敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”，专利申请号为CN202610513954.5，授权日为2026年8月7日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器，形成方法包括提供第一晶圆，第一晶圆具有第一面和第二面；在第一面上开设未贯通第一晶圆的第一环槽；在第一面上形成第一绝缘层，第一绝缘层填充于第一环槽内，第一环槽包围的第一晶圆的部分形成导通部；将器件晶圆与第一绝缘层键合；形成多晶硅结构，多晶硅结构的环部贯通器件晶圆，多晶硅结构的连接部覆盖导通部；在器件晶圆上形成敏感结构和信号传输结构，环部位于信号传输结构内；将器件晶圆与第二晶圆键合；在第二面所在侧去除第一晶圆，露出导通部；在第二面上形成信号引出结构，信号引出结构与对应的导通部电连接。本申请提高传感器的检测精度和稳定性，降低了制造成本。

今年以来敏芯股份新获得专利授权17个，较去年同期减少了43.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了8171.88万元，同比增0.93%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息524条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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