华海清科获得发明专利授权：“一种化学机械抛光驱动组件”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光驱动组件”，专利申请号为CN202211708144.3，授权日为2026年4月14日。

专利摘要：本发明提供了一种化学机械抛光驱动组件，包括：驱动单元、驱动框架、旋转接头、承载头和减振轴系；所述减振轴系包括第一减振模组和第二减振模组，以分别吸收水平方向和/或竖直方向的振动。本发明提供的减振轴系，在不提高驱动框架自重的情况下，吸收不同自由度方向上的振动能量，阻止振动能量的传递路径，防止零部件振动松动甚至失效，同时，一定程度上改善了晶圆研磨质量稳定性。

今年以来华海清科新获得专利授权23个，较去年同期减少了23.33%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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