截至2026年9月11日收盘，中科飞测(688361)报收于304.68元，下跌1.33%，换手率2.02%，成交量7.11万手，成交额21.34亿元。
9月11日主力资金净流入3292.38万元，占总成交额1.54%；游资资金净流出2845.5万元，占总成交额1.33%；散户资金净流出446.88万元，占总成交额0.21%。
2026年上半年，新产品暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备自2025年末以来持续通过多家国内头部逻辑、存储及先进封装客户验证并实现销售，成为收入及订单的重要增长引擎，并在订单结构中占比最大；面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备获得头部客户部分订单。
先进封装收入占比阶段性超过35%，前道制程订单占比超80%，其中存储占比显著提升；先进制程收入占比约60%，订单结构中占比超80%。
公司已推出涵盖光学、电子束、X光三大核心技术的十三大系列设备，覆盖半导体量检测设备市场容量的70%以上，其中十一大系列已通过国内头部客户产线验证并实现销售；上半年明场设备（成熟制程）、X光硅通孔铜填充空隙量测设备完成客户验证，明场纳米图形设备、晶圆平整度量测设备、电子束关键尺寸量测设备分别处于产线验证或出货验证阶段。
十三大系列设备全面覆盖国内最先进制程客户产线及HBM、2.5D/3D封装扩产需求；在暗场纳米图形缺陷检测、无图形缺陷检测、套刻精度量测、金属膜厚量测、高深宽比铜填充空隙量测等设备上，公司为国内先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商。
面向下一代先进工艺节点，十一大系列设备已推出研发样机，其中五大系列已验证并销售，五大系列已出货验证，暗场纳米图形设备处于场内测试阶段。
上半年毛利率波动主要受先进封装业务收入占比提升及新产品导入期定价较低影响；全年前道制程及先进制程订单占比超80%，全年前道制程收入占比有望回归正常区间，先进制程收入贡献进一步提高，全年及未来毛利率有望保持较高水平。
上半年收入同比增速放缓，主要受季节性波动及客户验收与收入确认节奏影响；研发及销售费用同比较大幅度增长，叠加毛利率阶段性影响，归母净利润出现亏损；结合在手订单及新产品验证进展，全年收入有望保持较高增长，下半年利润有望环比改善。
2026年上半年公司实现海外收入超过5,000万元；无图形缺陷检测、图形缺陷检测、三维形貌量测、介质膜厚量测等设备已通过多家海外先进封装客户验证并批量销售；无图形缺陷检测、介质膜厚量测等设备已出货至海外先进制程客户开展验证。
公司在上游零部件国产化方面成效显著，可满足各系列设备面向国内最先进制程客户的量产需求及向更先进制程工艺的研发需求，供应链可保障设备研发完成后顺利转入大规模量产。
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