证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构及其制备方法”,专利申请号为CN202610063606.2,授权日为2026年4月21日。
专利摘要:本申请公开了一种半导体结构及其制备方法,涉及半导体技术领域。制备方法包括:于基底上形成伪栅极、刻蚀阻挡层和层间介质层,伪栅极的数量为多个且间隔设置,刻蚀阻挡层覆盖伪栅极的侧壁和顶表面,层间介质层覆盖刻蚀阻挡层,并填充相邻两伪栅极之间的沟槽;研磨层间介质层和刻蚀阻挡层,直至露出伪栅极的顶表面,及沟槽内的层间介质层中形成凹陷;将伪栅极替换成栅极材料,栅极材料填充凹陷;采用化学干法刻蚀工艺刻蚀栅极材料,直至露出凹陷的内壁;对栅极材料和层间介质层进行平坦处理,形成栅极,栅极远离基底的顶表面和层间介质层远离基底的顶表面齐平。降低半导体结构出现短路的风险,提高半导体结构的良率和性能。
今年以来晶合集成新获得专利授权175个,较去年同期增加了76.77%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目644次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1610条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可26个。
数据来源:天眼查APP
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