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江丰电子获得实用新型专利授权:“一种加热基座及等离子体增强化学气相沉积设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种加热基座及等离子体增强化学气相沉积设备”,专利申请号为CN202521954336.1,授权日为2026年9月15日。

专利摘要:本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种加热基座及等离子体增强化学气相沉积设备,一种加热基座,包括加热基座本体、连接柱、线缆本体和柱体密封组件,加热基座本体用于承载工件和控制工件的温度;连接柱与加热基座本体底面固定连接;线缆本体穿设于连接柱内部并与加热基座本体连接;柱体密封组件与连接柱背离加热基座本体的一端、线缆本体均连接,以使连接柱内部与外界隔离。如此,柱体密封组件能够使连接柱背离加热基座本体的端部被密封,避免加热基座本体发生破裂后,破裂处通过连接柱与外界连通并发生漏气,提高加热基座及等离子体增强化学气相沉积设备的密封性能。

今年以来江丰电子新获得专利授权97个,较去年同期增加了120.45%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.59亿元,同比增33.59%。

通过天眼查大数据分析,宁波江丰电子材料股份有限公司共对外投资了55家企业,参与招投标项目58次;财产线索方面有商标信息1条,专利信息2098条,著作权信息13条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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