中微半导体设备（上海）股份有限公司
为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基
于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，中微半导体设备（上海）股份有限
公司（以下简称“公司”）制定 2024 年度“提质增效重回报”行动方案，以进
一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树立良好的资本市
场形象。主要措施包括：
一、专注公司核心业务，突破创新提升竞争力，以良好的业绩成长回报投资
者
半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关
键，中微公司自 2004 年成立以来，一直致力于开发和提供先进的微观加工所需
的高端关键设备，是典型的新质生产力代表。凭借创新的研发团队和深厚的客户
关系，公司聚焦布局核心设备，关键技术不断突破创新，并快速扩增产品线及扩
大产品在国内领先客户的市场占有率。公司目前可以提供 5 纳米及更先进的芯片
刻蚀设备，从 2012 年到 2023 年的十余年中，销售额年均增长率超过 35%。公司
约 32.3%；营业收入达到 62.5 亿元，同比增长约 32.2%；归母净利润达到 17.86
亿元，同比增长 52.7%。
升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展。具体包括以下方面：
公司所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备，
公司提供的 MOCVD 设备更是先进显示和功率器件生产所需的关键设备。2024
年，公司将继续聚焦集成电路及泛半导体相关领域的刻蚀和薄膜设备，根据客户
及市场需求升级迭代产品，并开发更多品类设备，进一步推进更多先进技术的研
发，持续突破关键技术，覆盖更多的刻蚀和薄膜应用，继续推进公司单台和双台
刻蚀 CCP 和 ICP 刻蚀设备以及更多品类的薄膜设备，在主要客户芯片生产线上
市场占有率提升。同时，推进公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地在先进
封装和 MEMS 器件生产。
公司近两年新开发的 LPCVD 设备和 ALD 设备，目前已有四款设备产品进
入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单，公司计划在
公司新开发的硅和锗硅外延 EPI 设备、晶圆边缘 Bevel 刻蚀设备等多个新产品，
也计划在 2024 年投入市场验证。公司开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率
器件、Micro-LED 等器件所需的多类 MOCVD 设备也取得了良好进展，2024 年
将会陆续进入市场。同时公司还将积极探索布局在泛半导体领域相关的核心设备
市场机会。
持续较高水平的研发投入是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进
技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发
和创新。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产
品和服务的不断进步。公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至 2023 年 12
月，公司已申请 2,551 项专利，其中发明专利 2,161 项；已获授权专利 1,547 项，
其中发明专利 1,329 项。
开拓力度，鼓励技术创新，公司计划在全球申请不少于 300 项专利，并持续改善
量产机台的运行时间和生产效率，进行更多的关键制程的工艺开发和验证。
随着全球半导体设备市场持续扩大和技术的不断创新，公司发挥产品技术及
销售服务竞争优势，强化公司产品竞争力和品牌形象，深化同国内外客户的业务
合作，以更好的市场形象和更专业的服务为客户提供产品解决方案。
重量级行业展会，支持超过 10 场的国内外学术会议，公司也将安排公司技术专
家参与演讲交流，分享公司产品及技术等进展，提升公司影响力和技术的知名度。
作为 SEMI、中国半导体行业协会等国内外十多家行业协会/联盟的重要成员单位，
中微公司将继续参加行业主要活动，履行社会责任，扩大公司的行业影响力。
使用；2021 年公司向特定对象发行 A 股股票募集资金，相关募投项目“中微产
业化基地建设项目”“中微临港总部和研发中心项目”正在有序建设中。
公司在南昌的约 14 万平方米的生产和研发基地已于 2023 年 7 月正式投入
使用；
上海临港滴水湖畔约 10 万平方米的研发中心暨总部大楼也将封顶。新基地配备
行业领先的实验室、高标准洁净室、先进的生产车间以及高效的物流仓储中心，
不仅为公司进一步扩充高端设备产能提供了有力支撑，还将有助于公司不断提升
研发能力和科技创新水平，为公司的高速发展创造了有利条件。
公司不断践行外延式发展策略，公司下属的中微汇链、中微惠创、芯汇康在
新业务拓展领域取得了良好的进展，得到了市场和用户的高度评价。公司同时积
极探索在相关领域的投资机会，公司诸多参股投资的产业链上下游公司营运表现
良好，形成了良好的产业链协同效应。其中，公司参股投资的晶升股份、华虹公
司在 2023 年完成科创板挂牌上市。
在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资、并购国
内外高端的半导体设备及关键零部件厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占
领更多细分市场，为公司的长期高速稳定发展奠定基础。2024 年，公司会继续重
点考虑布局半导体和泛半导体领域，以及产业链上下游有协同效应的公司。
二、优化运营管理，提高经营质量与效率
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和
客户反馈，制定出关键指标的改进要求。公司建立了高效的库存管控体系，设置
合理的库存警戒线，以加快存货周转。2024 年，公司将在中微临港等生产基地，
推进智能工厂项目和精益管理，提升人员及营运效率，缩短设备交付周期，并努
力保持 100%订单准时交付。
为了能够更好地满足微观加工设备行业接近物理极限的技术和近乎零缺陷
的严苛质量要求，公司秉承“质量和持续改进根植于中微公司的每一个方面，及
每个人每分钟的工作中”的质量方针，建立中微公司“三全、三重保险、三个满
意”的质量管理模式。2024 年公司将深入强化质量管理体系建设，增强员工质量
意识，以“全方位、全过程、全员参与”（三全）为基础，将“三重保险”实践
方法贯穿于产品开发、供应商管理、生产制造、客户服务等所有环节，最终实现
客户和供应商满意、产业和市场满意、社会和国家满意的“三个满意”。
公司将持续进行市场拓展，继续履行客户全球化发展战略，在立足国内超大
规模市场的前提下，积极适应国际形势，加强全球市场的开拓，并着重在新产品、
新应用拓展和新领域开发，提高公司在全球半导体设备市场占有率，提高公司盈
利质量水平。
由于公司所处半导体设备行业具有资金密集性的特征，产品技术升级快，研
发投入大，并且研发投入早于应用层面。公司将合理利用资金，使得研发成果与
产品布局早于客户需求。公司将通过优化库存、加快新产品在客户端的验收、加
快回款、闲置资金理财等举措，提高资金使用效率及使用效果。
公司持续完善供应链管理体系，通过建立完善的供应链管理制度体系和管理
架构，推动供应链的高效、规范管理。2023 年，公司在全球合作供应商近 600 家，
其中超 70%来自中国大陆。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多
厂商策略保障零部件及时供应。2024 年，公司将继续加大供应商本土化和多元
化的投入，开展超过 70 次培训，进行超过 1,500 次技术交流，在合作的深度和
广度上进一步加强，为降本增效和供应链安全提供更加坚实的保障。
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司营运效率持续提高，设备交付按时率保持在较高水
准、物料成本控制等指标达到预期水平。2024 年，公司将定期跟踪各项指标的执
行情况，并根据统计结果和客户反馈进行内部讨论，制定出关键指标的改进要求。
公司制订了与公司经营业绩与研发进展紧密相关的激励计划，激励计划的设
定有助于促进公司发展、维护股东权益，为公司长远稳健发展提供机制和人才保
障。而公司对激励计划亦设定了营业收入增长率公司层面业绩考核要求，和目标
管理（MBO）规定作为个人层面的业绩考核要求，锚定公司经营状况、成长性、
盈利能力等与投资者利益紧密相关的指标，并设定了具有一定挑战性的考核目标，
绑定管理层和员工的利益与公司发展目标达成，有助于提升公司整体发展质量，
增强投资者回报。
公司视“员工”为最宝贵的资产，致力于为员工提供广阔的职业发展空间，
构建专业线、管理线发展双通道，并设计了形式多样的职业规划，拓展人才发展
渠道。公司注重激发组织和员工活力，组织开展多项深入的专题培训、学习交流，
涵盖工程技术、战略商务、运营管理、财证金融、人工智能和人才发展六大学习
版块，有力促进培养组织需要的技能，提升组织及人员竞争力，建立学习型组织
文化氛围。公司持续优化人才绩效评估体系及人才晋升机制，使得优势资源更进
一步的向高绩效员工倾斜。公司已经通过全员持股方式，有效提高员工的忠诚度
和凝聚力。
源规划及具体实施办法，计划引进超过 500 名国内外专业人才，进行超过 2 万人
次、5 万小时的系统性培训等措施持续提升员工专业能力。
三、重视提高股东回报，分享公司价值成长红利
公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值。公司积
极实施现金分红并开展回购，增强投资者信心，推动公司股价同公司价值增长匹
配。
人民币 123,639,704.60 元（含税）。公司已计划 2023 年度利润分配方案为每 10
股派发现金红利人民币 3.00 元（含税），截至 2024 年 2 月 29 日，公司总股本
红利 185,672,135.10 元（含税）。
告书》，拟回购资金总额不低于人民币 30,000 万元（含），不超过人民币 50,000
万元（含），并于同日进行了首次回购。公司将继续在回购期限内择机实施股份
回购并及时履行信息披露义务。
发展趋势，继续匹配好资本开支、经营性资金需求与现金分红/股份回购的关系，
持续提升股东回报水平，落实打造“长期、稳定、可持续”的股东价值回报机制。
四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平
公司高度重视公司治理结构的健全和内部控制体系的有效性，将持续完善公
司治理和内部控制制度，防范外部风险，提高公司运营的规范性和决策的科学性，
保障股东权益。具体方案如下：
求的前提下，着眼于管理创新，持续提升公司的内部控制管理体系。
公司将完善风险预警和应对机制，定期开展内部审计和风险评估，确保公司
稳健运营和合规经营。
法律法规，持续完善法人治理结构，提高规范运作水平，积极响应独立董事制度
改革精神，加快落实独立董事制度改革等要求；不断加强公司治理能力建设，强
化大股东、董监高等“关键少数”合规意识，切实推动公司高质量发展。
《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规以及《公司章程》等相关
规定开展换届工作，组织公司董监高积极参与上交所、证监局等监管机构举办的
相关培训，并安排董监高参加专业机构和公司内部专业人员的培训，推动公司董
监高在尽职履责的同时，持续学习包括新《公司法》在内的最新法律，学习掌握
证券市场相关法律法规、熟悉证券市场知识、理解监管动态，不断强化自律和合
规意识，推动公司持续规范运作。本年度，公司将安排董监高参与不少于 4 次的
上述培训活动。
公司已为独立董事们开设专属办公室，便于独董们开展每年不少于 15 日的
现场工作，并指定了董事会办公室作为沟通服务机构，专门负责会议议案材料编
制、信息反馈等工作。公司将及时向独立董事汇报经营情况和重大事项，并提交
相关文件，继续为独立董事工作提供便利条件，切实保障独立董事的知情权，强
化独立董事对公司的监督体系。
设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。公司不断提升产品在
关键客户市场占有率，并拓展新的业务领域来应对相关周期性波动风险。
近年来，国际贸易摩擦不断，少数国家限制中国半导体行业发展。公司严格
遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通，推动实现稳健
经营。此外，公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识
产权保护体系，防范潜在的知识产权纠纷风险。
五、发展企业文化，积极践行社会责任
公司高度重视企业管理文化建设，经过多年的实践发展，形成了以“产品开
发的十大原则”“战略销售的十大准则”“营运管理的十大章法”“精神文化的
十大作风”为核心的企业管理文化。秉承“攀登勇者，志在巅峰”企业精神，不
断攀登新的发展高峰。
公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进
技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域
的建设，董事会及其专门委员会先后审议通过《中微公司 2023 年环境、社会及
管治报告》。
消耗，降低含氟化学品使用，不断提升能源使用效率，提升可再生能源使用比例。
公司在 2024 年将继续融入国际课持续发展组织，包括责任商业联盟（Responsible
Business Alliance，RBA）、半导体气候联合会（Semiconductor Climate Consortium，
SCC）等。公司也将继续开展关爱特困老人、支持教育发展、支持“芯肝宝贝计
划”等公益活动，并持续拓展与知名高校的交流合作，助力培养新一代行业人才。
点。公司将举办一系列相关活动，回顾公司 20 年的奋斗历程，分享过去取得的
成就，并展望公司成为全球一流半导体设备制造商下一个的宏伟目标。公司将以
力，增强员工和各界对中微公司的认同感。
六、高质量信息披露，积极传递公司投资价值
公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守法律法规和监管机构规定，严
格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露
义务。
投资者现场调研、上证 e 互动、电话、邮件等诸多渠道，将公司经营成果、财务
状况等情况，及时、公开、透明地传达给了市场参与各方。
我们还将以一图读懂、视频解读、图表、图片等形式，并在微信公众号上启
用尹志尧董事长“数字人”等新媒体传播手段，以更加便于理解、更加直观的形
式，阐述公司产品及业务、公司治理，并总结经营成果表现，将公司营运及财务
表现全面、全方位地呈现在投资者面前。
尹志尧董事长“数字人”
公司计划于 2024 年 3 月 19 日上午 10:00-11:30 在上海证券交易所上证路演
中心举行 2023 年度业绩说明会，通过上证路演中心视频直播和网络互动的形式
就投资者关心的问题进行交流。
全年组织、参加与投资者线上线下路演交流活动不少于 100 场次，让投资者全面、
及时地了解公司的经营状况、发展战略等情况，增进投资者对公司的信任与支持，
打造高效透明的沟通平台。
南昌和临港基地的投资者接待日活动，现场参观公司的生产线、办公区域，更加
直观、贴近感受中微公司的创新文化。
七、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象
公司将持续评估“提质增效重回报”行动方案的具体举措，及时履行信息披
露义务。公司将继续专注主业，提升公司核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，
通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，切实履行上市公司责任
和义务，回报投资者信任，维护公司良好市场形象。
本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成
公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。
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