华海清科获得发明专利授权：“一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法”，专利申请号为CN202211694371.5，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本发明公开了一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法，所述基板减薄工作台包括：转台；吸盘，其设置于所述转台上部，以承载待处理基板；冲洗组件，其设置于所述吸盘上侧，以冲洗吸盘表面；刷洗组件，其包括摆臂和刷洗头，所述摆臂的一端转动连接于所述转台的外侧，其另一端配置有刷洗头；所述刷洗头包括刷洗基座、刷体和驱动电机，所述驱动电机固定于所述刷洗基座，其输出轴连接于所述刷体，以刷洗吸盘表面；所述刷洗基座的上表面配置有环形槽，所述环形槽与外部的真空源连通；所述环形槽的内部设置有流体通道，所述流体通道沿所述刷洗基座的厚度方向贯通设置，所述流体通道能够吸附吸盘表面的颗粒物。

今年以来华海清科新获得专利授权19个，较去年同期增加了5.56%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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