股市必读：恒运昌（688785）6月24日披露最新机构调研信息

截至2026年6月24日收盘，恒运昌(688785)报收于453.85元，上涨7.58%，换手率10.15%，成交量1.29万手，成交额5.65亿元。

当日关注点

• 交易信息汇总：6月24日主力资金净流入8796.38万元，游资资金净流出8673.08万元。
• 机构调研要点：截至2025年底，公司第四代Cedar系列等离子体射频电源系统处于验证状态，集成射频电源与匹配器，支持更先进制程；同期MFC MEMES传感器完成初样流片及搭载测试平台阶段。
• 机构调研要点：公司2025年产能利用率达98.51%，已连续三年超负荷运行；正推进沈阳子公司量产、深圳产能建设及智能化生产运营基地项目以释放后续产能。
• 机构调研要点：截至2025年年报披露日，公司在手订单约1.57亿元；客户覆盖拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等头部半导体设备商。

交易信息汇总

资金流向

6月24日主力资金净流入8796.38万元，占总成交额0.0%；游资资金净流出8673.08万元，占总成交额0.0%；散户资金净流出123.3万元。

机构调研要点

6月11日特定对象调研

2025年公司实现营业收入约5.29亿元，归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元；2026年一季度实现营业收入1.24亿元，归属于上市公司股东的净利润1758.28万元。
全球等离子体射频电源系统市场2024年达53.4亿美元，2025–2029年复合增长率预计为10.6%；中国大陆市场2024年达65.6亿元，2025–2029年复合增长率预计为15.6%。
截至2025年年报披露日，公司在手订单约1.57亿元；客户涵盖拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商。
等离子体射频电源系统主要应用于半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片镀膜、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业环节。
截至2025年底，第四代Cedar系列等离子体射频电源系统处于验证状态，集成射频电源与匹配器，支持多中心阻抗应用及快速数据采集；MFC MEMES传感器已完成初样流片及搭载测试平台阶段。
远程等离子体源（RPS）通过独立腔室产生等离子体并传输至反应腔；射频离子源主要用于显示面板、精密光学领域的后氧化、离子辅助沉积等薄膜沉积工艺。
公司引进真空泵、质量流量计、等离子体直流电源等核心零部件，协同自研产品提供等离子体工艺解决方案。
技术服务业务主要为晶圆厂提供进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修服务。
公司构建“基石技术+产品化支撑技术”架构，三大基石技术为等离子体电源全数字测量技术、全数字环路控制技术、高效功放技术；关键性能指标包括调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启/关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升/下降时间等。
截至2025年底，研发人员共158人，占公司总人数39.01%；核心研发团队具备二十年以上等离子体射频电源系统及半导体核心零部件行业经验。
2025年公司产能利用率达98.51%，已连续三年超负荷运行；正推进恒运昌真空技术（沈阳）有限公司量产、深圳产能建设及半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目建设。
公司通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）、深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）实施员工持股计划；部分核心员工参与战略配售。

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