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至纯科技: 关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行A股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复

证券之星 2022-10-14 00:00:00
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上海至纯洁净系统科技股份有限公司     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
证券代码：603690                     证券简称：至纯科技
        关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司
         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件
                   反馈意见的回复
              保荐机构（主承销商）
                   二〇二二年十月
上海至纯洁净系统科技股份有限公司   公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
         关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司
   公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
中国证券监督管理委员会：
  贵会行政许可项目审查一次反馈意见通知书 222054 号《中国证监会行政许
可项目审查一次反馈意见通知书》（以下简称“《反馈意见》”）已收悉。在收悉
《反馈意见》后，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、
“公司”、
    “发行人”或“申请人”）会同国泰君安证券股份有限公司（以下简称“国
泰君安”或“保荐机构”）、北京金诚同达律师事务所（以下简称“律师”）与众华会
计师事务所（特殊普通合伙）
            （以下简称“会计师”），就《反馈意见》中提出的问
题，逐一进行落实，现将《反馈意见》有关问题的落实情况汇报如下：
  本反馈意见回复所用释义与《国泰君安证券股份有限公司关于上海至纯洁净
系统科技股份有限公司公开发行 A 股可转换公司债券之尽职调查报告》保持一
致，所用字体对应内容如下：
     反馈意见所列问题               黑体（加粗）
   对反馈意见所列问题的回复               宋体
  本反馈意见回复中若出现总数与各分项数值之和尾数不符的情况，为四舍五
入原因造成。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司                                             公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     问题 1
     申请人本次非公开发行股票拟募集资金 11 亿元，用于单片湿法工艺模块、
核心零部件研发等 4 个项目。
     请申请人补充说明并披露：
                （1）本次募投项目具体投资数额安排明细，投资
数额的测算依据和测算过程，各项投资构成是否属于资本性支出，是否使用募集
资金投入；
    （2）本次募投项目目前进展情况、预计进度安排及资金的预计使用进
度，是否存在置换董事会前投入的情形；
                 （3）本次募投项目新能产能规模合理性
及新增产能消化措施；
         （4）本次募投项目预计效益情况，效益测算依据、测算过
程，效益测算是否谨慎。
     请保荐机构发表核查意见。
     答复：
     一、本次募投项目具体投资数额安排明细，投资数额的测算依据和测算过
程，各项投资构成是否属于资本性支出，是否使用募集资金投入
     除补充流动资金或偿还银行贷款外，公司拟使用募集资金投资“单片湿法工
艺模块、核心零部件研发项目”、
              “至纯北方半导体研发生产中心项目”和“半导
体设备模组及部件制造项目”。公司拟以本次募集资金投入上述项目建设的部分
均为资本性支出。具体安排明细如下表所示：
                                                      单位：万元
                                   拟使用募        是否属于   是否使用
                       项目投资
序号     项目名称    投资构成                集资金金        资本性支   募集资金
                        金额
                                     额           出     投入
      艺模块、核
      心零部件研   建筑工程     25,496.00   24,000.00    是       是
       发项目    设备购置及安
              装
              工程建设其他
              费用
              基本预备费     2,018.20           -    否       否
              研发费用     13,815.36           -    否       否
上海至纯洁净系统科技股份有限公司           公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
               小计        56,197.56   35,000.00      -       -
               建筑工程      12,133.75   12,000.00      是      是
               设备购置及安
               装
     至纯北方半     工程建设其他
     产中心项目     基本预备费      1,281.19           -      否      否
               铺底流动资金     6,225.06           -      否      否
               小计        33,130.00   25,000.00      -       -
               建筑工程       4,780.00    4,000.00      是      是
               设备购置及安
     半导体设备     装
      制造项目
               铺底流动资金     2,291.79           -      否      否
                    小计   21,944.21   17,000.00      -       -
    本次募投项目投资数额的测算依据和测算过程如下：
    （一）单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目
    本项目总投资 56,197.56 万元，具体投资数额安排明细如下：
        投资项目                金额（万元）                      投资比重
一、土地购置费                                  9,412.00          16.75%
二、建设投资                                  32,970.20          58.67%
建筑工程                                    25,496.00          45.37%
设备购置及安装                                  5,356.00              9.53%
工程建设其他费用                                   100.00              0.18%
基本预备费                                    2,018.20              3.59%
三、研发费用                                  13,815.36          24.58%
        总投资                             56,197.56         100.00%
    本项目投资数额的测算依据和测算过程如下：
    本项目土地购置费为 9,412.00 万元，为支付土地出让款。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司      公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     （1）建筑工程
     本项目建筑工程合计投资 25,496.00 万元，用于检测车间、综合研发实验室
等建设，具体情况如下表所示：
                     建筑面积（平方             建筑单价（元/
序号           建筑物类别                                     金额（万元）
                       米）                 平方米）
            合计            50,500.00                -     25,496.00
     （2）设备购置费用
     本项目设备合计投资 5,200.00 万元，主要为实验设备和检测分析设备等，具
体情况如下表所示：
             设备名称                         金额（万元）
实验设备                                                      3,000.00
检测分析设备                                                    1,500.00
其他设备                                                       500.00
专用软件                                                       200.00
              合计                                          5,200.00
     （3）设备安装费用
     设备安装调试费按设备购置费的 3%计提，共计 156.00 万元。
     （4）工程建设其他费用
     工程建设其他费用包括前期可研咨询费、工程保险费用、勘察设计费等，共
计 100 万元。
     （5）基本预备费
上海至纯洁净系统科技股份有限公司       公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     基本预备费是针对在项目实施过程中可能发生难以预料的支出，需要事先预
留的费用，共计 2,018.20 万元。
     研发费用主要包括研发人员薪酬与耗材费用，其中研发人员薪酬通过开发人
员人数与年均薪酬计算得出，耗材费用通过耗材单价与年均消耗数量得出，共计
     （二）至纯北方半导体研发生产中心项目
     本项目总投资 33,130.00 万元，具体投资数额安排明细如下：
        投资项目           金额（万元）                                 投资比重
一、建设投资                                 26,904.94                  81.21%
建筑工程                                   12,133.75                     36.62%
设备购置及安装                                13,390.00                     40.42%
工程建设其他费用                                 100.00                       0.30%
基本预备费                                   1,281.19                      3.87%
二、铺底流动资金                                6,225.06                     18.79%
        总投资                            33,130.00                 100.00%
     本项目投资数额的测算依据和测算过程如下：
     （1）建筑工程
     本项目建筑工程合计投资 12,133.75 万元，用于生产车间与洁净车间的建设
等，具体情况如下表所示：
                                       建筑单价（元/平方
序号        建筑物类别    建筑面积（平方米）                                   金额（万元）
                                          米）
         合计             27,300.00                         -      12,133.75
     （2）设备购置费用
上海至纯洁净系统科技股份有限公司       公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
   本项目设备合计投资 13,000.00 万元，包括生产设备以及检测设备，具体情
况如下表所示：
            设备名称                   金额（万元）
生产设备                                           9,100.00
检测设备                                           3,900.00
             合计                               13,000.00
   （3）设备安装费用
   设备安装费按设备购置费的 3%计提，共计 390.00 万元。
   （4）工程建设其他费用
   工程建设其他费用包括前期可研咨询费、工程保险费用、勘察设计费等，共
计 100 万元。
   （5）基本预备费
  基本预备费是针对在项目实施过程中可能发生难以预料的支出，需要事先预
留的费用，共计 1,281.19 万元。
   铺底流动资金是项目运营初期所需、为保证项目正常运转所必需的流动资
金。本项目铺底流动资金按项目营运资本需求测算，共计 6,225.06 万元。
   （三）半导体设备模组及部件制造项目
   本项目总投资 21,944.21 万元，具体投资数额安排明细如下：
        投资项目            金额（万元）              投资比重
一、建设投资                         19,652.42       89.56%
建筑工程                             4,780.00       21.78%
设备购置及安装                        14,164.21        64.55%
基本预备费                             708.21           3.23%
二、铺底流动资金                         2,291.79      10.44%
        总投资                    21,944.21      100.00%
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     本项目投资数额的测算依据和测算过程如下：
     （1）建筑工程
     本项目建筑工程合计投资 4,780.00 万元，用于生产车间与办公楼的建设，具
体情况如下表所示：
                                         建筑单价（元/
序号        建筑物类别      建筑面积（平方米）                         金额（万元）
                                          平方米）
          合计                    31,800             -      4,780.00
     （2）设备购置费用
     本项目设备合计投资 13,739.28 万元，主要包括成型加工设备、检测设备等，
具体情况如下表所示：
           设备名称                           金额（万元）
成型加工设备                                                    7,482.00
检测设备                                                      3,403.43
QAQC 设备                                                   1,153.85
提纯设备                                                      1,000.00
表面处理设备                                                     700.00
               合计                                        13,739.28
     （3）设备安装费用
     设备安装调试费按设备购置费的 3%计提，共计 424.93 万元。
     （4）基本预备费
     基本预备费是针对在项目实施过程中可能发生难以预料的支出，需要事先预
留的费用，共计 708.21 万元。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司            公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
    二、本次募投项目目前进展情况、预计进度安排及资金的预计使用进度，
是否存在置换董事会前投入的情形
    （一）本次募投项目目前进展情况，是否存在置换董事会前投入的情形
    截至本反馈回复出具日，
              “单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目” 已完
成项目前期的可行性分析、 立项备案等相关前置工作，土地使用权证手续正在
办理中，尚未启动建设；
          “至纯北方半导体研发生产中心项目” 已完成项目前期
的可行性分析、 立项备案等相关前置工作，土地使用权证正在手续办理中，尚
未启动建设； “半导体设备模组及部件制造项目”属于政府代建项目，已完成
项目前期的可行性分析、立项备案等相关前置工作，项目代建方已取得土地使用
权证，建筑工程施工正在进行中。
    本次募集资金不存在用于置换董事会决议日前已投资金额的情况。
    （二）资金的预计使用进度
    本次募投项目资金的预计使用进度如下表所示：
序              项目投资金        项目预计                 预计使用进度
      项目名称
号                额          建设期        T0           T1          T2
    单片湿法工艺模
    发项目
    至纯北方半导体
    目
    半导体设备模组
    及部件制造项目
    补充流动资金或
    偿还银行贷款
      合计       144,271.77      /        /            /           /
    （三）项目预计进度安排
    本项目建设期拟定为 3 年。项目进度计划内容包括建筑工程、设备订货采
购、技术开发投入等。项目具体实施进度见下表：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司                         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
序                 第一年（T+0）                    第二年（T+1）                       第三年（T+2）
        工作内容
号              Q1   Q2    Q3       Q4    Q5        Q6    Q7        Q8   Q9    Q10   Q11   Q12
        前期准备
         工作
        设备订货
         采购
        设备安装
         调试
        人员招聘
         培训
        技术开发
         投入
        本项目建设期拟定为 3 年。项目进度计划内容包括土建及装修工程、设备
订货采购、安装调试、人员招聘培训等。项目具体实施进度见下表：
                     第一年（T+0）                  第二年（T+1）                      第三年（T+2）
序号       工作内容
                    Q1   Q2    Q3       Q4    Q5    Q6    Q7       Q8   Q9    Q10   Q11   Q12
        土建及装修工
          程
        本项目建设期拟定为 2 年。项目进度计划内容包括土建工程、设备订货采
购、安装调试、人员招聘培训等。项目具体实施进度见下表：
                                    第一年（T+0）                                 第二年（T+1）
序号         工作内容
                              Q1         Q2         Q3        Q4        Q5     Q6   Q7    Q8
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     三、本次募投项目新能产能规模合理性及新增产能消化措施
     （一）本次募投项目新能产能规模合理性分析如下：
     本项目基于公司现有 28nm 半导体湿法清洗设备的研发及生产的技术积累，
将针对 14nm 及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、
                           单片式腔体及耐腐蚀性、
高精密度的核心零部件进行研发，不会新增产能。
     本项目将基于公司现有产品的研发及生产的技术积累，拟在北京亦庄设立湿
法设备、半导体零部件及高纯工艺系统北方产业制造基地，研发生产应用于泛半
导体（集成电路、显示屏、光电、光伏等）领域的高纯工艺系统及半导体湿法设
备、零部件。
     （1）全球半导体产业高速发展，本次募投项目新增产能规模与半导体市场
需求相匹配
     近年来，随着新消费电子、工业控制、物联网等新兴产业的快速发展，全球
半导体行业市场规模整体呈现增长趋势。根据全球半导体贸易统计组织的统计，
至 5,559 亿美元，年均复合增长率为 7.76%。
国内集成电路产业继续保持快速、平稳增长态势，2021 年中国集成电路产业首
次突破万亿元。中国半导体行业协会统计，2021 年中国集成电路产业销售额为
亿元，同比增长 10.1%。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
  公司生产的高纯工艺系统类产品和半导体湿法清洗设备产品在各自的细分
领域占据行业优势地位，市场份额较高，其主要适用于泛半导体（集成电路、显
示屏、光电、光伏等）、医药等领域。近年来，由于政策、环境、技术、下游驱
动及经济效益驱使等多种宏观和微观因素的综合作用，泛半导体产业得到大力发
展，从而也带动了高纯工艺系统和半导体清洗设备市场进入高速发展期。本次募
投项目新增产能规模与半导体市场需求相匹配。
  （2）公司在泛半导体领域业务收入、订单快速增长
订单，并继续开拓新用户。2022 年 1-9 月，公司新增订单总额为 36.21 亿元。公
司湿法设备的用户已经覆盖国内主流晶圆制造企业，在每家用户处的阶段也都从
验证和初次的订单，随着交付逐步展开到已验证工艺机台的重复订单。受益于下
游行业的需求，公司将继续倾斜资源供给，打造产品线更广的泛半导体领域业务
板块。
  近年来公司订单增长较快，尽管公司一直在不断提高生产效率，但生产处于
饱和运行状态。随着公司的逐步发展、新产品的不断开发和市场不断开拓，预计
未来公司仍将保持较快增长势头，现有的生产能力将难以满足客户的订单需求，
企业必须开拓新场地，从而解决发展壮大的瓶颈问题。因此，北方生产基地的建
设，有助于提高公司产能规模，满足市场增长和产业结构优化的需求，缓解制约
公司发展的瓶颈问题，为公司持续快速发展奠定基础。
  （3）北京亦庄产业聚集的区位优势可以为项目的实施提供一系列协同效应
  从需求上看，中国正在成为全球最重要的半导体市场，半导体制造逐渐向中
国转移。目前，国内半导体制造主要集中于长三角、珠三角及京津环渤海三大区
域。上述区域已经形成了相对完善、成熟的产业链。
  北京经济技术开发区（亦庄）是当前国内集成电路产业聚集度最高、技术水
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平最先进的区域之一，近年来陆续吸引北方华创、屹唐半导体、中电科、华卓精
科、国望光学等一批半导体装备企业聚集，现已初步形成了涵盖“芯片设计、晶
圆制造、专用设备、核心零部件及关键材料”等较为完备的集成电路产业链生态，
成为全国重要的集成电路装备产业集聚区。
  项目选址在北京亦庄集成电路装备产业聚集区，一方面有助于降低和产业聚
集区内上下游企业原料产品的成本和交易费用，使项目产品生产成本显著降低；
另一方面产业聚集区内产业配套设施齐全、供应链完整、技术人才充沛，公司比
较容易获得产业的配套产品和服务、也能够得到更稳定和有效率的供应链服务、
同时技术人才间的交流也可以帮助公司及时了解产业技术发展趋势，保证项目产
品技术先进性。
  本项目可以依托北京经济技术开发区（亦庄）的产业集聚和技术先进优势，
通过抢抓区域发展机遇、紧跟区域政策与资本的倾斜趋势，大力开拓北方市场。
  基于目前国内半导体关键零部件依赖进口的大背景，本项目拟在浙江海宁实
施半导体模组及部件制造项目，项目的顺利实施利于推动我国关键半导体零部件
进口替代，利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。
  （1）项目建设是推动我国半导体设备供应链完善和发展的重要举措
  据前瞻产业研究院数据显示，中国大陆芯片制造目前仅占全球份额的 10%
左右，而在更上游的设备市场份额则更低，其中半导体设备的全球市场份额只有
中国为半导体产业贡献半数市场份额的现状不相符。近年来，受中美贸易战及技
术禁售等影响，半导体设备国产替代趋势明显。不过，随着美国技术禁令的持续
升级，国产半导体设备核心零部件普遍依赖进口的情况，却成为国内设备企业发
展路上最大的隐患。尽管国产半导体设备正在加速导入国内生产企业，但国产设
备的核心零部件却需要进口，这也导致国产半导体设备的大多数利润被国外核心
零部件供应商所攫取。
  本项目主要针对公司现有槽式、单片式清洗设备的核心零部件进行自主生
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产，有助于实现国产技术瓶颈的突破，实现零部件进口替代，打破外商垄断，同
时提升公司的整体竞争力。
  （2）项目建设可以降低半导体设备成本，推动产业发展
  半导体设备行业上游主要为材料、零部件及电子元件，国内精密机械加工行
业的技术水平相对落后，工业基础薄弱，随着近年来我国精密机械加工行业的工
艺水平逐步提高，情况有所改变。
  在半导体湿法清洗设备的制造成本中，关键零部件的费用占了整个设备成本
的 30%以上，解决零部件技术被“卡脖子”的问题，既能够有效的降低成本，对
于国内半导体湿法清洗装备供应链的健康发展具有积极的意义，可以促使国内半
导体设备供应链的完善和发展，也会有力地推动半导体设备产业在中国的发展。
目前国内的高端清洗设备零部件还处于国外公司垄断的局面，本项目的建设可以
实现半导体湿法清洗设备关键零部件的突破，可以最大限度的降低高端清洗设备
被“卡脖子”的风险，也能为国内的半导体产业的健康发展添砖加瓦。
  （二）公司新增产能具体消化措施包括但不限于：
  随着全球半导体行业整体景气度的提升，半导体设备市场也呈增长趋势。根
据 SEMI 预测，2021-2022 年期间，全球将新建 29 座晶圆厂。晶圆厂新建产线最
大的资本支出来自半导体设备，占资本支出比例在 80%左右。根据 IC Insights
的统计，2016 年至 2021 年，中国大陆晶圆代工市场规模从 46 亿美元增长至 94
亿美元，年均复合增长率为 15.12%，根据其预测，2022 年中国市场也将继续保
持这样的增长趋势，有至少 20%的增长，2022 全球半导体产业的资本投资也将
增加 24%，达到 1,904 亿美元的历史新高，较 2019 年增加了 86%。
  伴随着晶圆厂投资，半导体设备市场迎来爆发式增长，2021 年，国际半导
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体产业协会（SEMI）在其全球半导体设备市场统计报告中指出，2021 年，全球
半导体制造设备销售额大幅增长 44%，达到 1,026 亿美元的历史新高；中国大陆
再次成为全球最大的半导体设备市场，销售额增长 58%，达到 296.2 亿美元，占
全球的 28.9%；韩国为全球第二大设备市场，达到 249.8 亿元，同比增长 55%，
中国台 湾是第三大设备市场，达到 249.4 亿美元，同比增长 45%；日本和欧洲分
别增长了 3%和 17%。根据 SEMI 公布的最新一季全球晶圆厂预测报告，2022 年
全球晶圆厂设备支出预计将同比增长约 9%，达到 990 亿美元的历史新高，继
  公司会努力把握上述市场增长的机遇，积极扩展销售渠道，开拓新客户。
  经过多年来持续高投入的研发及技术积累，公司覆盖多领域全工艺湿法设备
供应商的定位愈发清晰，在集成电路及泛半导体领域均取得顺利进展。集成电路
领域面向逻辑、存储和特殊工艺均有优良成绩。
  逻辑领域，公司已先后取得国内主流逻辑芯片制造企业的批量订单；存储领
域，已陆续获得国内主要客户的订单及验证机会；公司目前主打产品包括 SPM、
晶背清洗等机型在下游核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得
持续订单。特殊工艺领域，公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，
截至 2022 年 8 月 30 日，国内头部几大第三代化合物半导体生产企业已累计向公
司订购相关湿法设备接近 40 台，公司在第三代化合物半导体产线的成绩出色。
  总体上，在集成电路领域，公司已成熟机型正快速进入用户产线，面对用户
往更先进制程发展的必然趋势，公司已陆续在今年度交付 4 台 14 纳米以下制程
的设备，并且 14 纳米以下制程的其他工艺机台的研发也在进一步有序开展。
  另外，在泛半导体领域，公司与光伏、面板等行业主流客户（均为公司在高
纯工艺系统长期信任的用户）开展湿法设备的深度合作，并且在近期拿到了 N
型电池生产线的湿法设备订单。
  除了半导体制程设备业务高速增长，以支持设备为主的高纯工艺系统业务也
保持持续增长，订单创出同期新高。其中气体及化学品设备国产替代进展顺利，
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已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量迅速增长。公司上海工厂虽
受疫情影响有效率损失，但全面复产后的全力追赶基本填补疫情的产能损失，启
东工厂完成设备制造爬坡，已实现满产，为今年度饱和订单的交付提供了条件。
前驱体设备和研磨液等设备的国产替代也取得良好进展，已经在重要用户端陆续
交付使用。2022 年 1-6 月公司主要客户订单保持持续增长，核心客户均为行业一
线集成电路制造企业，如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。
  公司稳定而坚实的客户基础有助于顺利消化本次投资项目的新增产能，保障
项目的顺利实施。
  公司始终鼓励创新，重视研发工作，高度重视并始终保持高水平研发投入，
坚持技术创新，保证公司产品的技术先进性。
  在泛半导体领域，公司于 2015 年开始启动湿法工艺装备研发，2016 年成立
院士工作站。2017 年成立独立的半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制
造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一
致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可
以避免兆声波的高成本。目前，公司量产的 28nm 半导体单片清洗设备在该领域
能够对标国外同类型设备，公司已经具备生产 8-12 寸高阶单晶圆湿法清洗设备
和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖包括晶圆制造、先进封装、光伏在内
多个下游行业的市场需求，以其差异化的技术在业界领先。
  在湿法清洗设备关键零部件技术方面，公司投入了众多资源进行自主研发和
合作开发，取得了一定的技术成果，为项目的实施奠定了一定的技术基础。在自
主研发方面，公司在中国成立全资的研发和生产公司，并协同公司在韩国、日本
及中国台 湾的技术人员共同进行研发，攻克湿法清洗设备关键零部件技术难题，
并形成了知识产权。在合作研发方面，与国内、国外有经验的厂商合作一起研发；
公司积极地与韩国、日本及台 湾主流厂商及技术团队合作，通过合作共同开发技
术、设立合资公司等方式吸收与转化国外先进的技术与经验，形成具有可再研发
性的自主技术，并在中国申请专利，同时在境外将专利授权合作方，完成公司在
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国内外的技术布局。另外，公司已拥有关键零部件一体化的研发，测试及使用平
台。对于关键零部件的功能性测试和调试，可以在公司自有工厂湿法清洗机台上
进行；对于技术指标的测试，工厂也可以提供相关的测试平台。
   未来公司会积极营造有利于技术人员发展的工作环境，提高员工的凝聚力和
向心力，通过有效的人才激励机制，从社会保障制度、工资、福利、股权激励、
人才发展前景、企业文化和经营理念等各方面努力创造条件，保证人才的稳定性，
从而强化研发能力，保持技术优势。
   综上所述，公司募投项目新增产能规模合理，公司已经积极采取了各项措施
确保本次募投项目新增产能可以被合理消化。
   四、本次募投项目预计效益情况，效益测算依据、测算过程，效益测算是
否谨慎
   （一）单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目
   本项目不直接产生经济效益，但通过本项目的实施，能够进一步增强公司的
技术研发能力，顺应行业发展需要，更好地满足市场需求，提高公司竞争力。
   （二）至纯北方半导体研发生产中心项目
   本募集资金投资项目建设期为 3 年，运营期为 8 年（不含建设期），财务测
算期为 11 年。项目达产后，
              年新增营业收入为 48,250.00 万元，新增净利润 6,537.14
万元，内部收益率（税后）10.33%，税后静态回收期 7.15 年（不含项目建设期）。
具体效益测算过程如下：
   项目计算期为 11 年，其中建设期 3 年，在第 4 年实现达产后，形成年产
各类半导体设备、高纯工艺系统 2,655 台套的生产能力，达产年年平均销售收入
为 48,250.00 万元。
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   募投项目收入测算涉及的销售数量综合考虑了整体行业发展的未来市场前
景、客户需求、公司产品的技术水平、市场占有率等情况；销售价格根据市场和
企业实际销售情况确定，收入测算具有谨慎性。
   成本与费用主要包括主营业务成本、税金及附加、管理费用、销售费用、研
发费用等。其中：
   （1）主营业务成本包括原材料、折旧与摊销、人工费用，根据原材料市场
价格、员工工资水平及公司目前现有折旧摊销政策等预测。
   （2）税金及附加主要包括城市维护建设税、教育费附加、地方教育附加费
等。
   （3）期间费用根据公司目前各项费用占营业收入的比例及公司目前现有折
旧摊销政策等情况预测。
   公司在考虑成本费用支出时，原材料、燃料、动力、运输等根据产品材料消
耗及现行市场价格测算，同时也充分考虑了销售费用、管理费用以及折旧摊销等
支出的影响。因此，本项目在测算时，根据市场情况充分考虑了各项成本费用支
出，本项目的测算具有合理性、谨慎性。
   利润总额为项目营业收入减去成本与费用，根据上述假设，达产后年均利润
总额为 8,716.18 万元。净利润为利润总额减去所得税费用，达产后年均净利润
   税后内部收益率为税后净现值为 0 时的折现率，根据计算，本项目税后内部
收益率为 10.33%。
     公司募投项目与业内类似募投项目内部收益率对比如下：
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 序号      上市公司         募投项目          项目领域     内部收益率
                泛半导体装备产业化项目（超高效
                太阳能电池湿法设备及单层载板式
                非晶半导体薄膜 CVD 设备产业化
         捷佳伟创
                项目）（2021 年）
                二合一透明导电膜设备（PAR）产
                业化项目（2021 年）
                中微临港产业化基地项目（2021
                年）
         中微公司
                中微南昌产业化基地项目（2021
                年）
                半导体装备产业化基地扩产项目      集成电路、泛
                （四期）（2021 年）         半导体
                     平均                      19.66%
      至纯科技      至纯北方半导体研发生产中心项目     泛半导体     10.33%
       本项目税后内部收益率为 10.33%，同行业上市公司半导体产业化募投项目
的平均税后内部收益率为 19.66%，与同行业上市公司的募投项目相比，本项目
的效益测算具有谨慎性。
       （三）半导体设备模组及部件制造项目
       本募集资金投资项目建设期为 2 年，运营期为 9 年（不含建设期），财务测
算期为 11 年。项目达产后，
              年新增营业收入为 20,514.00 万元，新增净利润 3,269.08
万元，内部收益率（税后）10.22%，税后静态回收期 8.05 年（不含项目建设期）。
具体效益测算过程如下：
       项目计算期为 11 年，其中建设期 2 年，在第 3 年实现达产后，形成年产
各类半导体设备零部件、模组 1,620 台套的生产能力，达产年年平均销售收入为
       募投项目收入测算涉及的销售数量综合考虑了整体行业发展的未来市场前
景、客户需求、公司产品的技术水平、市场占有率等情况；销售价格根据市场和
企业实际销售情况确定，收入测算具有谨慎性。
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      成本与费用主要包括主营业务成本、税金及附加、管理费用、销售费用、研
发费用等。其中：
      （1）主营业务成本包括原材料、折旧与摊销、人工费用，根据原材料市场
价格、员工工资水平及公司目前现有折旧摊销政策等预测。
      （2）税金及附加主要包括城市维护建设税、教育费附加、地方教育附加费
等。
      （3）期间费用根据公司目前各项费用占营业收入的比例及公司目前现有折
旧摊销政策等情况预测。
      公司在考虑成本费用支出时，原材料、燃料、动力、运输等根据产品材料消
耗及现行市场价格测算，同时也充分考虑了销售费用、管理费用以及折旧摊销等
支出的影响。因此，本项目在测算时，根据市场情况充分考虑了各项成本费用支
出，本项目的测算具有合理性、谨慎性。
      利润总额为项目营业收入减去成本与费用，根据上述假设，达产后年均利润
总额为 4,358.77 万元。净利润为利润总额减去所得税费用，达产后年均净利润
      税后内部收益率为税后净现值为 0 时的折现率，根据计算，本项目税后内部
收益率为 10.22%。
      公司募投项目与业内类似募投项目内部收益率对比如下：
序号      上市公司        募投项目           项目领域    内部收益率
               MEMS 工艺晶圆测试探针研发    半导体设备零
               量产项目（2021 年）       部件
               高端装备精密零部件智造项目      半导体设备零
               （2021 年）           部件
                    平均                      22.96%
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                            半导体设备零
  至纯科技    半导体设备模组及部件制造项目              10.22%
                            部件
  本项目税后内部收益率为 10.22%，同行业上市公司半导体设备零部件募投
项目的平均税后内部收益率为 22.96%，与同行业上市公司的募投项目相比，本
项目的效益测算具有谨慎性。
  五、保荐机构核查意见
  保荐机构履行了以下核查程序：
与募投项目相关的董事会、股东大会等审批文件；
容，复核了本次募投项目投资构成明细及投资金额，投资数额的测算依据和测算
过程，核查各项投资明细是否构成资本性支出；
建设进度、资金投入情况、预计使用进度、建成后的发展情况等相关事项进行了
核查，并结合财务资料核查是否存在董事会前投入；
客户储备和开拓情况；
以及未来业绩增长点，核查本次募投项目规模的合理性；
查询同行业募投项目与发行人募投效益测算结果进行比较，分析发行人募投效益
测算的谨慎性。
  经核查，保荐机构认为：
至目前，本次募投项目已按项目规划开展了可研和备案等前期工作，项目进度正
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常；
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  问题 2
  申请人长期股权投资、其他权益工具投资和其他非流动金融资产余额较高。
请申请人补充说明报告期至今，公司实施或拟实施的财务性投资及类金融业务的
具体情况，并结合公司主营业务，说明公司最近一期末是否持有金额较大、期限
较长的财务性投资（包括类金融业务）情形，同时对比目前财务性投资总额与本
次募集资金规模和公司净资产水平说明本次募集资金量的必要性。
  请保荐机构发表核查意见。
  答复：
  一、申请人补充说明报告期至今，公司实施或拟实施的财务性投资及类金
融业务的具体情况
  报告期至今，公司不存在拟实施投资，公司已实施投资情况如下：
         项目                      内容
         公司名称        上海浚势创业投资合伙企业（有限合伙）
         基金规模                30,000 万元人民币
         投资金额                500 万元人民币
         出资比例                    1.67%
                   直接（包括对某一直接投资项目进行专项投资而设立
                   的单一投资平台）投资于高端装备制造领域（包括但
                   不限于机器人与增材设备制造、智能测控装备制造、
         投资领域
                   工业互联网等）、新一代信息技术领域（包括但不限
                   于互联网与云计算、大数据服务、物联网技术服务等）
                         等领域未上市企业股权。
  公司参与投资上海浚势创业投资合伙企业（有限合伙）是利用专业投资机构，
积极布局具有前景的战略新兴产业，在高端装备制造领域和新一代信息技术领域
充分挖掘和孵化优质项目，未来能够与公司产生业务协同并增强市场竞争力。不
属于财务性投资及类金融业务。
  申请人报告期至今，公司不存在实施或拟实施的财务性投资及类金融业务的
情况。
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          二、结合公司主营业务，说明公司最近一期末是否持有金额较大、期限较
     长的财务性投资（包括类金融业务）情形
          截至 2022 年 6 月 30 日，公司不存在金额较大、期限较长财务性投资（包括
     类金融业务）。
          截至 2022 年 6 月 30 日，公司与财务性投资可能相关的会计科目涉及长期股
     权投资、其他权益工具投资、其他非流动金融资产。
                        科目                                     金额（万元）
                     长期股权投资                                     22,786.58
                    其他权益工具投资                                    15,401.00
                    其他非流动金融资产                                   11,703.94
                        合计                                      49,891.52
          具体明细情况如下：
                                                                            是否
                                                                            属于
     会计              账面价值        持股比例
序号          被投资单位                          投资时间         投资目的       主营业务情况   财务
     科目              （万元）        （%）
                                                                            性投
                                                                            资
     长期
           西藏禹泽投资管                                   寻找产业机会，获得协 投资新能源和环境
            理有限公司                                        同效应      治理领域
     投资
                                                   系波汇科技进一步加强 为最终客户提供优
     长期
          中能瑞通（北京）                                 与下游客户合作关系， 质的智能电网大数
           科技有限公司                                  拓展电力相关业务形成 据及数据采集分析
     投资
                                                      的战略性投资      服务
                                                   投资半导体、光伏产业
     长期    贵州威顿晶磷电                                            从事光伏、半导体产
                                                   链上游原材料供应商，
                                                   进一步推动公司产业整
     投资       公司                                               发、生产及销售
                                                         合
                                                              投资光电子领域相
                                                   培育、储备光电子、半
                                                              关的材料、芯片、元
     长期   天津海河至汇光                                  导体领域优质项目与技
                                                              器件、系统及解决方
                                                              案，光电子相关产业
     投资   企业（有限合伙）                                 下游延伸、产业整合提
                                                              链和上下游企业，泛
                                                      供支持和帮助
                                                                半导体领域
                                                   保证公司主营业务发展
                                                   的前提下，利用专业投 投资半导体集成电
     长期   合肥溯慈企业管
                                                   资机构的投资经验，通 路及显示、新一代信
                                                    过专业化投资管理团 息技术、智能制造和
     投资     合伙）
                                                   队，及时把握上下游相   新材料领域
                                                     关产业投资机会
     其他    长江先进存储产                                 加强与半导体行业内龙 先进存储技术及相
     工具      责任公司                                  成产业链联盟，进一步 发、设计、检验、检
     上海至纯洁净系统科技股份有限公司                   公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                                                                            是否
                                                                            属于
     会计              账面价值        持股比例
序号         被投资单位                           投资时间     投资目的       主营业务情况       财务
     科目              （万元）        （%）
                                                                            性投
                                                                            资
                                                  推动技术与资源整合       测
                                                   布局 5G 相关产业，同
     其他
          梅威斯电气技术                                  时与公司目前的光电子 主营 5G 电源及电池
          （上海）有限公司                                 业务板块能形成资源共        系统
     工具
                                                          享
                                                                上海集成电路中心
                                                                经营宗旨为推动国
                                                                家集成电路产业发
                                                                展为中心，整合国内
                                                   公司参与投资上海集成
                                                                集成电路产业创新
                                                   电路中心有利于加强公
     其他   上海集成电路装                                               资源，形成紧密合作
                                                   司半导体产业链的交流
                                                   合作，与国内集成电路
     工具    中心有限公司                                               备材料与工艺协同
                                                   产业创新资源形成紧密
                                                                创新的可持续发展
                                                       合作关系
                                                                能力，加速国产化
                                                                率、提升中国集成电
                                                                路产业的核心竞争
                                                                    力。
     其他                                            培育、储备半导体装备 半导体等离子去胶
          上海稷以科技有
            限公司
     工具                                              线的拓展进行布局       销售
                                                                由中芯国际牵头、半
                                                   深度参与半导体技术创
                                                                导体产业联盟单位
                                                   新与产业协同，提供公
     其他   芯链融创集成电                                               参与的产业创新中
                                                   司产品与技术的优先认
                                                   证，为公司产品的研发
     工具    京）有限公司                                               率、提高产业竞争
                                                   和应用提供更优质的平
                                                                力，落实国家产业战
                                                          台
                                                                  略与任务。
                                                   系波汇科技进一步加强
     其他                                                         专业从事海上风电
          江苏欧讯能源科                                  与下游客户合作关系，
           技有限公司                                   拓展海上风电相关业务
     工具                                                         研发、生产、销售
                                                     形成的战略性投资
                                                   加强在气体输送系统与
                                                                境外全球领先的气
     其他                                            零部件加工领域的业务
          浙江镨芯电子科                                               体输送及零部件精
           技有限公司                                                密加工供应商的控
     工具                                            的协同和联动，进一步
                                                                    股公司
                                                    推动技术与资源整合
                                                                定位业界领先的新
                                                                一代半导体集成电
                                                   布局工业物联网领域。 路供应商及面向工
                                                   并利用公司客户资源， 业物联网智能制造
                                                   为投资标的的研究成果 产业的专业服务提
                                                   转化提供支持。此外， 供商，为市场提供基
     其他   南京中科河途智                                  通过投资智能制造研究 于 5G 的半导体集成
     工具    究院有限公司                                  自动化和 5G 通讯领域 网的智能应用终端、
                                                   进行战略性布局，可为 面向智能制造领域
                                                   公司在泛半导体领域的 的大数据及人工智
                                                   客户提供更加全面的服 能、工业软硬件开发
                                                      务打下基础。    设计、智能制造咨询
                                                                规划服务等综合解
                                                                   决方案。
     上海至纯洁净系统科技股份有限公司                   公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                                                                          是否
                                                                          属于
     会计              账面价值        持股比例
序号          被投资单位                          投资时间    投资目的       主营业务情况      财务
     科目              （万元）        （%）
                                                                          性投
                                                                          资
     其他                                            培育、储备泛半导体装 主要投资泛半导体
     非流    宁波宇微投资合                                 备与材料领域优质项目 装备与材料领域，且
     融资       伙）                                   务向下游延伸、产业整 值创造潜力的公司
      产                                             合提供支持和帮助     或项目
     其他                                            培育、储备泛半导体装 主要投资泛半导体
     非流    宁波宇微行至创                                 备与材料领域优质项目 装备与材料领域，且
     融资     （有限合伙）                                 务向下游延伸、产业整 值创造潜力的公司
      产                                             合提供支持和帮助     或项目
     其他
                                                              重点对集成电路领
     非流   青岛海丝民合半                                  寻求有协同效应的产业
                                                              域并购整合项目及
                                                              有核心竞争力的公
     融资     限合伙）                                    优质资源的有效整合
                                                               司开展股权投资
      产
                                                              主要投资战略新兴
     其他                                                       产业，包括新一代信
          上海紫竹小苗朗                                  布局高端制造和新材料
     非流                                                       息技术、节能环保、
          锐私募投资基金                                  产业，与公司现有设备
          合伙企业（有限合                                 和材料业务板块具有协
     融资                                                       造、新材料、新能源
             伙）                                      同性和联动性
      产                                                       及新能源汽车、高技
                                                              术服务、前沿科技等
     其他
                                                              重点投资新材料、高
     非流   福州嘉衍创业投
                                                   把握上下游相关产业投 端装备、先进制造、
                                                   资机会，降低投资风险 泛半导体、数字技术
     融资     合伙）
                                                                相关行业
      产
          报告期至今，公司新增投资主要以拓展公司主营业务、获得业务机会、对产
     业链上下游进行布局等为主要目的。
          截至 2022 年 6 月 30 日，公司与财务性投资可能相关的会计科目涉及长期股
     权投资、其他权益工具投资、其他非流动金融资产，公司持有上述资产金额为
     比例为 12.01%。
          综上所述，公司最近一期末不存在持有金额较大、期限较长的财务性投资（包
     括类金融业务）情形。
          三、对比目前财务性投资总额与本次募集资金规模和公司净资产水平说明
     本次募集资金量的必要性
上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
  截至 2022 年 6 月 30 日，公司投资主要以拓展公司主营业务、获得产业链合
作业务机会、对产业上下游进行布局等为目的，不存在金额较大、期限较长的财
务性投资；公司不存在类金融业务，收入及利润均为零。
  随着经营规模的不断扩大，公司需要保有较大的资金量用以维持日常营运、
研发投入以及偿还短期借款、支付现金分红等。而公司目前可自由支配的货币资
金相对有限，为满足公司业务发展需求和产能扩张，公司需通过融资进一步扩大
经营规模。因此，本次可转债募集资金是必要且合理的。
  四、保荐机构核查意见
  保荐机构履行了以下核查程序：
时公告以及可能与财务性投资相关的会计科目明细账、相关合同及原始凭证；
损的分配或承担方式；
解发行人参与设立产业基金的目的、目前基金运营情况和未来发展战略安排。
  经核查，保荐机构认为：
长的财务性投资（包括类金融业务）；
   上海至纯洁净系统科技股份有限公司                              公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
        问题 3
        申请人报告期各期末存货余额较高且增长较快。请申请人补充说明：
                                     （1）报
   告期各期末存货余额较高且增长较快的原因及合理性，是否与同行业可比公司情
   况相一致，是否存在库存积压情况；
                  （2）结合库龄、期后销售及同行业可比公司
   情况说明存货跌价准备计提是否充分。
        请保荐机构发表核查意见。
        答复：
        一、报告期各期末存货余额较高且增长较快的原因及合理性，是否与同行
   业可比公司情况相一致，是否存在库存积压情况
        （一）报告期内存货余额较高且增长较快的原因及合理性
        报告期各期末，公司存货账面价值构成情况如下：
                                                                                    单位：万元
 项目
           金额              比例        金额            比例          金额          比例        金额         比例
 原材料       47,005.58       33.57%    29,772.39      25.17%    27,435.98    34.53%   16,310.71    25.68%
 在产品       18,471.01       13.19%    15,310.66      12.94%     7,591.79     9.56%    2,714.07     4.27%
库存商品       15,327.86       10.95%    17,623.15      14.90%     4,229.25     5.32%    4,666.72     7.35%
未完工项目      57,545.65       41.09%    53,770.43      45.45%    37,977.47    47.80%   38,527.07    60.66%
委托加工物资           13.51      0.01%       24.79         0.02%      32.55      0.04%      87.05      0.14%
发出商品            252.98      0.18%      256.30         0.22%     715.39      0.90%     203.31      0.32%
自制半成品          1,418.53     1.01%     1,536.48        1.30%    1,464.23     1.84%    1,005.51     1.58%
 合计       140,035.12      100.00%   118,294.20     100.00%    79,446.66   100.00%   63,514.44   100.00%
        报告期内，发行人存货主要包括原材料、未完项目施工和库存商品，其中所
   占比例最高的为未完工项目，该项目核算已经按照项目进行归集的成本，包括已
   经按照项目进行归集的原材料、人工、费用等生产成本，待项目验收后直接结转
   至营业成本，主要为高纯工艺系统项目施工。
        报告期各期末，发行人存货账面价值分别为 63,514.44 万元、79,446.66 万元、
          上海至纯洁净系统科技股份有限公司                      公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
          业扩张的影响，下游客户对高纯工艺系统的需求急剧上升，一方面，发行人高纯
          工艺系统业务订单增长较快、发行人施工能力提升，使包括未完项目成本的存货
          相较报告期初有较大提升。另一方面，半导体材料及零部件等原料供给紧张，部
          分原材料采购价格有所上涨，发行人为了保证业务顺利开展进行了较多的备货。
            （二）同行业可比上市公司情况
            报告期各期末，公司及同行业可比公司存货占总资产比例情况如下：
     可比公司名称        2022 年 6 月 30 日     2021 年 12 月 31 日          2020 年 12 月 31 日      2019 年 12 月 31 日
        北方华创                  30.32%                25.87%                  28.16%               26.47%
        精测电子                  17.55%                15.59%                  17.56%               15.14%
        长川科技                  31.36%                26.74%                  23.31%               25.24%
        中微公司                  13.65%                10.53%                  18.34%               22.79%
        盛美上海                  28.91%                22.77%                  33.35%               23.49%
        正帆科技                  35.11%                30.28%                  22.61%               27.80%
        行业平均                 26.15%                 21.96%                 23.89%                23.49%
        至纯科技                 16.26%                 14.91%                 13.34%                19.50%
            公司主要采取“以销定产”的生产模式，日常采购也实行按需采购，报告期
          内公司的存货占总资产比例低于行业平均值。
            （三）报告期内存货库龄情况
            公司存货库龄情况如下所示：
                                                                                        单位：万元
   项目
                金额           占比          金额           占比             金额          占比            金额          占比
   合计          140,804.33   100.00%    119,468.76    100.00%        80,276.36   100.00%       64,411.79   100.00%
存货跌价准备余额          769.21      0.55%      1,174.56        0.98%        829.70         1.03%      897.35      1.39%
          上海至纯洁净系统科技股份有限公司                     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
            报告期各期末公司存货库龄主要为 1 年以内，占存货账面余额的比例 75%
          以上,不存在库存积压情况。
            综上所述，报告期内发行人存货逐年增长，主要是受半导体产业扩张影响，
          存货占总资产比例低于行业平均值，公司存货余额较大且增长较快符合公司业务
          模式及业务发展实际情况，存货增长与公司资产规模的提升相匹配，具有合理性，
          公司存货库龄主要为 1 年以内，不存在库存积压情况。
            二、结合库龄、期后销售及同行业可比公司情况说明存货跌价准备计提是
          否充分
            （一）报告期内存货库龄情况
            公司存货库龄情况如下所示：
                                                                                   单位：万元
   项目
                金额           占比         金额          占比           金额         占比         金额          占比
   合计        140,804.33     100.00%   119,468.76   100.00%      80,276.36   100.00%   64,411.79   100.00%
存货跌价准备余额          769.21      0.55%     1,174.56        0.98%     829.70      1.03%     897.35      1.39%
            报告期各期末公司存货库龄主要为 1 年以内，占存货账面余额的比例 75%
          以上。
            报告期各期末，按存货的成本与可变现净值孰低计提或调整存货跌价准备。
          由于公司主要采取“以销定产”的生产模式，日常采购也实行按需采购，绝大部
          分采购行为首先以客户订单或需求计划为基础，根据采购周期和需求数量确定所
          需物料数量进行采购，因此公司存货跌价的情形极少。
            （二）期后销售情况
            公司存货期后销售情况如下所示：
 上海至纯洁净系统科技股份有限公司                 公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                                                                      单位：万元
      项目            2021 年 12 月 31 日        2020 年 12 月 31 日      2019 年 12 月 31 日
   存货账面价值                      118,294.20             79,446.66            63,514.44
期后累计销售结转金额
（截至 2022 年 6 月末）
期后累计销售结转比例
（截至 2022 年 6 月末）
   公司采取“以销定产”的模式，期后销售状况良好。2021 年 12 月 31 日存
 货期后销售比例较低，主要系公司主要产品为定制化产品，存在一定的建设周期，
 短期内期后销售结转比例不高；同时公司收入具有季节性特征，通常年底集中确
 认收入，存货销售结转上表现为四季度结转金额较大，因此 2021 年 12 月 31 日
 账面存货截至 2022 年 6 月末结存比例不高。
   （三）同行业可比上市公司情况
   报告期各期末，公司及同行业可比公司存货跌价准备计提比例情况如下：
 可比公司名称
                    日                 日                   日                日
  北方华创                 0.10%                0.13%           0.22%            0.28%
  精测电子                 0.23%                0.29%           0.00%            0.00%
  长川科技                 4.18%                4.88%           6.46%            6.78%
  中微公司                 3.64%                5.07%           8.79%            9.13%
  盛美上海                 0.62%                0.53%           1.20%            1.26%
  正帆科技                 0.68%                1.06%           1.64%            2.46%
  行业平均                 1.57%                1.99%           3.05%            3.32%
行业平均-剔除长川科
  技、中微公司
  至纯科技                 0.55%                0.98%           1.03%            1.39%
   与同行业可比公司相比，公司存货跌价计提比例总体上低于同行业可比公
 司；剔除长川科技、中微公司后，公司存货跌价准备计提情况略高于同行业可比
 公司，存货跌价准备计提较为充分。存货跌价准备差异主要系公司产品属于定制
 化产品，公司的高纯工艺系统以定制化为特点，不同合同的高纯工艺系统差异较
 大；公司的半导体湿法设备为非标准化产品，需要根据客户需求进行调试、定制。
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定制化和高毛利的特征使得公司存货通常不容易出现可变现净值低于账面价值
的情况。
  综上所述，发行人存货跌价准备计提情况符合公司业务模式和实际经营情
况，期后销售情况良好，存货跌价准备计提充分，计提情况略高于剔除长川科技
和中微公司后的同行业可比公司。
  三、保荐机构核查意见
  保荐机构履行了以下核查程序：
情况，了解公司在手订单量与公司期末存货金额是否匹配；
合理性；
将公司存货减值准备计提情况与同行业进行了比较。
  经核查，保荐机构认为：
“以销定产”的生产模式，报告期内公司的存货占总资产比例低于行业平均值；
跌价准备计提充分，公司产品具有定制化特点，存货跌价准备计提情况略低于同
行业可比公司。
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   问题 4
   申请人报告期各期末应收账款、其他应收款余额较高且增长较快。请申请人
补充说明：
    （1）报告期各期末应收账款余额较高且增长较快的原因及合理性，信
用政策与同行业是否存在较大差异，是否存在放宽信用政策情形；
                            （2）结合账龄、
期后回款及坏账核销情况、同行业可比公司情况等说明应收账款坏账准备计提是
否充分；
   （3）报告期各期末其他应收款的具体构成、账龄分布情况，其他应收款
坏账准备计提情况，计提是否充分。
   请保荐机构发表核查意见。
   答复：
   一、报告期各期末应收账款余额较高且增长较快的原因及合理性，信用政
策与同行业是否存在较大差异，是否存在放宽信用政策情形
   （一）报告期内应收账款占比及变动情况
   报告期内，公司应收账款占比及变动情况如下：
                                                                   单位：万元
  项目
           /2022 年 1-6 月      日/2021 年度         日/2020 年度         日/2019 年度
 应收账款           160,532.40        120,634.00         98,023.68         81,395.44
 资产总额           861,254.15        793,301.75        595,666.28        325,710.65
应收账款/资产
  总额
 营业收入           111,993.18        208,409.77        139,705.61         98,643.92
营业收入增长率            21.67%            49.18%            41.63%            46.34%
应收账款增长率            33.07%            23.07%            20.43%            75.25%
   报告期内，公司应收账款随着营业收入的提升而整体呈上升趋势。2019 年
度至 2022 年 6 月末应收账款增长率分别为 75.25%、20.43%、23.07%、33.07%，
营业收入增长率分别为 46.34%、41.63%、49.18%、21.67%。应收账款增长率和
营业收入增长率变动趋势一致。
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月收购波汇科技所致，随着公司完成收购波汇科技并将其纳入合并报表范围，公
司整体资产规模大幅增长，应收账款金额也随之显著增加。
月营业收入增长放缓，应收账款增长率高于营业收入增长率。
  （二）应收账款余额较高且增长较快的原因及合理性
  公司主要业务高纯工艺集成系统业务受传统春节假期影响，一季度的开工与
签约量相对较低，且由于下游行业工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其
是第四季度，高纯工艺系统业务收入经常确认在下半年尤其是第四季度，导致年
末确认的应收账款较大。
度应收账款快速增长。波汇科技下游客户所处行业为石油石化、电力电网、城市
地下综合管廊、轨道交通等，该类型行业客户采购具有明显的季节性，采购一般
遵守较为严格的预算管理制度，通常在每年第一季度制定投资计划，然后经历方
案审查、立项批复、请购批复、招投标、合同签订等严格的程序，年度资本开支
如工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其是第四季度，导致年末确认的应
收账款较大。
  报告期内，发行人所服务的主要下游产业集成电路是国家大力支持发展的产
业。在国家大基金配套各地产业基金的带动下，整个集成电路产业的迅速发展。
发行人营业规模迅速扩张，应收账款随营业收入的增加逐年增加。
  公司高纯工艺集成系统主要通过竞标方式获取订单，并以定制化模式为不同
客户的工艺要求制定系统的整体设计方案。2019 年度，公司完成收购波汇科技
后新增光传感及光器件业务，同期，半导体湿法设备业务开始逐步产生收入，公
司业务种类和经营模式有所拓展。随着业务规模扩大，公司应收账款逐步增长。
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    报告期内，公司主要业务高纯工艺集成系统业务采用定制化模式，根据客户
  不同工艺要求进行施工，因此不同项目合同结算进度以及信用期限存在差异。一
  般而言，公司会收取预收款，并按阶段收取工程进度款，在项目验收后收取验收
  款项，在质保期结束后收取质保金款项。质保期通常为 1-2 年，质保金比例一般
  为 5%-10%。由此导致整体应收款项账龄相对较长。随着公司业务的不断拓展，
  公司应收账款有所提高。
    （三）同行业可比上市公司
    报告期各期末，公司及同行业可比公司应收账款占总资产的比例情况如下：
可比公司名称   2022 年 6 月 30 日   2021 年 12 月 31 日   2020 年 12 月 31 日   2019 年 12 月 31 日
 北方华创              8.54%              6.12%              8.17%              6.82%
 精测电子             19.39%             15.17%             14.82%             20.25%
 长川科技             20.07%             18.88%             21.37%             20.69%
 中微公司              3.09%              3.04%              4.81%              6.02%
 盛美上海             11.61%              8.56%             13.89%             16.05%
 正帆科技             14.65%             14.20%             11.66%             20.45%
行业平均              12.89%             10.99%             12.45%             15.04%
至纯科技              18.64%             15.21%             16.46%             24.99%
    报告期内公司的应收账款占总资产的比例高于行业平均值，主要是由于同行
  业上市公司业务所属具体细分领域不同所导致，公司产品高纯工艺系统交期和账
  期通常较长，导致应收账款占比总体上高于同行业可比公司。
    综上所述，报告期内公司应收账款的增长主要原因为公司业务规模的不断扩
  大，应收账款占总资产的比例高于行业平均值，主要是由于同行业上市公司业务
  所属具体细分领域不同所导致。公司应收账款占比较高且逐年增长与公司所处的
  行业特点、业务模式和信用政策相符，应收账款增长与公司整体营业收入的增长
  和资产规模的提升相匹配，具有合理性。
    二、结合账龄、期后回款及坏账核销情况、同行业可比公司情况等说明应
  收账款坏账准备计提是否充分
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  （一）应收账款账龄情况
  报告期各期末，公司“按信用风险特征组合计提坏账准备的应收款项”的账
龄分析如下：
                                                          单位：万元
  账龄
            余额           占比            坏账准备              坏账计提比例
  合计        178,275.70     100.00%        17,743.30         9.95%
  账龄
            余额           占比            坏账准备              坏账计提比例
  合计        138,051.07     100.00%        17,417.07         12.62%
  账龄
            余额           占比            坏账准备              坏账计提比例
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    合计              109,367.76       100.00%        11,344.08             10.37%
    账龄
                    余额             占比             坏账准备           坏账计提比例
    合计               91,926.43       100.00%        10,574.56             11.50%
    从账龄结构来看，发行人应收账款账龄主要集中在 2 年内，报告期各期末，
发行人“按信用风险特征组合计提坏账准备的应收款项”应收账款中，账龄在 2 年
以内的应收账款余额分别为 77,102.97 万元、83,051.57 万元、107,768.71 万元和
款余额为 83.87%、75.94%、78.06%和 85.76%，与发行人所处行业及业务特征相
符，应收账款账龄结构较为合理。
    （二）期后回款及坏账核销情况
    报告期内，公司期后回款及坏账核销情况如下：
                                                                    单位：万元
                                 期后 9 个月收       期后 9 个月收        坏账核       坏账核
      日期           应收账款余额
                                  回金额            回比例            销金额       销比例
    报告期末公司应收账款余额期后 9 个月（2022 年 6 月 30 日为期后 3 个月）
回款比例分别为 35.78%、37.74%、39.03%及 23.04%，与账龄结构基本相符，符
合发行人的生产经营特点。
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         报告期内，发行人仅核销 49.97 万应收账款，核销金额较小，5 年以上应收
       账款金额和占比较小，整体坏账风险可控。
         （三）同行业可比公司情况
         报告期各期末，公司及同行业可比公司应收账款坏账计提比例情况如下：
      可比公司名称       2022 年 6 月 30 日
                                            日                       日                  日
       北方华创                  8.67%               10.31%                11.84%            15.80%
       精测电子                  6.93%                6.99%                 6.89%             6.25%
       长川科技                  5.34%                5.79%                 5.99%             5.90%
       中微公司                  3.06%                2.92%                10.14%            10.10%
       盛美上海                  3.09%                3.17%                 2.85%             3.92%
       正帆科技                 11.18%               11.23%                12.93%            13.01%
       行业平均                 6.38%                6.74%                 8.44%              9.16%
       至纯科技                11.29%                14.30%                12.65%            12.86%
         公司的坏账准备计提较为谨慎，公司应收账款坏账计提比例高于行业可比公
       司，应收账款坏账准备计提充分。
         综上所述，发行人主营业务形成的应收账款账龄较短账龄分布合理，期后回
       款情况与公司的账龄结构、生产经营特点相符，报告期内实际核销的应收账款金
       额较小，公司的坏账准备计提比例高于同行业，公司坏账准备计提充分。
         三、报告期各期末其他应收款的具体构成、账龄分布情况，其他应收款坏
       账准备计提情况，计提是否充分
         （一）报告期内其他应收款具体构成情况
         报告期各期末，公司其他应收款按性质分类情况如下：
                                                                                     单位：万元
款项性质
              金额         占比          金额            占比             金额            占比        金额         占比
 押金            474.78     3.30%        543.65         4.87%        448.49       6.86%       445.74   10.53%
保证金           5,534.28   38.44%       7,859.22     70.45%        3,440.70       52.61%    2,341.92   55.31%
          上海至纯洁净系统科技股份有限公司                  公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
 备用金           2,909.29    20.21%    1,716.10    15.38%      1,003.81    15.35%    1,180.94    27.89%
  其他           5,478.97    38.06%    1,037.43        9.30%   1,647.63    25.19%     265.91      6.28%
  合计          14,397.32   100.00%   11,156.39   100.00%      6,540.63   100.00%    4,234.50   100.00%
           注：2022 年 6 月 30 日，其他主要为融资租赁形成的暂估进项税额，金额 2,607.07 万元。
         该款项系公司全额支付融资租赁款，对方尚未开具发票，故公司暂估进项税额形成。
            报告期各期末，公司其他应收账款余额主要为业务相关保证金，报告期各期
         末占其他应收账款的比例分别为 55.31%、52.61%、70.45%及 38.44%，保证金增
         加与公司业务规模扩张相关，符合公司所处行业情况一致。
            （二）其他应收款账龄分布情况
            报告期各期末，公司其他应收款账龄情况如下：
                                                                                单位：万元
  账龄
              金额           占比       金额           占比          金额         占比         金额          占比
  合计          14,397.32   100.00%   11,156.39   100.00%      6,540.63   100.00%    4,234.50   100.00%
            从账龄结构来看，发行人其他应收款账龄主要集中在 2 年内，报告期各期末，
         发行人其他应收款中，账龄在 2 年以内的其他应收款余额分别为 3,608.36 万元、
         特征相符，其他应收款账龄结构较为合理。
            （三）其他应收款坏账计提情况
            报告期各期末，公司其他应收款坏账计提情况如下：
                                                                                单位：万元
 上海至纯洁净系统科技股份有限公司                 公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
  项目      2022 年 6 月 30 日    2021 年 12 月 31 日   2020 年 12 月 31 日   2019 年 12 月 31 日
其他应收款余额          14,397.32          11,156.39           6,540.63           4,234.50
坏账准备               772.93              747.46             483.28             342.35
其他应收款净额          13,624.39          10,408.94           6,057.35           3,892.15
   公司报告期内应收账款主要集中在 2 年以内且以业务保证金为主，坏账风险
 较低，公司应收账款坏账计提充分。
   综上所述，发行人其他应收款账龄较短账龄分布合理，主要为业务保证金，
 与公司生产经营规模相符，公司坏账准备计提充分。
   四、保荐机构核查意见
   保荐机构履行了以下核查程序：
 解申请人与主要客户的信用政策、结算方式、结算流程及期后回款情况；
 转率、坏账准备计提比例与同行业可比公司进行对比分析；
 要客户，通过抽查销售原始单据及期后回款等执行替代程序；
 履行的情形；
 行查询客户公司经营是否出现异常，是否存在影响其信用状况的重大诉讼；
 数据及相关资料，评价其恰当性和充分性；通过比较前期损失准备计提数与实际
 发生数，并结合对期后回款的检查，评价应收账款损失准备计提的充分性；
 末其他应收款性质及分类情况
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的数据及相关资料，评价其恰当性和充分性。
  经核查，保荐机构认为：
信用政策相符，应收账款增长与公司整体营业收入的增长和资产规模的提升相匹
配，具有合理性；
与公司的账龄结构、生产经营特点相符，报告期内实际核销的应收账款金额较小；
公司的坏账准备计提比例高于同行业，公司坏账准备计提充分；
应收款坏账准备计提充分。
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   问题 5
   申请人最近三年一期末预付账款（含其他非流动资产，下同）余额逐年大幅
增长。
   请申请人补充说明：
           （1）最近三年一期末预付账款余额逐年大幅增长的原因
及合理性，是否与申请人业务规模相匹配；
                  （2）结合预付对象、是否为关联方或
潜在关联方、预付内容、是否符合行业惯例等补充说明上述情形是否构成资金占
用。
   请保荐机构和会计师发表核查意见。
     答复：
       一、最近三年一期末预付账款余额逐年大幅增长的原因及合理性，是否
   与申请人业务规模相匹配
     （一）报告期内预付账款占比及变动情况
     报告期内，公司预付账款占比及变动情况如下：
                                                                    单位：万元
  项目
            /2022 年 1-6 月      日/2021 年度         日/2020 年度         日/2019 年度
 预付款项             67,326.02         48,270.18         19,850.93          9,209.29
 流动资产            533,872.78        476,593.47        375,128.41        215,060.84
预付款项/流动
  资产
预付款项增长率             39.48%           143.16%           115.55%           124.40%
其他非流动资产           13,518.03         11,367.52          7,870.74          6,038.27
 非流动资产           327,381.37        316,708.29        220,537.87        110,649.81
其他非流动资产
 /非流动资产
其他非流动资产
   增长率
   报告期内，随着营业规模扩张，募投项目实施，预付账款（含其他非流动资
产）金额逐年增加。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
   报告期内，发行人预付款项分别为 9,209.29 万元、19,850.93 万元、48,270.18
万元及 67,326.02 万元，预付款项增长率分别为 124.40%、115.55%、143.16%及
   报告期内，发行人其他非流动资产分别为 6,038.27 万元、7,870.74 万元、
末无其他非流动资产）、30.35%万元、44.43%及 18.92%。
   （二）预付账款余额逐年大幅增长的原因及合理性
   公司期末预付款项主要系高纯工艺集成系统及半导体设备业务的材料采购
款和验证服务费，其中验证服务费系半导体设备业务中支付给下游核心验证级客
户的首类设备机型的设备验证费用，这是半导体设备行业特点所致，当推出新机
型或进入新客户时，一般会支付给核心验证级客户一定的费用，用于获得该设备
的可靠性数据以便发展后续业务。核心验证级客户出具的验证报告在行业内具有
普适性，可以被行业内其他客户引用。验证服务费在半导体设备行业公司普遍存
在，在支付时计入预付款项科目，相关验证服务完成后结转入研发费用科目。
   随着公司业务规模扩大、业务订单的增加、半导体设备新机型的不断研发完
成以及新客户的开发，材料采购款和验证服务费预付金额逐年增长，尤其是在半
导体设备业务领域，部分相关技术仍然是国外较领先，故国外供应商在支付条款
方面比较强势。同时由于半导体业务全球产能紧张，供应链交期延长，公司为了
支撑未来预计增长的订单需求，采取了较为积极的备货策略，导致预付款项大幅
增长。
   公司期末其他非流动资产主要系一年以上销售质保金、预付固定资产采购
款。公司业务规模逐年扩大、业务订单逐年增加、长期资产持续投入，导致其他
非流动资产逐年增加。报告期内，公司分别于 2019 年发行股份及支付现金购买
资产并募集配套资金、2019 年公开发行可转换公司债券、2020 年非公开发行股
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票，通过资本市场募集大量资金投资于募投项目，同时利用自有资金进行投资扩
产。
  综上所述，报告期内公司预付账款逐年大幅增长主要系公司业务规模的不断
扩大，公司采取了积极的备货策略，加大的存货的备货量；其他非流动资产逐年
大幅增加主要系公司业务规模不断扩大，一年以上销售质保金逐年增加。预付账
款（含其他非流动资产）的逐年大幅增加与公司业务规模相匹配，具有合理性。
     二、结合预付对象、是否为关联方或潜在关联方、预付内容、是否符合行
业惯例等补充说明上述情形是否构成资金占用
     （一）报告期内主要预付账款情况
  报告期期末，前五大预付账款（含其他非流动资产）情况如下：
                                                              单位：万元
                                                         是否   涉及业务或产
科目名称                公司名称                    金额
                                                        关联方     品
                                                              半导体设备相
 预付款项             先进系统公司                    22,157.85    否    关模组及配件
                                                              采购
其他非流动资                                                        湿法半导体设
                    上集创新                     6,871.33    否
  产                                                           备收入质保金
                                                              半导体设备相
 预付款项                新凯来                     3,083.82    否    关模组及配件
                                                              采购
         Honeywell Automation and Control                     高纯类业务相
 预付款项                                        1,655.51    否
             Solutions(China)Co.,Ltd.                         关原材料采购
                                                              高纯类业务相
 预付款项    BADA TECHNICAL WORKSHOP             1,612.67    否
                                                              关原材料采购
              合计                            35,381.18
              占比                             43.76%
  报告期期末，前五大预付账款（含其他非流动资产）情况如下：
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                                                              单位：万元
                                                         是否   涉及业务或产
科目名称                公司名称                    金额
                                                        关联方     品
                                                              半导体设备相
 预付账款             先进系统公司                    14,722.41    否    关模组及配件
                                                              采购
其他非流动资                                                        湿法半导体设
                    上集创新                     5,684.86    否
  产                                                           备收入质保金
                                                              半导体设备相
 预付账款                新凯来                     3,083.82    否    关模组及配件
                                                              采购
         Honeywell Automation and Control                     高纯类业务相
 预付账款                                        1,292.76    否
             Solutions(China)Co.,Ltd.                         关原材料采购
                                                              光电子类业务
 预付账款        昆山春旭电子有限公司                      1,100.51    否
                                                              原材料采购
              合计                            25,884.36
              占比                             43.40%
  报告期期末，前五大预付账款（含其他非流动资产）情况如下：
                                                              单位：万元
                                                         是否   涉及业务或产
科目名称                公司名称                    金额
                                                        关联方     品
其他非流动
          天津市滨海新区土地发展中心                      2,040.00    否    土地出让金
  资产
                                                              半导体设备相
预付账款              先进系统公司                     2,239.35    否    关模组及配件
                                                              采购
                                                              半导体设备验
预付账款                上集研发                     1,980.47    否
                                                              证费
                                                              项目工程劳务
预付账款      巨野县创力机电安装有限公司                        826.17    否
                                                              款
其他非流动                                                         预付固定资产
           深圳市东丽华科技有限公司                        797.01    否
  资产                                                          采购款
              合计                             7,882.99
              占比                              28.44%
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    报告期期末，前五大预付账款（含其他非流动资产）情况如下：
                                                                         单位：万元
                                                                 是否     涉及业务或产
   科目名称                公司名称                          金额
                                                                关联方       品
  其他非流动资                                                                预付固定资产
                     先进系统公司                          4,766.14    否
    产                                                                   采购款
  其他非流动资                                                                预付固定资产
               深圳市东丽华科技有限公司                          1,200.00    否
    产                                                                   采购款
             广州市浩鑫不锈钢洁净容器有限                                             高纯类业务相
   预付账款                                               760.85     否
                   公司                                                   关原材料采购
                                                                        光电子类业务
   预付账款          Laser Operations, LLC                441.17     否
                                                                        原材料采购
                                                                        光电子类业务
   预付账款           Windar Photonics A/S                348.81     否
                                                                        原材料采购
                  合计                                 7,516.98
                  占比                                 49.30%
  注： 先进系统公司预付固定资产采购款为采购研发用设备，2020 年计入开发支出，公司根
  据预付款项性质分类为其他非流动资产。
    报告期内预付对象均不是关联方或潜在关联方，预付款项内容与公司主营业
  务相关，其他非流动资产主要系销售形成的一年以上质保金。报告期内，半导体
  产业链供应相对紧张，公司规模不断扩大，预付账款（含其他非流动资产）金额
  随业务规模增加，符合行业特征，预付账款不构成资金占用。
    （二）同行业可比公司情况
    报告期各期末，公司及同行业可比公司预付账款（含其他非流动资产）占总
  资产的比例情况如下：
可比公司名称    2022 年 6 月 30 日    2021 年 12 月 31 日        2020 年 12 月 31 日   2019 年 12 月 31 日
 北方华创               2.70%                    2.45%              2.63%              0.82%
 精测电子               2.16%                    1.80%              1.60%              3.45%
 长川科技               0.56%                    0.88%              0.29%              0.50%
 中微公司               1.25%                    0.92%              2.64%              0.86%
 上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
盛美上海         9.98%       6.14%    16.57%          1.27%
正帆科技         5.72%       4.57%     1.96%          2.29%
行业平均        3.73%        2.79%     4.28%          1.53%
至纯科技        9.39%        7.52%     4.65%          4.68%
   公司预付账款（含其他非流动资产）占总资产的比例高于同行业可比公司，
 主要系公司 2021 年开始采取了积极的备货策略，加大的存货的备货量，导致公
 司 2021 年、2022 年预付账款（含其他非流动资产）占总资产的比例大幅提高。
   综上所述，报告期各期末预付账款（含其他非流动资产）均与公司日常经营
 相关，主要预付对象均不属于关联方，预付内容与合同、行业惯例一致，不构成
 资金占用。
   三、保荐机构和会计师核查意见
   保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
 构成情况；
 进行对比分析。
   经核查，保荐机构和会计师认为：
 大幅增长具有合理性；
 合行业惯例。
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  问题 6
  申请人最近一期末商誉账面余额 2.55 亿元。
  请申请人结合商誉的形成原因、最近一期末的明细情况，并对照《会计监管
风险提示第 8 号-商誉减值》进行充分说明和披露。
  请保荐机构和会计师发表核查意见。
  答复：
  一、商誉的形成原因、最近一期末的明细情况
  （一）最近一期末商誉的明细情况
  截至 2022 年 6 月 30 日，公司商誉具体情况如下：
                                                            单位：万元
  被投资单位名称或形成商誉的事项                            账面原值         减值准备
 珐成制药系统工程（上海）有限公司                               530.93           -
      上海波汇科技有限公司                              24,683.96          -
    Ked International Corporation               377.66           -
                合计                            25,592.55          -
  （二）商誉形成原因
  根据《企业会计准则第 20 号—企业合并》的规定，在非同一控制下的企业
合并中，购买方对合并成本大于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份
额的差额，应当确认为商誉。
药系统工程（上海）有限公司（以下简称“珐成制药”）59.13%股权。根据上海东
洲资产评估有限公司出具的评估基准日为 2016 年 12 月 31 日的企业价值评估报
告（沪东洲资评报字【2017】第 0141 号），珐成制药股东权益账面数为 2,569.09
万元，资产基础法评估值为 2,625.89 万元；收益法评估股东全部权益价值为 2,930
万元。珐成制药于收购日（2017 年 9 月 30 日）的净资产账面值为 2,185.13 万元，
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由于评估结果采用了收益法下的评估值，未拆分至各资产负债表科目，考虑到评
估增值金额较低，合并日珐成制药可辨认资产、负债公允价值使用了合并日的账
面数。本次收购属于非同一控制下的企业合并，合并成本 1,823.00 万元大于被购
买方可辨认净资产账面价值 1,292.07 万元，差额 530.93 万元确认为商誉。
洁净系统科技股份有限公司拟发行股份及支付现金购买资产所涉及的上海波汇
                    （沪申威评报字〔2018〕第 0135
科技股份有限公司股东全部权益价值评估报告》
号）评估报告，采用资产基础法和收益法两种方法对交易标的全部权益的市场价
值进行评估，最终采用收益法评估结果作为本次交易标的的评估结论。经采用收
益法评估，波汇科技于评估基准日 2017 年 12 月 31 日的全部股东权益评估价值
为 61,300.00 万元。经交易双方友好协商，本次交易最终对价参考评估报告确定
为 68,000.00 万元。本次收购属于非同一控制下的企业合并，合并成本 69,143.61
万元（本次交易对价和根据重组方案约定需支付的资金成本）大于被购买方可辨
认净资产公允价值 44,459.65 万元，差额 24,683.96 万元确认为商誉。
    根据 2019 年 8 月签署的投资入股协议书，公司子公司至纯科技有限公司对
Ked International Corporation 投 资 28 万 美 元 ， 直 接 持 有 Ked International
Corporation 22.86% 的股权，股东登记日为 2019 年 11 月 7 日。
    根据 2020 年 3 月签署的增资入股协议书，公司子公司至纯科技有限公司对
Ked International Corporation 增资 120 万美元，持有 Ked International Corporation
股权增加至 61.04%，股东登记日为 2020 年 8 月 18 日。
    本次收购属于非同一控制下的企业合并，合并成本 965.69 万元大于被购买
方可辨认净资产公允价值（未经评估，使用账面金额确认）588.03 万元，差额
    二、对照《会计监管风险提示第 8 号—商誉减值》进行充分说明和披露
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  公司根据《企业会计准则第 8 号—资产减值》及《会计监管风险提示第 8 号
—商誉减值》的规定，对商誉进行了减值测试和披露，具体处理如下：
  （一）公司定期及时进行商誉减值测试
  按照《企业会计准则第 8 号—资产减值》的规定，公司应当在资产负债表日
判断是否存在可能发生资产减值的迹象。对企业合并所形成的商誉，公司应当至
少在每年年度终了进行减值测试。
  《会计监管风险提示第 8 号—商誉减值》的规定中，特定减值迹象如下：
  （1） 现金流或经营利润持续恶化或明显低于形成商誉时的预期，特别是被
收购方未实现承诺的业绩；
  （2） 所处行业产能过剩，相关产业政策、产品与服务的市场状况或市场竞
争程度发生明显不利变化；
  （3） 相关业务技术壁垒较低或技术快速进步，产品与服务易被模仿或已升
级换代，盈利现状难以维持；
  （4） 核心团队发生明显不利变化，且短期内难以恢复；
  （5） 与特定行政许可、特许经营资格、特定合同项目等资质存在密切关联
的商誉，相关资质的市场惯例已发生变化，如放开经营资质的行政许可、特许经
营或特定合同到期无法接续等；
  （6） 客观环境的变化导致市场投资报酬率在当期已经明显提高，且没有证
据表明短期内会下降；
  （7） 经营所处国家或地区的风险突出，如面临外汇管制、恶性通货膨胀、
宏观经济恶化等。
  经测试，公司商誉于报告期各年末不存在减值迹象，未计提减值准备。
  （二）合理将商誉分摊至资产组或资产组组合进行减值测试
  公司根据《企业会计准则第 8 号—资产减值》的规定，充分考虑资产组产生
现金流入的独立性、企业合并所产生的协同效应、与商誉相关的资产组或资产组
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组合与形成商誉时收购的子公司股权的区别、是否存在归属于少数股东的商誉的
影响。截至 2022 年 6 月 30 日，公司商誉账面净值为 25,592.55 万元，账面净值
元，占期末净值的 96.45%。上述商誉所在资产组或资产组组合的相关信息如下：
 资产组名称      资产组或资产组组合的构成       资产组或资产组组合的确定方法
          上海波汇科技有限公司（不包括子      商誉所在的资产组从事光纤传感
          公司上海紫珊光电技术有限公司、      设备的研发、生产、销售及提供
上海波汇科技有
          无锡波汇光电科技有限公司、中能      安全监测解决方案，存在活跃市
限公司
          瑞通（北京）科技有限公司和北京      场，可以带来独立的现金流，将
          中电鸿宇科技有限公司）长期资产      其认定为单独的资产组。
  （三）商誉减值测试过程和会计处理
  根据《企业会计准则第 8 号—资产减值》
                     、《会计监管风险提示第 8 号—商誉
减值》的相关规定，企业合并所形成的商誉，至少应当在每年年度终了进行减值
测试。公司每个年度终了，无论因企业合并所形成的商誉是否存在减值迹象，均
会对所有商誉进行减值测试。商誉的减值测试结合与其相关的资产组或者资产组
组合进行。报告期末商誉减值测试的方法、过程及参数选择如下：
  公司商誉减值测试采用收益法进行评估，资产组的可收回金额按照资产组的
预计未来现金流量的现值确定。预计未来现金流量根据管理层批准的上述资产组
五年期的财务预算为基础，五年以后的永续现金流量在考虑资产组所在国家或地
区以及行业的长期平均增长率后按照详细预测期最后一年的水平确定。对资产组
进行现金流量预测时采用的其他关键假设包括预计营业收入、营业成本、增长率
以及相关费用等，上述假设基于公司过去的经营业绩、行业发展趋势以及管理层
对市场发展的预期。
  商誉减值测试的关键参数主要为预测期、折现率、预计未来现金流量等，关
键参数说明如下：
  （1） 预测期
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  各收购企业成立时间较长、未来有较好的经营前景，目前没有确切证据表明
其在未来某个时间终止经营。因此，确定收益期为无限期，预测期为资产负债表
日后五个年度，之后为永续期，现金流保持不变。
  （2） 折现率
  根据《企业会计准则第 8 号—资产减值》
                     《资产评估专家指引第 11 号—商誉
减值测试评估》规定如果用于估计折现率的基础是税前的，应当将其调整为税前
的折现率。根据加权平均资本成本（WACC）计算出税后折现率，再将其调整为
税前折现率。
  按照收益额与折现率口径一致的原则，本次评估收益额口径为资产组，则折
现率选取加权平均资本成本（WACC）。公式如下：
  其中：WACC：加权平均资本成本；
  Re：股权期望报酬率；
  Rd：债权期望报酬率；
  E：股权价值；
  D：债权价值；
  T：所得税税率。
  其中，股权期望报酬率 Re 采用资本资产定价模型（CAPM）计算，公式如
下：
  其中：Rf：无风险利率；
  β：股权系统性风险调整系数；
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  Rm：市场收益率；
  (Rm-Rf)：市场风险溢价；
  ?：特定风险报酬率。
  ①无风险收益率（Rf）
  国债收益率通常被认为是无风险的，因持有该债权到期不能兑付的风险很
小。公司采用数只年限 10 年期国债的到期收益率的平均值作为无风险报酬率。
  ②市场风险溢价
  根据对于中国 A 股市场的跟踪研究，并结合上述指引的规定，评估过程中
选取有代表性的沪深 300 指数作为标的指数，分别以周为数据频率采用算术平均
值进行计算并年化至年收益率，并计算其算术平均值，经综合分析后确定市场期
望报酬率 rm，将市场期望报酬率超过无风险利率的部分作为市场风险溢价。
  ③β 的计算
  β 系数是特定收益股票（或股票组合收益）的系统风险度量，反映特定股
票收益与股票组合收益的风险背离程度。根据同花顺 iFind 系统查询得到同行业
不带财务杠杆的β 系数，再根据企业自身结构调整β 系数。
  ④特有风险的调整
  在综合分析上海波汇与上市公司在公司规模、企业发展阶段、核心竞争力、
对大客户和关键供应商的依赖、企业融资能力及融资成本、盈利预测的稳健程度
等方面的差异，确定特定风险系数。
  ⑤股权资本成本的计算
  通过以上计算，依据 Ke=Rf+β（Rm-Rf）+α，计算出股权资本成本。
  ⑥债务资本成本
  债务资本成本的计算以中国人民银行授权全国银行间同业拆借中心于资产
负债表日公布的 5 年期以上 LPR 为基础，计算期间发布的利率。
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  ⑦折现率的计算
  通过以上计算及依据，计算出折现率。
  截至 2021 年 12 月 31 日，公司主要商誉公司资产组减值情况如下：
                                                                     单位：万元
                               归属于少数         包含完整
                                                         预计未来
       资产组账        商誉账面        股东权益的         商誉的资
 项目                                                      现金流量        是否减值
       面价值          价值         商誉账面价         产组账面
                                                          现值
                                 值            价值
上海波汇
科技有限   19,127.93   24,683.96             -   43,811.89   44,000.00    否
公司
  经测试，上表所列商誉资产组 2021 年末不存在减值情况。
  （四）商誉减值的信息披露
              《公开发行证券的公司信息披露编报规则第 15
  公司已按照《企业会计准则》
号——财务报告的一般规定(2014 年修订)》（证监会公告〔2014〕54 号）的规
定，在财务报告中详细披露与商誉减值相关的、对财务报表使用者作出决策有用
的所有重要信息。
  三、保荐机构核查意见
  保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
毛利率、费用率以及折现率等关键假设的合理性，同时分析管理层进行现金流量
预测时使用的估值方法的适当性；
说明表所包含的财务数据与实际经营数据对比，分析测算说明表数据的合理性；
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测试计算是否准确，确认是否存在商誉减值情况；
况，复核发行人对商誉减值迹象的判断是否合理；
问题。
  经核查，保荐机构和发行人会计师认为：
险提示第 8 号—商誉减值》的要求，定期进行商誉减值测试；
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     问题 7
     申请人报告期各期末开发支出余额较高。
     请申请人列示最近三年一期末开发支出明细，并补充说明最近三年一期末研
 发支出资本化是否符合《企业会计准则第 6 号-无形资产》开发阶段有关支出资
 本化的条件，相关会计处理是否与同行业可比公司一致，会计处理是否谨慎。
     请保荐机构、会计师发表核查意见。
     答复：
     一、最近三年一期末开发支出明细
     报告期各期末，公司开发支出明细如下:
                                                                    单位：万元
     项目
                 日                 日                日                日
集成电路湿法技术         19,327.83        15,329.35         6,883.18         1,426.42
政府专项项目            8,644.19         7,342.23                -                -
合计               27,972.02        22,671.58         6,883.18         1,426.42
     二、说明最近三年一期末研发支出资本化是否符合《企业会计准则第 6 号-
 无形资产》开发阶段有关支出资本化的条件
     （一）开发支出资本化的一般原则
     根据《企业会计准则第 6 号-无形资产》的相关规定，企业内部研究开发项
 目的支出，应当区分研究阶段支出与开发阶段支出。
     研究阶段是指为获取并理解新的科学或技术知识而进行的独创性的有计划
 调查。开发阶段是指在进行商业性生产或使用前，将研究成果或其他知识应用于
 某项计划或设计，以生产出新的或具有实质性改进的材料、装置、产品等。企业
 内部研究开发项目研究阶段的支出，应当于发生时计入当期损益。
     企业内部研究开发项目开发阶段的支出，同时满足下列条件的，才能确认为
 无形资产：完成该无形资产以使其能够使用或出售在技术上具有可行性；具有完
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成该无形资产并使用或出售的意图；无形资产产生经济利益的方式，包括能够证
明运用该无形资产生产的产品存在市场或无形资产自身存在市场，无形资产将在
内部使用的，应当证明其有用性；有足够的技术、财务资源和其他资源支持，以
完成该无形资产的开发，并有能力使用或出售该无形资产；归属于该无形资产开
发阶段的支出能够可靠地计量。
  （二）发行人研究阶段及开发阶段具体划分标准
  发行人主要研发阶段对应的主要任务及会计处理如下：
主要研发阶段             主要任务              会计处理
         收集市场新产品信息情报、竞争对手状况信息及
 项目调研    客户新产品需求及产品价格信息，并进行分析论     研究阶段：费用化
         证。
         研发团队进行开发可行性评估，提交《项目研发
 项目立项                              研究阶段：费用化
         立项申请书》，经审批后确认项目立项。
         成立项目小组，制订项目设计方案，进行品质标
产品规划及设
         准设计、外观标准设计、可靠性标准设计、结构     开发阶段：资本化
  计
         设计等，形成部件图纸。
         根据设计的图纸等进行样品制作，并对样品进行
 样品制作    测试及验证，试验不通过的需要重新进行评估设     开发阶段：资本化
         计。
         进行小批量生产试制，试产产品通过可靠性验证，
 试产验收    同时组织项目验收，全部验收合格后出具验收报  开发阶段：资本化
         告，符合资本化条件的开发支出转入无形资产。
  发行人的主要开发流程包括项目调研、项目立项、产品规划及设计、样品制
作和试产验收等阶段。
  发行人项目调研阶段主要任务为市场调研和客户需求分析，该阶段主要目的
为获取客户需求信息及产品信息，符合企业会计准则研究阶段的定义，该阶段产
生的支出费用化处理。
  发行人项目立项阶段由市场部根据市场或客户需求及前景提出，进行新项目
立项，由研发团队根据市场、业务计划、技术能力要求等进行开发可行性评估，
《项目研发立项申请书》经审批后确认项目立项，自此进入开发阶段。项目立项
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后，发行人进行产品的规划及详细设计、样品制作、试产验收等阶段，相关支出
资本化处理。
  公司研发支出资本化与《企业会计准则第 6 号-无形资产》开发阶段有关支
出资本化的条件对比说明如下：
《企业会计准则第6 号-无形资产》开发阶
                              公司开发阶段资本化的具体依据
      段资本化的条件
                        经专利检索分析和内部讨论，研发项目完成
完成该无形资产以使其能够使用或出售在      可行性论证；发行人开发项目大多是以现有
技术上具有可行性                产品为原型的基础上进行的开发，具有技术
                        上可行性。
                        公司研发支出项目是在市场调查或客户订
具有完成该无形资产并使用或出售的意图      单的前提下进行的，具有完成该无形资产并
                        使用或出售的意图。
无形资产产生经济利益的方式，包括能够证     公司研发支出项目已确立目标客户群，相关
明运用该无形资产生产的产品存在市场或      技术可以在企业的相关产品中实际应用，表
无形资产自身存在市场，无形资产将在内部     明该无形资产生产的产品存在市场或无形
使用的，能够证明其有用性            资产自身存在市场。
有足够的技术、财务资源和其他资源支持， 公司具有深厚的技术积累、稳定的研发团队
以完成该无形资产的开发，并有能力使用或 和资金支持，表明公司有能力使用或出售该
出售该无形资产             无形资产。
                        公司设立专门项目研发部门负责产品的研
归属于该无形资产开发阶段的支出能够可
                        究与开发，研发投入均按照研发体系和会计
靠地计量
                        核算体系进行可靠计量和独立核算。
  报告期内，资本化开始时点为公司可行性研究报告通过，达到立项条件进行
立项后，研发项目进入开发阶段。公司内部研究开发项目开发阶段的支出，同时
满足开发阶段资本化五项条件的，才资本化处理，发行人报告期内一致执行未发
生变更。
  综上所述，最近三年一期末公司研发支出资本化符合《企业会计准则第 6 号
-无形资产》开发阶段有关支出资本化的条件。
  三、相关会计处理是否与同行业可比公司一致，会计处理是否谨慎
  （一）同行业可比公司开发支出会计政策对比
  发行人同行业上市公司内部研究开发支出会计政策情况如下：
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 公司名称              开发阶段有关支出资本化的条件
        本公司内部研究开发项目的支出分为研究阶段支出与开发阶段支出。研
        究阶段的支出，于发生时计入当期损益；开发阶段的支出符合《企业会
        计准则第 6 号-无形资产》开发阶段有关支出资本化的条件后予以资本
北方华创    化。本集团根据内部研究开发项目支出的性质以及研发活动最终形成无
        形资产是否具有较大不确定性，分为研究阶段支出和开发阶段支出。无
        法区分研究阶段支出和开发阶段支出的，将发生的研发支出全部计入当
        期损益。资本化时点：项目立项。
        研究阶段：为获取并理解新的科学或技术知识等而进行的独创性的有计
        划调查、研究活动的阶段。开发阶段：在进行商业性生产或使用前，将
        研究成果或其他知识应用于某项计划或设计，以生产出新的或具有实质
        性改进的材料、装置、产品等活动的阶段。研究阶段的支出，于发生时
精测电子
        计入当期损益；开发阶段的支出符合《企业会计准则第 6 号-无形资产》
        开发阶段有关支出资本化的条件后予以资本化。无法区分研究阶段支出
        和开发阶段支出的，将发生的研发支出全部计入当期损益。资本化时点：
        项目立项。
        长川科技对完成市场需求论证、技术可行性论证、整体技术路线确认之
        前，为研究产品关键技术、生产工艺而进行的有计划的调查、需求确认、
        技术预研、整机设计阶段的支出为研究阶段的支出，于发生时计入当期
长川科技    损益；对完成市场需求论证、技术可行性论证、整体技术路线确认之后，
        针对生产工艺最终应用的整机组装调试、测试认证阶段的支出为开发阶
        段的支出。资本化时点：完成市场需求论证、技术可行性论证、整体技
        术路线确认。（项目立项）
        内部研究开发项目支出根据其性质以及研发活动最终形成无形资产是否
        具有较大不确定性，被分为研究阶段支出和开发阶段支出。试制样机初
        步完成研制之前，为研究生产工艺而进行的有计划的调查、评价和选择
中微公司
        阶段的支出为研究阶段的支出，于发生时计入当期损益；试制样机初步
        完成研制至大规模生产之前，针对生产工艺最终应用的相关设计、测试
        阶段的支出为开发阶段的支出。资本化时点：试制样机初步完成研制。
        本集团根据内部研究开发项目支出的性质以及研发活动最终形成无形资
        产是否具有较大不确定性，分为研究阶段支出和开发阶段支出。研究阶
        段的支出，于发生时计入当期损益；开发阶段的支出符合《企业会计准
至纯科技
        则第 6 号-无形资产》开发阶段有关支出资本化的条件后予以资本化。
        已资本化的开发阶段的支出在资产负债表上列示为开发支出，自该项目
        达到预定可使用状态之日起转为无形资产。资本化时点：项目立项。
注：同行业可比公司除北方华创、精测电子、长川科技和中微公司披露开发支出资本化条件
外其他公司均未披露开发支出资本化时点，且其他公司开发支出金额均为 0。
  与同行业可比公司相比，发行人开发支出资本化时点与北方华创、精测电
子一致，资本化开始时点为达到项目立项条件进行立项后研发项目进入开发阶
段。与中微公司略有不同，中微公司是在试制样机初步完成研制后进入开发阶段。
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发行人研发项目立项时已获取客户意向或目标客户群体已确定，满足开发支出资
本化条件，会计处理谨慎。
  （二）同行业可比公司开发支出资本化情况对比
  发行人与同行业可比公司开发支出资本化对比情况如下：
                                                    单位：万元
  公司         项目          2021年         2020年        2019年
        研发投入金额           37,112.29      16,435.47     7,334.84
至纯科技    研发投入资本化金额        22,671.59       6,883.18     1,426.42
        资本化金额占研发投入
        的比例
        研发投入金额          309,825.52     172,185.11   123,085.08
北方华创    研发投入资本化金额       180,101.76     105,152.80    70,623.80
        资本化金额占研发投入
        的比例
        研发投入金额           45,435.54      32,212.43    28,822.11
精测电子    研发投入资本化金额         2,789.71              -     2,226.75
        资本化金额占研发投入
        的比例
        研发投入金额           35,309.12      19,211.61    10,697.84
长川科技    研发投入资本化金额         2,271.40        479.10             -
        资本化金额占研发投入
        的比例
        研发投入金额           72,779.80      63,978.67    42,457.24
中微公司    研发投入资本化金额        13,248.38       7,720.63    17,534.80
        资本化金额占研发投入
        的比例
        研发投入金额           27,839.42              -            -
盛美上海    研发投入资本化金额                  -            -            -
        资本化金额占研发投入
        的比例
正帆科技    研发投入金额            7,822.10       1,877.46            -
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         研发投入资本化金额                  -       -   -
         资本化金额占研发投入
         的比例
注：因上市公司半年报中不披露研发投入资本化金额，因此仅选取 2019 年、2020 年和 2021
年年报金额进行对比分析。
和中微公司存在开发支出资本化，发行人 2019 年-2021 年研发投入资本化比例
分别为 19.45%、41.88%和 61.09%，2019-2020 年研发投入资本化比例趋势低于
北方华创，2021 年研发投入资本化比例与北方华创基本一致；2019-2021 年发行
人研发投入资本化比例趋势高于精测电子、长川科技和中微公司资本化比例。发
行人研发费用资本化比例较高的原因为公司在高端晶圆清洗市场进行战略布局，
由于市场主要被日本和美国垄断，发行人需要自行开发自产工序的工艺和技术，
并且需要调试自产部件的各项参数以满足模组性能的要求。
  发行人主攻项目为集成电路湿法项目，三年一期的开发支出项目均依托于上
海市发改委项目及国家级开发项目。项目建成后将服务于国内半导体大厂的湿法
工艺，并提供综合解决方案，真正实现替代进口，打破外商垄断。发行人大力投
入新型技术的研究和积累，并积极探索新型技术及生产工艺在公司产品上的运
用。发行人围绕核心业务，完成对 18 腔体清洗、超临界清洗、超薄清洗等世界
领先技术的研发并投产，研发样机α机及β机处入调试阶段，由于部分开发阶段
项目尚未达到预定使用用途，故未转入固定资产及无形资产，导致开发支出较高。
  综上所述，发行人以项目立项作为开发支出资本化时点，开发阶段有关支出
资本化的条件与同行业不完全一致，相关会计处理符合会计准则的要求，会计处
理相对谨慎，开发支出较高具有合理性。
  四、保荐机构和会计师核查意见
  保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
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业会计准则的规定，检查公司开始资本化时点与会计政策规定是否相符，是否一
致执行；
集与项目立项报告、项目财务预算作对比分析；
  经核查，保荐机构及发行人会计师认为：发行人最近三年一期以项目立项作
为开发支出资本化时点，研发支出资本化符合《企业会计准则第 6 号-无形资产》
开发阶段有关支出资本化的条件，开发阶段有关支出资本化的条件与同行业基本
一致，会计处理谨慎。
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              问题 8
              申请人报告期各期末在建工程余额较大。
              请申请人补充说明报告期各期末在建工程余额较大的原因及合理性；请保荐
          机构及会计师核查报告期各期末申请人在建工程转固是否及时准确并发表明确
          意见。
              答复：
              一、报告期各期末在建工程余额较大的原因及合理性
              报告期各期末， 公司在建工程的账面价值分别为 5,939.86 万元、43,292.66
          万元、 37,302.56 万元和 14,837.92 万元，在建工程整体规模在报告期间先增加
          后减少，其中 2020 年在建工程账面价值同比增加 37,352.80 万元，主要是由于松
          江区中山街道工业园 ZS-13-004 号地块工程项目及合肥至微半导体在建厂房和设
          备项目本年新增金额较大，后续随着项目完工，在建工程金额逐年下降。2021
          年在建工程期末余额主要为至嘉半导体气站项目和合肥至汇厂房项目，至嘉半导
          体气站项目期后达到可使用状态，转入固定资产。具体情况如下：
                                                                                   单位：万元
     项目
                  金额         比重         金额          比重           金额         比重         金额         比重
江苏启微在建项目          3,053.36   20.58%     1,684.71        4.52%    1,409.45   3.26%      1,218.89   20.52%
合肥至微半导体在
                         -          -          -            -   14,333.78   33.11%            -           -
  建厂房
合肥至微半导体在
                         -          -          -            -    3,633.45   8.39%             -           -
  建设备
松江区中山街道工
业园 ZS-13-004 号地          -          -          -            -   22,556.16   52.10%     4,354.96   73.32%
    块工程
天津波汇在建项目          1,864.45   12.57%     1,337.98        3.59%           -          -          -           -
 波汇办公室装修          1,394.60   9.40%       735.20         1.97%           -          -          -           -
   洁净实验室           532.00    3.59%       532.00         1.43%           -          -          -           -
  紫竹滨江地块             22.88   0.15%        22.88         0.06%           -          -          -           -
         上海至纯洁净系统科技股份有限公司                     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
 日本在建厂房         974.57       6.57%            -            -               -         -            -               -
合肥至汇在建厂房       6,802.65     45.85%     6,474.29    17.36%         945.44         2.18%            -               -
至嘉半导体气站项
   目
生产楼在建项目               -           -           -            -               -         -       100.00        1.68%
其他零星在建工程        193.42       1.30%      183.17         0.49%      414.38         0.96%       266.01        4.48%
   合计         14,837.92   100.00%     37,302.56   100.00%       43,292.66      100.00%   5,939.86       100.00%
            江苏启微在建项目系启微二期，报告期内江苏启微在建项目处于持续建设
         中，一直未达到预定可使用状态。
            二、报告期各期末申请人在建工程转固是否及时准确
            报告期各期末，公司在建工程转固及时、准确，具体结转情况如下：
            （一）2022 年 1-6 月在建工程变动情况
                                                                                     单位：万元
                                                         本期转入固定
   项目名称               期初余额              本期增加                                   本期其他减少            期末余额
                                                           资产
江苏启微在建项目                   1,684.71         1,368.65                   -                 -             3,053.36
合肥至汇在建厂房                   6,474.29           328.36                   -                 -             6,802.65
办公楼装修工程                     735.20            659.40                   -                 -             1,394.60
至嘉半导体气站项目                 26,332.34         8,618.90           34,951.23                 -                    -
天津波汇在建项目                   1,337.98           526.47                   -                 -             1,864.45
日本在建厂房                            -           974.57                   -                 -              974.57
洁净实验室                       532.00                 -                   -                 -              532.00
紫竹滨江地块                       22.88                 -                   -                 -               22.88
零星工程                        183.17            104.56              94.31                  -              193.41
       合计                 37,302.56        12,580.90           35,045.54                 -            14,837.92
         注:2022 年 1 月上海至嘉半导体气体有限公司在建气站项目完工，达到预计可使用状态，在
         建工程转入固定资产。
            （二）2021 年在建工程变动情况
                                                                                     单位：万元
         上海至纯洁净系统科技股份有限公司            公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                                              本期转入固定
     项目名称          期初余额          本期增加                       本期其他减少       期末余额
                                                资产
松江区中山街道工业园
ZS-13-004 号地块工程
办公楼装修工程                      -      735.20              -            -      735.20
江苏启微在建项目              1,409.45      275.26              -            -     1,684.71
合肥至微半导体在建厂房          14,333.78    15,309.45     29,643.22            -            -
合肥至微半导体在建设备           3,633.45            -      3,633.45            -            -
合肥至汇在建厂房               945.44      5,528.84             -            -     6,474.29
至嘉半导体气站项目                    -    26,332.34             -            -    26,332.34
天津波汇在建项目                     -     1,337.98             -            -     1,337.98
洁净实验室                        -      532.00              -            -      532.00
紫竹滨江地块                       -       22.88              -            -       22.88
零星工程                   414.38       219.19         75.14       375.26       183.17
       合计            43,292.66    65,143.58     70,758.41      375.26     37,302.56
         注: 松江区中山街道工业园 ZS-13-004 号地块工程于 2021 年 11 月达到预计可使用状态，故
         由在建工程转入固定资产（自用部分）和投资性房地产。
         合肥至微半导体厂房及设备（晶圆再生项目）于 2021 年 12 月达到预计可使用状态，故由在
         建工程转入固定资产。
            （三）2020 年在建工程变动情况
                                                                单位：万元
                                              本期转入固定
     项目名称          期初余额          本期增加                       本期其他减少       期末余额
                                                资产
江苏启微在建项目              1,218.89      190.56              -            -     1,409.45
合肥至微半导体在建厂房                  -    14,333.78             -            -    14,333.78
合肥至微半导体在建设备                  -     3,633.45             -            -     3,633.45
合肥至汇在建厂房                     -      945.44              -            -      945.44
松江区中山街道工业园
ZS-13-004 号地块工程
在建生产楼                  100.00      1,112.20      1,212.20                         -
零星工程                   266.01       674.21        503.90        21.94       414.38
       合计             5,939.86    39,090.84      1,716.10       21.94     43,292.66
         注: 2020 年 11 月，至纯在建生产楼达到预计可使用状态，故由在建工程转入固定资产。
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            （四）2019 年在建工程变动情况
                                                                         单位：万元
                                                           本期转入固        本期其他减
     项目名称         期初余额        合并增加          本期增加                                  期末余额
                                                            定资产           少
江苏启微在建项目           7,554.55           -        10,443.78    16,779.45         -    1,218.89
松江区中山街道工业园
                          -    2,221.64         2,133.32            -         -    4,354.96
ZS-13-004 号地块工程
在建生产楼                     -           -          100.00             -         -     100.00
零星在建项目                    -       2.19           278.26             -     14.44     266.01
       合计          7,554.55    2,223.83        12,955.36    16,779.45     14.44    5,939.86
         注: 2019 年 12 月，江苏启微在建厂房项目达到预计可使用状态，故由在建工程转入固定资
         产。
            报告期内，公司的在建工程按实际发生的成本计量。实际成本包括建筑成本、
         安装成本以及其他为使在建工程达到预定可使用状态所发生的必要支出。在建工
         程在达到预定可使用状态时，转入固定资产并自次月起开始计提折旧。
            综上，报告期内公司根据企业会计准则的相关规定，结合自身生产经营特点，
         对在建工程转固制定了明确的标准并严格执行相关规定及流程，公司在建工程转
         固相关会计处理符合企业会计准则的相关规定，在建工程转固及时、准确。
            三、保荐机构和会计师核查意见
            保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
         效性进行评价；
         情况， 向相关人员了解并观察在建工程的建设情况，检查在建工程是否存在及
         转固是否及时；
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等，检查报告期内在建工程转固金额、转固时点是否及时准确。
  经核查，保荐机构及发行人会计师认为：
江区中山街道工业园 ZS-13-004 号地块工程项目及合肥至微半导体在建厂房和设
备项目投入金额较大，后续随着项目完工，在建工程金额逐年下降，符合公司项
目建设实际情况，具有合理性。
程转固及时、准确。
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   问题 9
   申请人 2022 年上半年营业利润 1.32 亿元，较去年同期下滑 30%。申请人最
 近三年一期经营活动现金流量净额持续为负，与净利润不匹配。
   请申请人补充说明：
           （1）最近三年一期经营活动现金流量净额持续为负，与
              （2）2022 年上半年营业利润较去年同期下滑 30%
 净利润不匹配的原因与合理性；
 的原因，与同行业可比公司是否一致；（3）结合 2022 年全年业绩情况补充说明
   请保荐机构、会计师发表核查意见。
   答复：
   一、最近三年一期经营活动现金流量净额持续为负，与净利润不匹配的原
 因与合理性
   （一）最近三年一期经营活动现金流量金额持续为负的原因及合理性
   报告期内，发行人经营活动现金流量具体情况如下：
                                                               单位：万元
         项目         2022 年 1-6 月     2021 年度      2020 年度       2019 年度
经营活动产生的现金流量净额           -44,914.15   -19,072.38   -28,092.75    -11,094.34
销售商品、提供劳务收到的现金          110,976.56   209,155.58   119,136.58     94,440.57
营业收入                    111,993.18   208,409.77   139,705.61     98,643.92
销售收现比率                    99.09%      100.36%       85.28%        95.74%
购买商品、接受劳务支付的现金          118,401.16   208,702.98   117,563.93     81,560.15
营业成本                     71,576.37   132,988.86    88,308.38     64,761.14
购货付现比率                   165.42%      156.93%      133.13%       125.94%
   报告期内，发行人销售收现比率均在 85%以上且较为稳定，销售商品、提供
 劳务收到的现金与同期发行人的业务规模和营业收入相匹配，从动态的角度，发
 行人销售产品的收入能较为及时地转化为现金流入公司。但由于发行人处于业务
 扩张期，公司业务特点决定了应收账款及存货规模随着收入增长而持续提升，使
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发行人报告期内经营活动净现金流呈持续流出状态。最近三年及最近一期，发行
人经营活动净流量分别为-11,094.34 万元、-28,092.75 万元、-19,072.38 万元及
-44,914.15 万元，净流出规模呈上升趋势。
   发行人主营业务高纯工艺系统是下游工程建设的一部分，单套金额较大，具
有一定的信用期及季节性，主要集中在四季度确认导致年末确认的应收账款较
大。另一方面，高纯工艺系统业务系一次性验收确认收入，但系统建设周期相对
较长，因此在订单逐年增加的前提下，期末未完成项目将增多，未完工项目成本
增加，同时为应对下游半导体产业对高纯工艺系统急剧上升的需求进行了较多的
备货，相应地增加存货。
   基于上述业务特点，订单生产所需的现金流出早于客户回款的现金流入，且
存在一定间隔时间，在营业收入快速增长的上行周期，发行人生产经营所占用的
流动资金逐年增加。此外，报告期内发行人持续扩大在半导体设备及衍生业务的
投入，在相关研发、管理团队搭建及市场开拓方面产生了较大金额的支出。报告
期内半导体设备业务订单规模逐年提升、在客户端投入更多的验证机台且主要集
中在下半年交付设备，而对应款项跨年，对当期的现金流流出影响较大。上述因
素共同作用导致发行人购买商品、接受劳务支付的现金增长幅度快于销售商品、
提供劳务收到的现金，使得经营活动现金流量持续为负，具备合理性，不会对公
司持续经营能力造成重大不利影响。
   发行人确立了“关注核心工艺，服务关键制程”的经营战略，以高纯工艺技
术为核心，扩展至工艺系统中关键制程设备，逐步向工艺生产耗材及核心部件、
关键生产环节配套服务及智能生产系统发展。即立足半导体产业，聚焦高纯工艺
系统、半导体装备、电子材料与部件、服务（晶圆再生及部件再生服务、气化系
统运维服务）四大板块。发行人的战略发展布局将有助于现金流的改善。发行人
半导体湿法清洗设备业务、晶圆再生及部件再生业务主要面向半导体客户，与高
纯工艺系统业务可实现协同发展。半导体湿法清洗设备业务为纯产品销售，晶圆
再生及部件再生业务为加工服务，与高纯工艺系统业务模式存在差异，纯产品的
交付业务和晶圆再生及部件再生加工服务将显著改善目前因工程类项目期末无
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法确认收入形成大额存货的现象，半导体设备业务回款也具有明显优势。发行人
该部分业务稳定发展将有利于改善目前的现金流状况。
     （二）最近三年一期经营活动现金流与净利润差异原因及合理性
     最近三年及一期公司净利润调节至经营活动现金流量的过程如下：
                                                              单位：万元
        项目         2022 年 1-6 月    2021 年度      2020 年度       2019 年度
净利润                     8,694.28    28,424.85    26,075.03     11,033.39
加：资产减值准备                   37.23     6,244.92      404.53       1,423.22
信用减值损失                   368.24      1,150.44     2,549.00              -
固定资产折旧、油气资产折耗、
生产性生物资产折旧
使用权资产摊销                  533.36       993.79              -             -
无形资产摊销                   636.05      1,234.27     1,102.00       766.35
长期待摊费用摊销                 242.25       247.53       126.50         93.84
处置固定资产、无形资产和其他
长期资产的损失（收益以“－”            -17.18         8.01       17.85          -0.74
号填列）
固定资产报废损失（收益以“－”
                               -         1.54             -         0.53
号填列）
公允价值变动损失（收益以“－”
号填列）
财务费用（收益以“－”号填列）         5,190.56     7,698.08     6,061.42      3,301.59
投资损失（收益以“－”号填列）            21.61    -5,130.70    -2,249.71        -86.79
递延所得税资产减少（增加以
                         -235.56    -1,371.63      -754.17      -595.10
“－”号填列）
递延所得税负债增加（减少以
                         -444.35      -422.06     2,175.12        -43.69
“－”号填列）
存货的减少（增加以“－”号填
                      -21,740.92   -39,258.08   -17,061.33    -15,658.58
列）
经营性应收项目的减少（增加以
                      -70,511.05   -70,691.91   -38,923.49    -15,734.56
“－”号填列）
经营性应付项目的增加（减少以
“－”号填列）
其他                       996.73      2,650.63     1,263.10       525.30
经营活动产生的现金流量净额         -44,914.15   -19,072.38   -28,092.75    -11,094.34
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  公司报告期内经营活动现金流量净额和净利润存在较大差异的原因主要系
存货、经营性应收项目及经营性应付项目的增加所致。
  公司报告期内经营活动现金流量净额和净利润存在较大差异，且最近三年一
期末均为大额负数的原因系存货、经营性应收项目及经营性应付项目的增加所
致，其中经营性应收项目主要由应收账款构成，经营性应付项目主要由应付账款
和合同负债构成。报告期内应收账款、应付账款、合同负债及存货金额持续增加
主要由公司业务特点和公司处于业务扩张期所决定。
  （1）存货持续增加的原因
  报告期内，公司存货呈逐年增长态势。高纯工艺系统业务系一次性验收确认
收入，但系统建设周期相对较长，因此在订单逐年增加的前提下，期末未完成项
目将增多，未完工项目成本增加，相应地增加存货，在业务扩张期，这将影响公
司经营活动净现金流。此外，在公司半导体湿法设备业务的持续增长、半导体材
料及零部件等原料供给紧张的背景下，为提高供应链运转效率以便加快订单交
付，公司增加了较多的存货备货。
  （2）应收账款持续增加的原因
  报告期内，公司应收账款呈逐年增长态势，主要原因为公司处于收入增长的
业务扩张带来的应收账款的增加，且公司收入具有一定季节性，第四季度收入确
认较大导致期末应收账款较大。
  （3）应付账款和合同负债持续增加的原因
  报告期内，公司原材料采购和营业成本随业务规模扩张逐年增长，伴随着采
购的增长你，应付账款和合同负债持续增加。
  综上所述，最近三年一期经营活动现金流量净额持续为负主要系公司业务规
模不断扩张，成本投入早于销售回款；经营活动现金流与净利润差异主要系业务
规模扩张，存货、经营性应收项目及经营性应付项目的增加所致，具备合理性。
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  二、2022 年上半年营业利润较去年同期下滑 30%的原因，与同行业可比公
司是否一致
  （一）2022 年上半年营业利润较去年同期下滑 30%的原因
                                                                     单位：万元
  项目                                                   变动比例            原因
            月             月
                                                                  业务规模增加，其
营业收入     111,993.18     92,047.60      19,945.57        21.67%    中二季度受疫情影
                                                                   响，同比下降
营业成本      71,576.37     63,633.88        7,942.49       12.48%     业务规模增加
 销售费用      3,233.36      3,794.44            -561.09    -14.79%
                                                                  业务规模增加导致
管理费用      10,908.57      8,786.82        2,121.75       24.15%    人员薪酬及办公费
                                                                     用增加
研发费用       5,922.45      4,864.84        1,057.61       21.74%
                                                                  天津高新财政局创
其他收益        404.91       7,575.50       -7,170.59       -94.66%
                                                                  业补贴 6,780.00 万
                                                                         元
公允价值变                                                             其他非流动金融资
          -2,079.09      3,839.20       -5,918.29      -154.15%
 动损益                                                              产公允价值变动
营业利润      13,282.13     18,912.21       -5,630.08       -29.77%
同期减少 7,170.59 万元，公允价值变动损益相较去年同期下降 5,918.29 万元，其
中其他收益变动主要系 2021 年同期收到单笔 6,780.00 万元创业补贴，导致 2021
年 1-6 月其他收益金额明显高于 2022 年同期，公允价值变动损益主要系股票市
场波动，公司战略投资的其他非流动资产公允价值显著波动形成，二者共同影响，
最终导致公司在 2022 上半年营业收入增长的背景下，营业利润下滑。
  （二）同行业可比公司情况
                                                                     单位：万元
  可比公司名称                                                          变动比例
                    利润                      利润
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    北方华创         103,162.72             44,455.40   132.06%
    精测电子            1,705.63            14,661.61   -88.37%
    长川科技           26,360.92            11,370.07   131.84%
    中微公司           50,937.68            47,481.11    7.28%
    盛美上海           23,518.30             9,263.97   153.87%
    正帆科技            5,669.91             6,305.95   -10.09%
    行业平均           35,225.86            22,256.35   54.43%
    至纯科技           13,282.13            18,912.21   -29.77%
  报告期内，同行业可比公司营业利润变动情况存在较大的差异，不具有可比
性。受其他收益、公允价值变动损益影响，公司营业利润变动趋势与同行业可比
公司不一致。
  综上所述，公司 2022 年上半年营业利润较去年同期下滑主要系其他收益、
公允价值变动损益等科目影响，与同行业可比公司不一致。
  三、结合 2022 年全年业绩情况补充说明 2020-2022 年三年财务指标是否持
续符合可转债发行条件
  （一）加权平均净资产收益率不低于 6%
  发行人 2020 年度、2021 年度扣除非经常性损益前后孰低的加权平均净资产
收益率分别为 6.81%和 4.66%。
  公司根据目前业务开展情况，预计 2022 年扣非后归母净利润约 3—3.3 亿元
人民币，2022 年加权平均净资产收益率将超过 7%，2020-2022 年扣除非经常性
损益前后孰低的加权平均净资产收益率预计将超过 6.16%，满足发行人最近三个
会计年度加权平均净资产收益率的平均值不低于 6%。2020 年-2022 年加权平均
净资产收益率均值超过 6%。相关预计主要理由如下：
  公司 2022 年 1-6 月实现扣非后归母净利润 9,726.15 万元，较去年同期
     上海至纯洁净系统科技股份有限公司                             公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
          公司收入确认具有季节性特点，受传统春节假期影响，一季度的开工与签约
     量相对较低，由于下游行业工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其是第四
     季度，高纯工艺系统业务收入经常确认在下半年尤其是第四季度。
                                                                                         单位：万元
         年度            一季度            二季度              三季度             四季度            全年合计
     注：2022 年一季度，公司营业收入同比增长 136.98%；受上海疫情影响，公司 2022 年二季
     度营业收入出现同比下降；2022 年上半年仍实现营业收入 21.67%的快速增长。
          公司在年初定下的年度新增订单 40 亿元的目标未因受疫情扰动而改变，截
     至 2022 年 9 月 30 日，公司新增订单总额 36.21 亿元，为实现全年订单目标奠定
     了好的基础。随着上半年上海疫情结束和下半年设备大量交付，预计公司 2022
     年下半年业绩将迅速增长。
          公司 2021 年 1-6 月归母净利润 4,263.53 万元，占 2021 年全年归母净利润比
     例为 26.29%；2022 年 1-6 月已实现归母净利润 9,726.15 万元，全年预计实现归
     母净利润 3—3.3 亿元，占比为 29.47%—32.42%，高于 2021 年 1-6 月归母净利润
     占全年净利润的比例，2022 年预计实现 3—3.3 亿元归母净利润具有合理性。
          （1）公司毛利构成
                                                                                         单位：万元
 产品名称
                  金额        比重           金额            比重           金额             比重          金额            比重
高纯工艺集成系统      20,793.29      51.53%    37,412.30       49.57%      27,416.17       53.41%    16,840.52       50.06%
 半导体设备        16,352.99      40.52%    22,774.90       30.18%       6,503.84       12.67%     2,619.93       7.79%
光传感及光器件        3,207.12       7.95%    15,287.24       20.25%      17,411.39       33.92%    14,177.18       42.15%
     上海至纯洁净系统科技股份有限公司                      公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
合计       40,353.40   100.00%     75,474.44     100.00%       51,331.40     100.00%     33,637.63   100.00%
       公司报告期内，主营业务毛利主要来源于高纯工艺集成系统和半导体设备。
       （2）毛利率变动
       报告期内公司主要产品毛利率如下：
     产品（或行业）名称         2022 年 1-6 月             2021 年             2020 年            2019 年
      高纯工艺集成系统                   34.99%                34.71%            31.76%        26.44%
       半导体设备                     35.11%                32.48%            29.85%        32.08%
      光传感及光器件                    54.57%                50.43%            55.33%        53.59%
      主营业务毛利率                    36.07%                36.25%            36.78%        34.22%
       报告期内高纯工艺系统、半导体设备毛利率逐年提高。
       （3）期间费用增幅小于收入增幅
         项目            2022 年 1-6 月             2021 年             2020 年            2019 年
        营业收入               111,993.18               208,409.77     139,705.61        98,643.92
        同比增幅                     21.67%                49.18%            41.63%
        期间费用                   24,368.53             42,786.30      36,388.99        22,175.07
        同比增幅                     13.49%                17.58%            64.10%
     注：2022 年 1-6 月，受上海疫情影响，收入增速放缓；2020 年期间费用增长较大，主要是
     由于湿法设备业务板块团队继续扩容、人员成本上升，同时固定资产折旧和无形资产摊销、
     咨询服务费及股份支付费用等也有所增加。
       公司期间费用增长低于营业收入增长。
       综上所述，公司主要产品毛利率逐年提高，期间费用增速明显低于营业收入
     增速，随着公司营业收入规模逐年提高，扣非后归母净利润将显著提高。
     金融资产公允价值变动影响，2021 年 1-6 月公允价值变动损益为 3,839.20 万元，
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月，其他收益共计 7,575.50 万元，2022 年 1-6 月其他收益共计 404.91 万元。
    近年来，半导体设备国产替代趋势明显，同时公司高纯工艺系统业务的主要
下游光伏行业明显复苏。受该两行业景气趋势影响，公司预计 2022 下半年及 2023
年营业收入将继续保持高速增长态势，是公司加权平均净资产收益率提高的有力
保障。
     （二）本次发行后累计公司债券余额不超过最近一期末净资产额的百分之
四十
    截至 2022 年 6 月 30 日，公司净资产 415,586.12 万元，无公司债券余额，本
次发行规模为 110,000.00 万元，本次发行后累计公司债券余额为 110,000.00 万元，
将不超过最近一期末净资产额的百分之四十。
     （三）最近三个会计年度实现的年均可分配利润不少于公司债券一年的利
息
    公司 2019-2021 年净利润分别为 11,033.39 万元、26,075.03 万元、28,424.85
万元，净利润稳步增长。公司预计 2022 年净利润仍将保持上涨态势，2020 年-2022
年实现的年均可分配利润将超过 2.5 亿元，将不少于本次可转换公司债券一年的
利息。
    综上所述，2020-2022 年三年财务指标将持续符合可转债发行条件。
     四、保荐机构和会计师核查意见
    保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
年度报告，对比分析公司与同行业公司营业利润变动情况；
况，评估发行人全年业绩可实现区间；
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符合发行条件。
  经核查，保荐机构和会计师认为：
扩张，成本投入早于销售回款；经营活动现金流与净利润差异主要系业务规模扩
张，存货、经营性应收项目及经营性应付项目的增加所致，具备合理性；
值变动损益等科目影响，与同行业可比公司不一致；
行条件。
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   问题 10
   申请人 2019 年发行股份购买波汇科技 100%股权。
           （1）波汇科技 2019 年-2021 年实现业绩情况，与评估报
   请申请人补充说明：
告预测业绩是否存在较大差异；
             （2）波汇科技业绩承诺实现情况，是否涉及业绩
承诺补偿及业绩承诺补偿执行情况。
   请保荐机构、会计师发表核查意见。
   答复：
   一、波汇科技 2019 年-2021 年实现业绩情况，与评估报告预测业绩是否存
在较大差异
   波汇科技于 2019 年-2021 年度实现的净利润，与上海申威资产评估有限公司
出具《上海至纯洁净系统科技股份有限公司拟发行股份及支付现金购买资产所涉
及的上海波汇科技股份有限公司股东全部权益价值评估报告》（沪申威评报字
〔2018〕第 0135 号）中预测的净利润的对比情况如下表所示：
                                                        单位：万元
 年度        项目      评估预测数        实际实现数       差异额         完成率
现业绩与评估报告预测业绩存在一定的差异，实现率为 71.80%。
   波汇科技作为标的资产，公司 2021 年利润实际下滑 10.99%，主要系波汇科
技的光学器件镀膜业务主要服务于 5G 基站发展，2019-2020 年 5G 发展迅速，2021
年 5G 建设大幅度放缓，导致净利润下滑。
   二、波汇科技业绩承诺实现情况，是否涉及业绩承诺补偿及业绩承诺补偿
执行情况
   根据公司与波汇科技原股东赵浩、高菁等六方（以下简称“业绩补偿方”）
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签署的《发行股份及支付现金购买资产的盈利补偿协议》，业绩补偿方承诺波汇
科技 2018 度、2019 年度及 2020 年度经审计的合并报表扣除非经常性损益后归
属于母公司股东的净利润分别不低于人民币 3,200 万元、4,600 万元及 6,600 万元。
根据众华会计师事务所（特殊普通合伙）出具的编号为“众会字（2019）第 4394
号”、“众会字（2020）第 4377 号”及“众会字（2021）第 05143 号”的专项审
核报告，波汇科技 2018-2020 年度业绩承诺完成情况如下表所示：
                                                       单位：万元
 年度        项目       业绩承诺数        实际实现数       差异额       完成率
         扣除非经常性损益
            净利润
         波汇科技扣除非经
         常性损益及使用募
         效益后归属于母公
           司的净利润
         波汇科技扣除非经
         常性损益及使用募
         效益后归属于母公
           司的净利润
     业绩补偿方尚未出现因波汇科技实际业绩未达到约定的业绩补偿标准而需
要赔偿的情况。
     三、保荐机构和会计师核查意见
   保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
资产经营状况；
绩差异情况；
款。
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  经核查，保荐机构和会计师认为：
差异；
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  问题 11
  申请人 2021 年净利润 2.8 亿元，但未现金分红。
  请申请人补充说明：
          （1）2021 年未现金分红的原因与合理性，是否符合公
     （2）申请人 2020-2022 年三年现金分红情况是否能持续满足可转债
司章程规定；
发行条件。
  请保荐机构、会计师发表核查意见。
  答复：
  一、2021 年未现金分红的原因与合理性，是否符合公司章程规定
  公司 2021 年未现金分红是公司根据现状及未来规划，结合公司现金流水平
及对未来业务发展的资金需求计划等因素做出的合理安排。
  随着国内下游厂商对半导体设备需求的增长，公司需要紧跟客户需求，继续
投入对半导体先进制程设备的研发。同时，随着客户产线的持续运营，公司将对
设备相关的电子材料及后续服务进行投入；公司高纯工艺系统、光传感系统业务
类似于工程建设项目，回款周期较长。基于上述原因，需要公司预留一定的资金，
降低因业务发展的资金需求而产生的财务风险。
  公司 2021 年度未分配利润累积滚存至下一年度，将主要用于公司日常经营
发展及流动资金需要、半导体领域的业务发展及投资需求，以保障公司正常生产
经营和业务拓展，为公司及股东谋求利益最大化。
  根据公司章程规定，公司可以采取现金、股票或者现金与股票相结合的方式
分配股利。在外界环境和内部经营未发生重大变化、当年盈利且当年末累计未分
配利润为正数，且现金流满足公司正常经营和长期发展的前提下，公司应当优先
采取现金方式分配股利，公司最近三年以现金方式累计分配的利润不少于最近三
年实现的年均可分配利润的 30%，具体分红比例由公司董事会根据中国证监会的
有关规定和公司经营情况拟定，由公司股东大会审议决定。
  经测算，公司 2019 年至 2021 年以现金方式累计分配的利润占最近三年实现
的年均可分配利润的比例为 34.10%，不少于 30%，因此 2021 年未进行现金分红
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符合公司章程规定。
     二、申请人 2020-2022 年三年现金分红情况是否能持续满足可转债发行条
件。
   公司于 2022 年 4 月 19 日召开第四届董事会第十七次会议审议通过《关
于以集中竞价交易方式回购股份方案的议案》
                   ，同意公司以自有资金或其他合法
资金以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股股票。根据《上海
证券交易所回购股份实施细则》的有关规定，上市公司以现金为对价，采用集中
竞价方式、要约方式回购股份的，当年已实施的股份回购金额视同现金分红，纳
入该年度现金分红的相关比例计算，因此发行人 2022 年股份回购金额视同 2022
年现金分红，截至 2022 年 9 月 30 日，公司 2022 年已累计回购股份 100.67 万
股，已支付的总金额为 3,999.53 万元。
   截至 2022 年 9 月 30 日，公司 2020-2022 年三年现金分红如下表所示：
                                                     单位：万元
          现金分红或回购股份金额    合并报表中归属于上           合并报表中归属于上市
分红年度
             （含税）        市公司股东的净利润            公司股东的净利润
最近三年合并报表归属于上市公司股东
      的年均净利润
最近三年累计现金分红金额占最近三年
   平均归母净利润的比例
   由上表可知，在公司 2022 年预计归属于上市公司股东的净利润在 3-3.3 亿的
情况下，截至 2022 年 9 月 30 日 ，公司 2020-2022 年累计现金分红金额占最近
三年平均归母净利润的比例在 31.68%-32.81%区间内，不少于 30%，现金分红情
况已经能够持续满足可转债发行条件。
   同时根据公司章程规定，在外界环境和内部经营未发生重大变化、当年盈利
且当年末累计未分配利润为正数，且现金流满足公司正常经营和长期发展的前提
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下，公司应当优先采取现金方式分配股利，公司最近三年以现金方式累计分配的
利润不少于最近三年实现的年均可分配利润的 30%。公司将严格遵守公司章程的
规定，确保 2020-2022 年三年现金分红情况能够持续满足可转债发行条件。
  三、保荐机构和会计师核查意见
  保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
规划，并逐项对比相关法规要求核查公司落实情况。
购情况，了解公司 2022 年度分红计划。
  经核查，保荐机构和会计师认为：
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  问题 12
  申请人投资性房地产余额较高。
  请申请人补充说明：
          （1）投资性房地产余额较高的原因与合理性；
                              （2）对投
资性房地产的后续计量情况，是否符合企业会计准则规定。
  请保荐机构和会计师发表核查意见。
  答复：
  一、投资性房地产余额较高的原因及合理性
的在建项目达到预计可使用状态，公司持有上述房地产的目的除部分自用外，剩
余部分出租、赚取租金按照《企业会计准则第 3 号—投资性房地产》的规定，发
行人将用于出租部分列报在投资性房地产，自用部分列报在固定资产和无形资
产。截止 2022 年 6 月 30 日，投资性房地产公允价值为 42,344.30 万元。
  投资性房地产余额较高系公司用于出租的房产公允价值较高，具有合理性。
  二、对投资性房地产的后续计量情况，是否符合企业会计准则规定
  发行人对投资性房地产采用公允价值计量模式进行后续计量。
  根据《企业会计准则第 3 号—投资性房地产》第十条规定，有确凿证据表明
投资性房地产的公允价值能够持续可靠取得的，可以对投资性房地产采用公允价
值模式进行后续计量。采用公允价值模式计量的，应当同时满足下列条件：
                                （一）
投资性房地产所在地有活跃的房地产交易市场；（二）企业能够从房地产交易市
场上取得同类或类似房地产的市场价格及其他相关信息，从而对投资性房地产的
公允价值作出合理的估计。
  公司持有的上述房地产位于上海松江区，有活跃的房地产租赁和交易市场，
发行人能够从房地产市场上取得同类或类似房地产的市场价格及其他相关信息，
从而对投资性房地产的公允价值做出科学合理的估计，投资性房地产的公允价值
能够持续可靠取得。因此，发行人采用公允价值模式对投资性房地产进行后续计
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量符合企业会计准则的规定，有利于报表使用者了解公司真实的财务状况和经营
成果。
  三、保荐机构和会计师核查意见
  保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
关文件，并访谈发行人管理层，了解将部分房屋建筑物和土地转换为投资性房地
产的商业背景和具体依据；
相关文件资料，检查测试投资性房地产期末存续情况及权利和义务认定；
  经核查，保荐机构和会计师认为：
计准则的规定。
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    问题 13
    申请人货币资金充裕，报告期各期末短期借款、一年内到期的非流动负债、
 长期借款逐年大幅增加。
    请申请人补充说明：
            （1）账面货币资金的具体用途及存放管理情况，是否存
 在使用受限、与大股东及关联方资金共管、银行账户归集等情形；
                             （2）利息收入
 情况，利息收入与货币资金余额是否匹配；
                   （3）报告期各期末短期借款、一年内
 到期的非流动负债、长期借款逐年大幅增加的原因，借款资金用途；
                              （4）偿债资
 金来源，是否存在偿债风险和流动性风险，如有请进行充分风险提示。
    请保荐机构和会计师发表核查意见。
    答复：
    一、账面货币资金的具体用途及存放管理情况，是否存在使用受限、与大
 股东及关联方资金共管、银行账户归集等情形
    （一）货币资金构成及受限情况
    报告期各期末，发行人货币资金情况如下：
                                                                          单位：万元
  项目        2022 年 6 月 30 日    2021 年 12 月 31 日    2020 年 12 月 31 日    2019 年 12 月 31 日
库存现金                  13.60               10.67                16.77              17.59
银行存款             110,734.69          143,383.82           143,755.30          40,854.53
其他货币资金              7,672.62           8,543.49             6,479.42           5,433.27
  合计             118,420.90          151,937.98           150,251.48          46,305.39
    发行人货币资金主要由银行存款与其他货币资金构成，其他货币资金主要为
 权利受限的保证金，报告期各期末受限其他货币资金金额分别为 5,318.31 万元、
    其他货币资金中受限保证金情况如下：
                                                                          单位：万元
    项目
                     日                  日                  日                 日
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保函保证金              5,276.68            1,706.92          2,362.13       1,805.67
信用证保证金             1,264.91            4,713.83          3,315.98       1,276.06
借款保证金               508.66             1,523.10            613.08       1,328.34
承兑汇票保证金             503.32                 502.41          114.11         857.39
农民工工资保证金             51.35                  51.31           51.16          50.85
其他保证金                  2.00                  2.00            2.00              -
合计                 7,606.94            8,499.58          6,458.46       5,318.31
      报告期各期末受限保证金主要是保函保证金、信用证保证金、借款保证金及
  承兑汇票保证金，均与公司日常经营相关。
      （二）货币资金具体用途及存放管理情况
      公司账面货币资金均用于生产经营。公司库存现金由出纳保管，存放于公司
  保险柜中，并定期盘点，主要用于零星备用金的收支。公司银行存款及其他货币
  资金存放于公司在银行开设的银行账户中，并定期核对银行对账单，主要用于日
  常经营的开支。对于银行存款及其他货币资金中的募集资金，公司采取了专户存
  储管理，严格按照《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的
                《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号—规范
  监管要求(2022 年修订)》
  运作》及《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》的规定管理
  和使用募集资金。货币资金存放管理情况如下：
                                                                     单位：万元
        报告期          货币资金余额                  募集资金专户余额               剔除专户后余额
      公司 2020 年募集资金专户余额较高，主要系 2020 年 12 月底到账的非公开
  发行新股的资金（金额为 137,471.27 万元）所致。公司 2021 年末剔除专户后余
  额较高，主要系 2021 年 12 月底子公司至微科技的战略投资款 62,800 万元到账。
      报告期内，剔除募集资金专户余额、2021 年子公司至微科技收到的战略投
  资款后，公司货币资金金额用于满足经营的基本要求。
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       （三）与大股东及关联方资金共管、银行账户归集等情形
       公司货币资金支取或转账行为均需履行必要的内部审核流程；公司用于存放
 货币资金的银行账户均由公司独立开具和使用，不存在与关联方资金共管的情
 形，亦不存在银行账户归集的情形。
       二、利息收入情况，利息收入与货币资金余额是否匹配
       报告期内，公司各期货币资金余额与利息收入情况如下：
                                                              单位：万元
   项目        2022 年 1-6 月     2021 年            2020 年         2019 年
期初货币资金余额         151,937.98     150,251.48        46,305.39       9,227.90
期末货币资金余额         118,420.90     151,937.98       150,251.48      46,305.39
货币资金平均余额         135,179.44     151,094.73        98,278.44      27,766.65
利息收入                 222.49            377.17       110.46          48.65
平均存款年化利率             0.33%             0.25%         0.11%          0.18%
 注：货币资金平均余额=（期初货币资金余额+期末货币资金余额）/2；
   平均存款年化利率=利息收入/货币资金平均余额，其中 2022 年 1-6 月进行年化处理。
 （金额为 137,471.27 万元）于当年 12 月到账，导致货币资金平均余额显著增加，
 平均存款年化利率被拉低。
       报告期内，公司利息收入、平均存款年化利率整体偏低，主要系募集资金账
 户的资金根据专户协定约定，须专款专用，未用于购买理财产品等其他用途来提
 高资金收益率，故所产生的利息收入也较低，影响了公司报告期整体货币资金的
 利息收入水平；扣除募集资金专户款项及至微科技的战略投资款后，公司货币资
 金用于满足经营的基本要求，出于资金流动性因素的考量，未购买银行理财产品
 等用途来提高资金收益率。上述原因导致公司利息收入、平均存款年化利率整体
 偏低。
       三、报告期各期末短期借款、一年内到期的非流动负债、长期借款逐年大
 幅增加的原因，借款资金用途
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       报告期各期末，公司短期借款、一年内到期的非流动负债、长期借款情况如
 下：
                                                                        单位：万元
        项目
                       日                    日                日                日
短期借款                    159,809.15        128,307.18        95,883.43        56,275.33
一年内到期非流动负债               28,303.00         25,609.48        13,587.19         2,268.36
长期借款                     62,227.15         64,886.76        58,808.22        22,470.00
合计                      250,339.31        218,803.42       168,278.84        81,013.69
资产总额                    861,254.15        793,301.75       595,666.28       325,710.65
短期借款、一年内到期非流动
负债及长期借款/资产总额
       报告期内，公司短期借款、一年内到期的非流动负债、长期借款随着业务规
 模不断扩大、资产总额的稳步提升而整体呈上升趋势。2019 年度至 2022 年 6 月
 末短期借款、一年内到期非流动负债及长期借款合计金额占资产总额的比例分别
 为 24.87%、28.25%、27.58%及 29.07%，占比基本稳定。
       借款资金用途方面，相关借款主要用于满足因业务规模不断扩大，研发投入
 持续加强投入，产生不断增长的资金需求，具备合理性。
       四、偿债资金来源，是否存在偿债风险和流动性风险，如有请进行充分风
 险提示
       （一）偿债资金来源，是否存在偿债风险和流动性风险
       公司主要通过自身经营业绩留存偿还各项借款，同时日常加强资金管理，积
 极拓宽融资渠道，加大与银行、融资租赁公司等金融机构合作，多种措施降低偿
 债风险和流动性风险。
 的主要来源
       报告期内，发行人销售收现情况如下：
                                                                        单位：万元
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         项目         2022 年 1-6 月     2021 年度      2020 年度       2019 年度
销售商品、提供劳务收到的现金          110,976.56   209,155.58   119,136.58     94,440.57
营业收入                    111,993.18   208,409.77   139,705.61     98,643.92
销售收现比率                    99.09%      100.36%       85.28%            95.74%
   报告期内，发行人销售收现比率均在 85%以上且较为稳定，近一年及一期销
 售收现比率基本在 100%左右，销售商品、提供劳务收到的现金与同期发行人的
 业务规模和营业收入相匹配，表明公司销售现金能够及时予以回收，从动态的角
 度，发行人销售产品的收入能较为及时地转化为现金流入公司。
   公司收入结构和主要客户相对稳定，销售回款情况良好，随着经营业绩的提
 升，销售商品、提供劳务收到的现金逐年提高。
   报告期内，公司凭借良好的业绩深受资本市场青睐，公司采取积极的融资方
 式，多次在资本市场进行融资，改善资本结构，满足经营需要。
   发行人报告期内历次筹资情况如下：
                                                               单位：万元
       发行时间                发行类别                          筹资总额
                      发行股份购买资产
                    （非公开发行募集配套资金）
                 合计                                      216,071.26
   公司本次可转换公司债券拟募集资金 110,000.00 万元，若募集资金到账后，
 将为公司项目建设发展提供资金保障。其中， 33,000.00 万元用于补充流动资金，
 上述资金将有效缓解公司面临的资金需求压力，改善资本结构。
 偿债风险和流动性风险
   报告期内，公司运用长短期借款等方式保持融资持续性与灵活性的平衡，并
 获得主要金融机构足额授信，以满足短期和较长期的资金需求。公司实时监控短
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期和长期资金需求，确保维持充裕的现金储备。公司的财务部门管理公司的资金
在正常范围内使用并确保其被严格控制。现金流动性管理方面，近两年公司逐步
将银行贷款从一年期陆续调整到中长期贷款，同时开始开展和国家政策性银行的
合作获取长期低息贷款。报告期内公司业绩状况良好，获取足额的金融机构授信
额度并通过其自身良好的资金管理能力对公司各类借款进行有效管理，保证公司
不存在重大偿债风险和流动性风险。
   综上所述，公司偿债资金来源主要为自有资金，不存在重大的偿债风险和流
动性风险。
   （二）风险提示
   对于公司报告期各期末短期借款、一年内到期的非流动负债、长期借款逐年
大幅增加带来的偿债风险和流动性风险，保荐机构已在“募集说明书”之“第三
节 风险因素”之“十、流动性风险”中披露，列示如下：
   “报告期内，公司资产负债率较高，较大程度上依赖于债务融资以满足业务
资金需求，其主要负债为流动负债，且大多为短期借款。报告期各期末，公司的
流动负债分别为 124,719.53 万元、180,991.48 万元、276,132.09 万元和 337,139.80
万元，资产负债率（合并）分别为 53.92%、46.94%、45.92%和 48.80%。未来随
着公司业务规模扩张，资金需求进一步增大，若银行贷款政策全面收紧或银行利
率大幅提升，公司可能面临流动性风险，经营资金可能出现短缺，从而影响公司
的稳定经营。”
   五、保荐机构和会计师核查意见
   保荐机构会同会计师履行了以下核查程序：
利率、受限情况等明细表，了解资金使用用途及存放情况；
在与大股东及关联方资金共管、银行账户归集等情形；
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限货币资金相关明细，并获取期后受限货币资金的相关资料，核对期末受限货币
资金余额与相关的信用证保证金、借款保证金、保函及承兑汇票保证金勾稽一致；
期末募集资金存放与使用情况；
等情况。
  经核查，保荐机构和会计师认为：
银行账户归集等情形；
资款后，发行人货币资金用于满足经营的基本要求，未用于购买理财产品等来提
高资金收益率，故所产生的利息收入也较低；
于扩大业务规模，逐年增加因业务规模不断扩大，研发投入持续加强投入，产生
不断增长的资金需求，具备合理性，发行人不存在重大的偿债风险和流动性风险。
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     问题 14
     请申请人补充说明并披露，公司持股 5%以上股东或董事、监事、高管，是
否参与本次可转债发行认购；若是，在本次可转债认购前后六个月内是否存在减
持上市公司股份或已发行可转债的计划或者安排，若否，请出具承诺并披露。请
保荐机构及律师发表核查意见。
     答复：
     一、发行人持股 5%以上股东或董事、监事、高级管理人员参与本次可转债
发行认购的整体情况
     （一）发行人持股 5%以上股东
     截至 2022 年 6 月 30 日，发行人持股 5%以上股东如下表所示。蒋渊、陆龙
英和尚纯投资为一致行动人，合计持有发行人 93,886,403 股股份，占发行人股份
总数的 29.37%。
序号           股东名称/姓名         持股数量（股）                 持股比例（%）
     （二）发行人董事、监事及高级管理人员
     截至 2022 年 6 月 30 日，发行人现任董事、监事和高级管理人员的基本情况
如下表所示：
     序号                姓名                            职务
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  序号               姓名                  职务
  注：董事会秘书柴心明已于 2022 年 1 月 11 日辞去董事会秘书职务并不再担任公司任何
职务。2022 年 4 月 9 日，发行人发布《关于董事长代行董事会秘书职责的公告》，由公司法
定代表人、董事长、总经理蒋渊代行董事会秘书职责。
  二、发行人持股 5%以上股东或董事、监事、高级管理人员参与认购、承诺
函出具情况及六个月内的减持股份情况
  （一）参与认购、承诺函出具情况
  根据发行人持股 5%以上股东及董事、监事、高级管理人员出具的书面承诺，
蒋渊及其一致行动人（陆龙英及尚纯投资）
                  、吴海华、顾卫平、蒋善清、陆磊、
沈一林参与本次可转债认购，周国华不参与本次可转债认购，赵浩及其一致行动
人平湖波威、施振业、时秀娟视情况参与本次可转债认购。相关主体作出的承诺
内容如下：
认购意向    姓名或名称    身份类型              承诺主要内容
                实际控制人、董事     “1、本人及一致行动人/本企业及一致行动
参与认购     蒋渊
                 长、总经理       人承诺将认购至纯科技本次公开发行的可
         陆龙英     控股股东        转换公司债券（以下简称“可转债”），具
                             体认购金额将根据可转债市场情况、本次可
                             转债发行具体方案、本人/本企业资金状况和
                             《中华人民共和国证券法》《可转换公司债
                             券管理办法》等相关规定确定；
                             女/本企业及本企业的一致行动人或本企业
                             控制的其他主体将严格遵守《证券法》《可
                             转换公司债券管理办法》等关于股票交易的
        尚纯投资     控股股东        规定，在本次可转债认购前后六个月内不减
                             持至纯科技的股票或已发行的可转债；
                             自愿作出上述承诺，并自愿接受本承诺函的
                             约束。若本人及配偶、父母、子女/本企业及
                             本企业的一致行动人或本企业控制的其他
                             主体违反上述承诺发生减持至纯科技股票、
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                             可转债的情况，由此所得的收益全部归至纯
                             科技所有，并依法承担由此产生的法律责
                             任。若给至纯科技和其他投资者造成损失
                             的，本人及一致行动人/本企业及一致行动人
                             将依法承担赔偿责任。”
       吴海华    董事、研发总监        “1、本人承诺将认购至纯科技本次公开发
                             行的可转换公司债券（以下简称“可转债”），
       顾卫平         监事        具体认购金额将根据可转债市场情况、本次
       蒋善清         监事        可转债发行具体方案、本人资金状况和《中
                             华人民共和国证券法》《可转换公司债券管
        陆磊     财务总监          理办法》等相关规定确定；
                             格遵守《证券法》《可转换公司债券管理办
                             法》等关于股票交易的规定，在本次可转债
                             认购前后六个月内不减持至纯科技的股票
                             或已发行的可转债；
              副总经理、业务总
       沈一林                   承诺函的约束。若本人及配偶、父母、子女
                 监
                             违反上述承诺发生减持至纯科技股票、可转
                             债的情况，本人及配偶、父母、子女因减持
                             至纯科技股票、可转债的所得收益全部归至
                             纯科技所有，并依法承担由此产生的法律责
                             任。若给至纯科技和其他投资者造成损失
                             的，本人将依法承担赔偿责任。”
视情况参    赵浩    董事、副总经理        “1、若本人及一致行动人/本企业及一致行
 与认购                         动人在本次发行可转换公司债券发行首日
                             （募集说明书公告日）前六个月存在股票减
                             持情形，本人及一致行动人/本企业及一致行
                             动人承诺将不参与本次可转换公司债券（以
                             下简称“可转债”）的认购，亦不会委托其
                             他主体参与本次可转债的发行认购；
                             人在本次发行可转换公司债券发行首日（募
                             集说明书公告日）前六个月不存在股票减持
                             情形，本人及一致行动人/本企业及一致行动
                             人将根据届时市场情况、本次可转债发行具
                             体方案、资金状况和《中华人民共和国证券
                             法》等相关规定等决定是否参与本次可转债
       平湖波威   公司董事赵浩的        的认购，若认购成功，则本人及一致行动人
               一致行动人         /本企业及一致行动人承诺将严格遵守相关
                             法律法规对短线交易的要求，自本次可转债
                             发行首日（募集说明书公告日）起至本次可
                             转债发行完成后六个月内不减持公司股票
                             及认购的本次可转债，亦不存在任何减持计
                             划；
                             格遵守包括上述 1、2 点在内的短线交易的
                             相关规定；
                             人出现未能履行上述关于本次可转债发行
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                             的承诺情况，由此所得收益归至纯科技所
                             有，本人及一致行动人/本企业及一致行动人
                             依法承担由此产生的法律责任。”
       施振业      独立董事         “1、若本人在本次发行可转换公司债券发
                             行首日（募集说明书公告日）前六个月存在
                             股票减持情形，本人承诺将不参与本次可转
                             换公司债券（以下简称“可转债”）的认购，
                             亦不会委托其他主体参与本次可转债的发
                             行认购；
                             首日（募集说明书公告日）前六个月不存在
                             股票减持情形，本人将根据届时市场情况、
                             本次可转债发行具体方案、资金状况和《中
                             华人民共和国证券法》等相关规定等决定是
                             否参与本次可转债的认购，若认购成功，则
       时秀娟      监事会主席        本人承诺将严格遵守相关法律法规对短线
                             交易的要求，自本次可转债发行首日（募集
                             说明书公告日）起至本次可转债发行完成后
                             六个月内不减持公司股票及认购的本次可
                             转债，亦不存在任何减持计划；
                             格遵守包括上述 1、2 点在内的短线交易的
                             相关规定；
                             债发行的承诺情况，由此所得收益归至纯科
                             技所有，本人依法承担由此产生的法律责
                             任。”
                             “1、本人及本人配偶、父母、子女承诺将
                             不参与认购至纯科技本次公开发行的可转
                             换公司债券（以下简称“可转债”），亦不
                             会委托其他主体参与本次可转债发行认购；
不参与认                         2、本人及本人配偶、父母、子女自愿作出
       周国华      独立董事
  购                          上述承诺，并自愿接受本承诺函的约束。若
                             本人及本人配偶、父母、子女违反上述承诺
                             的，依法承担由此产生的法律责任。若给至
                             纯科技和其他投资者造成损失的，本人将依
                             法承担赔偿责任。”
  综上，公司持股 5%以上股东、董事、监事、高级管理人员已就是否参与本
次可转债发行认购及减持计划或安排等事宜作出声明与承诺，相关说明与承诺的
内容符合法律、法规和规范性文件的相关规定。
  （二）减持股份及已发行的可转债情况
  发行人于 2019 年 12 月 20 日公开发行了 3,560,000 张可转换公司债券，债券
简称“至纯转债”，债券代码“113556”。自本反馈回复出具日起前六个月内，
上海至纯洁净系统科技股份有限公司     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
参与认购本次可转债的发行人持股 5%以上股东或董事、监事、高级管理人员不
存在减持已发行的可转债的情况，亦不存在作出减持已发行的可转债的计划或安
排。
  自本反馈回复出具日起前六个月内，除赵浩的一致行动人平湖波威存在减持
发行人股份外，参与认购本次可转债的其他发行人持股 5%以上股东或董事、监
事、高级管理人员不存在减持发行人股份的情况，亦不存在作出减持发行人股份
的计划或安排。赵浩及平湖波威已承诺，若在本次发行可转换公司债券发行首日
（募集说明书公告日）前六个月存在减持发行人股份，则不参与本次可转换公司
债券的认购，亦不会委托其他主体参与本次可转债的发行认购。
     三、补充信息披露
  发行人已在《募集说明书》“重大事项提示”之“六、公司持股 5%以上股
东及董事、监事、高级管理人员参与本次可转换公司债券的认购情况”补充披露
了上述承诺内容。
     四、保荐机构和律师核查意见
  保荐机构会同律师履行了以下核查程序：
的相关承诺函；
案》。
  经核查，保荐机构和律师认为：
  发行人持股 5%以上股东、董事、监事及高级管理人员已针对参加本次可转
债发行认购及减持情况出具承诺，上述承诺内容符合相关法律法规要求，合法有
效。发行人已在《募集说明书》中补充披露了上述承诺函。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司   公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
  问题 15
  请申请人按照《可转换公司债券管理办法》规定，在募集说明书中约定可转
债受托管理事项。请保荐机构和律师核查并对发行人本次发行是否符合《可转换
公司债券管理办法》的相关规定和披露要求明确发表意见。
  答复：
  一、请申请人按照《可转换公司债券管理办法》规定，在募集说明书中约
定可转债受托管理事项
  发行人已根据《可转债管理办法》《公司债券发行与交易管理办法》规定，
与保荐机构签订了《关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公
司债券之债券受托管理协议》，同意聘任国泰君安作为本次可转债的受托管理人。
发行人已在《募集说明书》
           “第二节 本次发行概况”之“二、本次发行的基本情
况” 之“（二十一）受托管理事项”中披露了本次可转债受托管理的情况，具体
如下：
  “1、为维护本次债券全体债券持有人的权益，公司聘任国泰君安作为本次
债券的受托管理人，并同意接受受托管理人的监督。公司与国泰君安就本次可转
债受托管理事项签署了《关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转
换公司债券之债券受托管理协议》（以下简称“《受托管理协议》”）。
规范性文件及自律规则、
          《募集说明书》
                《受托管理协议》和《债券持有人会议规
则》的规定，行使权利和履行义务。
国泰君安作为本次债券的债券受托管理人，且视为其同意《受托管理协议》的所
有规定。
  二、请保荐机构和律师核查并对发行人本次发行是否符合《可转换公司债
券管理办法》的相关规定和披露要求明确发表意见
上海至纯洁净系统科技股份有限公司     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
    发行人本次发行符合《可转债管理办法》的相关规定和披露要求，具体如下：
序                                          本次发行是
     《可转换公司债券管理办法》相关规定        本次发行及披露情况
号                                          否符合规定
    第一条 为了规范可转换公司债券（以下简称
    可转债）的交易行为，保护投资者合法权益，
    维护市场秩序和社会公共利益，根据《证券
    法》《公司法》等法律法规，制定本办法。
    第二条 可转债在证券交易所或者国务院批
    准的其他全国性证券交易场所（以下简称证       公司本次发行的证券类
    券交易场所）的交易、转让、信息披露、转       型为可转换为公司股票
    股、赎回与回售等相关活动，适用本办法。       的可转换公司债券，该
    本办法所称可转债，是指公司依法发行、在       可转换公司债券及未来
    一定期间内依据约定的条件可以转换成本公       转换的公司股票将在上
    司股票的公司债券，属于《证券法》规定的       交所上市。
    具有股权性质的证券。
    第三条 向不特定对象发行的可转债应当在
    依法设立的证券交易所上市交易或者在国务       公司本次发行的证券类
    院批准的其他全国性证券交易场所交易。证       型为可转换为公司股票
    券交易场所应当根据可转债的风险和特点，       的可转换公司债券，该
    完善交易规则，防范和抑制过度投机。进行       可转换公司债券及未来
    可转债程序化交易的，应当符合中国证监会       转换的公司股票将在上
    的规定，并向证券交易所报告，不得影响证       交所上市。
    券交易所系统安全或者正常交易秩序。
    第四条 发行人向特定对象发行的可转债不
    得采用公开的集中交易方式转让。上市公司
                              本次发行系向不特定对
                              象发行可转债
    票自可转债发行结束之日起十八个月内不得
    转让。
    第五条 证券交易场所应当根据可转债的特
    点及正股所属板块的投资者适当性要求，制
    定相应的投资者适当性管理规则。证券公司
    应当充分了解客户，对客户是否符合可转债       该条所规范主体不涉及
    投资者适当性要求进行核查和评估，不得接       发行人
    受不符合适当性要求的客户参与可转债交
    易。证券公司应当引导客户理性、规范地参
    与可转债交易。
    第六条 证券交易场所应当加强对可转债的
    风险监测，建立跨正股与可转债的监测机制， 该条所规范主体不涉及
    并根据可转债的特点制定针对性的监测指 发行人
    标。可转债交易出现异常波动时，证券交易
上海至纯洁净系统科技股份有限公司     公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
    场所可以根据业务规则要求发行人进行核
    查、披露异常波动公告，向市场充分提示风
    险，也可以根据业务规则采取临时停牌等处
    置措施。
    第七条 发生可能对可转债的交易转让价格
    产生较大影响的重大事件，投资者尚未得知
    时，发行人应当立即将有关该重大事件的情
    况向中国证监会和证券交易场所报送临时报
    告，并予公告，说明事件的起因、目前的状
    态和可能产生的法律后果。
    前款所称重大事件包括：（一）《证券法》第
    八十条第二款、第八十一条第二款规定的重
    大事件；（二）因配股、增发、送股、派息、
    分立、减资及其他原因引起发行人股份变动，
    需要调整转股价格，或者依据募集说明书约
    定的转股价格向下修正条款修正转股价格；
    （三）募集说明书约定的赎回条件触发，发
    行人决定赎回或者不赎回；（四）可转债转换
    为股票的数额累计达到可转债开始转股前公
    司已发行股票总额的百分之十；（五）未转换
    的可转债总额少于三千万元；（六）可转债担
    保人发生重大资产变动、重大诉讼、合并、
    分立等情况；（七）中国证监会规定的其他事
    项。
    第八条 可转债自发行结束之日起不少于六       发行本次发行的可转债
    个月后方可转换为公司股票，转股期限由公       转股期限自可转债发行
    定。可转债持有人对转股或者不转股有选择       的第一个交易日起至可
    权，并于转股的次日成为发行人股东。         转债到期日止。
                              发行人已在《募集说明
                              书》“第二节 本次发行
    第九条 上市公司向不特定对象发行可转债       概况”之“二、本次发
    的转股价格应当不低于募集说明书公告日前       行的基本情况”之“（八）
    二十个交易日发行人股票交易均价和前一个       转股价格的确定及其调
    交易日均价，且不得向上修正。上市公司向       整”“（九）转股价格向
    特定对象发行可转债的转股价格应当不低于       下修正条款” 中约定了
    认购邀请书发出前二十个交易日发行人股票       转股价格的确定及其调
    交易均价和前一个交易日均价，且不得向下       整、转股价格向下修正
    修正。                       条款相关内容，未设置
                              转股价格向上修正条
                              款。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司      公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     第十条 募集说明书应当约定转股价格调整
     的原则及方式。发行可转债后，因配股、增
                               发行人已在《募集说明
     发、送股、派息、分立、减资及其他原因引
                               书》“第二节 本次发行
     起发行人股份变动的，应当同时调整转股价
                               概况”之“二、本次发
     格。上市公司可转债募集说明书约定转股价
                               行的基本情况”之“（八）
     格向下修正条款的，应当同时约定：（一）转
                               转股价格的确定及其调
                               整”“（九）转股价格向
     决，且须经出席会议的股东所持表决权的三
                               下修正条款” 中约定了
     分之二以上同意，持有发行人可转债的股东
                               转股价格的确定及其调
     应当回避；（二）修正后的转股价格不低于前
                               整、转股价格向下修正
     项通过修正方案的股东大会召开日前二十个
                               条款相关内容。
     交易日该发行人股票交易均价和前一个交易
     日均价。
                               发行人已在《募集说明
     第十一条 募集说明书可以约定赎回条款，规
                               书》“第二节 本次发行
     定发行人可按事先约定的条件和价格赎回尚
                               概况”之“二、本次发
     未转股的可转债。募集说明书可以约定回售
                               行的基本情况”之“（十
                               一）赎回条款”“（十二）
     件和价格将所持可转债回售给发行人。募集
                               回售条款”中约定赎回
     说明书应当约定，发行人改变募集资金用途
                               条款、回售条款相关内
     的，赋予可转债持有人一次回售的权利。
                               容。
     第十二条 发行人在决定是否行使赎回权或
     者对转股价格进行调整、修正时，应当遵守
                               该条规范的行为发生在
                               存续期。
     投资者的合法权益。保荐人应当在持续督导
     期内对上述行为予以监督。
     第十三条 在可转债存续期内，发行人应当持
     续关注赎回条件是否满足，预计可能满足赎       该条规范的行为发生在
     回条件的，应当在赎回条件满足的五个交易       存续期。
     日前及时披露，向市场充分提示风险。
     第十四条 发行人应当在赎回条件满足后及
     时披露，明确说明是否行使赎回权。发行人
     决定行使赎回权的，应当披露赎回公告，明
     确赎回的期间、程序、价格等内容，并在赎
     回期结束后披露赎回结果公告。发行人决定
                               该条规范的行为发生在
                               存续期。
     限内不得再次行使赎回权。发行人决定行使
     或者不行使赎回权的，还应当充分披露其实
     际控制人、控股股东、持股百分之五以上的
     股东、董事、监事、高级管理人员在赎回条
     件满足前的六个月内交易该可转债的情况，
上海至纯洁净系统科技股份有限公司      公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     上述主体应当予以配合。
     第十五条 发行人应当在回售条件满足后披
     露回售公告，明确回售的期间、程序、价格       该条规范的行为发生在
     等内容，并在回售期结束后披露回售结果公       存续期。
     告。
                               发行人已为本次可转债
                               发行聘请了国泰君安作
                               为债券受托管理人，双
     第十六条 向不特定对象发行可转债的，发行
                               方于 2021 年 9 月签署了
     人应当为可转债持有人聘请受托管理人，并
                               《关于上海至纯洁净系
     订立可转债受托管理协议。向特定对象发行
                               统科技股份有限公司公
     可转债的，发行人应当在募集说明书中约定
     可转债受托管理事项。可转债受托管理人应
                               之债券受托管理协议》。
     当按照《公司债券发行与交易管理办法》的
                               国泰君安将按照《公司
     规定以及可转债受托管理协议的约定履行受
                               债券发行与交易管理办
     托管理职责。
                               法》的规定以及可转债
                               受托管理协议的约定履
                               行受托管理职责。
                          发行人已在《募集说明
                          书》“第二节 本次发行
                          概况”之“二、本次发
                          行的基本情况”之“（十
     第十七条 募集说明书应当约定可转债持有
                          六）债权持有人会议相
     人会议规则。可转债持有人会议规则应当公
                          关事项”中规定了可转
     平、合理。可转债持有人会议规则应当明确
                          债持有人会议规则。《上
     可转债持有人通过可转债持有人会议行使权
                          海至纯洁净系统科技股
                          份有限公司公开发行 A
     决策机制和其他重要事项。可转债持有人会
                          股可转换公司债券之债
     议按照本办法的规定及会议规则的程序要求
                          券持有人会议规则》第
     所形成的决议对全体可转债持有人具有约束
                          三章规定了债券持有人
     力。
                          会议的权限范围，第四
                          章规定了债券持有人会
                          议的召开、通知、决策
                          机制等重要事项。
     第十八条 可转债受托管理人应当按照《公司      发行人已在《募集说明
     债券发行与交易管理办法》规定或者有关约       书》“第二节 本次发行
     定及时召集可转债持有人会议。            概况”之“二、本次发
     债持有人会议时，单独或合计持有本期可转       六）债权持有人会议相
     债总额百分之十以上的持有人有权自行召集       关事项”中规定了召集
     可转债持有人会议。                 可转债持有人会议相关
上海至纯洁净系统科技股份有限公司            公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                                     内容。发行人已在《关
                                     于上海至纯洁净系统科
                                     技股份有限公司公开发
                                     行可转换公司债券之债
                                     券受托管理协议》中明
                                     确了相关内容。
                                     发行人已在《募集说明
                                     书》“第二节 本次发行
                                     概况”之“十一、本次
     第十九条 发行人应当在募集说明书中约定
                                     可转债的违约责任及争
     构成可转债违约的情形、违约责任及其承担
     方式以及可转债发生违约后的诉讼、仲裁或
                                     可转债违约情形、违约
     其他争议解决机制。
                                     责任及其承担方式、可
                                     转债发生违约后的争议
                                     解决机制。
     第二十条 违反本办法规定的，中国证监会可
     以对当事人采取责令改正、监管谈话、出具
     警示函以及中国证监会规定的相关监管措
     施；依法应予行政处罚的，依照《证券法》
                       《公
     司法》等法律法规和中国证监会的有关规定
     进行处罚；情节严重的，对有关责任人员采
     取证券市场禁入措施；涉嫌犯罪的，依法移
     送司法机关，追究其刑事责任。
     第二十一条 可转债的发行活动，适用中国证
     监会有关发行的相关规定。在并购重组活动
                          发行人本次可转债发行
     中发行的可转债适用本办法，其重组报告书、
     财务顾问适用本办法关于募集说明书、保荐
                          行的相关规定。
     人的要求；中国证监会另有规定的，从其规
     定。
     第二十二条 对于本办法施行日以前已经核
     准注册发行或者尚未核准注册但发行申请已
     书的内容要求按照本办法施行日以前的规则
     执行。
     第二十三条 本办法自 2021 年 1 月 31 日起施
     行。
     三、保荐机构和律师核查意见
     保荐机构会同律师履行了以下核查程序：
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案》；
规则》；
第十次会议、第四届董事会第二十二次会议、2021 年第二次临时股东大会、2021
年第三次临时股东大会的议案、决策文件及对应公告；
司公开发行可转换公司债券之债券受托管理协议》；
行方案及《募集说明书》披露情况。
  经核查，保荐机构和律师认为：
  发行人已按照《可转债管理办法》规定，与保荐机构签订了《关于上海至纯
洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公司债券之受托管理协议》，并在《募
集说明书》中约定可转债受托管理事项。发行人本次发行符合《可转债管理办法》
的相关规定和披露要求。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
     问题 16
     请申请人补充说明，募投项目中尚未取得的部分用地手续办理情况，是否存
在用地手续办理障碍，进而影响项目顺利实施，申请人是否充分提示了相关风险。
请保荐机构和律师发表核查意见。
     答复：
     截至本反馈回复出具日，募投项目用地手续办理情况如下：
序号           项目名称                     土地使用权证办理情况
                                 项目用地已完成招拍挂程序，土地使用
                                 权证手续办理中。
                                 会已出具相关《说明》，确保项目用地取
                                 得不存在实质性障碍。
                                 项目用地已完成招拍挂程序，土地使用
                                 权证手续办理中。
                                 相关《说明》，确保项目用地取得不存在
                                 实质性障碍。
                                 本项目为“代建+租赁+回购”模式，项目
                                 (2021 )海宁市不动产权第 0078641 号）
     募投项目中尚未取得的部分用地手续办理情况如下：
     一、单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目
     单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目建设地点位于上海紫竹高新技术产
业开发区内，用地手续正在办理中。
     （一）截至本反馈回复出具日，相关招拍挂程序的具体进展
用地地块委托上海市土地交易事务中心（挂牌人）在上海土地市场网站
（www.shtdsc.com）发布了《出让公告》，地块公告号为 202209903，地块名称为
闵行区吴泾镇紫竹科学园区 MHPO-1003 单元 32-02 地块（闵行区研发-35 号地
块）， 四至范围东至：中月樱路，西至：紫日路，南至：金海棠路，北至：兰香
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
湖南路， 土地总面积为 21,199.6 平方米，土地用途为科研设计用地，准入产业
类型为半导体专业设备制造。
至纯科技以成交价格 9,412 万元竞得上述土地使用权，至纯科技已于同一日与上
海市闵行区规划和自然资源局签订《上海市国有建设用地（研发总部产业项目类）
使用权出让合同》。
  （二）相关部门出具的说明文件
  根据上海紫竹高新技术产业开发区管理委员会于 2021 年 11 月 8 日出具的
《关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司单片湿法工艺模块、核心零部件研发
项目的说明》，本次项目拟使用的土地符合上海市土地政策和城市规划要求。上
海紫竹高新技术产业开发区内现有储备土地充足，若后续未取得上述土地，上海
紫竹高新技术产业开发区将提供同等条件土地供予项目使用。
  截至本反馈回复出具日，至纯科技暂未取得闵行区研发-35 号地块的不动产
权证书，相关手续正在办理过程中，预计不存在实质性障碍，不会影响项目顺利
实施。
  二、至纯北方半导体研发生产中心项目
  至纯北方半导体研发生产中心项目建设地点位于北京经济技术开发区内，用
地手续正在办理中。
  （一）截至本反馈回复出具日，相关招拍挂程序的具体进展
挂牌编号为京开国土挂[2022]7 号，地块名称为北京经济技术开发区亦庄新城
土地用途为工业。
确认至纯科技（北京）有限公司竞得上述土地使用权，至纯科技（北京）有限公
司已于 2022 年 9 月 9 日与北京经济技术开发区建设局签订《国有建设用地使用
上海至纯洁净系统科技股份有限公司          公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
权“先租后让、达产出让”合同》，约定北京至纯以挂牌方式租赁北京经济技术
开发区亦庄新城 0606 街区 YZ00-0606-0054 地块，该宗地用于高纯工艺设备及湿
法清洗设备产业基地项目建设，租赁期限 5 年。至纯北京已租赁取得至纯北方半
导体研发生产中心项目的所需土地；租赁期限届满，至纯北京满足达产考核标准
后，可申请办理土地出让手续。
  （二）相关部门出具的说明文件
  根据北京经济技术开发区管理委员会于 2021 年 11 月 30 日出具的《北京经
济技术开发区管理委员会关于至纯北方半导体研发生产中心项目募投相关事项
说明的函》
    ，亦庄新城范围内储备空间充足，北京经济技术开发区将根据土地政
策和城市规划要求，按照双方签署的《入区协议》约定，履行出让土地义务，以
保障项目落地实施。
  截 至 本 反 馈 回 复 出 具 日 ， 至 纯 北 京 暂 未 取 得 亦 庄 新 城 0606 街 区
YZ00-0606-0054 地块的不动产权证书，相关手续正在办理过程中，预计不存在
实质性障碍，不会影响项目顺利实施。
  三、半导体设备模组及部件制造项目
  本项目建设地点位于海宁经济开发区，目前土地使用权人已取得该项目国有
建设用地使用权，项目厂房建设完成后，至纯科技子公司将与土地使用权人签署
厂房租赁协议。
简称“海宁市经开区管委会”）签订《至纯科技产业园项目投资协议》，约定浙
江省海宁市经济开发区为发行人全资子公司浙江精密制造提供海宁经济开发区
环城东路以西、石泾路以北作为项目用地；土地及厂房由海宁市经开区管委会下
属的国资公司拿地、代建、厂房装修，项目用地厂房建设完成并交付后由浙江精
密制造租赁使用。
公司取得该项目用地的国有建设用地使用权，不动产权证号为浙(2021 )海宁市不
动产权第 0078641 号。由于“半导体设备模组及部件制造项目”涉及厂房正在建
上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
设中，尚未竣工验收，截至本反馈回复出具日，浙江精密制造尚未与海宁国芯科
技有限公司签署租赁协议。
  鉴于公司已与海宁市经开区管委会签订《至纯科技产业园项目投资协议》，
预计项目厂房建设竣工后签署租赁协议不存在实质性障碍，不会影响项目的顺利
实施。
  四、申请人是否充分提示了相关风险
  针对上述项目用地手续尚未办理完毕的风险，发行人已在本次发行《募集说
明书》 “重大事项提示 ”之“五、公司的相关风险”之“（十三）募投项目土
地尚未取得的风险”以及“第三节 风险因素”之“十三、募投项目土地尚未取
得的风险”中进行了补充披露：
  “截至本募集说明书签署日，本次募投项目“单片湿法工艺模块、核心零部
件研发项目”与“至纯北方半导体研发生产中心项目”用地已完成土地招拍挂程
序，尚未取得不动产权证书，相关手续正在办理过程中。
  公司需在相关实施或建设主体取得项目用地使用权后方可开展募投项目建
设，虽然公司预计募投项目用地取得不存在实质性障碍，但若未来募投项目用地
的取得时间晚于预期，则公司本次募投项目可能面临延期或者变更实施地点的风
险，从而对募投项目的实施造成不利影响。”
  综上所述，发行人本次募投项目“单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目”
与“至纯北方半导体研发生产中心”用地尚未取得不动产权证书，相关手续正在
办理过程中，预计不存在实质性障碍，不会影响项目的顺利实施。发行人已在本
次发行募集说明书中对募投项目土地尚未取得的风险进行了充分提示。
  五、保荐机构和律师核查意见
  保荐机构会同律师履行了以下核查程序：
查阅《闵行区人民政府关于同意闵行区吴泾镇科学园区 MHPO-1003 单元 32-02
上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
地块（闵行区研发-35 号地块）出让确认意见书》、《成交确认书》、《上海市
国有建设用地使用权出让合同》；
济技术开发区开发建设局出具的《成交确认书》、至纯北京与北京经济技术开发
区开发建设局签订《国有建设用地使用权“先租后让、达产出让”合同》；
项目投资协议》、项目不动产权证及厂房建设手续文件。
  经核查，保荐机构和律师认为：
不动产权证相关手续正在办理过程中，预计不存在实质性障碍，不会影响项目顺
利实施；
后，发行人子公司将与土地使用权人签署厂房租赁协议，由于发行人已与海宁市
经开区管委会签订项目投资协议，签署项目厂房租赁协议不存在实质性障碍，不
会影响项目的顺利实施；
产权证书，发行人已签订土地使用权出让合同，不动产权证相关手续正在办理过
程中，预计取得不存在实质性障碍，不会影响项目的顺利实施。
了充分提示。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
    问题 17
    报告期内，申请人控股、参股子公司是否存在房地产相关业务，请保荐机构
和律师发表核查意见。
    答复：
    一、发行人控股、参股子公司不涉及房地产业务
    根据《中华人民共和国城市房地产管理法（2019 年修正）》第三十条规定，
“房地产开发企业是以营利为目的，从事房地产开发和经营的企业。”根据《城
市房地产开发经营管理条例》第二条规定，“本条例所称房地产开发经营，是指
房地产开发企业在城市规划区内国有土地上进行基础设施建设、房屋建设，并转
让房地产开发项目或者销售、出租商品房的行为。”《房地产开发企业资质管理
规定》第三条规定，“房地产开发企业应当按照本规定申请核定企业资质等级。
未取得房地产开发资质等级证书（以下简称资质证书）的企业，不得从事房地产
开发经营业务。”根据上述规定，发行人控股公司、参股子公司不存在从事房地
产业务的情形，具体情况如下：
    （一）发行人控股、参股子公司均未取得房地产开发经营相关业务资质
    截至本反馈回复出具日，发行人控股、参股子公司均未取得房地产开发经营
相关业务资质。
    （二）除波汇信息外，发行人及其控股、参股子公司经营范围不涉及房地
产相关内容
    截至本反馈回复出具日，发行人控股公司的经营范围情况如下：
                                                    是否包
序            与发行人
     企业名称                         经营范围              含房地
号            的关系
                                                    产业务
                    技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让。       （集
                    中办公区时限至 2023 年 5 月 17 日。）
                                            （市场主体
    至纯科技（北   全资子公
    京）有限公司     司
                    经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容
                    开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                    止和限制类项目的经营活动。）
                    一般项目：从事光电技术、半导体科技、电子科
                    技、工业自动化科技、计算机科技领域内的技术
                    服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转
                    让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导
    上海紫锡光学   控股子公
    技术有限公司     司
                    设备销售；通讯设备销售；集成电路芯片及产品
                    销售；电子产品销售；软件开发；知识产权服务；
                    货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项
                    目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
                    一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技
                    术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用
    淄博至芯应用          设备制造；配电开关控制设备制造；工业自动控
             全资子公
               司
    公司              件及辅助设备批发；计算器设备制造；金属材料
                    制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依
                    法自主开展经营活动）
                    一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技
                    术交流、技术转让、技术推广；光电子器件制造；
                    光电子器件销售；光通信设备制造；光通信设备
                    销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片
    天津波汇光电   全资子公   及产品销售；其他电子器件制造；电子元器件批
    技术有限公司     司    发。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依
                    法自主开展经营活动）。许可项目：货物进出口；
                    技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部
                    门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相
                    关部门批准文件或许可证件为准）。
                    一般项目：光电子器件制造；光电子器件销售；
                    光通信设备制造；光通信设备销售；集成电路芯
                    片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；其他
    科谱半导体           电子器件制造；电子元器件批发。（除依法须经
             控股子公
               司
    公司              动）。许可项目：货物进出口；技术进出口。
                                       （依
                    法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展
                    经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或
                    许可证件为准）。
                    一般项目：从事电子科技、半导体科技、工业自
                    动化科技、计算机科技、光电科技领域内的技术
    上海至纯电子   全资子公
    科技有限公司     司
                    让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导
                    体分立器件销售；电力电子元器件销售；电子专
上海至纯洁净系统科技股份有限公司        公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                    用材料销售；实验分析仪器销售；电子专用材料
                    研发；家用电器研发；工业控制计算机及系统销
                    售；工业自动控制系统装置销售；电子元器件批
                    发；电子元器件零售；信息技术咨询服务；信息
                    系统集成服务；计算器设备销售；集成电路销售；
                    合成材料销售；软件开发；光电子器件制造；光
                    电子器件销售；半导体照明器件制造；集成电路
                    芯片及产品制造；光通信设备制造；通信设备制
                    造；电力电子元器件制造；电子专用材料制造；
                    会议及展览服务；集成电路芯片及产品销售；半
                    导体照明器件销售；仪器仪表制造；智能仪器仪
                    表销售；工业自动控制系统装置制造；普通机械
                    设备安装服务；电子产品销售；机械设备销售；
                    办公设备销售；物联网技术服务；物联网技术研
                    发；知识产权服务；网络设备销售；物联网设备
                    销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经
                    批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活
                    动）
                    电子技术服务；电子技术研发；电子技术咨询；
                    生物技术开发服务；生物技术咨询、交流服务；
                    生物技术转让服务；环保技术研发；环保技术开
                    发服务；电子技术转让；环保技术咨询、交流服
                    务；环保技术转让服务；计量器具销售；计量检
                    定校准；计量器具修理；光纤制造；光纤设备销
                    售；半导体器件专用设备制造；水处理系统的运
    长沙至纯应用   控股子公
    科技有限公司     司
                    通信设备销售；仪器仪表批发；计算机销售；计
                    算机零配件批发；计算机零配件零售；建筑材料
                    销售；不锈钢制品批发；不锈钢制品零售；水处
                    理设备的安装；机械设备的研发；货物或技术进
                    出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进
                    出口除外）；计量器具制造。
                                （依法须经批准的项
                    目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
                    一般项目：从事半导体设备、互联网科技、生物
                    工程、网络科技、环保科技、新能源科技领域内
                    的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务（人
    上海砺致科技   控股子公   体干细胞、基因诊断与治疗技术开发和应用除
    有限公司       司    外），半导体设备的技术开发、设计与销售，货
                    物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货
                    物和技术进出口除外）。
                              （除依法须经批准的项目
                    外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     集成电路应用及泛半导体领域相关材料的研发、
                     设计、生产、销售,并提供相关的技术服务与技
     至一高纯电子          术咨询,电子材料科技领域内、新材料科技领域
              全资子公
                司
     有限公司            货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的
                     货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项
                     目,经相关部门批准后方可开展经营活动。）
                     半导体设备、机械设备、自动化设备、计算机及
                     辅助设备、配电开关控制设备制造、销售、维修、
                     调试及技术服务；建筑装潢材料、半导体材料、
                     电子材料、金属材料、塑料制品、化工产品（除
     合肥至汇半导          危险品）销售；信息技术咨询；工业自动化科技、
              全资子公
                司
     限公司             术咨询、技术转让、技术服务；自营和代理各类
                     商品和技术的进出口业务（但国家限定企业经营
                     或禁止进出口的商品和技术除外）。
                                    （依法须经批
                     准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
                     动）
                     一般项目：从事半导体科技、工业自动化科技、
                     电子科技、网络科技、计算机科技、光电科技领
     至微半导体           域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转
              控股子公
                司
     公司              及销售，货物进出口，技术进出口。（除依法须
                     经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营
                     活动）
                     一般项目：专用设备制造（不含许可类专业设备
                     制造）；半导体器件专用设备制造；半导体器件
                     专用设备销售；机械零件、零部件加工；机械零
                     件、零部件销售；光电子器件制造；光电子器件
                     销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器
     合肥至微微电   控股子公   件销售；计算机软硬件及外围设备制造；技术服
     子有限公司      司    务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、
                     技术推广；集成电路芯片及产品制造；集成电路
                     芯片及产品销售（除许可业务外，可自主依法经
                     营法律法规非禁止或限制的项目）许可项目：技
                     术进出口；货物进出口（依法须经批准的项目，
                     经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     从事半导体科技、工业自动化科技、电子科技、
     合肥至微半导   控股子公   网络科技、计算机科技、光电科技领域内的技术
     体有限公司      司    开发、技术咨询、技术服务、技术转让；自营和
                     代理各类商品及技术的进出口业务（国家限定企
上海至纯洁净系统科技股份有限公司          公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     业经营或禁止进出口的商品和技术除外）；半导
                     体设备、计算机及辅助设备的设计、制造及销售。
                     （依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可
                     开展经营活动）
                     半导体设备、机械设备、自动化设备、计算机及
                     辅助设备、配电开关控制设备制造、销售，建筑
                     装潢材料、金属材料（除危险化学品）、塑料制
     江苏启微半导          品、一般化工产品销售，信息技术咨询服务，工
              控股子公
                司
     司               体科技领域内、光电科技领域内的技术研发、技
                     术咨询、技术转让服务，自营和代理一般经营项
                     目商品和技术的进出口业务。（依法须经批准的
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     电子材料科技领域内、新材料科技领域内的技术
                     研发、技术咨询、技术转让服务，金属制品、陶
                     瓷制品、一般化工产品销售，纯批发经营易制爆
                     化学品：硝酸，其他危险化学品：氢溴酸、氢氟
                     酸〔含氨>10%〕、四甲基氢氧化铵、2-丙醇、硅
                     酸四乙酯、氢氧化钠、氢氧化钠溶液〔含量≥
                     三氟化氮、六氟化钨 、氨、三氯化硼、一氧化
                     碳、二氧化碳[压缩的或液化的]、一氧化二氮[压
                     缩的或液化的]、甲硅烷、六氟化硫、三甲基铝、
                     三甲基硼、二氯硅烷、四氟化硅、氖[压缩的或
                     液化的]、氪[压缩的或液化的]、氙[压缩的或液
     南通至纯电子   全资子公   化的]、氩[压缩的或液化的]、氦[压缩的或液化
     材料有限公司     司    的]、氮[压缩的或液化的]、氢、氧[压缩的或液
                     化的]、四氟甲烷、六氟乙烷、八氟环丁烷、三
                     氟甲烷、三氟化硼 、三氟化氯、锗烷、四氯化
                     硅、三溴化硼、二乙基锌、四氯化钛、硫化氢、
                     氟甲烷、三氯硅烷、一氧化氮、三氯化磷 、溴
                     甲烷、硒化氢[无水]、丙烷、碘化氢[无水]、正
                     磷酸、1-溴丙烷、2-溴丙烷、溴乙烷、1-溴丁烷、
                     盐酸、硫酸（不得超范围经营危险化学品；经营
                     场所不得储存危险化学品），自营和代理一般经
                     营项目商品和技术的进出口业务。（依法须经批
                     准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
                     动）
                     从事工业自动化科技、电子科技、网络科技、光
     上海至渊科技   全资子公
     有限公司       司
                     咨询、技术服务、技术转让，机电设备、自动化
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     成套设备、通信设备（除卫星电视广播地面接收
                     设施）、机械设备及配件、制冷设备、空调设备、
                     气动液压设备、实验室设备、办公设备、电子产
                     品及配件、电器设备、仪器仪表、光学仪器、五
                     金交电、刃具、模具、电线电缆、金属密封件、
                     紧固件、高低压电器、电器成套设备。计算机、
                     软件及辅助设备的销售，从事货物及技术的进出
                     口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批
                     准后方可开展经营活动）
                     计算机信息技术领域内技术服务、技术开发、技
     驭航信息技术          术咨询、技术转让，计算机网络工程施工，计算
              全资子公
                司
     公司              法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展
                     经营活动）
                     许可项目：各类工程建设活动。（依法须经批准
                     的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，
                     具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件
                     为准）一般项目：从事信息系统集成服务，工业
                     自动化科技、电子、网络科技、计算机科技、光
                     电科技、光纤、生物半导体、生物工程、环保科
                     技及计量校准科技专业领域内的技术开发、技术
                     转让、技术咨询、技术服务，水处理系统及洁净
                     室厂房的设计、安装、技术咨询服务，机电产品、
     上海至纯系统   全资子公   机电设备、自动化设备、通信设备及相关产品、
     集成有限公司     司    仪器仪表、计算机及配件、软件及辅助设备、建
                     筑材料、不锈钢制品、金属材料、塑料制品、化
                     工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、民
                     用爆炸物品、易制毒化学品）、及计量器具的销
                     售，机电设备安装（除专控），机械设备的生产、
                     设计及加工，特气柜、特气阀组箱、化学品集中
                     供应系统和化学品阀组箱的生产及安装，从事货
                     物及技术的进出口业务，质检技术服务，计量器
                     具修理，建筑劳务分包。（除依法须经批准的项
                     目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
                     许可项目：各类工程建设活动；货物进出口；技
                     术进出口；建筑劳务分包（依法须经批准的项目，
                     经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营
     上海至纯精密   全资子公   项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般
     气体有限公司     司    项目：气体、液体分离及纯净设备制造；气体、
                     液体分离及纯净设备销售；大气污染监测及检测
                     仪器仪表制造；环境监测专用仪器仪表制造；基
                     础化学原料制造（不含危险化学品等许可类化学
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     品的制造）；普通机械设备安装服务；专业设计
                     服务；专用化学产品制造（不含危险化学品）；
                     机械设备研发；电机制造；机械设备销售；通用
                     设备修理；专用设备修理；机械设备租赁；工程
                     管理服务；化工产品销售（不含许可类化工产
                     品）；人力资源服务（不含职业中介活动、劳务
                     派遣服务）；信息技术咨询服务；计算机系统服
                     务；信息系统集成服务；技术服务、技术开发、
                     技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除
                     依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开
                     展经营活动）。
                     一般项目：半导体照明器件销售；半导体器件专
                     用设备销售；半导体分立器件销售；信息系统集
                     成服务；智能控制系统集成；工业自动控制系统
                     装置销售；电子元器件批发；电子元器件零售；
                     电子专用设备销售；电子专用材料销售；电子产
                     品销售；网络设备销售；网络与信息安全软件开
                     发；网络技术服务；技术服务、技术开发、技术
                     咨询、技术交流、技术转让、技术推广；计算机
                     系统服务；智能家庭消费设备销售；光电子器件
                     销售；光纤销售；工程和技术研究和试验发展；
                     环保咨询服务；终端计量设备销售；计量技术服
                     务；水质污染物监测及检测仪器仪表销售；气体、
                     液体分离及纯净设备销售；专业设计服务；工业
     上海至嘉半导          设计服务；平面设计；普通机械设备安装服务；
              全资子公
                司
     司               销售；机械电气设备销售；机械设备销售；通用
                     设备修理；专用设备修理；建筑材料销售；日用
                     品销售；金属结构销售；金属材料销售；塑料制
                     品销售；专用化学产品销售（不含危险化学品）；
                     生物化工产品技术研发；人力资源服务（不含职
                     业中介活动、劳务派遣服务）；工程管理服务；
                     化工产品销售（不含许可类化工产品）；信息技
                     术咨询服务；货物进出口；技术进出口；租赁服
                     务（不含许可类租赁服务）；机械设备租赁。（除
                     依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开
                     展经营活动）许可项目：建设工程施工。（依法
                     须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经
                     营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许
                     可证件为准）
     上海至纯精密   全资子公   许可项目：货物进出口；技术进出口（依法须经
     制造有限公司     司    批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证
                     件为准）一般项目：从事精密制造、机电科技领
                     域内的技术研发、技术转让、技术咨询、技术服
                     务；机械设备研发；机械设备销售；半导体器件
                     专用设备制造；半导体照明器件销售；集成电路
                     设计；专业设计服务；建筑工程用机械销售；五
                     金产品零售；建筑材料销售；机床功能部件及附
                     件销售；金属材料销售；化工产品销售（不含许
                     可类化工产品）；电子专用设备销售；电子产品
                     销售；仪器仪表销售；塑料制品销售；金属制品
                     销售；家用电器销售；机械设备租赁（除依法须
                     经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营
                     活动）。
                     许可项目：货物进出口（依法须经批准的项目，
                     经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营
                     项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般
                     项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专
                     用设备销售；集成电路设计；集成电路制造；集
                     成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成电
     上海至纯半导          路芯片及产品销售；环境保护专用设备制造；环
              控股子公
                司
     司               术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；计算
                     机软硬件及辅助设备零售；电子、机械设备维护
                     （不含特种设备）；五金产品零售；电子元器件
                     零售；机械零件、零部件销售；塑料制品销售；
                     电子元器件与机电组件设备销售（除依法须经批
                     准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活
                     动）。
                     一般项目：电子产品、电子元器件、电气机械设
                     备、通讯设备、家用电器、阀门和旋塞、五金产
                     品、金属制品、电子专用设备、机械设备、机械
                     零件、零部件、制冷、空调设备、液压动力机械
                     及元件、办公设备、仪器仪表、光学仪器、金属
                     工具、模具、金属密封件、紧固件、计算机软硬
     上海至纯集成   全资子公   件及辅助设备销售；阀门、管道、管接件、不锈
     电子有限公司     司    钢制品、气体输送设备的销售及安装；货物进出
                     口；技术进出口；工业自动化、电子科技、网络
                     科技、光电科技、半导体技术、生物科技、能源
                     科技、节能环保、计算机领域、信息技术领域内
                     的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让；
                     信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；供
                     应链管理服务；招投标代理服务。（除依法须经
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活
                     动）
                     建筑机电安装工程、房屋建筑工程、电子与智能
                     化工程、钢结构工程、管道工程、防水防腐保温
                     工程、公路工程、桥梁工程、市政公用工程、水
                     利水电工程、园林绿化工程、水井工程、体育馆
     启东市中恒建          工程、城市及道路照明工程施工，承装、承修、
              全资子公
                司
     公司              系统施工，机械设备、电气设备、管道设备、空
                     调设备、消防设备、工业自动控制系统装置、起
                     重设备、焊接设备销售、维修，光伏设备销售。
                     （依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可
                     开展经营活动）
                     许可项目：建设工程设计；建筑劳务分包；货物
                     进出口；技术进出口；特种设备制造；特种设备
                     设计；特种设备安装改造修理（依法须经批准的
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具
                     体经营项目以审批结果为准）
                     一般项目：信息系统集成服务；智能控制系统集
                     成；电子元器件与机电组件设备制造；工程管理
                     服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交
                     流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备
                     制造；半导体器件专用设备销售；电子元器件制
     江苏至纯系统   全资子公
     集成有限公司     司
                     造；工业自动控制系统装置销售；专用设备制造
                     （不含许可类专业设备制造）；气体、液体分离
                     及纯净设备制造；气体、液体分离及纯净设备销
                     售；特种设备销售；电子、机械设备维护（不含
                     特种设备）；特种作业人员安全技术培训；电子
                     专用材料制造；电子专用材料销售；机械设备销
                     售；机械设备研发；机械电气设备制造；通用设
                     备制造（不含特种设备制造）；机械电气设备销
                     售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法
                     自主开展经营活动）
                     通用设备修理；电气设备零售；金属压力容器制
                     造；其他金属加工机械制造；制药专用设备制造；
     广州市浩鑫洁          工业设计服务；食品、酒、饮料及茶生产专用设
              全资子公
                司
     限公司             服务专用设备制造；机械零部件加工；机械工程
                     设计服务；机械技术咨询、交流服务；工程技术
                     咨询服务；机电设备安装服务；无损检测；电气
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     机械检测服务；销售本公司生产的产品（国家法
                     律法规禁止经营的项目除外；涉及许可经营的产
                     品需取得许可证后方可经营）；电气设备批发；
                     金属制品批发；管道运输设备批发；通用机械设
                     备零售；机械配件零售；货物进出口（专营专控
                     商品除外）
                     制药、食品、化妆品、精细化工专用设备及其配
                     套相关设施的设计、安装、调试、技术咨询和销
                     售；管道工程，机电设备安装工程（以上除特种
     珐成制药系统
              全资子公   设备），机电设备，环保设备，自动化控制设备，
                司    从事货物及技术的进出口业务，计算机软硬件
     有限公司
                     （除计算机信息系统安全专用产品），办公设备
                     销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准
                     后方可开展经营活动）
                     化工设备、水处理设备、机电设备、食品机械、
     上海天鼎通用   全资子公   冷作钣金加工、批发、零售，日用百货、办公用
     设备有限公司     司    品、五金交电的批发、零售。（依法须经批准的
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     一类医疗器械、系列化冷冻真空干燥机、化工设
                     备、制药设备、环保设备、第一类低压容器、第
     上海鸿宝医疗   全资子公   二类低、中压容器生产、保健净化装置产品生产，
     器械有限公司     司    五金交电、日用百货、钢材批发、零售，从事货
                     物进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关
                     部门批准后方可开展经营活动）
                     一般项目：从事半导体科技、电子科技、工业自
                     动化科技、计算机科技、光电科技领域内的技术
                     服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转
     上海至临半导          让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导
              控股子公
                司
     司               设备销售；通讯设备销售；集成电路芯片及产品
                     销售；电子产品销售；软件开发；知识产权服务；
                     货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的
                     项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
                     许可项目：输电、供电、受电电力设施的安装、
                     维修和试验；建设工程施工；施工专业作业；货
                     物进出口；技术进出口。
                               （依法须经批准的项目，
     上海波汇科技   全资子公   经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营
     有限公司       司    项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般
                     项目：光通信技术、激光技术、光电工程及其应
                     用技术、光机电一体化的器件、设备、仪器仪表、
                     光机电一体化工程的研发；光通信设备制造；仪
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     器仪表制造；机械电气设备制造；通用设备制造
                     （不含特种设备制造）；集成电路制造；电力设
                     施器材制造；工业自动控制系统装置制造；安防
                     设备制造；光电子器件制造；电子元器件制造；
                     物联网设备制造；环境监测专用仪器仪表制造；
                     信息系统集成服务；智能控制系统集成；物联网
                     科技、计算机科技、智能化科技、自动化科技的
                     技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；安
                     全技术防范系统设计施工服务；电子产品、机电
                     设备、智能化产品的设计、研发、销售，数据处
                     理服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执
                     照依法自主开展经营活动）
                     传感网、物联网的技术研发；计算机软硬件的研
     无锡波汇光电   全资子公
     科技有限公司     司
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     光传感技术、光电工程应用技术的研发，光机电
                     一体化设备、仪器仪表的研发、制造、销售、安
     平湖波汇通信   全资子公
     科技有限公司     司
                     术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相
                     关部门批准后方可开展经营活动）
                     光电产品、电子产品的开发、生产以及相关的技
                     术咨询服务；销售自产产品，光电产品、电子产
     上海紫珊光电   全资子公
     技术有限公司     司
                     法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展
                     经营活动）
                     从事信息、通信、光电科技领域内的技术开发、
                     技术咨询、技术服务、技术转让，机电设备、仪
     上海波汇信息   全资子公   器仪表的研发及销售，计算机软件开发及销售，
     科技有限公司     司    从事货物及技术的进出口业务，自有房屋租赁，
                     物业管理。（依法须经批准的项目，经相关部门
                     批准后方可开展经营活动）
                     软件的开发、设计、制作、销售及相关的技术咨
     上海波汇软件   全资子公   询和技术服务，电子产品的销售，网络工程。
                                        （依
     有限公司       司    法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展
                     经营活动）
                     光学镀膜产品、光缆的研发、设计、生产和销售；
     合波光电通信   控股子公
     科技有限公司     司
                     批准后方可开展经营活动）
     浙江合波光学          激光元器件、模块的设计、生产和销售。上述产
     科技有限公司          品的批发及进出口业务。以上商品进出口不涉及
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
               司     国营贸易、进出口配额许可证、出口配额招标、
                     出口许可证等专项管理的商品。
                     封装元器件及光电产品的研发、生产及销售；货
                     物进出口、技术进出口、代理进出口（不含国家
     武汉瑞芯科技   控股子公
                                 （上述经营范围中国      否
     有限责任公司     司
                     家有专项规定的项目经审批后或凭许可证在核
                     定期限内经营）
                     光通信技术、激光技术、光电工程及其应用技术、
                     光机电一体化的器件、设备、仪器仪表、光机电
                     一体化工程的研发、生产、销售；自有技术成果
                     的转让；计算机软件的开发、设计、制作、销售；
                     提供以上相关技术咨询及技术服务；计算机系统
     安徽波汇智能   控股子公   集成的设计、安装调试及维护；消防工程设计与
     科技有限公司     司    施工；安全技术防范工程、建筑智能化工程设计
                     与施工；机电一体化设计与施工；智能化科技、
                     电力科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转
                     让、技术服务；光机电一体化的器件、设备、仪
                     器仪表的批发。（依法须经批准的项目，经相关
                     部门批准后方可开展经营活动）
                     雷达设备的技术研发、生产、销售及租赁，货物
                     进出口、技术进出口（法律、行政法规禁止的不
     青岛浦芮斯光
              控股子公   得经营，法律、行政法规限制经营的，取得许可
                司    证后方可经营）；经营其它无需行政审批即可经
     司
                     营的一般经营项目。（依法须经批准的项目，经
                     相关部门批准后方可开展经营活动）
                     光通信技术、激光技术的开发、咨询、转让及服
                     务；光电工程设计与施工及其应用技术、光机电
                     一体化的器件、设备、仪器仪表、光机电一体化
                     工程的研发；自有技术成果的转让；计算机软件
                     的开发、设计、制作；销售自产产品；计算机系
     山西波汇信息   控股子公   统集成的设计、安装调试及维护；消防工程设计
     技术有限公司     司    与施工；建筑施工：安全技术防范工程、建筑智
                     能化工程设计与施工；机电一体化设计与施工；
                     智能化科技、电力科技领域内的技术开发、技术
                     咨询、技术转让、技术服务；光机电一体化的器
                     件、设备、仪器仪表的批发。（依法须经批准的
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。
                     技术开发、技术推广、技术咨询、技术转让；软
     北京中电鸿宇   控股子公   件开发；销售开发后的产品、机械设备；货物进
     科技有限公司     司    出口、代理进出口、技术进出口。（企业依法自
                     主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                     的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经
                     营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项
                     目的经营活动。）
                     许可项目：货物进出口；技术进出口（依法须经
                     批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
                     动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证
                     件为准）一般项目：金属表面处理及热处理加工；
                     电镀加工；机械零件、零部件加工；金属加工机
     上海至纯合金   全资子公   械制造；气压动力机械及元件制造；通用零部件
     制造有限公司     司    制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；核
                     电设备成套及工程技术研发；液压动力机械及元
                     件销售；电子专用设备制造；普通阀门和旋塞制
                     造（不含特种设备制造）；密封件制造（除依法
                     须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经
                     营活动）。
                     一般项目：私募股权投资基金管理（须在中国证
     上海至衍私募
              全资子公   券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经
                司    营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执
     公司
                     照依法自主开展经营活动）。
                     一般项目：通用零部件制造；机械零件、零部件
                     加工；金属结构销售；金属材料销售；金属材料
                     制造；特种设备销售；通用设备制造（不含特种
                     设备制造）；工业自动控制系统装置制造；技术
     浙江至纯精密   全资子公
     制造有限公司     司
                     让、技术推广；货物进出口；泵及真空设备销售；
                     泵及真空设备制造；电力电子元器件制造；金属
                     结构制造；有色金属压延加工（除依法须经批准
                     的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
                     一般项目：制药专用设备制造；制药专用设备销
                     售；软件开发；日用品生产专用设备制造；工业
     珐成制药设备          自动控制系统装置销售；电气设备销售；技术服
              全资子公
                司
     公司              技术推广；商业、饮食、服务专用设备销售；软
                     件销售；办公设备销售（除依法须经批准的项目
                     外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
                     一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管理、
     南通至远启行
                     资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会
     半导体产业投   控股子公
     资基金（有限     司
                     （限投资未上市企业）（除依法须经批准的项目
     合伙）
                     外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
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     至纯科技有限
     公司（PNC          全资子公   电子、泛半导体、生物及医药、计量器具、环保
     Technology        司    等领域销售
     Co., Limited）
                     控股子公
                       司
                            机电一体化的器材、设备、仪表仪器的研制和销
     香港波汇通信          控股子公
     科技有限公司            司
                            售，网络工程
     Bandweaver
                     控股子公
                       司
     Limited
     NFX Systems     控股子公
     Inc.              司
     Ked
                     控股子公
                       司
     Corporation
                            其他机械制造业、机械安装业、电子材料批发业、
                            机械批发业、污染防治设备批发业、国际贸易业、
     凯尔迪科技股          控股子公
     份有限公司             司
                            机械设备制造业、电子零组件制造业、电子材料
                            销售业
     台 湾至微半导
     体有限公司
     （Taiwan         全资子公
     Ultron            司
     Semiconductor
     Co., Ltd）
                            一般项目：电子专用设备制造；电器辅件制造；
                            轴承、齿轮和传动部件制造；轴承、齿轮和传动
                            部件销售；电器辅件销售；电子专用设备销售；
                            密封件制造；电子元器件制造；通用设备制造（不
                            含特种设备制造）；技术服务、技术开发、技术
     上海艾璞思精                 咨询、技术交流、技术转让、技术推广；新材料
                     全资子公
                       司
     司                      许可类专业设备制造）；机械设备研发；机械设
                            备租赁；租赁服务（不含许可类租赁服务）；半
                            导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销
                            售；专业设计服务；五金产品制造；五金产品零
                            售；五金产品研发；化工产品生产（不含许可类
                            化工产品）；普通机械设备安装服务；货物进出
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                     口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，
                     凭营业执照依法自主开展经营活动）
    注：启东市中恒建机电工程有限公司已于 2022 年 9 月 27 日注销。
    截至本反馈回复出具日，发行人参股公司的经营范围情况如下：
                                               是否包
序             与发行人
      企业名称                        经营范围         含房地
号             的关系
                                               产业务
                      海上风力发电专业技术研发；电子计算机及外
                      围设备、通信设备研发、设计、制造、销售、
                      维护；计算机软件开发、设计；信息系统集成
                      服务；电子系统工程设计、技术咨询；电子工
                      程安装服务；智能化安装工程服务；自营和代
    江苏欧讯能源科           理各类商品和技术的进出口业务（国家限定企
    技有限公司             业经营或禁止进出口的商品和技术除外）。
                                        （依
                      法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开
                      展经营活动）许可项目：测绘服务；建设工程
                      勘察（依法须经批准的项目，经相关部门批准
                      后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结
                      果为准）
                      一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、
                      技术交流、技术转让、技术推广；发电技术服
                      务；储能技术服务；节能管理服务；输配电及
                      控制设备制造；软件开发；互联网数据服务；
                      在线能源监测技术研发；人工智能理论与算法
                      软件开发；合同能源管理；光伏设备及元器件
                      制造；光伏设备及元器件销售；智能输配电及
                      控制设备销售；变压器、整流器和电感器制造；
                      电子产品销售；电池制造；电池销售；站用加
    梅威斯电气技术           氢及储氢设施销售；风力发电技术服务；发电
    司                 及零部件销售；新能源汽车换电设施销售；汽
                      车零部件及配件制造；新能源汽车电附件销
                      售；充电桩销售；新能源原动设备制造；新能
                      源原动设备销售；电力电子元器件制造；电力
                      电子元器件销售；配电开关控制设备制造；配
                      电开关控制设备销售；配电开关控制设备研
                      发；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软
                      硬件及辅助设备零售；先进电力电子装置销
                      售；机械电气设备制造；机械电气设备销售；
                      通信设备制造；通讯设备销售；电子元器件制
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                     造；电子元器件零售；电子（气）物理设备及
                     其他电子设备制造；电子测量仪器制造；电子
                     测量仪器销售；机械设备销售；机械设备研发；
                     智能家庭消费设备制造；智能家庭消费设备销
                     售；专用设备制造（不含许可类专业设备制
                     造）；仪器仪表制造；仪器仪表销售；制冷、
                     空调设备制造；制冷、空调设备销售；货物进
                     出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目
                     外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可
                     项目：发电业务、输电业务、供（配）电业务；
                     建设工程施工；电气安装服务。（依法须经批
                     准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
                     动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可
                     证件为准）
                     实业投资，投资管理，投资咨询。（未经金融
    宁波宇微投资合
                     等监管部门批准不得从事吸收存款、融资担
                     保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融
    伙）
                     业务）
                     一般项目：创业投资。（未经金融等监管部门
    宁波宇微行至创          批准不得从事吸收存款、融资担保、代客理财、
    （有限合伙）           须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展
                     经营活动）。
                     一般项目：电子科技领域内的技术开发、技术
                     转让、技术咨询、技术服务；电子产品的销售。
    浙江镨芯电子科
    技有限公司
                     自主开展经营活动）（依法须经批准的项目，
                     经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     以自有资金进行股权投资、投资管理（未经金
    青岛海丝民合半
                     融监管部门批准，不得从事吸收存款、融资担
                     保、代客理财等金融业务）
                                。（依法须经批准的
    （有限合伙）
                     项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
                     以自有资金进行股权投资、资产管理、投资管
                     理、股权投资管理、创业投资、创业投资管理
                     （未经金融监管部门依法批准，不得从事向公
    青岛聚源芯星股
                     众吸收存款、融资担保、代客理财等金融服
                     务）；经济信息咨询（不含金融、证券、期货、
    （有限合伙）
                     理财、集资、融资等相关业务）。
                                   （依法须经批
                     准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活
                     动）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司         公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
                      一般项目：集成电路芯片设计及服务；集成电
                      路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销
     上海集成电路装
                      售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交
                      流、技术转让、技术推广；机械设备租赁；货
     中心有限公司
                      物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的
                      项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
                      一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、
                      技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设
                      备制造；电子专用设备销售；电子元器件制造；
     上海稷以科技有          电子元器件零售；电子产品销售；机械设备研
     限公司              发；电子专用材料研发；集成电路设计；集成
                      电路制造；集成电路销售；软件开发。（除依
                      法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开
                      展经营活动）
                      投资管理（不含金融和经纪业务）；股权投资
                      管理；资产管理（不含金融资产管理和保险资
     西藏禹泽投资管
     理有限公司
                      务咨询、企业管理咨询。（依法须经批准的项
                      目，经相关部门批准后方可经营该项目。）
                      与集成电路、半导体技术有关的技术开发、技
                      术服务、技术转让、技术咨询、技术检测；产
     芯链融创集成电          品设计；设备租赁。（市场主体依法自主选择
     京）有限公司           目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营
                      活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限
                      制类项目的经营活动。）
                      先进存储技术及相关产品的研究、开发、设计、
                      检验、检测、制造、销售；科技企业的孵化、
                      技术咨询、技术服务、技术转让；知识产权研
     长江先进存储产
                      究及服务；企业管理咨询；先进存储系统解决
                      方案咨询、设计；货物进出口、技术进出口、
     责任公司
                      代理进出口（不含国家禁止或限制进出口的货
                      物或技术）。
                           （涉及许可经营项目，应取得相关
                      部门许可后方可经营）
                      技术转让、技术咨询、技术服务、技术开发；
                      专业承包、施工总承包；产品设计；软件开发；
     中能瑞通（北京）         计算机系统服务；经济信息咨询（不含中介）；
     科技有限公司           销售机械设备、日用品、安全技术防范产品、
                      通信设备、计算机、软硬件及辅助设备、仪器
                      仪表、电子产品、五金交电（不含电动自行车）、
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                      灯具、家用电器、锁具；云计算中心（仅限
                      PUE 值在 1.4 以下的云计算）；货物进出口、
                      技术进出口、代理进出口；通信设备租赁；工
                      程勘察；工程设计。（市场主体依法自主选择
                      经营项目，开展经营活动；工程勘察、工程设
                      计以及依法须经批准的项目，经相关部门批准
                      后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家
                      和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活
                      动。）
     合肥溯慈企业管          一般项目：企业管理；社会经济咨询服务（除
     限合伙）             或限制的项目）
                      法律、法规、国务院决定规定禁止的不得经营；
                      法律、法规、国务院决定规定应当许可（审批）
                      的，经审批机关批准后凭许可（审批）文件经
                      营；法律、法规、国务院决定规定无需许可（审
                      批）的，市场主体自主选择经营。（从事三氯
     贵州威顿晶磷电
                      氧磷、红磷、五氧化二磷等磷源，三溴化硼、
                      硼酸三乙酯等硼源，正硅酸四乙酯、三甲基铝、
     公司
                      六氯乙硅烷等气相沉积源，反式-1，2-二氯乙
                      烯、无铅低熔点玻璃粉、碳酸钾、磷酸二氢钾
                      等精细化工学品的生产，销售本企业的自产产
                      品；货物进出口。（依法须经批准的项目，经
                      相关部门批准后方可开展经营活动） ）
                      许可项目：投资管理。
                               （依法须经批准的项目，
     天津海河至汇光
                      经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经
                      营项目以相关部门批准文件或许可证件为
     企业（有限合伙）
                      准）。
                      许可项目：建设工程设计；第一类增值电信业
                      务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后
                      方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果
                      为准）一般项目：物联网技术研发；人工智能
                      应用软件开发；人工智能公共服务平台技术咨
     南京中科河途智          询服务；人工智能理论与算法软件开发；人工
     究院有限公司           人工智能行业应用系统集成服务；人工智能基
                      础资源与技术平台；人工智能通用应用系统；
                      人工智能硬件销售；物联网应用服务；物联网
                      技术服务；物联网设备制造；物联网设备销售；
                      软件开发；网络与信息安全软件开发；智能控
                      制系统集成；网络设备制造；网络设备销售；
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                      计算机软硬件及外围设备制造；集成电路制
                      造；电子元器件制造；电池制造；电池销售；
                      工业控制计算机及系统销售；软件销售；光伏
                      设备及元器件销售；电子产品销售；电力电子
                      元器件制造；电力电子元器件销售；电子专用
                      设备制造；电子专用设备销售；可穿戴智能设
                      备销售；智能仪器仪表销售；智能农业管理；
                      信息系统集成服务；大数据服务；网络技术服
                      务；互联网安全服务；互联网数据服务；计算
                      机系统服务；电子专用材料销售；电子专用材
                      料研发；互联网设备销售；供应链管理服务；
                      企业管理；工业设计服务；技术服务、技术开
                      发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推
                      广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依
                      法自主开展经营活动）
                      一般项目：以私募基金从事股权投资、投资管
     上海紫竹小苗朗
                      理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金
     锐私募投资基金
     合伙企业（有限
                      （除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法
     合伙）
                      自主开展经营活动）
                      一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；
                      以自有资金从事投资活动；创业空间服务；信
     福州嘉衍创业投
                      息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）（除
                      依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主
     限合伙）
                      开展经营活动）（不得在《外商投资准入负面
                      清单》禁止外商投资的领域开展经营活动）
                      显示器及模块的系统集成、生产、设计、销售，
                      并提供相关的技术开发、技术转让、技术咨询
     上海和辉光电股          和技术服务，显示器组件及电子元件销售，从
     份有限公司            事货物进出口与技术进出口业务，实业投资。
                      （依法须经批准的项目，经相关部门批准后方
                      可开展经营活动）
  注：2022 年 6 月 2 日，发行人将所持有的和辉光电的股票全部出售并退出该公司，和
辉光电不再为发行人的参股公司。
     发行人目前的主营业务为高纯工艺系统的设计、加工制造和安装；半导体湿
法清洗设备研发、生产和销售；光传感器及相关光学元器件的研发、生产和销售，
不涉及房地产业务；除发行人全资子公司波汇信息经营范围包含“自有房屋租赁”
业务外，发行人其他控股、参股子公司经营范围亦不涉及“房地产经营”“房屋
租赁”“房地产租赁”“房产租赁”等房地产业务。
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     （三）发行人及其控股子公司持有的房地产主要用于自用
  发行人及其控股子公司持有不动产主要用途为工业用地、办公、厂房等。
  报告期内，发行人全资子公司波汇信息将自建办公楼少量闲置房产出租以提
高资产使用效率，该房产不属于专为转让而进行的房地产开发项目或专为销售、
出租开发的商品住宅。该房产租赁行为不属于从事房地产业务的行为。除此之外，
发行人及其他控股子公司未对外出租其他不动产。
     （四）发行人及其控股子公司不存在房地产业务收入
  报告期内，发行人主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传
感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。报告期内，发行人主营业务收入
占营业收入的比例分别为 99.66%、99.90%、99.90%和 99.89%，其他业务收入来
源包括波汇科技以及来自于公司办公楼顶建设的分布式光伏发电项目产生的光
伏发电收入，不存在房地产业务收入。
     （五）本次发行的募集资金用途不涉及房地产业务
  针对发行人本次发行的募集资金用途不涉及房地产业务的情况，发行人出具
说明如下：
  “本公司将严格按照《募集说明书》披露的用途，规范使用募集资金，不会
将本次发行的募集资金通过变更募集资金用途等方式用于或变相用于房地产开
发、经营、销售等业务，亦不会通过其他方式使本次募集资金直接或间接流入房
地产开发领域。”
  综上，波汇信息出租的自建办公楼少量闲置房产不属于专为转让而进行的房
地产开发项目或专为销售、出租开发的商品住宅。波汇信息出租闲置资产的行为
不属于经营房地产业务的行为。发行人及其控股、参股公司不存在房地产相关业
务。
     二、保荐机构和律师核查意见
  保荐机构会同律师履行了以下核查程序：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
务进行了核查；
产业务相关资质；
业务收入；
  经核查，保荐机构和律师认为：
  截至本反馈回复出具日，波汇信息出租闲置资产的行为不属于经营房地产业
务的行为。发行人及其控股、参股公司不存在房地产相关业务。
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（本页无正文，为上海至纯洁净系统科技股份有限公司《关于上海至纯洁净系统
科技股份有限公司公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复》之
盖章页）
                         上海至纯洁净系统科技股份有限公司
                                  年    月    日
上海至纯洁净系统科技股份有限公司          公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
（本页无正文，为国泰君安证券股份有限公司《关于上海至纯洁净系统科技股份
有限公司公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复》之签字盖章
页） 
    保荐代表人：                            
                  肖翔云                     李   淳 
                                         国泰君安证券股份有限公司 
                                                   年   月   日 
上海至纯洁净系统科技股份有限公司    公开发行 A 股可转换公司债券申请文件反馈意见的回复
           关于本次反馈意见回复报告的声明
  本人作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司保荐机构国泰君安证券股份
有限公司的董事长，现就本次反馈意见回复报告郑重声明如下：
  “本人已认真阅读上海至纯洁净系统科技股份有限公司本次反馈意见回复
报告的全部内容，了解报告涉及问题的核查过程、本公司的内核和风险控制流程，
确认本公司按照勤勉尽责原则履行核查程序，反馈意见回复报告不存在虚假记
载、误导性陈述或者重大遗漏，并对上述文件的真实性、准确性、完整性承担相
应法律责任。”
   保荐机构董事长签名：
                        贺    青
                                 国泰君安证券股份有限公司
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