晶盛机电获得发明专利授权：“一种抛光载体及飞片检测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种抛光载体及飞片检测方法”，专利申请号为CN202211588770.3，授权日为2026年3月10日。

专利摘要：本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光载体，包括：载体本体，所述载体本体包括：第一座，所述第一座上具有第一气道；第二座，所述第二座与所述第一座叠置且位于所述第一座的正下方，所述第二座与所述第一座之间形成第一腔，所述第一腔与所述第一气道连通；所述第二座与所述第一座之间活动连接，使得所述第一腔的容积可变；检测组件，所述检测组件包括：压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔内，所述压力传感器用于监测所述第一腔内的气压变化。解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权20个，较去年同期减少了37.5%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了36家企业，参与招投标项目218次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1157条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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