英诺激光获得发明专利授权：“腔外倍频连续深紫外激光装置、系统及半导体检测系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示英诺激光（301021）新获得一项发明专利授权，专利名为“腔外倍频连续深紫外激光装置、系统及半导体检测系统”，专利申请号为CN202411997901.2，授权日为2026年5月29日。

专利摘要：本公开提供了一种腔外倍频连续深紫外激光装置、激光系统及半导体检测系统，该装置包括红外激光模块、绿激光模块及深紫外激光模块。红外激光模块用于产生目标连续红外激光；绿激光模块包括红外反射镜组件及第一转换组件，红外反射镜组件用于将目标连续红外激光的传输光路由第一红光光路转换为第二红光光路，第一转换组件用于对目标连续红外激光进行多通二次谐波转换，得到目标连续绿激光。深紫外激光模块包括绿光反射镜及第二转换组件，绿光反射镜用于将目标连续绿激光的传输光路由第一绿光光路转换为第二绿光光路，第二转换组件用于对目标连续绿激光进行多通四次谐波转换，得到目标连续深紫外激光。这样，可以降低技术实现难度，且提升转换效率。

今年以来英诺激光新获得专利授权4个，较去年同期增加了33.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9889.39万元，同比减4.28%。

通过天眼查大数据分析，英诺激光科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目15次；财产线索方面有商标信息73条，专利信息299条，著作权信息66条；此外企业还拥有行政许可17个。

数据来源：天眼查APP

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