矽电股份获得发明专利授权：“载片台驱动装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示矽电股份（301629）新获得一项发明专利授权，专利名为“载片台驱动装置”，专利申请号为CN202610492317.4，授权日为2026年7月3日。

专利摘要：本发明提出一种载片台驱动装置，包括载片台和驱动组件。载片台具有第一方向，且具有用于放置晶圆的承载面，承载面垂直于第一方向；驱动组件包括第一压电陶瓷、第二压电陶瓷和支撑件，第一压电陶瓷包括相连接的第一固定部和第一驱动部，第二压电陶瓷包括相连接的第二固定部和第二驱动部，第一固定部连接于载片台，第二固定部连接于第一驱动部，支撑件连接于第二驱动部并位于第二驱动部的第一方向上的一侧；第一驱动部和第二驱动部能够带动支撑件垂直于第一方向往返移动，且使支撑件能够在承载面的一侧及另一侧之间往返移动。本发明实施例中的载片台驱动装置，具有更高的调节范围和调节精度。

今年以来矽电股份新获得专利授权19个，较去年同期减少了40.62%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6436.28万元，同比减5.49%。

通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目88次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息470条，著作权信息33条；此外企业还拥有行政许可17个。

数据来源：天眼查APP

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