晶盛机电获得实用新型专利授权：“清洗设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“清洗设备”，专利申请号为CN202520532300.8，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本申请公开了一种清洗设备，该清洗设备包括第一清洗组件和第二清洗组件。第一清洗组件包括清洗机构和驱动件，清洗机构用于清洗晶圆，驱动件用于驱动清洗机构移动。第二清洗组件包括清洗槽和喷洗件，喷洗件用于清洗清洗机构，喷洗件至少部分位于清洗槽内；驱动件能够驱动清洗机构处于清洗位置，当清洗机构处于清洗位置时，清洗机构至少部分位于清洗槽内。通过上述设置，清洗机构对晶圆进行清洗，当清洗机构无法对晶圆进行有效清洗时，驱动件将清洗机构驱动至清洗槽内，使得喷洗件对清洗机构进行清洗，从而去除清洗机构上的污染物，以提高清洗机构的晶圆清洗效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权33个，较去年同期减少了37.74%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9.55亿元，同比减14.67%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目235次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1163条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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