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百傲化学：涂胶显影设备正在协同头部FAB厂持续推进工艺验证工作

来源：证星互动追踪

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2026-09-09 17:30:30

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证券之星消息，百傲化学(603360)09月09日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：芯慧联的涂胶显影湿法清洗电镀设备，公司口径有不一致，一会说验证一会说自研一会说有订单，请澄清一下，目前涂胶显影到底是还在研发还是已经在客户端验证？涂胶显影是单一设备还是覆盖了多个工艺节点？

百傲化学回复：尊敬的投资者，您好。公司半导体业务自研设备方面，单片式湿法清洗设备目前已获客户订单，涂胶显影设备正在协同头部FAB厂持续推进工艺验证工作，电镀设备已达到Bate机阶段，大世代干法刻蚀设备已完成整机及核心子系统全方案设计，核心零部件进入加工采购阶段，目前芯慧联自研业务正按照预期进度稳步推进，进展顺利。感谢您对本公司的关注。

本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。

责任编辑：刘浩然

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