中信证券股份有限公司
关于江苏微导纳米科技股份有限公司
中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为正在对
江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”“公司”）进行持续督
导工作的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科
创板股票上市规则》等相关规定，中信证券履行持续督导职责，并出具本持续督
导半年度跟踪报告。
一、持续督导工作概述
检查的工作要求。
权利义务，并报上海证券交易所备案。
导职责，具体内容包括：
（1）查阅公司章程、三会议事规则等公司治理制度、三会会议材料；
（2）查阅公司财务管理、会计核算和内部审计等内部控制制度；
（3）查阅公司与控股股东及其关联方的资金往来明细及相关内部审议文件、
信息披露文件；
（4）查阅公司募集资金管理相关制度、募集资金使用信息披露文件和决策
程序文件、募集资金专户银行对账单、募集资金使用明细账；
（5）对公司高级管理人员进行访谈；
（6）对公司及其控股股东、董事、监事、高级管理人员进行公开信息查询；
（7）查询公司公告的各项承诺并核查承诺履行情况；
（8）通过公开网络检索、舆情监控等方式关注与发行人相关的媒体报道情
况。
二、保荐人和保荐代表人发现的问题及整改情况
基于前述保荐人开展的持续督导工作，本持续督导期间，保荐人和保荐代表
人未发现公司存在重大问题。
三、重大风险事项
本持续督导期间，公司主要的风险事项如下：
（一）核心竞争力风险
随着技术和应用领域的不断发展，下游客户对薄膜沉积设备工艺路线、材料
类型、技术指标等要求也不断变化，因此会对产品提出新的要求。公司紧跟行业
技术发展趋势为客户提供具有技术优势的高附加值产品及应用解决方案。但若公
司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，或者技术创新产品不
能契合客户需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要，从而对公
司的经营业绩造成不利影响。
（二）经营风险
公司薄膜沉积设备主要应用于半导体晶圆、光伏电池片的生产环节，客户对
公司新产品的验证要求较高、验证周期较长，新产品存在验证进度不及预期的风
险。
客户采购存在非均匀、非连续等特征，这导致公司各季度间的订单签订金额
存在较大波动。此外，受产品开发和生产周期、下游市场环境、客户经营状况等
因素影响，公司各订单从合同签订、发货到最终验收的周期也存在较大差异，从
而使得公司各季度的营业收入波动较大。而与此同时，公司的期间费用支出有较
强刚性。由此导致了公司各季度经营业绩存在波动，甚至可能出现单个季度亏损
的风险。
公司设备类产品在手订单较多，若在公司订单执行过程中，受到国内行业行
情加剧下行、客户需求发生变化等不可预计或不可抗力等因素的影响，有可能会
导致部分订单无法履行或终止的风险。
（三）财务风险
公司存货账面余额较高，主要是由于公司发出商品的验收周期相对较长导
致。公司已按照会计政策的要求并结合存货的实际状况计提了存货跌价准备，但
仍不能排除市场环境发生变化，或其他难以预计的原因，导致存货无法顺利实现
销售，或者存货价格出现大幅下跌的情况，使得公司面临存货跌价风险。
报告期内，随着公司业务规模及营业收入的快速增长，应收账款和合同资产
也大幅增加。随着公司业务规模的扩大，公司的客户数量逐步增加，应收账款和
合同资产的金额及占比可能会进一步增加。如果出现下游行业波动、客户自身财
务状况恶化等因素导致应收账款和合同资产不能按期回收，并导致需要计提较大
金额的坏账准备或无法回收发生坏账的情况，将对公司经营业绩、经营性现金流
等产生不利影响。
（四）行业风险
公司主营业务为先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与销售，向
下游客户提供尖端薄膜沉积设备、配套产品及服务，主要应用于半导体领域、光
伏领域及其他新兴领域，公司的经营状况与下游行业的发展密切相关。在半导体
领域，如果由于国际政治和经济形势引起的对尖端技术的封锁或者由于下游行业
的周期性波动等，导致半导体行业固定资产投资及对设备需求的下降，将会影响
公司经营业绩；在光伏领域，未来如果光伏行业政策变化等因素导致行业景气度
下降或者产能严重过剩，进而影响下游企业对公司产品的需求，也可能对公司的
经营业绩产生不利影响。
近年来，ALD、CVD 技术因其良好的市场空间和丰富的应用场景受到关注，
在巨大发展潜力的吸引下，国内竞争者开始出现，市场竞争趋于激烈。未来随着
国内竞争企业的增加，可能压缩公司的利润空间，并导致公司市场份额下滑，进
而对公司生产经营产生不利影响。
（五）宏观环境风险
全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦对全球经济发展和世界政经格局
造成重大冲击，如果由于上述因素可能出现上述国外供应商受相关政策影响减少
或者停止对公司零部件的供应，或者由于国产替代的元器件无法达到境外相关产
品的质量和技术标准，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，进而
对公司的经营产生不利影响。
（六）知识产权争议风险
公司薄膜沉积专用设备目前主要应用于光伏及半导体集成电路领域。半导体
集成电路专用设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力，
防止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利、实
施商业秘密保护等方式设置较高的进入壁垒。未来随着公司业务的发展，一方面
存在竞争对手主张公司侵犯其知识产权权利或申请公司专利无效的情形，另一方
面也存在公司的知识产权被侵权的可能。上述原因均可能导致公司产生知识产权
纠纷，对公司的正常经营活动产生不利影响。
四、重大违规事项
五、主要财务指标的变动原因及合理性
单位：万元
本期比上年同期
主要会计数据 本报告期 上年同期
增减（%）
营业收入 104,994.82 78,697.58 33.42
利润总额 20,323.07 3,181.47 538.79
归属于上市公司股东的净利润 19,236.06 4,284.72 348.95
归属于上市公司股东的扣除非经常
性损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额 -18,170.27 -79,509.08 不适用
本期末比上年同期末
主要会计数据 本报告期末 上年度末
增减（%）
归属于上市公司股东的净资产 281,972.72 259,538.86 8.64
总资产 835,676.01 826,113.35 1.16
本期比上年同期
主要财务指标 本报告期 上年同期
增减（%）
基本每股收益（元／股） 0.42 0.09 366.67
稀释每股收益（元／股） 0.42 0.09 366.67
扣除非经常性损益后的基本每股收
益（元／股）
加权平均净资产收益率（%） 7.11 1.77 增加 5.34 个百分点
扣除非经常性损益后的加权平均净
资产收益率（%）
研发投入占营业收入的比例（%） 14.59 29.15 减少 14.56 个百分点
系报告期内公司光伏和半导体领域内的产品工艺覆盖度和技术水平的持续提升，
获得客户验收的设备数量增长，前期在手订单陆续实现收入转化所致。其中，光
伏设备收入同比增长 31.53%，半导体设备收入同比增长 27.17%。
上升 348.95%。报告期内公司营业收入及营业毛利同比增长，同时公司期间费用
降低，政府补助增加，导致净利润大幅提升。2025 年 1-6 月，公司归属于上市公
司股东的扣除非经常性损益的净利润为 13,636.47 万元。
年同期收窄，主要系报告期公司原材料备货充足，购买商品、接受劳务支付的现
金减少。
六、核心竞争力的变化情况
（一）公司的核心竞争力
公司以 ALD 技术为核心，专注于 ALD、CVD 等薄膜沉积工艺技术研发和
应用场景拓展。ALD 工艺可以在 100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级（1 个
纳米约为 10 个原子）的薄膜厚度。随着制程技术节点的不断进步，ALD 工艺优
异的沉积均匀性和一致性使得其在微纳电子学和纳米材料等领域具有广泛的应
用潜力。
此外，ALD 技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，在柔性电子等新
型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景。
上述任一领域的应用前景均体现了 ALD 的技术特点及优势，为公司的后续发展
提供了广阔市场空间。
公司创始团队、核心管理人员拥有丰富的国内外顶级半导体设备公司研发和
运营管理经验，并积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领
域工程师，形成了跨专业、多层次的人才梯队。公司的研发技术团队结构合理，
专业知识储备深厚，工艺开发、产线验证经验丰富，是奠定公司技术实力的基石。
同时，公司已建立的产业化应用中心以现有技术为基础，围绕国产化替代的
战略需求，结合行业内最前沿的技术发展趋势和市场需求，针对先进技术和工艺
性能，搭建了研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目发展孵化器。产
业化应用中心使公司具有前瞻应用定制化能力，可为客户提供全场景 Demo 设备
线，从而能够及时响应客户的各类需求，为客户提供全方位的解决方案。
公司坚持自主研发，已形成先进半导体器件薄膜加工技术、薄膜沉积反应器
设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等十一项
核心技术，上述核心技术成功应用于公司各类产品。公司 iTomic HiK 系列半导
体 ALD 设备和 KF 系列光伏 ALD 设备均被评为江苏省首台（套）重大装备产品，
半导体领域设备成为国产首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型
High-k 原子层沉积设备，其他产品也已在半导体及泛半导体领域经过量产验证，
并获得重复订单。
公司的设备产品覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场，半导
体领域公司以 ALD 为核心正逐步拓展 CVD 等多种薄膜沉积技术和产品，光伏
领域公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开
发，同时依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的
发展机会。多领域、多品类产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公司业
绩带来的影响，同时不断拓宽公司市场规模和成长空间。
在半导体领域内，公司率先攻克难度较高的逻辑电路栅氧层等工艺并获得了
客户的重复订单，为公司向全工艺段覆盖奠定客户基础。公司先后获得逻辑、存
储、先进封装、化合物半导体和新型显示领域内多家国内知名半导体公司的商业
订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术
验证等工作。光伏领域已覆盖包括通威、隆基、晶澳、晶科、阿特斯、天合光能
等在内的多家知名太阳能电池片生产商。
公司主要产品为非标准化产品，通过将基础研发与行业应用紧密结合，以下
游企业的实际需求为研发导向，为客户定制化开发可量产的工艺及设备。公司技
术服务体系健全，为客户提供及时的驻厂技术服务支持，及时到达现场排查故障、
解决问题，保证快速响应客户的需求，缩短新产品导入的工艺磨合时间。
（二）核心竞争力变化情况
本持续督导期间，保荐人通过查阅同行业上市公司及市场信息，查阅公司招
股说明书、定期报告及其他信息披露文件，对公司高级管理人员进行访谈等，未
发现公司的核心竞争力发生重大不利变化。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出变化
单位：万元
项目 本报告期 上年同期 变化幅度（%）
费用化研发投入 13,270.37 12,076.64 9.88
资本化研发投入 2,046.85 10,867.61 -81.17
研发投入合计 15,317.22 22,944.25 -33.24
研发投入总额占营业收入比例（%） 14.59 29.15 减少 14.56 个百分点
研发投入资本化的比重（%） 13.36 47.37 减少 34.01 个百分点
本持续督导期间公司研发投入同比有所下降，主要系公司部分研发项目已于
前期实现产业化应用，逐步结项，导致研发投入阶段性同比下降。
（二）研发进展
本持续督导期间，公司新增各类型国家专利授权共计 40 项，累计授权专利
数达到 218 项；新增申请专利共计 98 项，累计申请专利数达到 710 项。
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致
本持续督导期间，保荐人通过查阅公司招股说明书、定期报告及其他信息披
露文件，对公司高级管理人员进行访谈，基于前述核查程序，保荐人未发现公司
存在新增业务。
九、募集资金的使用情况及是否合规
本持续督导期间，保荐人查阅了公司募集资金管理使用制度、募集资金专户
银行对账单和募集资金使用明细账，并对大额募集资金支付进行凭证抽查，查阅
募集资金使用信息披露文件和决策程序文件，实地查看募集资金投资项目现场，
了解项目建设进度及资金使用进度，对公司高级管理人员进行访谈。
基于前述核查程序，保荐人认为：公司有效执行了《募集资金专户存储三方
监管协议》
《证券发行上市保荐业务管理办法》
《上海证券交易所科创板股票上市
《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》
规则》 《上
市公司募集资金监管规则》等法律法规和规范性文件的规定，保荐人按照上述法
律法规及规范性文件的要求，本持续督导期间督促公司对募集资金的使用予以规
范，后续也将持续督促发行人提高对募集资金使用的规范性。
十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、冻结
及减持情况
公司的控股股东为西藏万海盈创业投资合伙企业（有限合伙），控股股东对
公司的持股比例及表决权比例为 50.43%。王燕清、倪亚兰、王磊通过西藏万海
盈创业投资合伙企业（有限合伙）、无锡聚海盈管理咨询合伙企业（有限合伙）、
无锡德厚盈投资合伙企业（有限合伙）间接控制公司股份。王燕清、倪亚兰、王
磊系公司的实际控制人。本持续督导期间实控人不存在减持、质押、冻结的情况。
截至 2025 年 6 月 30 日，公司董事、监事、高级管理人员的直接持股及变动
情况如下：
单位：股
报告期内股份
姓名 职务 期初持股数 期末持股数 增减变动原因
增减变动量
ZHOU
总经理 757,420 1,514,840 757,420 限制性股票归属
REN
龙文 董事会秘书 43,100 86,200 43,100 限制性股票归属
俞潇莹 财务负责人 28,725 57,450 28,725 限制性股票归属
核心技术人 限制性股票归属、
吴兴华 14,505 23,410 8,905
员 二级市场买卖
核心技术人
许所昌 11,500 23,000 11,500 限制性股票归属
员
本持续督导期间，公司董事、监事、高级管理人员不存在质押、冻结及减持
情况。
十一、保荐人认为应当发表意见的其他事项
本持续督导期间，保荐人未发现应当发表意见的其他事项。
（以下无正文）
（本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于江苏微导纳米科技股份有限公司
保荐代表人：
于军杰 代亚西
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