清溢光电获得发明专利授权：“一种掩膜版检查机精度校准样片”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示清溢光电（688138）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种掩膜版检查机精度校准样片”，专利申请号为CN202310428810.6，授权日为2026年6月5日。

专利摘要：本发明公开了一种掩膜版检查机精度校准样片，包括基片，基片上设置有位置校准区域和精度校准区域；精度校准区域内设置有对比图形单元和缺陷图形单元；对比图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片对比图形，对比图形单元内同一行中掩膜版样片对比图形一致，仅尺寸增减；缺陷图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片缺陷图形，缺陷图形单元内同一行中掩膜版样片缺陷图形一致，仅尺寸增减；对比图形单元和缺陷图形单元内同一行、列位置的掩膜版样片对比图形和掩膜版样片缺陷图形一致，且尺寸相同，仅掩膜版样片缺陷图形内增设缺陷特征；本发明的掩膜版检查机精度校准样片，解决背景技术中提出的满足对掩膜版检查机精度的校准和缺陷的全检查。

今年以来清溢光电新获得专利授权1个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6419.3万元，同比增18.14%。

通过天眼查大数据分析，深圳清溢光电股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目21次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息88条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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