证券之星消息,根据天眼查APP数据显示安集科技(688019)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于钨抛光的化学机械抛光液”,专利申请号为CN202011618376.0,授权日为2026年3月31日。
专利摘要:本发明提供一种用于钨抛光的化学机械抛光液,其包括:水、研磨颗粒、钨抛光促进剂、稳定剂、过氧化物、第一种钨的腐蚀抑制剂、第二种钨的腐蚀抑制剂。本发明的化学机械抛光液中两种腐蚀抑制剂的协同作用可以显著降低钨的静态腐蚀速率,提高钨的抛光速度与静态腐蚀速度比,改善图形芯片中的侵蚀缺陷(erosion),显著提高产品的良率。
今年以来安集科技新获得专利授权3个,较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.89亿元,同比增30.5%。
通过天眼查大数据分析,安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目32次;财产线索方面有专利信息243条;此外企业还拥有行政许可104个。
数据来源:天眼查APP
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