华海清科获得发明专利授权：“卷径检测组件及基板研磨装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“卷径检测组件及基板研磨装置”，专利申请号为CN202411922054.3，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本发明涉及半导体基板研磨技术领域。本发明的一个实施例提供了一种卷带卷径检测组件，用于实时地检测卷带的卷径。其包括摆动件，所述摆动件摆动地设置在所述卷带的一侧；压部，设置在所述摆动件上，用于适应性地压在卷带的周面上；测角传感器，其用于测量所述摆动件的摆动角度。本发明的另一实施例提供了一种基板研磨装置，在对基板研磨时实时测量卷带的卷径，并依据卷径调整释放和/或收卷的扭矩。本发明解决了晶圆研磨控制精度存在波动导致产品精度变差的技术问题。

今年以来华海清科新获得专利授权26个，较去年同期减少了16.13%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息802条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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