龙图光罩获得实用新型专利授权：“能够防溅射的掩模版清洗设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙图光罩（688721）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“能够防溅射的掩模版清洗设备”，专利申请号为CN202520807558.4，授权日为2026年3月10日。

专利摘要：本实用新型属于掩模版清洗领域，尤其涉及一种能够防溅射的掩模版清洗设备，包括：清洗腔；载板台，用于水平承载掩模版；旋转电机，设于所述清洗腔内，并用于带动所述载板台绕一竖直轴线转动；防溅射罩，由聚四氟乙烯材料制成，并呈圆筒状，且竖直设置，所述防溅射罩开设有多个贯通内外且呈阵列布置的贯通孔，所述防溅射罩的内外筒壁面的摩擦系数为0.04?0.1；其中，所述载板台设于所述防溅射罩内，并与所述防溅射罩内壁面间隔设置。本实用新型避免了液体飞溅至腔体壁面积累后反弹污染掩模版的问题。

今年以来龙图光罩新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1179.36万元，同比增10.22%。

通过天眼查大数据分析，深圳市龙图光罩股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息8条，专利信息77条，著作权信息41条；此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。