证券代码:688120 证券简称:华海清科 公告编号:2024-041
华海清科股份有限公司
关于“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项
目荣获 2023 年度国家技术发明奖一等奖的自愿性披
露公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏,并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
近日,华海清科股份有限公司(以下简称“公司”)和清华大学共同完成的
“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获 2023 年度国家技术发明奖
一等奖,公司董事长、首席科学家路新春先生作为项目第一完成人获得 2023 年
度国家技术发明奖一等奖证书。
化学机械抛光(CMP)是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需
的关键制程工艺,公司以清华大学科技成果转化的 CMP 技术成果为基础,进行
CMP 装备产业化应用的核心技术研发,率先推出国内首台拥有自主知识产权 12
英寸 CMP 装备,实现了国内市场 CMP 装备领域的国产替代。公司持续加大自主研
发力度,推出多款 CMP 商业化机型,并依托稳定的性能和良好的售后服务优势,
批量进入行业知名芯片制造企业,国内市场占有率达到较高水平。
国家技术发明奖是我国在科学技术领域的最高奖项之一。本次获奖,即是对
公司核心研发团队在 CMP 领域技术创新成果的充分肯定,也是对公司长期推动
CMP 装备国产化的高度褒奖。
本次获奖对公司近期业绩暂无重大影响,敬请广大投资者注意投资风险。
特此公告
华海清科股份有限公司
董 事 会