证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种减薄设备”,专利申请号为CN202310253217.2,授权日为2026年5月15日。
专利摘要:本发明公开了一种减薄设备,包括:设备前端模块,用于实现晶圆的进出,所述设备前端模块设置在所述减薄设备的前端;磨削模块,用于对至少两片晶圆同时进行粗磨削和/或精磨削,所述磨削模块设置在所述减薄设备的末端;抛光模块,用于在完成磨削之后对至少两片晶圆同时进行化学机械抛光,所述抛光模块邻接所述磨削模块设置;两个对称分布的清洗模块,位于抛光模块和设备前端模块之间;两个对称分布的传输模块,分别位于抛光模块的两侧。
今年以来华海清科新获得专利授权32个,较去年同期减少了13.51%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了5.37亿元,同比增40.63%。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目262次;财产线索方面有商标信息92条,专利信息809条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可36个。
数据来源:天眼查APP
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