中微半导体设备(上海)股份有限公司
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者
重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
一 募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文
《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司首次公开发行股票注册的批
复》，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准向境内投资者
首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款
以人民币缴足，计人民币1,551,635,358.24元，扣除承销及保荐费用共计人民币
行中介及其他发行费用人民币合计18,104,149.00元后，实际募集资金净额为人民
币1,445,702,792.76元(以下简称“募集资金A”)，上述资金于2019年7月16日到
位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道
中天验字(2019)第0411号验资报告。
根据中国证券监督管理委员会于2021年3月5日签发的证监许可[2021]645号文
《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票注册的批
复》，本公司获准向特定对象发行不超过80,229,335股人民币普通股A股股票，
每 股 发 行 价 格 为 人 民 币 102.29 元 ， 股 款 以 人 民 币 缴 足 ， 计 人 民 币
税)后，实际收到募集资金计人民币8,124,592,090.38元，再扣除发行中介及其他
发行费用人民币合计6,429,649.24元(不含增值税)后，实际募集资金净额为人民币
位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道
中天验字(2021)第0638号验资报告。
截至2023年12月31日，本公司本年度未使用募集资金A，累计已使用募集资金A
金额为人民币1,024,138,878.24元，累计收到募集资金A利息收入扣减手续费净额
为人民币80,458,413.61元，募投项目节余资金转出用于永久补充流动资金为人民
币44,250,636.04元，募集资金A余额为人民币475,875,841.09元，其中用于现金
管理金额为人民币450,000,000.00元。
截 至 2023 年 12 月 31 日 ， 本 公 司 本 年 度 使 用 募 集 资 金 B 金 额 为 人 民 币
累计收到募集资金B利息收入扣减手续费净额为人民币272,971,911.30元，募集
资 金 B 余 额 为 人 民 币5,798,440,958.47 元 ，其 中 用 于现 金 管理 金额 为 人 民 币
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一 募集资金基本情况(续)
截至2023年12月31日，本公司募集资金A专户余额为人民币25,875,841.09元(含
募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下：
单位：人民币元
项目 金额
募集资金A专户年初余额 19,139,719.81
加：年初用于现金管理金额 450,000,000.00
募集资金A年初余额 469,139,719.81
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 6,736,121.28
减：年末用于现金管理的金额 (450,000,000.00)
募集资金A专户年末余额 25,875,841.09
截至2023年12月31日，本公司募集资金B专户余额为人民币438,517,968.45元(含
募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下：
单位：人民币元
项目 金额
募集资金B专户年初余额 210,130,005.81
加：年初用于现金管理金额 6,536,567,982.08
募集资金B年初余额 6,746,697,987.89
减：本年度直接投入募投项目 (1,112,384,461.81)
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 164,127,432.39
减：年末用于现金管理的金额 (5,359,922,990.02)
募集资金B专户年末余额 438,517,968.45
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二 募集资金管理情况
为规范募集资金的管理和使用，本公司根据实际情况，制定了《中微半导体设备
(上海)股份有限公司募集资金管理办法》。根据该办法，本公司对募集资金实行
专户存储，截至2023年12月31日，尚未使用的募集资金A存放专项账户的余额如
下：
单位：人民币元
募集资金专户开户行 账号 存款方式 余额
中国建设银行上海金桥支行 31050161373600004844 活期 25,875,841.09
中信银行上海浦东分行 8110201014101024127 活期 已销户
招商银行上海金桥支行 121910890310602 活期 已销户
总计 25,875,841.09
截至2023年12月31日，尚未使用的募集资金B存放专项账户的余额如下：
单位：人民币元
募集资金专户开户行 账号 存款方式 余额
中国建设银行上海金桥支行 31050161373600006133 活期 10,798,162.71
中信银行上海浦东分行 8110201013601303837 活期 77,277,046.31
浦发银行张江科技支行 97160078801900002862 活期 43,736,242.39
招商银行上海分行 121910890310707 活期 306,706,517.04
总计 438,517,968.45
本公司依照规定对募集资金A及募集资金B采取了专户存储管理，开立了募集资金
专户，并于2019年7月17日与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户A
的监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分
行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监
管协议》，于2021年4月27日与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户
B的监管银行招商银行股份有限公司上海分行、上海浦东发展银行股份有限公司
张江科技支行、中国建设银行股份有限公司上海浦东分行、中信银行股份有限公
司上海分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
于2022年度，鉴于本公司募集资金A的募投项目已全部实施完毕，根据2022年3
月30日召开的第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议的批准，上述
募集资金A募集资金专户中全部节余募集资金用于永久性补充流动资金。于2022
年度，本公司在中信银行股份有限公司上海浦东分行开立的账号为
行开立的账号为121910890310602的募集资金专户已注销，前述募集资金专户的
销户手续已全部办理完毕，本公司与保荐机构、开户银行签署的《募集资金专户
存储三方监管协议》随之终止。截至2023年12月31日，本公司在中国建设银行股
份有限公司上海浦东分行开立的账号为31050161373600004844的募集资金专户
尚未注销。
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三 本年度募集资金的实际使用情况
本年度本公司募集资金实际使用情况详见附表1募集资金使用情况对照表。
议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意本公司使
用9,037.74万元募集资金A置换预先投入募集资金投资项目的自筹资金、使用
求。
会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意本
公司使用33,105.98万元募集资金B置换预先投入募集资金投资项目的自筹资
金、使用220.69万元募集资金B置换以自筹资金预先支付的发行费用，合计使用
求。
审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用额
度不超过100,000万元闲置募集资金A进行现金管理，使用期限自第一届董事会
第十三次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循
环滚动使用。
议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用
额度不超过70,000万元闲置募集资金A进行现金管理，使用期限自第一届董事会
第十九次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循
环滚动使用。
议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意本公司使用
额度不超过800,000万元闲置募集资金B进行现金管理，使用期限自第一届董事
会第二十一次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，
可循环滚动使用。
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三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超
过860,000万元闲置募集资金A和闲置募集资金B进行现金管理，使用期限自第二
届董事会第七次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，
可循环滚动使用。
议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额
度不超过720,000万元闲置募集资金A和闲置募集资金B进行现金管理，使用期限
自第二届董事会第十四次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有
效期内，可循环滚动使用。
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三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金A进行现金管理的情况如下：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.10.16-2024.01.31 保本固定收益 2.7000% 否 107 –
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.07.03-2023.09.26 保本固定收益 2.7000% 是 85 164.47
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.04.07-2023.06.28 保本固定收益 2.9000% 是 82 175.91
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.02.01-2023.03.30 保本固定收益 2.7000% 是 57 122.28
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2022.11.11-2023.01.18 保本固定收益 2.9000% 是 68 145.87
上海银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 8,000.00 2022.07.05-无固定期限 保本浮动收益 2.1000% 否 无固定期限 –
上海银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 10,000.00 2021.11.23-无固定期限 保本浮动收益 2.1000% 否 无固定期限 –
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三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 协定存款 200.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.1500% 否 无固定期限 –
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 结构性存款 3,000.00 2023.12.18-2024.03.31 保本浮动收益 2.4000% 否 104 –
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 七天通知存款 4,000.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.3500% 否 无固定期限 –
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 协定存款 5,000.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.6000% 否 无固定期限 –
平安银行股份有限公司上海张江支行 协定存款 10,000.00 2023.12.14-无固定期限 保本固定收益 1.8000% 否 无固定期限 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.12.13-2023.12.27 保本浮动收益 2.2500% 是 14 4.32
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.12.13-2023.12.27 保本浮动收益 2.2500% 是 14 8.63
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 11,600.00 2023.12.11-2024.04.01 保本浮动收益 2.4000% 否 112 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 12,200.00 2023.12.11-2024.04.02 保本浮动收益 2.4000% 否 113 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 8,500.00 2023.12.06-2023.12.27 保本浮动收益 2.3000% 是 21 11.25
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 2,500.00 2023.12.05-2024.03.05 保本浮动收益 2.4000% 否 91 –
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.11.23-2024.02.23 保本浮动收益 2.5000% 否 92 –
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.11.20-2023.12.20 保本浮动收益 2.4500% 是 30 73.50
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 七天通知存款 3,000.00 2023.11.14-无固定期限 保本固定收益 1.8500% 否 无固定期限 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 8,000.00 2023.11.14-2024.12.19 保本浮动收益 2.6500% 否 401 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.11.14-2023.11.28 保本浮动收益 2.3000% 是 14 8.82
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.11.10-2024.02.08 保本浮动收益 2.3000% 否 90 –
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.11.01-2023.12.31 保本浮动收益 2.4000% 是 60 20.00
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.10.27-2023.12.27 保本浮动收益 2.4500% 是 61 20.47
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 1,000.00 2023.10.20-2023.12.28 保本浮动收益 2.4500% 是 69 4.63
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 结构性存款 15,000.00 2023.10.16-2024.01.31 保本浮动收益 2.7000% 否 107 –
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.10.12-2024.01.10 保本浮动收益 2.3000% 否 90 –
平安银行股份有限公司上海张江支行 协定存款 15,000.00 2023.09.22-无固定期限 保本固定收益 1.8000% 否 无固定期限 72.13
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.09.08-2023.12.08 保本浮动收益 2.5000% 是 91 62.33
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.09.07-2023.09.28 保本浮动收益 2.3500% 是 21 6.76
中微半导体设备(上海)股份有限公司
三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.09.07-2023.09.28 保本浮动收益 2.3500% 是 21 13.52
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.09.01-2023.10.31 保本浮动收益 2.5900% 是 60 22.48
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 1,000.00 2023.08.30-2023.11.30 保本浮动收益 2.5000% 是 92 6.30
上海银行股份有限公司川沙支行 结构性存款 20,000.00 2023.08.29-2024.02.24 保本浮动收益 2.5000% 否 179 –
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 10,000.00 2023.08.29-无固定期限 保本固定收益 1.4500% 否 无固定期限 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,200.00 2023.08.16-2024.02.20 保本浮动收益 2.6900% 否 188 –
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.08.09-2023.11.07 保本浮动收益 2.6000% 是 90 192.33
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.08.08-2023.11.07 保本浮动收益 2.6500% 是 91 66.07
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.08.07-2023.08.31 保本浮动收益 2.5000% 是 24 16.44
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.08.04-2023.11.03 保本浮动收益 2.8000% 是 91 117.00
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.08.03-2023.11.03 保本浮动收益 2.6000% 是 92 52.43
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.07.14-2023.10.13 保本浮动收益 2.4000% 是 91 33.66
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.07.12-2023.10.10 保本浮动收益 2.6500% 是 90 225.62
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 结构性存款 20,000.00 2023.07.03-2023.09.26 保本浮动收益 2.7000% 是 85 121.83
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,350.00 2023.06.30-2024.01.05 保本浮动收益 2.2000% 否 189 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,650.00 2023.06.30-2024.01.06 保本浮动收益 2.2000% 否 190 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 2,000.00 2023.06.13-2023.09.12 保本浮动收益 2.7000% 是 91 13.46
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2023.06.05-2023.10.28 保本浮动收益 3.1000% 是 145 38.46
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.06.05-2023.08.04 保本浮动收益 2.8000% 是 60 168.00
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,390.00 2023.06.02-2023.06.29 保本浮动收益 1.9000% 是 27 5.54
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,610.00 2023.06.02-2023.06.28 保本浮动收益 1.9000% 是 26 9.63
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.06.01-2023.08.31 保本浮动收益 2.8000% 是 91 34.10
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 4,800.00 2023.06.01-2023.12.04 保本浮动收益 2.1800% 是 186 67.84
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,200.00 2023.06.01-2023.12.05 保本浮动收益 2.1800% 是 187 42.36
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,500.00 2023.05.31-2023.12.01 保本浮动收益 2.5100% 是 184 76.81
中微半导体设备(上海)股份有限公司
三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,500.00 2023.05.31-2023.12.02 保本浮动收益 2.5100% 是 185 47.55
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 20,000.00 2023.05.12-2023.05.31 保本浮动收益 2.6000% 是 19 27.07
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2023.05.11-2023.05.31 保本浮动收益 3.1000% 是 20 5.42
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,400.00 2023.05.11-2023.05.30 保本浮动收益 2.5100% 是 19 4.76
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,600.00 2023.05.11-2023.05.31 保本浮动收益 2.5100% 是 20 1.99
平安银行股份有限公司上海张江支行 结构性存款 10,000.00 2023.05.10-2023.08.15 保本浮动收益 2.8000% 是 97 74.41
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 20,000.00 2023.05.10-2023.08.09 保本浮动收益 2.6000% 是 91 139.62
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 3,000.00 2023.05.09-2023.10.23 保本固定收益 1.5500% 是 167 21.57
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 7,000.00 2023.05.09-无固定期限 保本固定收益 1.5500% 否 无固定期限 –
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.05.09-2023.08.07 保本浮动收益 2.7500% 是 90 203.42
平安银行股份有限公司上海张江支行 七天通知存款 5,000.00 2023.04.27-2023.05.15 保本固定收益 1.6500% 是 18 3.88
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.04.27-2023.07.27 保本浮动收益 2.7600% 是 91 55.05
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 40,000.00 2023.04.20-2023.05.04 保本固定收益 1.9500% 是 14 30.33
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.04.11-2023.07.10 保本浮动收益 2.7000% 是 90 203.42
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 结构性存款 20,000.00 2023.04.07-2023.06.28 保本浮动收益 2.9000% 是 82 130.30
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 14,990.00 2023.04.03-2023.04.27 保本浮动收益 2.6500% 是 24 38.62
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 15,010.00 2023.04.03-2023.04.28 保本浮动收益 2.6500% 是 25 14.29
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.03.06-2023.06.05 保本浮动收益 2.9500% 是 91 68.56
中国光大银行股份有限公司上海隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.03.01-2023.05.31 保本浮动收益 2.8000% 是 91 35.00
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区
协定存款 35,000.00 2023.02.27-无固定期限 保本固定收益 1.6500% 否 无固定期限 393.67
新片区分行
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区
协定存款 5,000.00 2023.02.27-无固定期限 保本固定收益 1.6500% 否 无固定期限 43.09
新片区分行
上海银行股份有限公司上海分行 结构性存款 20,000.00 2023.02.16-2023.08.23 保本浮动收益 2.7000% 是 188 278.14
中微半导体设备(上海)股份有限公司
三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.02.07-2023.02.28 保本浮动收益 2.9500% 是 21 14.67
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.02.04-2023.05.05 保本浮动收益 2.7500% 是 90 203.42
平安银行股份有限公司上海张江支行 结构性存款 10,000.00 2023.02.02-2023.05.05 保本浮动收益 2.8000% 是 92 70.58
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,000.00 2023.02.02-2023.08.07 保本浮动收益 3.1800% 是 186 81.02
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,450.00 2023.01.31-2023.05.07 保本浮动收益 2.6100% 是 96 26.36
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,550.00 2023.01.31-2023.05.08 保本浮动收益 2.6100% 是 97 9.49
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 40,000.00 2023.01.19-2023.04.20 保本浮动收益 2.7500% 是 91 274.25
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 10,000.00 2023.01.18-2023.02.05 保本固定收益 1.9500% 是 18 9.75
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 10,000.00 2023.01.17-2023.05.04 保本固定收益 2.1000% 是 107 58.89
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.01.12-2023.01.31 保本浮动收益 2.8000% 是 19 49.40
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.01.11-2023.04.11 保本浮动收益 2.7300% 是 90 54.14
上海浦东发展银行张江科技支行 七天通知存款 36,000.00 2023.01.10-2023.12.18 保本固定收益 2.0300% 是 352 1,363.46
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 结构性存款 20,000.00 2023.01.04-2023.03.30 保本浮动收益 2.9000% 是 85 135.07
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 4,990.00 2023.01.03-2023.01.30 保本浮动收益 2.6100% 是 27 11.25
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,010.00 2023.01.03-2023.01.30 保本浮动收益 2.6100% 是 27 11.49
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 3,000.00 2022.12.30-2023.05.17 保本浮动收益 1.6000% 是 138 18.15
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 37,000.00 2022.12.30-2023.03.30 保本浮动收益 2.7900% 是 90 210.54
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2022.12.30-2023.01.10 保本浮动收益 2.0300% 是 11 4.45
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2022.12.24-2023.04.03 保本浮动收益 2.7000% 是 100 221.92
中国光大银行股份有限公司上海川沙支行 七天通知存款 3,000.00 2022.12.07-2023.02.27 保本固定收益 2.0000% 是 82 13.33
中国光大银行股份有限公司上海川沙支行 七天通知存款 4,000.00 2022.12.07-2023.12.14 保本固定收益 2.0000% 是 372 81.11
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 20,000.00 2022.11.10-2023.02.08 保本浮动收益 3.3000% 是 90 123.29
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2022.11.09-2023.05.09 保本浮动收益 3.1600% 是 181 47.40
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2022.10.27-2023.01.31 保本浮动收益 2.7500% 是 96 216.99
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区
七天通知存款 20,000.00 2022.10.21-2023.02.24 保本固定收益 1.8500% 是 126 125.09
新片区分行
中微半导体设备(上海)股份有限公司
三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 3,000.00 2022.10.20-2023.10.23 保本固定收益 2.0250% 是 368 64.40
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 4,000.00 2022.10.20-2023.12.13 保本固定收益 2.0250% 是 419 96.98
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 10,000.00 2022.10.20-2023.01.19 保本固定收益 2.0300% 是 91 53.08
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 37,000.00 2022.10.20-2023.02.27 保本固定收益 2.0300% 是 130 280.58
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 130,065.11 2022.10.20-无固定期限 保本固定收益 2.0300% 否 无固定期限 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 50,000.00 2022.10.18-2023.01.17 保本浮动收益 2.8500% 是 91 355.27
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 2,500.00 2022.10.17-2023.05.11 保本固定收益 1.9500% 是 206 27.90
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 3,000.00 2022.10.17-2023.10.15 保本固定收益 1.9500% 是 363 58.99
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 24,363.75 2022.10.17-无固定期限 保本固定收益 1.9500% 否 无固定期限 –
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2022.10.08-2023.01.09 保本浮动收益 3.0500% 是 93 295.75
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 七天通知存款 3,000.00 2022.03.03-2023.05.17 保本固定收益 1.8500% 是 440 67.83
中国建设银行股份有限公司上海洋泾支行 七天通知存款 7,000.00 2022.03.03-2023.01.28 保本固定收益 1.8500% 是 331 119.07
上海银行股份有限公司川沙支行 七天通知存款 4,000.00 2022.02.09-2023.12.13 保本固定收益 2.1000% 是 672 164.97
上海银行股份有限公司川沙支行 七天通知存款 10,000.00 2022.02.09-2023.12.13 保本固定收益 2.1000% 是 672 392.00
中国光大银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 10,000.00 2022.01.20-无固定期限 保本固定收益 2.0300% 否 无固定期限 –
中信银行上海浦东分行营业部 七天通知存款 2,500.00 2022.01.13-2023.05.11 保本固定收益 2.0300% 是 483 70.44
中信银行上海浦东分行营业部 七天通知存款 17,500.00 2022.01.13-2023.08.28 保本固定收益 2.0300% 是 592 604.33
中国光大银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 10,000.00 2022.01.06-无固定期限 保本固定收益 2.0300% 否 无固定期限 –
上海银行股份有限公司川沙支行 七天通知存款 6,000.00 2022.01.05-无固定期限 保本固定收益 2.1000% 否 无固定期限 –
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 2,000.00 2021.09.16-2023.05.23 保本固定收益 1.8500% 是 614 69.17
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 21,600.00 2021.07.19-无固定期限 保本固定收益 1.8500% 否 无固定期限 –
中国银行股份有限公司南昌市青云谱支行 七天通知存款 5,000.00 2021.07.22-无固定期限 保本固定收益 1.8500% 否 无固定期限 –
中国建设银行股份有限公司南昌高新开发区
七天通知存款 5,000.00 2021.07.22-2023.05.17 保本固定收益 1.6100% 是 664 94.81
支行
中微半导体设备(上海)股份有限公司
三 本年度募集资金的实际使用情况(续)
于2023年度，本公司使用闲置募集资金B进行现金管理的情况如下(续)：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
招商银行股份有限公司南昌高新支行 协定存款 15,566.89 2021.07.22-无固定期限 保本固定收益 2.1000% 否 无固定期限 318.04
平安银行股份有限公司上海张江支行 七天通知存款 5,000.00 2021.07.19-2023.04.27 保本固定收益 2.1000% 是 647 188.71
中国进出口银行上海分行 七天通知存款 40,000.00 2021.07.16-无固定期限 保本固定收益 2.0000% 否 无固定期限 –
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 10,000.00 2021.07.16-2023.01.13 保本固定收益 2.1000% 是 546 318.50
中微半导体设备(上海)股份有限公司
附表 1：募集资金使用情况对照表：
募集资金 A：
金额单位：人民币元
募集资金总额 1,445,702,792.76 本年度投入募集资金总额 -
变更用途的募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 999,834,753.23
变更用途的募集资金总额比例 -
截至期末累计投入
已变更项目， 截至期末投 项目达到预 项目可行性
募集资金承诺投 截至期末承诺投 本年度投入金 截至期末累计 金额与承诺投入金 本年度实现 是否达到
承诺投资项目 含部分变更 调整后投资总额 入进度(%) 定可使用状 是否发生重
资总额 入金额(1) 额 投入金额(2) 额的差额 的效益 预计效益
(如有) (4)＝(2)/(1) 态日期 大变化
(3)＝(2)-(1)
高端半导体设备扩产升
级项目 无 400,000,000 400,000,000 400,000,000 - 399,910,276 (89,724) 99.98% 不适用 不适用 不适用 否
技术研发中心建设升级
项目 无 400,000,000 400,000,000 400,000,000 - 399,924,477 (75,523) 99.98% 不适用 不适用 不适用 否
补充流动资金 无 200,000,000 200,000,000 200,000,000 - 200,000,000 - 100.00% 不适用 不适用 不适用 否
合计 — 1,000,000,000 1,000,000,000 1,000,000,000 - 999,834,753 (165,247) — — — — —
未达到计划进度原因(分具体募投项目) 不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况 本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“三、本年度募集资金的实际使用情况(3)”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用。
中微半导体设备(上海)股份有限公司
附表 1：募集资金使用情况对照表(续)：
募集资金 B：
金额单位：人民币元
募集资金总额 8,118,162,441.14 本年度投入募集资金总额 1,112,384,461.81
变更用途的募集资金总额 - 2,596,916,164.72
已累计投入募集资金总额
变更用途的募集资金总额比例 -
截至期末累计投 截至期末 项目可行
已变更项 项目达到预
募集资金承诺投 调整后投资总 截至期末承诺 截至期末累计投 入金额与承诺投 投入进度 本年度实现 是否达到 性是否发
承诺投资项目 目，含部分 本年度投入金额 定可使用状
资总额 额 投入金额(1) 入金额(2) 入金额的差额 (%) 的效益 预计效益 生重大变
变更(如有) 态日期
(3)＝(2)-(1) (4)＝(2)/(1) 化
中微产业化基地建设项
目 无 3,170,000,000 3,170,000,000 3,170,000,000 445,531,651 1,428,994,831 (1,741,005,169) 45.08% 不适用 不适用 不适用 否
中微临港总部和研发中
心项目 无 3,750,000,000 3,750,000,000 3,750,000,000 666,852,811 1,167,921,334 (2,582,078,666) 31.14% 不适用 不适用 不适用 否
科技储备资金 无 3,080,000,000 1,198,162,441 1,198,162,441 - - (1,198,162,441) 0.00% 不适用 不适用 不适用 否
合计 — 10,000,000,000 8,118,162,441 8,118,162,441 1,112,384,462 2,596,916,165 (5,521,246,276) — — — — —
未达到计划进度原因(分具体募投项目) 不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况 本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“三、本年度募集资金的实际使用情况(3)”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用。
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