芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其制造方法、电子装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制造方法、电子装置”，专利申请号为CN202310379478.9，授权日为2026年6月2日。

专利摘要：一种MEMS器件及其制造方法、电子装置，该方法包括：提供第一衬底和第二衬底，第一衬底包括第一区域和位于第一区域外侧的第二区域，第二衬底包括第三区域和位于第三区域外侧的第四区域；刻蚀第一衬底以在第一区域形成多个间隔设置的第一梳齿；在第二衬底的第三区域形成多个间隔设置的第二梳齿；执行键合工艺，以使第一衬底形成有第一梳齿的一面和第二衬底形成有第二梳齿的一面相接合构成器件基底，并且多个第一梳齿与多个第二梳齿彼此交错设置。本申请的方法有效减少了硅草的产生，提高了MEMS器件的可靠性、性能和使用寿命。

今年以来芯联集成新获得专利授权37个，较去年同期增加了48%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1749次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息823条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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