证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-014
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
关于公司 2025 年度募集资金存放、管理与实际使用
情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第
市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有
限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对 2025 年度募集资金存放与
使用情况的专项报告说明如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到账时间
根据中国证券监督管理委员会于 2023 年 3 月 15 日出具的《关于同意合肥芯
碁 微 电 子装备 股 份有限 公司 向特 定对 象发行 股票注册的批 复》（证监 许可
[2023]563 号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行
相关发行费用（不含税）人民币 8,322,726.38 元，募集资金净额为人民币
开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进
行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字
[2023]230Z0198 号）。
（二）本年度使用金额及年末余额
截至 2025 年 12 月 31 日，募集资金存放银行产生利息净额共计人民币
金 金 额 为 人 民 币 161,230,794.92 元 ， 进 行 现 金 管 理 余 额 为 人 民 币
下表：
募集资金基本情况表
单位：万元 币种：人民币
发行名称 2022 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2023 年 7 月 25 日
本次报告期 2025 年 1 月 1 日至 2025 年 12 月 31 日
项目 金额
一、募集资金总额 79,768.56
其中：超募资金金额 不适用
减：直接支付发行费用 832.27
二、募集资金净额 78,936.29
减：
以前年度已使用金额 37,821.40
本年度使用金额 16,123.08
暂时补流金额 0
现金管理金额 22,000.00
加：
利息收入及理财收益扣除银行手续费
的净额
三、报告期期末募集资金余额 4,773.45
二、募集资金管理情况
（一）募集资金管理情况
为规范募集资金的管理和使用，提高募集资金使用效益，根据《上市公司监
管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易
所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，
切实保护投资者利益，公司根据实际情况，制定了《合肥芯碁微电子装备股份有
限公司募集资金管理制度》。根据该制度，公司对募集资金实行专户存储，对募
集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，保证了募集资金的
规范使用。
（二）募集资金三方监管协议情况
经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，
审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行A股股票募集资金专用账户
的议案》。为规范公司募集资金管理， 保护投资者权益，提高募集资金使用效
率，根据《上市公司监管指引 第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管
要求（2022 修订）》、 《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号—
—规范运作》 及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份
有限 公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥分行、
中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司合肥分行签署了
《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专
户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。
（三）募集资金专户存储情况
截至2025年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：
募集资金存储情况表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2022 年度向特定对象发行股票
募集资金到账时间 2023 年 7 月 25 日
账户名称 开户银行 银行账号 报告期末余额 账户状态
合肥芯碁微电子装备
招商银行合肥分行营业部 551906776410802 5,944,397.06 使用中
股份有限公司
合肥芯碁微电子装备 徽商银行股份有限公司安徽
股份有限公司 自贸试验区合肥片区支行
合肥芯碁微电子装备 中信银行股份有限公司合肥
股份有限公司 分行营业部
合肥芯碁微电子装备 中国光大银行合肥长江西路
股份有限公司 支行
合计 / / 47,734,472.33
三、2025年年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目的资金使用情况
报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表 2025 年年度募集资金使用
情况对照表。募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法
单独核算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
报告期内公司不涉及对预先投入募投项目自筹资金置换的情形。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司不存在闲置募集资金暂时补充流动资金的情
形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理
的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以
及公司正常业务开展的前提下， 使用不超过人民币 40,000 万元（含本数）的暂
时闲置募集资金和不超过 30,000 万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金
管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协
定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述 额度范围内，
资金可以滚动使用，使用期限不超过股东会审议通过 之日起 12 个月。
截至 2025 年 12 月 31 日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：
单位：人民币元
实际投
序号 受托方 产品类型 批准投资金额 投资期限 期末余额 利息金额
入金额
.3.29
.8.28
.8.29
.5.20
.8.29
.8.29
.1.13
.2.9
.3.24
.5.12
.6.15
.3.23
合计 810,000,000.00 810,000,000.00 220,000,000.00 7,897,100.25
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
截至 2025 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
因募投项目均尚未实施完毕，报告期内，公司不存在使用节余募集资金的情
形。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
（一）变更募集资金投资项目情况
报告期内公司募集资金投资项目未发生变更。
（二）募集资金投资项目对外转让或置换情况
报告期内公司募集资金投资项目不存在对外转让或置换的情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已按《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第 2
号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市
公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《管理办法》等相关规定及时、真实、
准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理
违规的情况。
六、会计师事务所对公司2025年度募集资金存放与使 用情况出
具的鉴证报告的结论性意见
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：公司《2025 年度募集资金存放
与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照《上市公司监管指引第 2 号— —
上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映
了公司 2025 年度募集资金实际存放与使用情况。
七、保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况所出具
的专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为：公司 2025 年度募集资金的存放与使用符合《证券
发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资
金管理和使用的监管要求》、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》、
《上海证券
交易所科创板上市公司自律监 管指引第 1 号——规范运作》等相关规定及公司
募集资金管理制度， 对募集资金进行了专户存储和使用，截至 2025 年 12 月 31
日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用
募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法 律法规的情
形。保荐机构对公司 2025 年度募集资金存放与使用情况无异议。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
附表 1：
募集资金使用情况对照表
单位：元 币种：人民币
发行名称 2022 年度向特定对象发行股票
募集资金到账日期 2023 年 7 月 25 日
募集资金总额 789,362,921.17 本年度投入募集资金总额 161,230,794.92
变更用途的募集资金总额 不适用
已累计投入募集资金总额 539,444,803.09
变更用途的募集资金总额比例（%） 不适用
项
目
可
是
项 目 行
截至期末 否
已 变 更 达 到 性
累计投入 截至期末 达
项目，含 截至期末承 截至期末 预 定 是
募集资金承 调整后投资 本年度投 金额与承 投入进度 本年度实现的 到
承诺投资项目 部 分 变 诺投入金额 累计投入 可 使 否
诺投资额 总额 入金额 诺投入金 （%） 效益 预
更 （ 如 ① 金额② 用 状 发
额的差额 ④=②/① 计
有） 态 日 生
③=②-① 效
期 重
益
大
变
化
直写光刻设备 265,980,00 257,657,27 257,657,27 19,295,77 135,344, -122,312 2026 直写光刻设备 不
无 52.53% 否
产业应用拓展 0.00 3.62 3.62 9.54 841.28 ,432.34 年7 在新型显示、 适
深化项目 月 PCB 阻焊层、 用
引线框架等领
域不断深化应
用，在 NEX 系
列产品年产量
百余台，NEX30
等多款机型正
处于转量产阶
段。新型显示
和引线框架方
面，产品已在
客户端完成多
台验收。
持 续 对 IC 载
板、类载板直
写光刻设备进
行研发投入，
IC 载板、类载 2026 不
板直写光刻设 无 年7 适 否
备产业化项目 月 用
析，多款设备
正在向量产阶
段过渡。
关键子系统、 2026 各子系统、核 不
核心零部件自 无 55.26% 年7 心零部件自主 适 否
主研发项目 月 研发项目均正 用
常推进，基于
深度学习算法
的智能化直写
光刻系统开发
在客户端运行
良好；超大幅
面高解析度曝
光引擎研发项
目已基本完
成，实现超大
幅面下高解析
高速曝光；高
精度动态环控
系统研发完
成，完成多机
型上机测试，
实现目标设备
集成与稳定运
行；先进激光
光源研发项目
成果已应用多
款机型，提升
了紫外激光器
国产化率，逐
步实现自主可
控。
补充流动资金 204,148,14 204,148,14 204,148,14 90,060,21 194,487, -9,660,1
无 95.27% 年7 不适用 适 否
项目 7.55 7.55 7.55 7.14 955.14 92.41
月 用
合计 - - - - -
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 不适用
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为 22,000.00 万元。具体详见本报告“三、2025
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
年年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
募集资金其他使用情况 不适用
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