兴福电子获得发明专利授权：“一种铜钴钨兼容性好的TiN去除组合物”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示兴福电子（688545）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种铜钴钨兼容性好的TiN去除组合物”，专利申请号为CN202410222872.6，授权日为2026年6月26日。

专利摘要：本发明公开了一种铜钴钨兼容性好的TiN去除组合物，包括氧化剂、碱性物质、羧酸盐、金属腐蚀抑制剂、螯合剂和去离子水。本发明的蚀刻液用于先进铜制程中金属硬掩模材料TiN的去除和蚀刻残留物的清洁，相对于Low?Κ材料和含Cu、Co、W的材料具有优异的兼容保护性，此外本发明的组合物还有较长使用寿命。

今年以来兴福电子新获得专利授权29个，较去年同期增加了52.63%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9291.33万元，同比增20.79%。

通过天眼查大数据分析，湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目237次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息541条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可287个。

数据来源：天眼查APP

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