龙图光罩获得实用新型专利授权：“掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙图光罩（688721）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备”，专利申请号为CN202520809184.X，授权日为2026年3月10日。

专利摘要：本实用新型属于掩模版侧壁检测领域，尤其涉及一种掩模版侧壁检测装置以及刻蚀设备，其中，用于掩模版侧壁检测装置包括可旋转样品台、激光器、第一摄像头、第二摄像头以及升降机构；可旋转样品台用于承托掩模版，并用于带动掩模版旋转；激光器用于产生激光点；第一摄像头用于从第一方向拍摄掩模图形侧壁，以获取激光点X轴向和Z轴向的坐标位置；第二摄像头用于从第二方向拍摄掩模图形侧壁，以获取激光点Y轴向和Z轴向的坐标位置；升降机构用于带动激光器沿Z轴向往复移动。本实用新型相较于仅能获取二维平面信息的扫描电镜或光学显微镜，为刻蚀过程提供了实时三维形貌数据，有效解决了过度蚀刻或欠蚀刻问题。

今年以来龙图光罩新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1179.36万元，同比增10.22%。

通过天眼查大数据分析，深圳市龙图光罩股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息8条，专利信息78条，著作权信息41条；此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源：天眼查APP

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