微导纳米获得发明专利授权：“处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法”，专利申请号为CN202310878200.6，授权日为2026年4月21日。

专利摘要：本申请涉及一种处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法，包括出气结构及匀气板，出气结构具有贴合位，贴合位具有第一气孔，匀气板具有第二气孔，匀气板贴合于贴合位，且第二气孔与第一气孔连通。本申请的处理设备，可以实现向壳体内部的反应腔均匀送气，在处理设备作为镀膜设备时，实现对基片的均匀镀膜。

今年以来微导纳米新获得专利授权28个，较去年同期增加了7.69%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息632条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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