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恒运昌获得实用新型专利授权:“出气装置和等离子体处理设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示恒运昌(688785)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“出气装置和等离子体处理设备”,专利申请号为CN202520890194.0,授权日为2026年6月19日。

专利摘要:本实用新型公开了一种出气装置和等离子体处理设备,涉及等离子体处理设备技术领域,其中,出气装置用于等离子体处理设备,等离子体处理设备包括具有工艺腔体的主体,出气装置包括:底壳和扩散板,底壳包括底板和侧板,底板和侧板围合出具有第一开口的气体腔室;扩散板盖设于第一开口;扩散板上设置有多个供工艺腔体的气体排出的扩散孔,侧板上设置有与气体腔室连通的第一出气口;本实用新型的技术方案通过采用在出气装置中设置底壳以及扩散板,使得出气装置安装于工艺腔体时,工艺腔体内的气体能够通过扩散板上的扩散孔排出腔体外,从而使工艺腔体内的等离子体排布更均匀,提升了等离子体处理设备对工件的加工效率。

今年以来恒运昌新获得专利授权31个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了8015.92万元,同比增45.01%。

通过天眼查大数据分析,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目18次;财产线索方面有商标信息74条,专利信息344条,著作权信息20条;此外企业还拥有行政许可19个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,不构成投资建议。

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