微导纳米获得实用新型专利授权：“薄膜处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“薄膜处理设备”，专利申请号为CN202423263323.8，授权日为2026年6月23日。

专利摘要：本申请公开了一种抑制件和薄膜处理设备，涉及半导体技术领域。抑制件包括在预设方向上间隔设置的多个格栅件，每个格栅件上形成若干格栅孔。薄膜处理设备包括反应装置和进气管道。反应装置具有腔室，进气管道连接于反应装置并与反应装置的腔室连通。进气管道中设置有第一抑制件，第一抑制件即为上述的抑制件。第一抑制件既能够起到通过气体的作用，同时其使进气管道中的电势分布更为均匀，因此减弱了电场，不易发生放电现象。因此，本申请实施例提供的抑制件，能够减少薄膜处理设备的进气管道的污染以及改善反应装置因部分能量耗散而导致馈入反应腔的能量不均匀的问题。

今年以来微导纳米新获得专利授权41个，较去年同期增加了13.89%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息658条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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