盛美上海获得发明专利授权：“轴密封结构及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“轴密封结构及半导体设备”，专利申请号为CN201911410573.0，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本发明提供一种轴密封结构及半导体设备，轴密封结构包括：具有上下贯穿安装孔的底座，装配在所述安装孔中的运动轴，运动轴的外壁与安装孔的内壁之间具有间隙；开设于运动轴内的通气管路，通气管路具有进气端及出气端，进气端与供气源相连通，出气端与间隙相连通。本发明通过通气管路的设置，在运动轴与底座之间的间隙中形成气密封，有利于防止废液、废气等通过所述间隙进行扩散造成相互污染，在半导体设备中引入上述密封结构，可以防止工艺腔与外界通过所述间隙进行互通，特别是在湿法处理设备中，从而可以防止湿法处理的杂质、废气、废液、腐蚀液等进入所述间隙，并防止上述废气、废液等扩散到外界，对半导体设备其他部件或其他设备造成腐蚀。

今年以来盛美上海新获得专利授权17个，较去年同期增加了183.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了10.03亿元，同比增37.64%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目179次；财产线索方面有商标信息39条，专利信息715条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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