海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为中微半导
体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）首次公开发行股
票并上市及 2020 年度向特定对象发行股票持续督导保荐机构，根据《证券发行
上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理
和使用的监管要求》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》
《上海证券交易所上
市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》
《上海证券交易所科创板上市公司自
律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规定，对中微公司 2023 年度募集资金
的存放和使用情况进行了核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）募集资金实际到位及存放情况
根据中国证券监督管理委员会于 2019 年 7 月 1 日签发的证监许可[2019]1168
号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的
批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行
人民币普通股 53,486,224 股，每股发行价格为人民币 29.01 元，股款以人民币缴
足，计人民币 155,163.54 万元，扣除承销及保荐费用共计人民币 8,782.84 万元
后，实际收到募集资金计人民币 146,380.69 万元，再扣除发行中介及其他发行费
用人民币合计 1,810.41 万元后，实际募集资金净额为人民币 144,570.28 万元（以
下简称“首发募集资金”），上述资金于 2019 年 7 月 16 日到位，业经普华永道中
天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）
第 0411 号验资报告。
截至 2023 年 12 月 31 日，尚未使用的首发募集资金存放专项账户的余额如
下：
募集资金专户开户行 账号 存款方式 余额（万元）
中国建设银行上海金桥支行 31050161373600004844 活期 2,587.58
总计 2,587.58
中微公司依照规定对 IPO 募集资金采取了专户存储管理，开立了 IPO 募集
资金专户，并于 2019 年 7 月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户
监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行
及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管
协议》。
中国证券监督管理委员会于 2021 年 3 月 3 日出具证监许可[2021]645 号文
《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批
复》核准了公司向特定对象发行 80,229,335 股人民币普通股 A 股股票。截至 2021
年 6 月 22 日止，公司完成了人民币普通股 A 股 80,229,335 股的发行，每股发行
价格为人民币 102.29 元，股款以人民币缴足，合计人民币 820,665.87 万元，扣
除承销及保荐费用共计人民币 8,206.66 万元（不含增值税）后，实际收到募集资
金计人民币 812,459.21 万元，再扣除其他发行费用人民币合计 642.96 万元（不
含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 811,816.24 万元（以下简称“再融资
募集资金”），上述资金于 2021 年 6 月 22 日到位，业经普华永道中天会计师事务
所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第 0638 号验
资报告。
截至 2023 年 12 月 31 日，尚未使用的再融资募集资金存放专项账户的余额
如下：
再融资募集资金专户开户行 账号 存款方式 余额（万元）
招商银行上海分行 121910890310707 活期 30,670.65
中信银行上海浦东分行 8110201013601303837 活期 7,727.70
上海浦东发展银行张江科技支行 97160078801900002862 活期 4,373.62
中国建设银行上海金桥支行 31050161373600006133 活期 1,079.82
总计 43,851.80
中微公司依照规定对再融资募集资金采取了专户存储管理，开立了再融资募
集资金专户，并分别于 2021 年 4 月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资
金专户监管银行招商银行股份有限公司上海分行营业部、中信银行股份有限公司
上海浦东分行、上海浦东发展银行股份有限公司张江科技支行及中国建设银行股
份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
（二）募集资金使用及专户余额情况
截至 2023 年 12 月 31 日，公司首发募集资金专户余额为人民币 2,587.58 万
元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目 金额（万元）
首发募集资金专户年初余额 1,913.97
加：年初用于现金管理金额 45,000.00
首发募集资金年初余额 46,913.97
减：本年度直接投入募投项目 -
减：募投项目结项资金转出 -
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 673.61
减：年末用于现金管理的金额 45,000.00
首发募集资金专户年末余额 2,587.58
截至 2023 年 12 月 31 日，公司再融资募集资金专户余额为人民币 43,851.80
万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
项目 金额（万元）
再融资募集资金专户年初余额 674,669.80
减：本年度直接投入募投项目 111,238.45
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 16,412.74
减：年末用于现金管理的金额 535,992.30
再融资募集资金专户期末余额 43,851.80
二、募集资金具体使用情况
（一）用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目的自筹资金情况
（二）闲置募集资金补充流动资金的情况和效果
不适用。
（三）闲置募集资金现金管理的情况
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结
构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产
品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过 12 个月。
公司于 2023 年 4 月 28 日召开第二届董事会第十四次会议及第二届监事会
第十二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同
意公司使用额度不超过 720,000 万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第
二届董事会第十四次会议审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效
期内，可循环滚动使用。
（1）2019 年首次公开发行股票募集资金
截至 2023 年 12 月 31 日，公司使用闲置 IPO 募集资金进行现金管理的情况
如下：
是否到 收益(万
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 期限(天)
期 元)
上海银行股份有限公司上海分行 7 天通知存款 10,000.00 2021.11.23-无固定期限 保本固定收益 2.10% 是 无固定期限 –
上海银行股份有限公司上海分行 7 天通知存款 8,000.00 2022.07.05-无固定期限 保本固定收益 2.10% 是 无固定期限 –
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2022.11.11-2023.01.18 保本浮动收益 2.90% 是 68 145.87
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.02.01-2023.03.30 保本浮动收益 2.70% 是 57 122.28
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.04.07-2023.06.28 保本浮动收益 2.90% 是 82 175.91
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.7.3-2023.9.26 保本浮动收益 2.70% 是 85 164.47
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 27,000.00 2023.10.16-2024.1.31 保本浮动收益 2.70% 否 107 213.71
（2）2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
截至 2023 年 12 月 31 日，公司使用闲置再融资募集资金进行现金管理的情
况如下：
受托方 类型 金额(万元) 起止时间 收益类型 年化收益率 是否到期 期限(天) 收益(万元)
中信银行上海浦东分行营业部 七天通知存款 2,500.00 2022.01.13-2023.05.11 保本固定收益 2.03% 是 483 70.44
中信银行上海浦东分行营业部 七天通知存款 17,500.00 2022.01.13-2023.08.28 保本固定收益 2.03% 是 无固定期限 604.33
中国光大银行股份有限公司上海川沙支行 七天通知存款 3,000.00 2022.12.07-2023.02.27 保本固定收益 2.00% 是 82 13.33
平安银行股份有限公司上海张江支行 七天通知存款 5,000.00 2023.04.27-2023.05.15 保本固定收益 1.65% 是 18 3.88
中国光大银行股份有限公司上海川沙支行 七天通知存款 4,000.00 2022.12.07-2023.12.14 保本固定收益 2.00% 是 无固定期限 81.11
上海银行川沙支行 七天通知存款 6,000.00 2022.02.09-无固定期限 保本固定收益 2.10% 否 无固定期限 –
中国光大银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 10,000.00 2022.01.06-无固定期限 保本固定收益 2.03% 否 无固定期限 –
平安银行股份有限公司上海张江支行 七天通知存款 5,000.00 2021.07.19-2023.04.27 保本固定收益 2.10% 是 647 188.71
中国光大银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 10,000.00 2022.01.20-无固定期限 保本固定收益 2.03% 否 无固定期限 –
中国光大银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 7,000.00 2021.07.16-2022.12.07 保本固定收益 2.00% 是 509 194.83
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 七天通知存款 3,000.00 2023.11.14-无固定期限 保本固定收益 1.85% 否 无固定期限 –
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 10,000.00 2023.01.17-2023.05.04 保本固定收益 2.10% 是 107 58.89
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 10,000.00 2021.07.16-2023.01.13 保本固定收益 2.10% 是 546 318.50
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 七天通知存款 4,000.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.35% 否 无固定期限 –
中国光大银行股份有限公司上海长宁支行 七天通知存款 200.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.15% 否 无固定期限 –
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 3,000.00 2023.05.09-2023.10.23 保本固定收益 1.55% 是 无固定期限 21.57
兴业银行股份有限公司上海分行 七天通知存款 8,000.00 2022.12.30-无固定期限 保本固定收益 2.03% 是 无固定期限 –
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 10,000.00 2022.10.20-2023.01.19 保本固定收益 2.03% 是 91 53.08
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 37,000.00 2022.10.20-2023.02.27 保本固定收益 2.03% 是 130 280.58
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 183,868.77 2021.07.16-2022.10.20 保本固定收益 2.03% 是 461 5,021.52
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行 七天通知存款 35,000.00 2023.02.27-无固定期限 保本固定收益 2.60% 否 无固定期限 393.67
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 3,000.00 2022.10.20-2023.10.23 保本固定收益 2.03% 是 368 64.40
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 4,000.00 2022.10.20-2023.12.13 保本固定收益 2.03% 是 无固定期限
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行 七天通知存款 20,000.00 2022.10.21-2023.02.24 保本固定收益 1.85% 是 126 125.09
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行 七天通知存款 5,000.00 2023.2.27-无固定期限 保本固定收益 2.60% 否 无固定期限 43.09
中国建设银行股份有限公司 七天通知存款 3,000.00 2022.03.03-2023.05.17 保本固定收益 1.85% 是 440 67.83
中国建设银行股份有限公司 七天通知存款 7,000.00 2022.03.03-2023.01.28 保本固定收益 1.85% 是 331 119.07
中国农业银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行 七天通知存款 20,000.00 2021.07.28-2022.08.20 保本固定收益 1.79% 是 388 381.53
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 21,600.00 2021.09.16-无固定期限 保本固定收益 1.85% 否 无固定期限 –
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 10,000.00 2023/8/9-约定期限 保本固定收益 1.45% 否 无固定期限 –
中国工商银行股份有限公司上海市浦东分行 七天通知存款 2,000.00 2021.09.16-2023.05.23 保本固定收益 1.85% 是 614 69.17
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 2,500.00 2022.10.17-2023.05.11 保本固定收益 1.95% 是 206 27.90
中国民生银行股份有限公司上海华山支行 七天通知存款 7,000.00 2023.05.09-无固定期限 保本固定收益 1.55% 否 无固定期限 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 3,000.00 2022.10.17-2023.10.15 保本固定收益 1.95% 是 无固定期限 58.99
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 10,000.00 2023.01.18-2023.02.05 保本固定收益 1.95% 是 18 9.75
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 40,000.00 2023.04.20-2023.05.04 保本固定收益 1.95% 是 14 30.33
上海浦东发展银行张江科技支行 七天通知存款 0.00 2022.10.08-无固定期限 保本固定收益 2.03% 是 无固定期限 1,363.46
上海银行川沙支行 七天通知存款 10,000.00 2022.02.09-2023.12.13 保本固定收益 2.10% 是 无固定期限 392.00
中国进出口银行上海分行 七天通知存款 40,000.00 2021.07.16-无固定期限 保本固定收益 2.00% 否 无固定期限 –
中国银行股份有限公司南昌市青云谱支行 七天通知存款 5,000.00 2021.07.22-无固定期限 保本固定收益 1.85% 否 无固定期限 –
国家开发银行股份有限公司上海市分行 七天通知存款 130,065.11 2022.10.20-无固定期限 保本固定收益 2.03% 否 无固定期限 –
中国建设银行股份有限公司南昌高新开发区支行 七天通知存款 5,000.00 2021.07.22-无固定期限 保本固定收益 1.61% 是 无固定期限 94.81
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2022.10.27-2023.01.31 保本浮动收益 2.75% 是 96 216.99
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2022.12.24-2023.04.03 保本浮动收益 2.70% 是 100 221.92
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.02.04-2023.05.05 保本浮动收益 2.75% 是 90 203.42
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.01.11-2023.04.11 保本浮动收益 2.73% 是 90 58.59
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.04.11-2023.07.10 保本浮动收益 2.70% 是 90 203.42
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.05.09-2023.08.07 保本浮动收益 2.75% 是 90 203.42
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.08.09-2023.11.07 保本浮动收益 2.60% 是 90 192.33
上海银行张江支行 结构性存款 20,000.00 2023.08.29-2024.02.26 保本浮动收益 2.50% 否 181 –
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.07.12-2023.10.10 保本浮动收益 2.65% 是 90 225.62
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.11.10-2024.02.08 保本浮动收益 2.30% 否 90 –
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2022.09.27-2022.12.30 保本浮动收益 3.14% 是 94 64.69
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.04.27-2023.07.27 保本浮动收益 2.76% 是 91 55.05
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.08.03-2023.11.03 保本浮动收益 2.60% 是 91 52.43
中信银行上海浦东分行营业部 结构性存款 30,000.00 2023.10.12-2024.1.10 保本浮动收益 2.30% 否 90 –
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2022.11.09-2023.05.09 保本浮动收益 3.16% 是 181 47.40
平安银行股份有限公司上海张江支行 结构性存款 10,000.00 2023.2.2-2023.5.5 保本浮动收益 2.80% 是 97 70.58
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2023.05.11-2023.05.31 保本浮动收益 3.10% 是 20 5.42
招商银行股份有限公司上海分行营业部 七天通知存款 24,363.75 2022.10.17-无固定期限 保本固定收益 1.95% 否 无固定期限 –
光大银行隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.03.01-2023.05.31 保本浮动收益 2.80% 是 91 35.00
光大银行隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.06.01-2023.08.31 保本浮动收益 2.80% 是 91 34.10
厦门国际银行上海静安支行 结构性存款 3,000.00 2023.06.05-2023.10.28 保本浮动收益 3.10% 是 145 38.46
平安银行股份有限公司上海张江支行 结构性存款 10,000.00 2023.05.10-2023.08.15 保本浮动收益 2.80% 是 97 74.41
平安银行股份有限公司上海张江支行 协定存款 15,000.00 2023.9.22-无固定期限 保本固定收益 1.80% 否 无固定期限 72.13
平安银行股份有限公司上海张江支行 协定存款 10,000.00 2023.12.14-无固定期限 保本固定收益 1.80% 否 无固定期限 -
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 20,000.00 2023.01.04-2023.03.30 保本浮动收益 2.90% 是 85 135.07
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 20,000.00 2023.04.07-2023.06.28 保本浮动收益 2.90% 是 82 130.30
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 20,000.00 2023.07.03-2023.09.26 保本浮动收益 2.70% 是 85 121.83
中国建设银行股份有限公司 结构性存款 15,000.00 2023.10.16-2024.01.31 保本浮动收益 2.70% 否 107 -
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 50,000.00 2022.10.18-2023.01.17 保本浮动收益 2.85% 是 91 355.27
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 40,000.00 2023.01.19-2023.04.20 保本浮动收益 2.75% 是 91 274.25
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.02.07-2023.02.28 保本浮动收益 2.95% 是 21 14.67
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.03.06-2023.06.05 保本浮动收益 2.95% 是 91 68.56
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 20,000.00 2023.05.10-2023.08.09 保本浮动收益 2.60% 是 91 139.62
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 20,000.00 2023.05.12-2023.05.31 保本浮动收益 2.60% 是 19 27.07
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 2,000.00 2023.06.13-2023.09.12 保本浮动收益 2.70% 是 91 13.46
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.07.14-2023.10.13 保本浮动收益 2.40% 是 91 33.66
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 1,000.00 2023.08.30-2023.11.30 保本浮动收益 2.50% 是 92 6.30
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.08.07-2023.08.31 保本浮动收益 2.50% 是 24 16.44
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.08.08-2023.11.07 保本浮动收益 2.65% 是 91 66.07
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.09.07-2023.09.28 保本浮动收益 2.35% 是 21 13.52
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.09.07-2023.09.28 保本浮动收益 2.35% 是 21 6.76
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.09.08-2023.12.08 保本浮动收益 2.50% 是 91 62.33
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 1,000.00 2023.10.20-2023.12.28 保本浮动收益 2.45% 是 69 4.63
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.10.27-2023.12.27 保本浮动收益 2.45% 是 61 20.47
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.11.14-2023.11.28 保本浮动收益 2.30% 是 14 8.82
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,650.00 2023.06.30-2024.01.06 保本浮动收益 2.20% 否 190 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,350.00 2023.06.30-2024.01.05 保本浮动收益 2.20% 否 189 –
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 8,500.00 2023.12.06-2023.12.27 保本浮动收益 2.30% 是 21 11.25
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 5,000.00 2023.12.13-2023.12.27 保本浮动收益 2.25% 是 14 4.32
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 10,000.00 2023.12.13-2023.12.27 保本浮动收益 2.25% 是 14 8.63
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.06.05-2023.08.04 保本浮动收益 2.80% 是 60 168.00
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.08.04-2023.11.03 保本浮动收益 2.80% 是 91 117.00
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.11.20-2023.12.20 保本浮动收益 2.45% 是 30 73.50
上海银行川沙支行 七天通知存款 4,000.00 2022.02.09-2023.12.13 保本固定收益 2.10% 是 672 164.97
上海银行股份有限公司上海分行 结构性存款 20,000.00 2023.02.16-2023.08.23 保本浮动收益 2.70% 是 172 278.14
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,200.00 2023.08.16-2024.02.20 保本浮动收益 2.69% 否 188 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 3,000.00 2022.12.30-2023.05.17 保本浮动收益 1.60% 是 138 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,000.00 2023.02.02-2023.08.07 保本浮动收益 3.18% 是 186 81.02
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,500.00 2023.05.31-2023.12.01 保本浮动收益 2.51% 是 184 76.81
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,390.00 2023.06.02-2023.06.29 保本浮动收益 1.90% 是 27 5.54
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,610.00 2023.06.02-2023.6.28 保本浮动收益 1.90% 是 26 9.63
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,500.00 2023.05.31-2023.12.02 保本浮动收益 2.51% 是 185 47.55
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 11,600.00 2023.12.11-2024.04.01 保本浮动收益 2.40% 否 112 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 12,200.00 2023.12.11-2024.04.02 保本浮动收益 2.40% 否 113 –
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,200.00 2023.06.01-2023.12.05 保本浮动收益 2.18% 是 187 42.36
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 4,800.00 2023.06.01-2023.12.04 保本浮动收益 2.18% 是 186 67.84
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2022.10.08-2023.01.09 保本浮动收益 3.05% 是 93 295.75
上海浦东发展银行张江科技支行 结构性存款 36,000.00 2023.01.12-2023.01.31 保本浮动收益 2.80% 是 19 49.40
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 37,000.00 2022.12.30-2023.03.30 保本浮动收益 2.79% 是 90 210.54
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 4,990.00 2023.01.03-2023.01.30 保本浮动收益 2.61% 是 27 11.25
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 5,010.00 2023.01.03-2023.01.30 保本浮动收益 2.61% 是 28 11.49
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,450.00 2023.01.31-2023.05.07 保本浮动收益 2.61% 是 96 26.36
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,550.00 2023.01.31-2023.05.08 保本浮动收益 2.61% 是 97 9.49
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,600.00 2023.05.11-2023.05.31 保本浮动收益 2.51% 是 20 1.99
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 2,400.00 2023.05.11-2023.05.30 保本浮动收益 2.51% 是 20 4.76
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 10,100.00 2022.12.2-2022.12.29 保本浮动收益 2.79% 是 27 29.14
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 20,000.00 2022.10.12-2022.12.29 保本浮动收益 2.79% 是 78 118.91
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 9,900.00 2022.12.2-2022.12.28 保本浮动收益 2.79% 是 26 10.56
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 14,990.00 2023.04.03-2023.04.27 保本浮动收益 2.65% 是 24 38.62
中国银行股份有限公司上海浦东开发区支行 结构性存款 15,010.00 2023.04.03-2023.04.28 保本浮动收益 2.65% 是 25 14.29
上海银行股份有限公司上海分行 结构性存款 20,000.00 2022.11.10-2023.02.08 保本浮动收益 3.30% 是 90 123.29
招商银行股份有限公司南昌高新支行 七天通知存款 15,566.89 2021-07.22-无固定期限 保本固定收益 2.10% 否 无固定期限 318.04
光大银行隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.09.01-2023.10.31 保本浮动收益 2.59% 是 60 22.48
光大银行隆昌支行 结构性存款 5,000.00 2023.11.01-2023.12.31 保本浮动收益 2.40% 是 60 20.00
光大银行隆昌支行 结构性存款 3,000.00 2023.12.18-2024.03.31 保本浮动收益 2.40% 否 104 -
光大银行隆昌支行 协定存款 5,000.00 2023.12.18-无固定期限 保本固定收益 1.60% 否 无固定期限 -
兴业银行股份有限公司上海分行 结构性存款 8,000.00 2023.11.23-2024.02.23 保本浮动收益 2.50% 否 92 -
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 8,000.00 2023.11.14-2024.2.19 保本浮动收益 2.65% 否 97 -
招商银行股份有限公司上海分行营业部 结构性存款 2,500.00 2023.12.05-2024.03.05 保本浮动收益 2.40% 否 91 -
（四）超募资金的使用情况
不适用。
不适用。
截止 2023 年 12 月 31 日，公司不存在使用超募资金回购股份情况。
（五）募集资金投向变更的情况
不适用。
（六）节余募集资金的使用情况
参见“一/（二）募集资金使用及专户余额情况”。
（七）募集资金使用的其他情况
不适用。
三、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集
资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
四、会计师对募集资金年度存放与使用情况专项报告的鉴证意见
经鉴证，普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）认为：上述募集资金
存放与实际使用情况专项报告在所有重大方面按照中国证券监督管理委员会公
告[2022]15 号《上市公司监管指引第 2 号-上市公司募集资金管理和使用的监管
要求》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号
—规范运作》及《上海证券交易所上市公司自律监管指南第 1 号公告格式—第十
六号上市公司募集资金存放与实际使用情况的专项报告》编制，并在所有重大方
面如实反映了中微公司 2023 年度募集资金存放与实际使用情况。
五、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司 2023 年度募集资金的存放与使用符合《证券
发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金
管理和使用的监管要求》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》
《上海证券交易
所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定及公司募集资
金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至 2023 年 12 月 31 日，公
司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资
金的情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保
荐机构对公司 2023 年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）
附件 1：首发募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
募集资金总额 144,570.28 本年度投入募集资金总额 -
变更用途的募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 99,983.48
变更用途的募集资金总额比例 -
截至期末 截至期 项目
已变更
累计投入 末投入 项目达 可行
项目，
截至期末承 截至期末 金 额 与 承 进 度 到预定 本年度 是否达 性是
含部分 募集资金承 调整后投资 本年度投
承诺投资项目 诺投入金额 累计投入 诺 投 入 金 （%） 可使用 实现的 到预计 否发
变 更 诺投资总额 总额 入金额
（1） 金额（2） 额 的 差 额 （4）＝ 状态日 效益 效益 生重
（ 如
（3）＝（2） （2）/ 期 大变
有）
-（1） （1） 化
高端半导体设
备扩产升级项 无 40,000.00 40,000.00 40,000.00 - 39,991.03 -8.97 99.98% 不适用 不适用 不适用 否
目
技术研发中心
无 40,000.00 40,000.00 40,000.00 - 39,992.45 -7.55 99.98% 不适用 不适用 不适用 否
建设升级项目
补充流动资金 无 20,000.00 20,000.00 20,000.00 - 20,000.00 - 100% 不适用 不适用 不适用 否
合计 — 100,000.00 100,000.00 100,000.00 - 99,983.48 -16.52 — — — — —
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况 本年度不存在募集资金投资项目先期投入及置换的情况。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“二、募集资金具体使用情况之（三）”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用。
附件 2：再融资募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
募集资金总额 811,816.24 本年度投入募集资金总额 111,238.45
变更用途的募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 259,691.62
变更用途的募集资金总额比例 -
已 变
更 项 截 至 期 项目达 项目可
截至期末累计投
目，含 截至期末承 截至期末累 末 投 入 到预定 本年度 是否达 行性是
募集资金承 调整后投资 本年度投入 入金额与承诺投
承诺投资项目 部 分 诺投入金额 计投入金额 进度（%） 可 使 用 实现的 到预计 否发生
诺投资总额 总额 金额 入金额的差额
变 更 （1） （2） （4）＝ 状 态 日 效益 效益 重大变
（3）＝（2）-（1）
（ 如 （2）/
（1） 期 化
有）
中微产业化基
无 317,000.00 317,000.00 317,000.00 44,553.17 142,899.48 -174,100.52 45.08% 不适用 不适用 不适用 否
地建设项目
中微临港总部
和研发中心项 无 375,000.00 375,000.00 375,000.00 66,685.28 116,792.13 -258,207.87 31.14% 不适用 不适用 不适用 否
目
科技储备资金 无 308,000.00 119,816.24 119,816.24 - - -119,816.24 0.00% 不适用 不适用 不适用 否
合计 — 1,000,000.00 811,816.24 811,816.24 111,238.45 259,691.62 -552,124.62 — — — — —
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用。
募集资金投资项目先期投入及置换情况 详见“二、募集资金具体使用情况之（一）”
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 本年度不存在以闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 详见“二、募集资金具体使用情况之（三）”
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 本年度不存在以超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用。
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