晶合集成获得发明专利授权：“用于工艺监测的关键尺寸条形结构及关键尺寸监测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于工艺监测的关键尺寸条形结构及关键尺寸监测方法”，专利申请号为CN202610605065.1，授权日为2026年9月1日。

专利摘要：本发明提供一种用于工艺监测的关键尺寸条形结构及关键尺寸监测方法，关键尺寸条形结构为上下对称结构，能够同时在关键尺寸条形结构的不同位置进行ADI量测和AEI量测；关键尺寸条形结构包括在垂直方向上对称设置的第一测量单元和第二测量单元，第一测量单元用于进行ADI量测，第二测量单元用于进行AEI量测；第一测量单元和第二测量单元均包括长线和四个对称放置在长线两侧的短线，长线和短线均为条形图形；在垂直方向上，第一测量单元的长线与第二测量单元的长线相连，第一测量单元的每个短线分别与第二测量单元中对应位置的一个短线相连，使显影后检查与刻蚀后检查能在同一结构上的对称位置分别进行。

今年以来晶合集成新获得专利授权377个，较去年同期增加了42.8%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.09亿元，同比减12.32%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目648次；财产线索方面有商标信息76条，专利信息1805条，著作权信息12条；此外企业还拥有行政许可35个。

数据来源：天眼查APP

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