证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2023-028
中微半导体设备（上海）股份有限公司
预留授予部分第二个归属期符合归属条件的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
? 限制性股票拟归属数量：157.7060 万股（首次授予 138.3972 万股、预留
授予 19.3088 万股）
? 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票
一、本次股权激励计划批准及实施情况
（一）本次股权激励计划方案及履行的程序
（1）股权激励方式：第二类限制性股票。
（2）授予数量：授予的限制性股票总量为 800 万股，约占公司 2020 年限制
性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额 53,486.2237
万股的 1.49%。其中首次授予 670 万股，约占激励计划草案公告时公司股本总额
的 1.25%；预留 130 万股，约占激励计划草案公告时公司股本总额的 0.24%。
（3）授予价格：150 元/股，即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以
每股 150 元的价格购买公司向激励对象增发的公司 A 股普通股股票。
（4）激励人数：首次授予 700 人，为公司核心技术人员、董事会认为需要
激励的其他人员。
（5）本激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：
归属安排 归属时间 归属权益数量占授
予权益总量的比例
自首次授予之日起 12 个月后的首个交
首次授予的限制性
易日至首次授予之日起 24 个月内的最 25%
股票第一个归属期
后一个交易日止
自首次授予之日起 24 个月后的首个交
首次授予的限制性
易日至首次授予之日起 36 个月内的最 25%
股票第二个归属期
后一个交易日止
自首次授予之日起 36 个月后的首个交
首次授予的限制性
易日至首次授予之日起 48 个月内的最 25%
股票第三个归属期
后一个交易日止
自首次授予之日起 48 个月后的首个交
首次授予的限制性
易日至首次授予之日起 60 个月内的最 25%
股票第四个归属期
后一个交易日止
本激励计划预留授予的限制性股票的归属期限和归属比例安排具体如下：
归属权益数量占授
归属安排 归属时间
予权益总量的比例
自预留部分授予之日起 12 个月后的首
预留授予的限制性
个交易日至预留部分授予之日起 24 个 25%
股票第一个归属期
月内的最后一个交易日止
自预留部分授予之日起 24 个月后的首
预留授予的限制性
个交易日至预留部分授予之日起 36 个 25%
股票第二个归属期
月内的最后一个交易日止
自预留部分授予之日起 36 个月后的首
预留授予的限制性
个交易日至预留部分授予之日起 48 个 25%
股票第三个归属期
月内的最后一个交易日止
自预留部分授予之日起 48 个月后的首
预留授予的限制性
个交易日至预留部分授予之日起 60 个 25%
股票第四个归属期
月内的最后一个交易日止
（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求
①激励对象满足各归属期任职期限要求
激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足 12 个月以上的任职期
限。
②公司层面业绩考核要求
本激励计划首次授予限制性股票考核年度为 2020-2023 四个会计年度，每个
会计年度考核一次。以 2016-2018 年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度
的营业收入累计值定比 2016-2018 年度营业收入均值的年度累计营业收入增长
率，确定各年度的业绩考核目标对应的归属批次及公司层面归属比例。假设每个
考核年度的实际营业收入增长率为 X，首次授予部分各年度业绩考核目标安排如
下表所示：
对应考核 该考核年度使用的营
归属期 业绩考核目标 公司层面归属比例
年度 业收入累计值
X≧255% 100%
第一个归 2019 年、2020 年两年
属期 营业收入累计值
X<200% 0
第二个归
属期
累计值 X<370% 0
第三个归
属期
收入累计值 X<560% 0
X≧980% 100%
第四个归
属期
五年营业收入累计值
X<800% 0
注：上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据，
公司 2016-2018 年度营业收入均值为 10.74 亿元。
预留部分考核目标及公司层面归属比例确定与上述首次授予部分一致。
③激励对象个人层面绩效考核要求
激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，
并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结
果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激
励对象的实际归属的股份数量：
考核评级 MBO≧1 0.9≦MBO<1 0.8≦MBO<0.9 0.7≦MBO<0.8 MBO<0.7
个人层面归属比例 100% 90% 80% 70% 0
激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司
层面归属比例×个人层面归属比例。
（1）2020 年 3 月 18 日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过
了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于
公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》以
及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司
独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司<2020 年
限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2020 年限制性股
票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》等议案，公司监事会对本
激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
（2）2020 年 4 月 3 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披
露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》
（公告编号：2020-013），根据
公司其他独立董事的委托，独立董事 Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就
公司全体股东征集投票权。
（3）2020 年 3 月 31 日至 2020 年 4 月 14 日，公司对本激励计划拟激励对象
的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励
计划激励对象有关的任何异议。2020 年 4 月 16 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2020 年限制性股票激励计划激励
对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2020-016）。
（4）2020 年 4 月 21 日，公司召开 2020 年第一次临时股东大会，审议并通
过了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关
于公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》、
《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。
（5）2020 年 4 月 22 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披
露《关于公司 2020 年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公
司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。
（6）2020 年 6 月 5 日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了
《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等
议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司<2020 年
限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案，公司监事会对
本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
（7）2020 年 6 月 6 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披
露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》
（公告编号：2020-036），根据
公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就 2020 年第二次临
时股东大会审议的公司 2020 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征
集投票权。
（8）2020 年 6 月 22 日，公司召开 2020 年第二次临时股东大会，审议并通
过了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》
等议案。
（9）2020 年 6 月 30 日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监
事会第九次会议，审议通过了《向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司
独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查
意见。
（10）2020 年 11 月 6 日，公司召开第一届董事会第十六次会议与第一届监
事会第十二次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议
案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并
发表了核查意见。
（11）2021 年 7 月 9 日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届
监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关
于公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件
的议案》《关于公司 2020 年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的
议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
（12）2021 年 12 月 9 日，公司召开第二届董事会第一次会议、第二届监事
会第一次会议，审议通过了《关于公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部
分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于作废处理部分限制性股票的议案》。
公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
（13）2023 年 4 月 13 日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监
事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理 2020 年限制性股票激励计划部
分限制性股票的议案》、《关于公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分及
预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》、《关于公司 2020 年股票增值
权激励计划第二个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表
了独立意见。
（二）历次限制性股票授予情况
公司于 2020 年 6 月 30 日向激励对象首次授予 670 万股限制性股票；2020
年 11 月 6 日向 188 名激励对象授予 103.989 万股预留部分限制性股票。
授予后限制性股
授予日期 授予价格 授予数量 授予人数
票剩余数量
（三）激励计划各期限制性股票归属情况
截至本公告出具日，公司激励计划首次授予部分归属情况如下：
归属期次 归属价格 归属数量 归属上市日期 归属人数（人）
第一个归属期 150 元/股 115.2908 万股 540 人
日
本次激励计划预留授予日为 2020 年 11 月 6 日，预留授予部分第一个归属期
已届满，162 名激励对象第一个归属期尚未归属的 21.0304 万股限制性股票不得
归属并由公司作废。
二、限制性股票归属条件说明
（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况
年限制性股票激励计划首次授予部分及预留授予部分第二个归属期符合归属条
件的议案》。根据公司 2020 年第一次临时股东大会对董事会的授权，董事会认为：
公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第
二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为 157.7060 万股，其中
首次授予部分第二个归属期可归属数量 138.3972 万股；预留授予部分第二个归
属期可归属数量 19.3088 万股。同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的
激励对象办理归属相关事宜。
董事会表决情况：同意 9 票，反对 0 票，弃权 0 票，关联董事丛海、陶珩回
避表决。公司独立董事对该事项发表了同意的独立意见。
（二）关于本激励计划首次授予激励对象第二个归属期符合归属条件的说明
根据《2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，首次授予
的限制性股票的第二个归属期为“自首次授予之日起 24 个月后的首个交易日至
首次授予之日起 36 个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划首次授予日为
日至 2023 年 6 月 30 日。
根据公司 2020 年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2020 年限制性股
票激励计划（草案修订稿）》和《2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施
考核管理办法》的相关规定，激励计划首次授予部分限制性股票第二个归属期的
归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：
归属条件 达成情况
（一）公司未发生如下任一情形：
意见或者无法表示意见的审计报告；
否定意见或者无法表示意见的审计报告； 公司未发生前述情形，符合归属条件。
公开承诺进行利润分配的情形；
（二）激励对象未发生如下任一情形：
人选；
激励对象未发生前述情形，符合归属条件。
出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；
员情形的；
公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予
（三）归属期任职期限要求
的 700 名激励对象中：128 名激励对象因个
激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足 12 个
人原因离职，首次授予仍在职的 572 名激
月以上的任职期限。
励对象符合归属任职期限要求。
根据普华永道中天会计师事务所（特殊普
（四）公司层面业绩考核要求
通合伙）对公司 2021 年年度报告出具的审
第二个归属期考核年度为 2021 年。
计报告（普华永道中天审字（2022）第 10095
以 2016-2018 年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度
号 ）： 2021 年 度 公 司 实 现 营 业 收 入
的营业收入累计值定比 2016-2018 年度营业收入均值的年度
累计营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的归
业收入 2,273,291,898.06 元；2019 年度公司
属批次及公司层面归属比例。2021 年具体考核安排如下：
对应考 该考核年度使用的 业绩考核 公司层面 实现营业收入 1,946,949,250.75 元，2019
归属期
核年度 营业收入累计值 目标 归属比例 年、2020 年和 2021 年三年营业收入累计
第二个 2021 2019 年、2020 年 X≧460% 100% 值较 2016-2018 年度营业收入均值增长
归属期 和 2021 年三年营 370%≦
业收入累计值 X<460%
X<370% 0
（五）个人层面绩效考核要求
激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理
（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其
实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个 公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予
档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例 仍在职的 572 名激励对象中：548 名激励对
确定激励对象的实际归属的股份数量： 象 2021 年个人绩效考核评价结果为“MBO
MBO≧ 0.9≦ 0.8≦ 0.7≦
≧1”，本期个人层面归属比例为 100%；24
考核评级 MBO<0.7 名激励对象本期个人绩效考核结果为“0.9
≦ MBO<1 ”， 本 期 个 人 层 面 归 属 比 例 为
个人层面
归属比例
激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计
划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。
（三）关于本激励计划预留授予激励对象第二个归属期符合归属条件的说明
根据《2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，预留授予
的限制性股票的第二个归属期为“自预留授予之日起 24 个月后的首个交易日至
预留授予之日起 36 个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划预留授予日为
根据公司 2020 年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2020 年限制性股
票激励计划（草案修订稿）》和《2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施
考核管理办法》的相关规定，激励计划预留授予部分限制性股票第二个归属期的
归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：
归属条件 达成情况
（一）公司未发生如下任一情形：
意见或者无法表示意见的审计报告；
公司未发生前述情形，符合归属条件。
否定意见或者无法表示意见的审计报告；
公开承诺进行利润分配的情形；
（二）激励对象未发生如下任一情形：
人选；
激励对象未发生前述情形，符合归属条件。
出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；
员情形的；
公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予
（三）归属期任职期限要求
的 188 名激励对象中：39 名激励对象因个
激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足 12 个
人原因离职，预留授予仍在职的 149 名激
月以上的任职期限。
励对象符合归属任职期限要求。
（四）公司层面业绩考核要求
第二个归属期考核年度为 2021 年。 根据普华永道中天会计师事务所（特殊普
以 2016-2018 年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度 通合伙）对公司 2021 年年度报告出具的审
的营业收入累计值定比 2016-2018 年度营业收入均值的年度 计报告（普华永道中天审字（2022）第 10095
累计营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的归 号 ）： 2021 年 度 公 司 实 现 营 业 收 入
属批次及公司层面归属比例。2021 年具体考核安排如下： 3,108,134,730.67 元；2020 年度公司实现营
对应考 该考核年度使用的 业绩考核 公司层面 业收入 2,273,291,898.06 元；2019 年度公司
归属期
核年度 营业收入累计值 目标 归属比例 实现营业收入 1,946,949,250.75 元，2019
X≧460% 100% 年、2020 年和 2021 年三年营业收入累计
第二个 370%≦ 值较 2016-2018 年度营业收入均值增长
归属期 X<460% 582.61%,公司层面归属比例达 100%。
业收入累计值
X<370% 0
（五）个人层面绩效考核要求
激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理
（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其
实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个 公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予
档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例 仍在职的 149 名激励对象中：137 名激励对
确定激励对象的实际归属的股份数量： 象 2021 年个人绩效考核评价结果为“MBO
MBO≧ 0.9≦ 0.8≦ 0.7≦
≧1”，本期个人层面归属比例为 100%；12
考核评级 MBO<0.7 名激励对象本期个人绩效考核结果为“0.9
≦ MBO<1 ”， 本 期 个 人 层 面 归 属 比 例 为
个人层面
归属比例
激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计
划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。
（四）部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法
公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废失效处理，详见《关于作废
处理 2020 年限制性股票激励计划部分限制性股票的公告》。
（五）监事会意见
监事会认为：公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分及预留授予部
分第二个归属期规定的归属条件已经成就，首次授予部分本次可归属数量为
合归属条件的激励对象办理归属登记相关事宜。本事项符合《中华人民共和国公
司法》、
《中华人民共和国证券法》、
《上市公司股权激励管理办法》、
《上海证券交
易所科创板股票上市规则》等法律法规及公司《2020 年限制性股票激励计划（草
案修订稿）》的相关规定，不存在损害公司及股东利益的情形。
（六）独立董事意见
根据公司《2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）》和《2020 年限制性
股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》的相关规定，激励计划首次授予
部分及预留授予部分第二个归属期的归属条件已经成就，本次符合归属条件的
万股，预留授予部分本次可归属数量为 19.3088 万股。本次归属安排和审议程序
符合《中华人民共和国公司法》、
《中华人民共和国证券法》、
《上市公司股权激励
管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。
综上，我们同意公司在归属期内实施限制性股票的归属登记，为符合归属条
件的激励对象办理相关归属手续。
三、本次归属的具体情况
（一）首次授予日：2020 年 6 月 30 日；预留授予日：2020 年 11 月 6 日。
（二）归属数量：157.7060 万股，其中首次授予部分归属 138.3972 股，预
留授予部分归属 19.3088 股。
（三）归属人数：721 人，其中首次授予部分 572 人，预留授予部分 149 人。
（四）授予价格：150 元/股。
（五）股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票。
（六）激励对象名单及归属情况
已获授予的 可归属数量 可归属数量占已
姓名 国籍 职务
限制性股票 （万股） 获授予的限制性
数量（万股） 股票总量的比例
一、董事、高级管理人员
陶珩 中国 董事 3.0001 0.7500 25.00%
丛海 新加坡 董事 2.2109 0.5527 25.00%
二、核心技术人员
杨伟 美国 核心技术人员 4.60 1.15 25.00%
李天笑 美国 核心技术人员 3.60 0.90 25.00%
麦仕义 美国 核心技术人员 1.80 0.45 25.00%
小计 15.2110 3.8027 25.00%
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（567 人） 540.5475 134.5945 24.90%
合计（572 人） 555.7585 138.3972 24.90%
已获授予的 可归属数量占已
可归属数量
姓名 国籍 职务 限制性股票 获授予的限制性
（万股）
数量（万股） 股票总量的比例
一、董事、高级管理人员
/
二、核心技术人员
/
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（149 人） 77.7250 19.3088 24.84%
合计（149 人） 77.7250 19.3088 24.84%
四、监事会对激励对象名单的核实情况
监事会核查后认为：公司 2020 年限制性股票激励计划首次及预留授予的激
励对象中，本次激励计划首次授予部分拟归属的 572 名激励对象及预留部分拟归
属的 149 名激励对象符合《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》
等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《上市公司
股权激励管理办法》、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规和规
范性文件规定的激励对象条件，符合《2020 年限制性股票激励计划（草案修订
稿）》规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主
体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。
五、归属日及买卖公司股票情况的说明
公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相
关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完
毕股份变更登记手续当日确定为归属日。鉴于上海证券交易所 2022 年 1 月 7 日
发布的《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 8 号——股份变动管理》对上
市公司董事、监事和高级管理人员不得买卖本公司股份的期间进行了调整，公司
相应对 2020 年限制性激励计划第六章之“三、本激励计划的归属安排”规定的
不得归属期间进行调整，调整后具体如下：
“本激励计划授予的限制性股票在激励对象满足相应归属条件后将按约定
比例分次归属，激励对象成为公司董事、高级管理人员的，董事及高级管理人员
获得的限制性股票不得在下列期间内归属：
（一）公司年度报告、半年度报告公告前 30 日内，因特殊原因推迟年度报
告、半年度报告公告日期的，自原预约公告日前 30 日起算，至公告前 1 日；
（二）公司季度报告、业绩预告、业绩快报公告前 10 日内；
（三）自可能对本公司股票及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件
发生之日或者进入决策程序之日，至依法披露之日；
（四）中国证监会及上海证券交易所规定的其他期间。”
除上述调整外，公司 2020 年限制性股票激励计划的其他安排不变。
董事陶珩、丛海为本激励计划激励对象，自本公告披露前 6 个月内不存在买
卖公司股票情形。
六、限制性股票费用的核算及说明
公司根据《企业会计准则第 11 号——股份支付》和《企业会计准则第 22
号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，公司将在授
予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业
绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性
股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。
公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限
制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为
准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。
七、法律意见书的结论性意见
属期归属条件成就、2020 年股票增值权激励计划第二个行权期行权条件成就暨
部分限制性股票作废事项已取得必要的批准和授权；
个归属期，第二个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》
《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的相关规定；
个归属期，第二个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》
《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的相关规定；
已成就，公司实施本次行权符合《公司法》
《证券法》
《管理办法》及《股票增值
权激励计划》的相关规定；
《证券法》
《管理办法》及《限制性股票激励计划》的规定。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
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