中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
关于 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分及预留
授予部分第二个归属期归属名单的核查意见
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中
华人民共和国公司法》
（以下简称“《公司法》”）、
《中华人民共和国证券法》
（以
下简称“《证券法》”）、 （以下简称“《管理办法》”）、
《上市公司股权激励管理办法》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）和《中微
半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规
定，对公司 2020 年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予
部分及预留授予部分第二个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：
公司 2020 年限制性股票激励计划首次及预留授予的激励对象中，本次激励
计划首次授予部分拟归属的 572 名激励对象及预留部分拟归属的 149 名激励对象
符合《公司法》、
《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的
任职资格，符合《管理办法》、
《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激
励对象条件，符合《2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）》规定的激励对
象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，
激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
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