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晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体结构的制作方法、半导体结构及集成电路”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构的制作方法、半导体结构及集成电路”,专利申请号为CN202511971881.6,授权日为2026年3月10日。

专利摘要:本发明公开了一种半导体结构的制作方法、半导体结构及集成电路,属于半导体技术领域,所述制作方法至少包括以下步骤:蚀刻多层层间介质层,在器件区形成垂直接触孔,在密封环区形成异形接触孔,且异形接触孔的径向尺寸随着深度增加而减小;蚀刻垂直接触孔外围的部分多层层间介质层,在接触孔远离底层金属层的一侧形成沟槽,接触孔靠近底层金属层的一侧形成通孔;同步蚀刻多层层间介质层顶部,使相邻的异形接触孔连通;以及在通孔、沟槽和异形接触孔内沉积导电材料层,通孔和沟槽中的导电材料层形成大马士革结构,异形接触孔内的导电材料层形成密封环。通过本发明提供的一种半导体结构的制作方法,可简化制程并减少缺陷。

今年以来晶合集成新获得专利授权106个,较去年同期增加了146.51%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目637次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1672条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

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