微导纳米获得发明专利授权：“晶圆对中机构、晶圆加热系统以及晶圆对中方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆对中机构、晶圆加热系统以及晶圆对中方法”，专利申请号为CN202410694891.9，授权日为2026年5月15日。

专利摘要：本申请涉及一种晶圆对中机构、晶圆加热系统以及晶圆对中方法，包括导向盘、转动盘和锁紧件，导向盘开设导向孔道，导向孔道限定出导向轨迹，导向孔道在自一端至另一端的方向上与第一盘体中心的直线距离逐渐缩短，转动盘开设调节孔道，调节孔道限定出调节轨迹，调节孔道在自一端至另一端的方向上与第二盘体中心的直线距离逐渐缩短，导向盘的导向孔道和转动盘的调节孔道轴向相对，锁紧件活动装配在相互配合的一对导向孔道和调节孔道中，锁紧件由导向孔道突出于导向盘的第一盘体表面。相对转动晶圆对中机构的导向盘和转动盘，锁紧件沿着导向孔道和调节孔道同步移动，全部锁紧件与晶圆加热平台的平台边缘接触，实现晶圆与晶圆加热平台的对中。

今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了9.68%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息649条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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