的各个阶段持续提高知识产权情报服务
和风险管控。
产品立项前
进行了 17 项新产品背景调查
产品开发过程中
进行了 40 项 FTO 分析
新产品准备上市前
针对产品整体设计各个技
术进行拆解，进行系统性
供应商专利风险
的 风 险 排 查， 共 完 成 了 8
进行了 5 项供应商的产品
项新产品的专利风险排查
专利风险排查，避免供应
商具有风险的设计引入公
司产品带来额外风险
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保护商业秘密
商业秘密保护是公司维持竞争优势的重要基石。中微 商业秘密信息管理举措
公司严格遵循所在地区相关法律法规，严格要求对各
利益相关方知识产权与信息的保护工作，尊重他人商
信息存放 商业秘密应当存放在公司所有的计算 信息销毁 根据信息的密级和载体类型，采用对应
业秘密；建设商业秘密管理系统，通过形成并动态维
机、服务器或其他存储设备中 安全等级的销毁方法
护公司商业秘密清单，完整记录与长期保留研发过程
中的关键成果，构建了覆盖商业秘密全生命周期的保
护机制。体系化的管理与明确的权益保障，也有效激 对信息按重要程度进行分级管理，划分出
励技术人员投身于持续创新，为公司的技术领先与核 A、B、C 三级，不同级别的信息在使用、 开展商业秘密管理培训，提升员工保密
能力建设
分级管理
心竞争力构筑起坚实防线。 存储、访问权限等方面有着相应规定 意识与合规能力，强化企业核心信息资
进一步将高度机密级信息范围聚焦于重
点研发项目的核心技术、实验数据及关
商业秘密传输需要使用规定的传递方式，
案例 商业秘密管理培训 键进程信息，实施全生命周期重点管控
如企业邮箱、加密 U 盘等，禁止使用个
人微信、QQ、私人邮箱等传递保密信息
课程，并以必修课程的形式面向全体员工发布，
基于“实际工作需要和必须知晓”的原则 高度机密级和机密级信息在向供应商、客
向员工介绍公司在商业秘密保护方面的管理体
接触权限 获取商业秘密 户或其他第三方发送前，要确保已经与对
系与具体规定，帮助员工理解商业秘密的定义、
范围及重要性，明确在日常工作中识别、接触、
级授权访问等机制，强化核心信息保护 员工禁止以任何方式转移公司商业秘密作
使用和保管涉密信息的行为规范与责任要求，
加强访客管理，细化访客全程陪同与信息 私人用途
确保员工清晰知晓公司的制度红线，共同筑牢
隔离制度，对于重点研发区域谢绝访客入 2025 年，加 强洁净室管理，禁止在个人
企业核心竞争力的安全防线。
内，以提高商业秘密保护力度 设备采集、传输工作资料和技术秘密
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知识产权文化建设 知识产权宣传周
中微公司深耕知识产权文化建设，借知识产权文化周契机，通过举办讲座、研讨会等 中微公司通过定期检索行业专利动态并编制专利月报，每月面向发明人组织专题分享
活动，普及知识产权知识。同时，设立丰厚的知识产权奖励，激发员工创新，营造浓 会，确保技术情报及时传递；同时构建覆盖全员的分层培训体系，常态化开展知识产
厚创新文化氛围。 权专题培训，并将相关课程设为新员工必修环节，从而系统提升全员的创新保护意识
与实务能力。
知识产权奖励
知识产权保护培训会
公司构建了体系化的知识产权奖励制度，以有效激励创新。该制度贯穿从提案、
对多个产品部门提供有针对性的专利、
授权到高价值评选的全过程，特设申请专利奖、发明专利授权奖、中微优秀专利
商业秘密培训。
奖、政府专利奖配套奖、软件著作权登记奖、中微知识产权贡献奖，多维覆盖，
显著激发了员工的创新活力。
发明人分享会
专利申请奖 发明专利授权奖
邀请资深发明人讲述产品创新中的专利
保护故事。
中微优秀专利奖 政府专利奖配套奖
头脑风暴
软件著作权登记奖 中微知识产权贡献奖
围绕热门话题开展头脑风暴，收集创意，
助力产品开发。
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保护信息安全 报告期内
中微公司高度重视信息安全管理，构建多层次防护体系，强化技术保障，健全人才培养机制。部署了基于 ISO 27001 公司未发生
标准的动态防护架构，持续升级核心技术模块。 重大信息安全事件及信息安全相关客户投诉事件
加强信息安全治理体系 信息安全体系工作组织架构
中微公司建立了明确的信息安全治理结构，由集团副总 组长 管理者代表 MR
信息安全管理
裁担任首席信息安全官，并设置信息安全领导小组和信 体系领导小组
成员 各职能部门最高负责人
息安全工作小组，构建包括管理层、信息安全技术专员、
体系专员、IT 审计专员和部门协调员在内的信息安全管
理架构，通过系统化的管理和技术手段，帮助公司有效 IT 部负责人
应对安全威胁，保障业务连续性，降低潜在损失。 组长
QEHS 部负责人
IT 信息安全负责人
信息安全管理
副组长
工作小组
ISO 体系负责人
网络安全专员
数据安全专员
成员
信息安全审计专员
ISO 体系协调员
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
信息安全战略规划
面对日益严峻的网络威胁与日趋严格的合规要求，公司持续强化信息安全管控，依托完善的制度体系与有效的风险管控机制，全面应对技术、运营及政策层面的信息安全风险，切
实保障业务稳健与合规运营。报告期内，中微公司开展多项举措，对信息安全进行精细化管理，完善了个人信息全生命周期保护与核心区域物理防控，并通过全面培训与宣传有效
提升全员安全素养，从而系统性地把控了信息安全风险，筑牢了公司安全防线。
信息安全风险和机遇识别
类别 描述 影响时间范围 潜在财务影响 12 应对举措
短期：支付罚单与赎金、客户赔 对核心数据进行分类分级，强化核心系统的身份验
遭受信息安全攻击，核心技术、专利、客户 偿与诉讼费用 证与访问管理
数据被窃，直接削弱核心竞争力 中期：核心竞争力丧失、客户信 加强暴露面监测与数据泄露情报监控
短中长期
构建行业领先的主动防御体系，可将安全能 任丧失与流失 深化数据、网络安全事件的演练与响应
技术
力转化为服务，提升客户信任度 长期：融资与估值受挫、商业机 新增个人信息保护规范，开展专项培训与审计
会与合作伙伴流失 执行访客管理制度
价值链合作伙伴遭受攻击，导致关键零部件 短期：售后与赔偿成本增加
对关键供应商提出信息安全管理要求
断供和关键供应链信息泄露 中期：运营成本增加、研发成本
短中期 针对 IT 服务供应商进行定期信息安全管理评审
逐步完善公司内部及参与行业供应链安全标 增加（因产线切换与重验证）、
运营 制定供应链备用方案
准的制定，增强产业链信息安全韧性 股价与融资负面影响
客户数据处理及出口管制法规日益趋严，若
无法满足相关政策，将影响国际业务 中长期：合规成本增加、收入降 新增个人信息保护规范，开展专项培训与审计
中长期
完善合规体系可作为国际化竞争优势，赢得 低 将数据防泄漏平台赋能企业数据合规场景的监管
政策
高端市场信任
风险 机遇
处潜在财务影响仅表示对应风险带来的财务影响。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
信息安全管理制度 信息安全常态化管理
中微公司严格遵守相关法律法规，依据《中华人民共和 面对日益复杂的网络威胁，中微公司构建了一套从数据识别、实时监测到应急响应的闭环安全管理体系，全面夯实了
国网络安全法》等法规制定《信息安全管理手册》等系 信息安全防线。
列文件，完成集团 ISO 27001 信息安全管理体系认证，
覆盖上海临港，金桥，南昌的所有业务活动。通过制定《商
数据分类分级
业秘密管理程序》，对商业秘密管理进行系统性规范；
存储、使用的全生命周期。多维度筑牢信息安全防线，
全面保障商业秘密与个人信息安全。 信息监测
打造全方位信息安全监测机制。运用技术手段检测威胁，通过态势感知与边界网络设备，监控内外网异常流量、
异常账号登录与数据外发通道。建立信息收集渠道，定期对最新外部威胁情报和企业信息泄露情况进行闭环管理
风险评估
完成了基于信息资产风险评估方法的全量数据资产识别、风险评估和处置工作
估报告并提交至工信部
应急演练
建立了针对数据安全事件的应急预案，定期进行内部演练
在 2025“数安铸盾”行动中，完成数据安全应急演练工作
安全审计
建立常态化、制度化的信息安全审计机制，定期开展信息安全审计工作
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个人信息保护规范 访客管理
中微公司制定并发布了《个人信息保护规范》，以确保 在访客管理方面，公司在既有网络隔离措施基础上，新增规定：对出入公共区域的访客，其移动设备摄像头须以易碎
集团范围内个人信息处理活动的正当性与合规性。公司 贴进行物理管控。
在生产与研发洁净室等核心区域，公司进一步强化了信息安全管理，实施差异化管控：
并依托现有信息安全体系，常态化开展个人信息处理的
年度风险评估与合规审计。为实现对异常个人信息处理
活动的监控和追溯能力，公司接入数据防泄漏平台，实 针对移动设备
现对个人信息类数据的自动识别、分类与实时监控。相 统一配发专用工控手机，确保所有数据与网络活动透明、可追溯。
关事件由信息安全合规专员负责闭环处置，确保风险及
时发现、快速响应、有效整改，构建起覆盖全生命周期 针对生产设备
的个人信息安全防护闭环。 为机台、量测设备等建立统一安全基线，覆盖访问控制、病毒防护、数据传输等全生命周期要求。
在设备入场时即进行安全评估，并定期对配置与使用情况进行人工抽检。
案例 个人信息处理合规培训
理合规培训，通过案例教学（如非法调取员工
微信记录、线下交易信息违规共享等典型案
例），强化员工对“单独同意”“第三方处理
责任”“账号安全”（强密码、双重认证）等
点聚焦个人信息保护规范，全面提升员工信息安全意识与
防护能力。公司通过自建钓鱼邮件演练平台与模拟攻击站
合规要点的理解。 点，开展实战化安全演练，有效检验并强化员工应对网络
共组织开展数据 累计制作并发布信息
威胁的实操技能，实现员工培训覆盖率 100%。同时，公
安全培训 安全主题周边
司积极营造安全文化氛围，累计制作并发放信息安全主题
周边 300 余份，持续提升全员安全防范意识。 次 余份
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信息安全风险识别和管理 信息安全管理目标
风险识别与影响评估 中微公司制定了全面的信息安全目标指标体系，涵盖信息安全事件、数据泄露事件、
客诉安全事件等多个方面。信息安全团队定期跟踪信息安全治理的效果，以确保信
中微公司紧密关注地区与行业法规，定期评估信息安全法规适用性，借助
息安全的持续改进。
ISO27001 体系开展资产盘点、风险识别及等级判定，构建动态模型防御恶意
攻击，保障业务连续性。在隐私保护方面，严格遵循法规要求，健全制度体系，
升级产品能力，完善数据全生命周期管理要求。运用去标识化、匿名化等技术 2025 年度目标
降低信息泄露风险。
无信息安全事件 无数据泄露事件
新兴领域风险前瞻
已 已
达 达
成 成
中微公司密切关注人工智能等新兴技术在信息安全中的应用，持续探索 AI 对
企业信息安全管理场景的赋能，加速企业关键数据的识别和防护，以及网络安
全攻击态势的研判。中微公司已发布内部 AI 管理要求，并通过技术能力对 AI
应用流量进行识别和管控，明确了利用 AI 处理个人信息的要求；同时也部署
了 AI 自动化攻击平台，持续探索 AI 在企业信息安全相关领域的应用，助力企
业的内部红蓝对抗和内部漏洞发现。企业对 AI 使用保持开放和警惕的态度，
在提升生产力的同时，确保各个使用场景中的风险可控。
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公司董事会由 名董事组成， 公司董事会成员中 举办路演、
机构交流会、
业绩说明会等
其中独立董事 名 1
有 位女性董事 共计350 余场
健全的公司治理体系是企业稳健发展的根本保障。中微公司通过强化治理结构，切实保护中小股东权益，
建立多样化的利益相关方沟通机制，确保决策科学透明。通过构建全面有效的内控体系，建立起合规运营
的长效机制。
同时，夯实风险管控能力，优化风险管理体系，强化进出口合规管理，积极应对外部风险挑战，
为公司稳健运营与高质量发展提供坚实保障。
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强化公司治理
中微公司通过构建科学完善的组织架构体系，建立健全公司治理架构，强化关联交易管控，切实维护中小投资者的合法权益。同时，通过多样化的利益相关方沟通方式，从多维度
提升公司治理效能，为企业规范运作与可持续发展提供了有力保障，并确保董事会有效运行。
完善治理架构
中微公司根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》等
相关规定的要求，确立、完善了由股东会、董事会和经营管理层组成的 中微公司治理结构
公司治理结构，建立健全了股东会、董事会、独立董事、董事会秘书等
相关管理制度，并在公司董事会下设立了战略委员会、提名委员会、薪
酬与考核委员会、审计委员会、ESG 委员会五个专门委员会，不断完善 股东会
战略委员会
职责边界清晰、制衡协作有序、决策民主高效的公司治理体系。报告期内，
中微公司董事会有效运行。 审计委员会
为符合对上市公司的规范要求，进一步完善公司治理，根据 2024 年 7 月
董事会 提名委员会
修订）》等相关法律法规、规章及其他规范性文件的规定，中微公司不
薪酬与考核委员会
再设置监事会与监事，监事会的职权由董事会审计委员会行使，《中微
半导体设备（上海）股份有限公司监事会议事规则》相应废止，公司各
ESG 委员会
项规章制度中涉及监事会、监事的规定不再适用，并相应修订了《中微 管理层
半导体设备（上海）股份有限公司章程》。
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公司高度重视董事会独立性。截至本报告出具之日，公司董事会由 9 名董事组成，其中独立董事 3 名，独立董事占比 33.33%。董事兼任高管 3 名，
董事会 剩余 6 名董事均独立于公司管理层。在高管持股比例方面，截至 2025 年末，高管合计直接持有中微公司股权约 1%。
独立性
独立董事在关联交易、股权激励等公司重大事项中应独立发表意见，有监督董事会、管理层工作的功能，保护中小股东权益。
公司注重董事会多元化，董事会成员中有 1 位女性董事，女性董事占比 11.11%。
董事会 董事会成员具有多元的专业背景，在半导体、财务、产业投资或法律领域拥有多年的从业经验。
多元化
国籍、种族、宗教、专业经验、技能、知识、服务任期、教育背景及文化背景等多元化因素。
董事会 公司的 6 位非独立董事，具有多年的半导体产业经验，或多年的金融、投资、法律或财务经验；公司聘请的 3 位独立董事，分别是在投资、半导体产业、
专业性 法律或财务领域深耕多年的专家。
定期邀请外部律师、券商等专业人员为董事及高管进行合规培训，提升治理层的决策质量和合规水平。
董事高管
组织公司董事及高管定期参加相关机构组织的资格培训。
培训
定期组织合规培训，包括禁止内幕交易、保护公司秘密、公司治理风险防控等，持续提升董事高管成员专业水平，强化治理能力。
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董事会专门委员会
案例 董事高管专项培训
考核委员会召开 3 次会议、独立董事专门会议召开 5 次会议、ESG 委员会召开 1 次会议。
市场动态、监管政策变化及合规为董事高管开
展培训，包括董事高管的忠实义务、勤勉义务
等，强调董事高管要以公司利益为先，公正维 ESG 委员会
护员工权益，回馈股东社会。
中微公司 ESG 委员会由 5 名董事组成，其中公司董事长兼任 ESG 委员会主任。公司董事会制定了《中微半导体设备
（上海）股份有限公司 ESG 委员会议事规则》，定期对公司 ESG 战略目标的确定、实施进展、报告内容等进行讨论、
监督及审阅。
严控关联交易
根据《公司章程》及《关联交易管理制度》，中微公司董事会严格监督关联交易的合法性、公允性及合理性，凡是达
到一定交易金额的关联交易均需提交公司独立董事专门会议、董事会和 / 或股东会审议。
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保护中小股东权益 多样化利益相关方沟通方式
其他交流形式
中微公司高度重视中小股东权益，积极与中小股东及投
• 公发布 140 份各类公告文件
资者进行沟通，制定了《投资者调研和媒体采访接待管
股东会 • 网上 E 互动平台回答投资者问题 40 条
理制度》，通过法定信息披露平台以及股东会、投资者
• 路演 150 余场
说明会等多种途径与投资者加强交流，保证公开、及时、 • 召开 4 次会议
• 机构交流会 200 余场
透明的信息披露，满足投资者的沟通需求。 • 审议 23 项议案
• 业绩说明会 3 场
• 参与人次达到 3,500 多人次
拓展外延投资机会
董事会
中微公司积极探索产业链上下游机遇，大力扶持产业内
• 召开 8 次会议 监管认可
具有前瞻性且发展机遇较高的中小企业，通过不断践行
• 审议 77 项议案 • 获得上海证券交易所
外延式发展策略，公司下属的中微汇链、中微惠创、芯
• 参加少于 75% 会议的董事人数为 0 2025 年度信息披露 A 级
汇康在新业务拓展领域取得了良好的进展，得到了市场
和用户的高度评价。
依法合规纳税
平台上海智微私募基金管理有限公司，聚焦半导体、泛 中微公司始终秉持合法经营、诚信纳税的理念，通过设立合理的财税管理架构实现纳税申报标准化管理，所
半导体和战略新兴领域，通过联动产业及金融资源，构 有申报均能按时完成的同时，也保证了申报数据的完整性及准确性。公司在日常税务管理中，不断强化税务
建覆盖产业链上下游的生态投资体系，致力于推动科技 风险防范意识，加强风险监控能力，完善税务风险内控机制。公司下属各子公司均严格遵守当地法律法规，
创新，助力产业实现跨越式发展。 依法纳税的同时，也根据实际情况合理、合法的享受各项税收优惠，实现集团收益的最大化。
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坚守商业道德
在《中微全球商业行为与道德规范》中，中微公司强调，反贪污、反腐败、道德合规应反映在各个方面，不仅对中微员工自身有要求，对中微公司客户和供应商亦应有所要求。报告期内，
公司开展针对公司经营场景的商业行为和道德规范的评估工作，确保相关活动符合公司及法规要求。2025 年，中微公司各层级人员未发生腐败、贪污、不正当竞争等违反商业道
德的行为，未因违反商业道德或垄断行为发生诉讼案件，未发生因商业道德问题终止或拒绝续签商业合作伙伴合同的情况。
商业道德管理架构
中微公司建立权责清晰、运行高效的商业道德治理架构，在集团副总裁、总法律顾问的直接领导下，法务与合规部全面负责日常运营，确保道德理念贯穿业务全流程。
由集团副总裁暨总法律顾问担任公司商业道德合规 公司法务与合规部作为商业道德管理的专项负责部
负责人 门，承接集团副总裁的统筹部署，具体负责商业道
德管理的日常运营工作
统筹领导全公司商业道德管理工作，负责审定商业
道德相关管理制度、战略规划，协调解决管理过程 制定并完善商业道德相关管理细则与操作流程、组
领导层 中的重大问题，保障商业道德管理工作的权威性与 执行层 织商业道德专项培训与宣传教育活动、开展商业道
执行力 德合规检查与风险排查、受理商业道德相关投诉举
报并进行调查处理，确保商业道德管理要求在各业
务环节有效落地
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反商业贿赂及反贪污
中微公司恪守全球反腐败法律规范，对任何形式的贿赂及腐败行为秉持“零容忍”原则。我们要求全体员工及业务相关方在经营活动中严格遵守《中华人民共和国刑法》《中华人
民共和国反不正当竞争法》等法律法规，并依据公司制度，严禁行贿受贿、不当支出、接收款项物品，严格限制礼品等商务礼遇。同时，公司禁止利益冲突行为，要求员工保持职
务廉洁性与独立性。任何疑似腐败行为须及时向道德与合规团队报告，共同维护公司的合规声誉与可持续发展环境。
在代表公司开展业务时，中微公司要求所有人员均须严格遵守以下规定：
禁止贿赂与回扣
· 不得以任何形式提供、承诺、支付或索取贿赂、回扣及其他不正当利益
禁止不当接收与支出
· 不得支出或接受一切不合法、不合理款项或有价物品
商务礼遇合规
· 所有礼品、餐饮、旅行、娱乐等商务礼遇须符合公司制度规定
对外支付
· 未经道德与合规团队书面批准，不使用中微资金、以中微名义向相关职员或人士提供金钱或任何有价物品
腐败行为报告义务
· 发现或怀疑存在腐败行为的，须立即向道德与合规团队报告
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反不正当竞争
中微公司秉持公平竞争理念，反对行业垄断和不正当竞争行为，规范与商业伙伴及竞
争对手间的正常商业关系，确保公司不存在制约公平竞争的协议或其他不正当竞争行 案例 开展反不正当竞争与商业道德专项培训
为。2025 年，中微公司未发生因不正当竞争行为导致的诉讼或行政处罚。
为强化合规经营意识，2025 年 12 月，中微公司面向全体员工组织开展了反
不正当竞争与商业道德专项培训。此次培训依据最新修订的《中华人民共和
与客户相关
国反不正当竞争法》及公司《商业行为与道德规范》设计内容，旨在帮助员
不得要求客户只有在其先承诺不购买中微公司竞争对手的任一产品后，才向 工全面掌握行为准则，识别并防范侵犯商业秘密、商业贿赂及滥用市场优势
其销售中微公司产品或服务。 地位等典型不正当竞争行为，持续提升公平竞争与合规履职意识。
不得对中微公司的产品、知识产权作出虚假陈述。
本次培训覆盖范围达到 100%，覆盖范围包括所有分子公司及新入职人员。
不得对中微公司竞争对手或其产品作出误导性评论。 通过系统培训，全体员工进一步明确了合规边界，为中微持续营造诚信、公
平的商业环境奠定了重要基础。
与供应商相关
不得要求供应商仅向中微公司销售特定产品或不向特定主体销售特定产品。
不得要求供应商在向中微公司购买特定产品后，才向其进行采购。
与竞争对手相关
禁止达成垄断协议，不得与竞争对手就产品价格、市场划分、投标信息、产
品销售量、产量、投资或研发等达成协议或交换意见。
不得与竞争对手共同抵制或拒绝与某些客户、供应商或分销商开展业务。
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反垄断 供应商商业道德审查
中微公司严格遵守反垄断法，坚持公平竞争，禁止一切 为建立诚信、合规的商业合作生态，中微公司在与客户及供应商的合作中，系统性嵌入了道德合规管理要求。
排除或限制市场竞争的行为。
不参与垄断协议
不与竞争对手就产品价格、市场划分、销售量、
产量、投资、研发或招投标等事项达成任何形
商业合同签订环节 供应商准入与管理环节
式的协议，或进行相关讨论、信息交换。
双方须同步确认包含反腐败、反贿赂、公平 要求供应商在线签署中微《供应商行为准则》
竞争、知识产权保护、数据安全、环境保护 或提交同等效力的合规承诺文件，并完成行
等多领域的合规条款，共同承诺遵守适用法 为准则自评。
不滥用市场优势地位
律法规与商业准则。
自评内容重点涵盖供应商是否制定并落实禁
合同方不得以任何形式提供或收受不正当利 止贪污、贿赂、利益冲突等行为的内部政策，
禁止利用市场优势地位实施排他性交易、捆绑
益以获取业务便利，并须通过公司指定的渠 旨在从源头保障供应链的道德与合规水平。
销售等限制竞争行为，包括不要求客户在购买
道，对合作中发生的不诚信行为进行举报。
中微产品或服务前承诺不购买竞争对手产品， 目前，公司已收到部分供应商的自评反馈，
不要求供应商仅向中微销售特定产品、不向特 如一方违反相关合规义务，须承担约定的违 后续将逐步开展文件核查与现场评估，推动
定主体销售特定产品，以及不要求供应商在向 约责任并赔偿相应损失。 供应链合规管理持续深化。
中微购买特定产品后才向其采购。
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完善内控合规
中微公司将完善内控合规视为企业稳健发展关键，在中微领导小组的统筹下，全力筑牢防线，营造风清气正的发展文化。
合规管理举措
公司通过制度优化与流程再造，系统化提升招投标、合同管理及合规运营的效能与透明度，为业务稳健发展筑牢合规与风控根基。
招投标管理规范化 合同管理数字化升级 合规运营机制明确化
招投标管理制度》，系统规范了工程项目从发包 2025 年 11 月成功上线合同管理系统 3.0 版本。 工可就日常工作中的合规疑问或发现的潜在违规
到定标的全过程。 行为，直接联系道德与合规团队。
本次升级实现了三大核心提升：系统响应速度提
该制度旨在有效防范与遏制围标串标、成本失控 升 40%，功能模块整合度提高 60%，审批流程 该团队将对相关事项进行初步评估，并视情况会
及供应商资质不符等关键风险，确保招标活动的 节点精简 35%。 同内部审计等部门启动调查程序。对于重大违规
公开、公平与合规，为工程项目的成本控制与合 事件，将上报公司领导小组决策，并可能成立专
该系统率先实现了设备销售类合同的全流程线上
规落地提供了坚实的制度保障。 项小组进行深入调查。
审批与本地化归档管理闭环，确保了从起草、审
核、签署到归档的全生命周期数据留痕，为内部 公司依据调查结果采取相应措施，并持续对相关
审计与合规监督提供了完整、可追溯的数据基础。 制度进行修订与完善，形成了“发现 - 评估 - 处理 -
改进”的管理闭环。
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举报渠道
中微公司高度重视内部监督与廉洁文化建设，为有效发现和纠正违规行为，公司建立了明确的举报受理、调查机制，并设立专项通道与严格保护措施，确保举报人得到有效保护。
举报渠道 举报处理流程 举报人保护政策
中微公司开通了以下举报与咨询渠道： 接收与评估：道德与合规团队接收举报信息后，进行初步评估， 公司郑重承诺并实施以下保护措施，确保举报安全：
判断其性质及是否需要启动调查。
严格保密：举报人身份及举报信息将严格控制在最
专用举报与咨询邮箱： 调查实施： 小知悉范围内，仅限于必要参与调查的人员。未经
ethics@amecnsh.com 公司领导小组授权，任何人不得泄露相关信息。
对于需调查的事项，由道德与合规团队会同内审部门进行调查。
直接联系道德与合规团队 对于重大或复杂的违规违法事件，将上报公司领导小组，由其决 严禁报复：公司绝不容忍任何针对善意举报人、表
定是否成立跨部门（法务与合规部、内审部门及其他相关部门） 达疑虑或提出疑问人员的报复行为。保护举报人是
员工及其他相关方可通过以上渠道， 专项工作小组展开深入调查。所有相关员工须全面配合调查。 公司的明确政策。
就公司政策、法律法规遵循情况及任
处理与改进：调查结束后，根据调查结果采取相应纪律处分或法 违规追责：对违反保密规定或实施报复行为的人员，
何实际或疑似的违规行为进行举报、
律措施，并同步完善相关管理制度。在适当范围内，将调查结果 公司将依据规定给予纪律处分，追究其法律责任，
提出疑虑或寻求澄清与指引。
与处理情况反馈给举报人。 并可能终止其雇佣或合作关系。
内审监督
秉持“安全、提效、挽损、合规”的理念，中微公司内审部门构建完善的内审监督体系，保障重大基建项目落地，聚焦重点业务，提升运营效率，健全公司制度，提升合规性。
管控职能的落实。同时，依据《企业内部控制基本规范》及配套指引等规定，并遵循上市公司监管披露要求，内审部门结合公司内部控制制度及评价方法，在开展日常监督与专项
监督的基础上，对集团 2025 年度的内部控制执行情况进行了系统评估，并形成了《2025 年度内部控制评价报告》。
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夯实风险管控
中微公司持续健全风险管控体系，优化风险管理流程，加强商业道德风险管理。通过组建专业团队、制定专项制度，系统性地规范商业道德管理，为公司健康、稳健发展提供坚
实保障。
风险管理体系 进出口合规管理
中微公司持续深化内部风险管控体系建设，在已建立的风险管理三道防线机制基础之上，进一步新增、修订、细化内 中微公司积极协助客户进行许可证申请、追踪、回复与
部风险管理制度文件，不断提升风险管理水平。 管理，并对客户进行尽职调查，确保其符合进出口管制
政策的要求。通过定期与主管及政府部门交流，及时掌
握政策动态，评估进出口管制政策影响，制定应对策略，
完善 新增、修订、细化风险管理制度文件，包含纲领性审计章程、事务性工程
保障公司业务合规且连续。
风控制度 项目管理制度、工程审批授权等文件
公司积极推进实施内部控制自我评价机制，通过引导各部门落实完成内控
外部风险应对
强化
风险意识 自评、问题自查自纠、长效防控机制，以强化各业务部门风险控制意识 在全球化背景下，企业面临的外部风险日益复杂多样，
尤其是地缘政治风险和法律合规风险可能对企业的声誉
和运营产生重大影响。中微公司始终高度重视外部风险
结合上市公司内控发展要求，持续更新合同管理、工程、存货等重要模块
更新 的应对工作，我们深知，只有积极应对外部挑战，才能
的内控管理手册。从风险管理角度，完善及更新相关内控流程，持续提升
内控手册 维护企业合法权益，确保业务的稳定发展。
内控措施对业务模块的可行性
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附录
附录一：责任绩效
经济绩效
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
资产总额 亿元 298.46 262.18 215.26
营业收入 亿元 123.85 90.65 62.64
归母扣非净利润 亿元 15.5 13.88 11.91
归母净利润 亿元 21.11 16.16 17.86
支付的各项税费 亿元 5.45 2.53 3.03
环境绩效
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
应对气候变化13
温室气体排放量（范围一） 吨二氧化碳当量 5,623.86 - -
温室气体排放量（范围二）基于位置 吨二氧化碳当量 45,566.20 - -
温室气体排放量（范围二）基于市场 吨二氧化碳当量 28,804.08 - -
温室气体排放量（范围一和范围二）计算主要参考 ISO 14064-1:2018 及《电子设备制造企业温室气体排放核算方法与报告指南（试行）》。温室气体排放量（范围三）计算主要参考《温室气体核算体系：
企业核算与报告标准》（GHG Protocol），2025 年中微公司核算了 4 个类别的排放量，包括类别 3（燃料与能源活动）、类别 5（运营中产生的废弃物）类别 7（雇员通勤）和类别 9（下游运输和配送）。
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指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
温室气体排放总量（范围一和范围二）基于市场14 吨二氧化碳当量 34,427.94 31,621.00 29,452.13
温室气体排放量（范围三） 吨二氧化碳当量 15,840.31 5,817.19 -
温室气体排放量（范围三）——类别3燃料与能源活动 吨二氧化碳当量 6,834.06 - -
温室气体排放量（范围三）——类别5运营中产生的废弃物 吨二氧化碳当量 1,029.92 - -
温室气体排放量（范围三）——类别7雇员通勤 吨二氧化碳当量 7,949.04 5,775.89 -
温室气体排放量（范围三）——类别9下游运输和配送 吨二氧化碳当量 27.29 41.30 -
单位营业收入温室气体排放量 （范围一和范围二） 吨二氧化碳当量/百万元 2.78 3.49 4.71
人均温室气体排放量 （范围一和范围二） 吨二氧化碳当量/人 12.82 12.75 17.10
能源利用
总能源消耗 兆瓦时 104,612 74,127 50,263
天然气 立方米 524,318 290,315 140,501
液化石油气 吨 4.96 23.48 23.49
汽油 吨 19.09 33.48 13.58
柴油 吨 16.76 18.93 21.59
电能消耗 兆瓦时 98,953 70,608 48,456
可再生电力消耗 兆瓦时 41,872 16,757 -
太阳能发电15 兆瓦时 24,750 - -
风力发电 兆瓦时 17,122 - -
可再生电力消耗占电能消耗比例 % 42.32 23.73 -
可再生电力消耗占总能源消耗比例 % 40.03 22.61 -
温室气体排放量（范围一和范围二）统计范围涵盖了中微全球范围内运营场所。
太阳能发电包含自有分布式光伏自发自用部分以及电力市场化交易中的光伏部分。
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指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
单位营业收入能源消耗16 兆瓦时 / 百万元 8.45 8.18 8.03
人均能源消耗 兆瓦时 / 人 38.95 29.89 29.19
水资源利用
取水量 吨 624,336 - -
常规水源（新鲜用水） 吨 553,694 - -
非常规水源 吨 70,642 - -
非常规水源——雨水集蓄 吨 11,797 - -
非常规水源——循环用水 吨 58,845 - -
单位研发投入新鲜用水量17 吨/百万元 147.89 - -
工业废水回用率 % 16.05 - -
污染物排放
大气污染物
颗粒物（PM） 吨 0.53 - -
硫氧化物（SOX） 吨 0.01 - -
-3
氮氧化物（NOX） 吨 2.50*10 - -
挥发性有机物（VOCs） 吨 0.05 - -
水污染物
工业废水排放量 吨 366,579 - -
生活废水排放量 吨 102,023 - -
化学需氧量（COD） 吨 12.43 - -
中微公司能源消耗持续增加主要是因为研发规模持续扩大。
中微公司新鲜水用量主要用于研发过程中。
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
生化需氧量（BOD） 吨 5.29 - -
氨氮（NH3- N） 吨 2.54 - -
总氮（TN） 吨 7.77 - -
总磷（TP） 吨 0.36 - -
单位研发投入工业废水排放量 吨/百万元 97.91 - -
废弃物处理
产生的有害废弃物的总量 吨 28.59 - -
产生的无害废弃物的总量 吨 2,386.49 - -
每百万营收产生的有害废弃物总量 吨/百万元 0.0023 - -
每百万营收产生的无害废弃物总量 吨/百万元 0.19 - -
循环经济
废弃物循环利用量 吨 2,248.05 - -
每百万营收废弃物循环利用量 吨/百万元 0.18 - -
循环利用的废弃物占比 % 93.08 - -
环保投入
环保投入金额 万元 1,554.11 - -
社会绩效
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
员工聘用
员工总数（年末在职人数） 人 2,963 2,480 1,722
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
少数民族员工 人 78 50 29
新入职员工 人 641 869 461
总员工流失率 % 5.65 7.69 6.41
高级经理及以上女性员工占比 % 16.52 - -
按性别划分
女员工占比 % 17.55 17.70 19.51
男员工占比 % 82.45 82.30 80.49
按年龄划分
研究生占比
硕士研究生及以上员工占比 % 43.20 38.35 35.37
职业健康与安全
发生安全事故数量 起 0 0 0
重大及以上事故数 起 0 0 0
工伤人数 人 1 12 1
百万工时伤害率 - 0.15 0.80 0.25
职业健康与安全培训时长 小时 32,298 35,119 17,121
职业健康与安全培训人次 人次 28,424 26,048 13,084
工伤保险投入金额 万元 207.20 112.59 67.49
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
工伤保险人员覆盖率18 % 100 100 100
因工亡故员工人数 人 0 0 0
因工伤损失工作日数 天 16 404 5
-3
每百万营收因工伤损失工作日数 天/百万营收 1.29*10 - -
职业病发生人数 人 0 0 0
OSHA 可记录伤害事故数 起 1 5 1
OSHA 可记录伤害事故率 (TRIR) - 0.03 0.16 0.05
工伤率 % 0.04 0.60 0.07
安全生产投入 万元 1,264.31 - -
安全生产投入占营业收入比例 % 0.10 - -
员工培训
年度培训支出金额 万元 315.41 285.82 150.25
每百万营收员工培训投入 元 254.67 315.3 239.86
员工培训覆盖率 % 100 100 100
员工参与培训人次 人次 65,362 32,939 22,016
员工参与培训总时长 小时 131,463 103,390 57,268
员工人均培训小时数 小时 48.94 41.70 33.20
按培训类型划分
专业类培训占比 % 65 61 55
通用类培训占比 % 23 24 29
限中国籍员工。
OSHA 即 Occupational Safety and Health Administration，美国职业安全与健康管理局。
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
管理类培训占比 % 12 15 16
供应商
中国大陆地区 % 87 83 76
亚太地区（除中国大陆） % 10 14 18
欧美地区 % 3 3 5
知识产权
专利总申请数 件 3,324 2,910 2,551
有效专利总数 件 2,047 1,781 -
软件著作权总数 件 33 28 -
每百万营收有效专利数 个/百万营收 0.17 0.20 -
-3 -3
每百万营收软件著作数量 个/百万营收 2.66*10 3.09*10 -
创新驱动
研发投入金额 亿元 37.44 24.52 12.62
研发投入金额占主营业务收入比例 % 30.23 27.05 20.15
研发人员总数 人 1,548 1,190 788
研发人员占比 % 52.24 47.98 45.76
产品和服务安全与质量
产品和服务相关的安全与质量重大责任事故损害涉及的金额 元 0 0 0
报告期内发生的数据安全事件涉及的金额 元 0 0 0
社会贡献
定向帮扶特困老人家庭数量 户 130 130 130
“关爱特困老人公益项目”投入金额 万元 183.96 207.90 185.90
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
指标 单位 2025 年 2024 年 2023 年
儿童救助数量 人 23 - -
“关注儿童健康公益项目”投入金额 万元 290 - -
员工志愿者服务时长 小时 1,038 200 -
商业行为
商业贿赂或贪污行为的诉讼案件 件 0 0 0
因公司不正当竞争行为导致的诉讼或重大行政处罚 件 0 0 0
报告期内因公司不正当竞争行为导致诉讼或重大行政处罚涉
元 0 0 0
案金额
创新产品 守护绿色 打造可持 以人为本 共建共享 筑牢创新 夯实公司
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
附录二：上交所《上市公司自律监管指引第 14 号——可持续发展报告（试行）》索引
披露内容 位置
应对气候变化 落实气候治理行动
污染物排放 守护自然生态环境
废弃物处理 守护自然生态环境
生态系统和生物多样性保护 守护自然生态环境
环境合规管理 守护自然生态环境
能源利用 推进能源高效利用
水资源利用 守护自然生态环境
循环经济 守护自然生态环境
乡村振兴 不涉及
社会贡献 共建共享和谐社会
创新驱动 支持创新驱动/产品创新突破
科技伦理 支持创新驱动/产品创新突破
供应链安全 打造可持续供应链
平等对待中小企业 强化公司治理
产品和服务安全与质量 优化客户服务/保障产品安全/强化质量管控
数据安全与客户隐私保护 保护信息安全
员工 以人为本共创未来
尽职调查 打造可持续供应链/夯实风险管控
利益相关方沟通 议题重要性分析
反商业贿赂及反贪污 商业道德
反不正当竞争 商业道德
按公司双重重要性评估，结合公司所处行业属性、业务范围、利益相关方诉求等因素，乡村振兴暂未被识别为重要性议题。
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附录三：全球报告倡议组织 GRI 索引
GRI 标准 披露项 位置
GRI 2 一般披露2021
组织及其报告做法
活动和工作者
管治
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GRI 标准 披露项 位置
战略、政策和实践
利益相关方参与
GRI 3 实质性议题2021
GRI 201 经济绩效2016
GRI 202 市场表现2016
GRI 203 间接经济影响2016
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开篇 附录
造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
GRI 标准 披露项 位置
GRI 204 采购实践2016
GRI 205 反腐败2016
GRI 206 反竞争行为2016
GRI 207 税务2019
GRI 301 物料2016
GRI 302 能源2016
GRI 303 水资源和污水2018
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开篇 附录
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GRI 标准 披露项 位置
GRI 304 生物多样性2016
组织在位于或邻近保护区和保护区外的生物多样性丰富区域拥
有、租赁、管理的运营点
受运营影响的栖息地中已被列入世界自然保护联盟（IUC)红色名
录及国家保护名册的物种
GRI 305 排放2016
GRI 306 废弃物2020
GRI 308 供应商环境评估2016
GRI 401 雇佣2016
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GRI 标准 披露项 位置
GRI 402 劳资关系2016
GRI 403 职业健康与安全2018
GRI 404 培训与教育2016
GRI 405 多元化与平等机会2016
GRI 406 反歧视2016
GRI 407 结社自由与集体谈判2016
GRI 408 童工2016
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GRI 标准 披露项 位置
GRI 409 强迫或强制劳动2016
GRI 410 安保实践2016
GRI 411 原住民权利2016
GRI 413 当地社区2016
GRI 414 供应商社会评估2016
GRI 415 公共政策2016
GRI 416 客户健康与安全2016
GRI 417 营销与标识2016
GRI 418 客户隐私2016
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造福社会 生态家园 续供应链 共创未来 和谐社会 发展根基 全面治理
附录四：读者反馈表
敬爱的读者： 3. 您对中微公司在环境方面履行社会责任的评价：
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感谢您阅读《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2025 年环境、社会及公司治 4. 您对中微公司在社会方面履行社会责任的评价：
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提出宝贵的意见及建议，并选择以下任意方式将评价反馈给我们。
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电话：+ 86-21-6100 1199
□否 □一般 □是
传真：+ 86-21-6100 2205
“
□否 □一般 □是
□行业协会 □供应商 □股东 □客户 □员工 □政府 □其他 8. 您对改善和提高中微公司践行 ESG 理念和本报告的其他意见和建议：
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